CN106119955A - 一种硅片生产系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种硅片生产系统,包括金属腔体(1),所述金属腔体(1)设置有进气口(2)和出气口(3),所述进气口(2)位于所述金属腔体(1)内部设置有一进气口控制阀门(21),所述出气口(3)位于所述金属腔体(1)内部设置有一出气口控制阀门(31);所述坩埚(4)设置在所述金属腔体(1)内部,所述坩埚用于融化硅,所述坩埚外侧还设置有一保温装置(5),所述保温装置(5)内设置有加热丝(6),所述加热丝(6)用于保持所述保温装置(5)的温度;所述坩埚(4)设置有出料口(7),所述出料口(7)下方设置有一输送装置(8)。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片生产系统。
背景技术
在太阳能电池技术领域,利用定向凝固的方法生产多晶硅锭是普遍采用的方法,其基本原理是:将多晶硅原料放置在石英陶瓷坩埚中,采用特定的热场系统,将硅料加热至完全融化;然后从坩埚的底部开始冷却,硅溶液在坩埚底部开始结晶,逐渐向上生长(凝固);完成生长过程后,通常会将热场重新闭合,并将多晶铸锭保温一段时候后开始冷却。将所产晶锭经过开方、倒角磨面、线切割,线切割主要采用一定间距排列的钢线,配合砂浆进行磨削切割,切割成100~300μm厚度的硅片,砂浆的主要成分为碳化硅和聚乙二醇。从铸锭到切割硅片的整个过程涉及数道工序,各工序的过程中都有可能引进杂质的污染,如铸锭的装料过程,铸锭的生长过程与坩埚接触,坩埚的纯度远低于硅料,铸锭用热场也会有杂质的挥发等,切割的砂浆和切割刚线的磨损,都是引入杂质的途径。而且经过数道工序,成本较高。
有鉴于上述的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种新型硅片生产系统,使其更具有产业上的利用价值。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明的目的是提供一种硅片生产系统。
本发明的技术方案如下:
一种硅片生产系统,其特征在于:包括金属腔体(1),所述金属腔体(1)设置有进气口(2)和出气口(3),所述进气口(2)位于所述金属腔体(1)内部设置有一进气口控制阀门(21),所述出气口(3)位于所述金属腔体(1)内部设置有一出气口控制阀门(31);所述坩埚(4)设置在所述金属腔体(1)内部,所述坩埚用于融化硅,所述坩埚外侧还设置有一保温装置(5),所述保温装置(5)内设置有加热丝(6),所述加热丝(6)用于保持所述保温装置(5)的温度;所述坩埚(4)设置有出料口(7),所述出料口(7)下方设置有一输送装置(8)。
进一步的,所述输送装置(8)为输送带,所述输送带为耐高温材料制成。
进一步的,所述输送装置(8)内部还设置有一加热装置(9),用于保持输送过程中的温度。
进一步的,还包括与所述输送装置(8)连接的切割系统,所述切割系统用于切割硅片。
借由上述方案,本发明至少具有以下优点:
本发明可减少传统硅片生产过程中繁琐的工序步骤,大幅度降低了生产成本;且基本不引入杂质,因此,整过生产过程中污染源极少,有利于提高硅片质量,保证了太阳能电池片质量的稳定。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图中:1-金属腔体;2-进气口;21-进气口控制阀门;3-出气口;31-出气口控制阀门;4-坩埚;5-保温装置;6-加热丝;7-出料口;8-输送装置;9-加热装置。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。
参见图1,本发明一较佳实施例所述的一种硅片生产系统,其特征在于:包括金属腔体1,所述金属腔体1设置有进气口2和出气口3,所述进气口2位于所述金属腔体1内部设置有一进气口控制阀门21,所述出气口3位于所述金属腔体1内部设置有一出气口控制阀门31;所述坩埚4设置在所述金属腔体1内部,所述坩埚用于融化硅,所述坩埚外侧还设置有一保温装置5,所述保温装置5内设置有加热丝6,所述加热,6用于保持所述保温装置5的温度;所述坩埚4设置有出料口7,所述出料口7下方设置有一输送装置8。
-所述输送装置8为输送带,所述输送带为耐高温材料制成。
-所述输送装置8内部还设置有一加热装置9,用于保持输送过程中的温度。
-还包括与所述输送装置8连接的切割系统,所述切割系统用于切割硅片。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,并不用于限制本发明,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种硅片生产系统,其特征在于:包括金属腔体(1),所述金属腔体(1)设置有进气口(2)和出气口(3),所述进气口(2)位于所述金属腔体(1)内部设置有一进气口控制阀门(21),所述出气口(3)位于所述金属腔体(1)内部设置有一出气口控制阀门(31);所述坩埚(4)设置在所述金属腔体(1)内部,所述坩埚用于融化硅,所述坩埚外侧还设置有一保温装置(5),所述保温装置(5)内设置有加热丝(6),所述加热丝(6)用于保持所述保温装置(5)的温度;所述坩埚(4)设置有出料口(7),所述出料口(7)下方设置有一输送装置(8)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产系统,其特征在于:所述输送装置(8)为输送带,所述输送带为耐高温材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种硅片生产系统,其特征在于:所述输送装置(8)内部还设置有一加热装置(9),用于保持输送过程中的温度。
4.根据权利要求1所述的一种硅片生产系统,其特征在于:还包括与所述输送装置(8)连接的切割系统,所述切割系统用于切割硅片。
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