CN106098604A - 一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置 - Google Patents
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Abstract
一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，包括装配载台、推片机构及晶舟装载保护机构，装配载台上设有晶舟定位机构和晶片支撑机构，推片机构包括滑杆、滑动块、手柄、推送杆以及推片支架，晶舟装载保护装置包括定位杠杆、杠杆凹槽、连接杆、连接杆通孔、活动钮、活动钮弹簧以及活动钮凹槽；采用本发明的晶片转移装置，可以有效减少晶片转移过程中造成的人为接触，人为污染以及掉落破碎等风险。晶片转移时，全程采用绝缘材料与晶片点接触的方式进行转移，完全避免人体与晶片接触，从根源上避免人为污染。
Description
技术领域
本发明涉及一种转移装置，具体涉及一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置。
背景技术
蓝宝石衬底材料作为LED主要材料，表面洁净度一直是业界关注的焦点。虽然大家通过工艺和制程水平的不断改善，洁净度水平已经大幅度提供。但一直困扰大家的是蓝宝石衬底在包装前需要人工检查，不可避免的存在晶周转移晶片导致的晶片脏污问题，最早由于制作2吋晶片可以通过真空吸笔吸取背部，避免使用面的脏污问题。但科技的不断发展，6吋衬底甚至更大尺寸的蓝宝石衬底已在业内普遍使用；
6吋衬底的面积大，重量重，转移非常不方面，且效率低下，损坏的风险大；尤其在加工过程中，晶片在制程中的转换步骤频繁，破碎和掉落时有发生，损失大，良率低。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术缺点提供一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，从大尺寸衬底的加工实际出发，结合人性化特点。避免过程损失的同时，降低晶片表面洁净度的二次污染问题。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：
一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，其中，包括装配载台、推片机构及晶舟装载保护机构，所述装配载台呈方形板体结构，底部四角均设有撑脚；所述装配载台上设有晶舟定位机构和晶片支撑机构，所述晶舟定位机构数量为两个，包括左，右晶舟定位机构，每个晶舟定位机构包括上、下定位卡块，所述上定位卡块与下定位卡块均呈L型结构，所述上、下定位卡块呈轴对称设置；所述左、右晶舟定位机构呈对称设置；所述晶片支撑机构包括八个支撑块，所述支撑块呈两排设置，每排呈横向设置4个支撑块，所述支撑块呈圆柱体结构，所述支撑块底部固定在所述装配载台上；
所述推片机构包括滑杆、滑动块、手柄、推送杆以及推片支架，所述滑杆数量为两个，所述滑杆两端连接固定在撑脚上，所述两个滑杆呈平行设置，所述滑动块上设置有两个滑杆孔，所述滑杆孔呈圆形结构，所述滑动块通过所述两个滑杆贯穿两个滑杆孔实现滑动块在滑杆上滑动连接；所述滑动块一端连接手柄；所述滑动块一侧连接推送杆，所述推送杆一端连接推片支架，所述推片支架包括推片块以及支撑块，所述支撑块呈倒L型结构，所述支撑块底部连接推送杆，顶部一侧连接推片块，所述推片块呈长方体结构，其一侧底部连接支撑块，另一侧竖直设置有两条凹槽，所述凹槽截面呈半圆形结构，所述凹槽内卡接设置了由聚四氟乙烯构成的防静电凸块，所述防静电凸块呈圆柱体结构，其大小与凹槽相对应；
所述晶舟装载保护装置包括定位杠杆、杠杆凹槽、连接杆、连接杆通孔、活动钮、活动钮弹簧以及活动钮凹槽；所述杠杆凹槽、连接杆通孔、活动钮凹槽均位于所述装配载台上，所述活动钮凹槽呈圆柱体凹槽，所述活动凹槽位于所述装配载台上表面，所述活动钮呈圆柱体结构，设置于所述活动钮凹槽内部，所述活动钮底部两侧均连接一个活动钮弹簧，所述两个活动钮弹簧底部连接在活动钮凹槽底部；所述连接杆通孔为圆形通孔，位于所述活动钮凹槽下方，呈竖直设置，所述连接杆为圆柱体结构，顶部连接在所述活动钮下表面中间位置，底部贯穿连接杆通孔伸入杠杆凹槽；所述杠杆凹槽为长方体凹槽，位于所述装配载台下表面，所述连接杆通孔位于所述杠杆凹槽顶部一侧；所述杠杆凹槽内部两侧上对称设有圆柱体形凹槽，所述定位杠杆为一体式结构，包括弧形杆和转动轴，所述转动轴两端设置于所述两个圆柱体凹槽内，所述转动轴连接在所述弧形杆一端边缘位置，所述弧形杆连接转动轴一侧的顶端与连接杆底部固定连接；
所述晶舟装载保护装置数量为两个，所述两个晶舟装载保护装置位于所述两排支撑块的两侧，包括第一晶舟装载保护装置，与第二晶舟装载保护装置，所述第二晶舟装载保护装置的定位杠杆尾部设有卡位凸起，所述卡位凸起呈三角形凸起结构，所述推动机构的滑动块上设有卡位块，所述卡位块设置在所述第二晶舟保护装置的定位杠杆一侧。
上述一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，其中，所述撑脚呈圆柱体结构。
上述一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，其中，所述手柄呈圆柱体结构。
本发明专利使用过程如下：
将装有晶片的晶舟和目标晶舟放置在装配载台上，装有晶片的晶舟靠近推片机构一侧，目标装载晶舟位于另一侧。两个晶舟均放置在晶舟定位装置内部，晶舟底部贴合装配载台，使得晶舟装载保护装置中的活动钮下压，带动连接杆向下运动，定位杠杆顶部与连接杆固定一侧向下运动，另一侧项上运动，使得定位杠杆平放，完全位于定位凹槽内，此时，工作人员握住手柄将滑动块移动，滑动块带动推送杆及推送支架移动，推送支架将晶片从原来的装载晶舟推送至目标晶舟内部，实现晶片转移。
转移完成后，将手柄推回初始位置，并将两个晶舟从装配载台上取出，晶舟装载保护装置活动钮通过弹簧的作用力向上运动，带动连接杆向上运动，定位杠杆顶部与连接杆固定一侧向上运动，另一侧向下运动，使得定位杠杆倾斜，底部伸出定位凹槽内，第一晶舟装载保护装置的定位杠杆底部抵住滑动块，第二晶舟装载保护装置定位杆上的卡位凸起抵住滑动块上的卡位块。
本发明的有益效果为：
采用本发明的晶片转移装置，可以有效减少晶片转移过程中造成的人为接触，人为污染以及掉落破碎等风险。晶片转移时，全程采用绝缘材料与晶片点接触的方式进行转移，完全避免人体与晶片接触，从根源上避免人为污染。采用双重晶舟装载保护装置，做到只有两个晶舟同时在装配载台上的晶舟定位装置内，才能推动滑动块，避免了只有一个晶舟在装配载台上，不小心触碰手柄使得装配支架空推，晶片掉落破碎的情况发生。不易损失晶片，大幅度提高安全性能。
防静电凸块与支撑块均呈圆柱体结构，使用时最下方移动的晶片与支撑块顶部为点接触，防静电凸块在侧面推动晶片时，通过圆柱体结构与晶片侧边呈点接触，采用绝缘材料与晶片点接触的方式进行转移，接触面小，不易发生污染。
本专利设计人性化，操作简单，定位性高，出错率低等特点。还可以对大尺寸蓝宝石衬底、陶瓷衬底等变通使用，通用性强。
附图说明
图1为本发明主视图。
图2为本发明俯视图。
图3为本发明左视图。
图4为本发明仰视图。
图5为本发明晶舟装载保护机构示意图。
图6为本发明第一晶舟装载保护机构非装配状态示意图。
图7为本发明第二晶舟装载保护机构装配状态示意图。
图8为本发明第二晶舟装载保护机构非装配状态示意图。
图9为本发明推片块俯视图。
图10为本发明防静电凸块装配示意图。
图11为本发明杠杆凹槽截面图。
图12为本发明使用状态俯视图。
具体实施方式
本实施例中具体标号如下：
装配载台1、晶舟定位机构11、晶片支撑机构12、左晶舟定位机构111、右晶舟定位机构112、上定位块113、下定位卡块114、支撑块121；
推片机构2、滑杆21、滑动块22、手柄23、推送杆24、推片支架25、滑杆孔221、推片块251、支撑块252、凹槽26、防静电凸块27；
晶舟装载保护机构3、定位杠杆31、弧形杆311、转动轴312、杠杆凹槽32、圆柱体凹槽321、连接杆33、连接杆通孔34、活动钮35、活动钮弹簧36、活动钮凹槽37；
撑脚4、卡位凸起5、卡位块6、晶片7、目标晶舟8、装载晶舟9。
如图所示一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，其中，包括装配载台1、推片机构2及晶舟装载保护机构3，所述装配载台1呈方形板体结构，底部四角均设有撑脚4；所述装配载台1上设有晶舟定位机构11和晶片支撑机构12，所述晶舟定位机构数量为两个，包括左晶舟定位机构111和右晶舟定位机构112，每个晶舟定位机构11包括上定位块113、下定位卡块114，所述上定位卡块与下定位卡块均呈L型结构，所述上、下定位卡块呈轴对称设置；所述左、右晶舟定位机构呈对称设置；所述晶片支撑机构12包括八个支撑块121，所述支撑块呈两排设置，每排呈横向设置4个支撑块，所述支撑块呈圆柱体结构，所述支撑块底部固定在所述装配载台上；
所述推片机构2包括滑杆21、滑动块22、手柄23、推送杆24以及推片支架25，所述滑杆数量为两个，所述滑杆两端连接固定在撑脚上，所述两个滑杆呈平行设置，所述滑动块上设置有两个滑杆孔221，所述滑杆孔呈圆形结构，所述滑动块通过所述两个滑杆贯穿两个滑杆孔实现滑动块在滑杆上滑动连接；所述滑动块一端连接手柄；所述滑动块一侧连接推送杆，所述推送杆一端连接推片支架，所述推片支架25包括推片块251以及支撑块252，所述支撑块呈倒L型结构，所述支撑块底部连接推送杆，顶部一侧连接推片块，所述推片块呈长方体结构，其一侧底部连接支撑块，另一侧竖直设置有两条凹槽26，所述凹槽26截面呈半圆形结构，所述凹槽26内卡接设置了由聚四氟乙烯构成的防静电凸块27，所述防静电凸块呈圆柱体结构，其大小与凹槽相对应；
所述晶舟装载保护装置3包括定位杠杆31、杠杆凹槽32、连接杆33、连接杆通孔34、活动钮35、活动钮弹簧36以及活动钮凹槽37；所述杠杆凹槽、连接杆通孔、活动钮凹槽均位于所述装配载台上，所述活动钮凹槽呈圆柱体凹槽，所述活动凹槽位于所述装配载台上表面，所述活动钮呈圆柱体结构，设置于所述活动钮凹槽内部，所述活动钮底部两侧均连接一个活动钮弹簧，所述两个活动钮弹簧底部连接在活动钮凹槽底部；所述连接杆通孔为圆形通孔，位于所述活动钮凹槽下方，呈竖直设置，所述连接杆为圆柱体结构，顶部连接在所述活动钮下表面中间位置，底部贯穿连接杆通孔伸入杠杆凹槽；所述杠杆凹槽为长方体凹槽，位于所述装配载台下表面，所述连接杆通孔位于所述杠杆凹槽顶部一侧；所述杠杆凹槽内部两侧上对称设有圆柱体凹槽321，所述定位杠杆31为一体式结构，包括弧形杆311和转动轴312，所述转动轴两端设置于所述两个圆柱体凹槽内，所述转动轴连接在所述弧形杆一端边缘位置，所述弧形杆连接转动轴一侧的顶端与连接杆底部固定连接；
所述晶舟装载保护装置数量为两个，所述两个晶舟装载保护装置位于所述两排支撑块的两侧，包括第一晶舟装载保护装置38，与第二晶舟装载保护装置39，所述第二晶舟装载保护装置的定位杠杆311尾部设有卡位凸起5，所述卡位凸起5呈三角形凸起结构，所述推片机构2的滑动块22上设有卡位块6，所述卡位块设置在所述第二晶舟保护装置39的定位杠杆一侧。所述撑脚呈圆柱体结构。所述手柄呈圆柱体结构。
本发明专利使用过程如下：
将装有晶片的晶舟和目标晶舟放置在装配载台上，装有晶片的晶舟靠近推片机构一侧，目标装载晶舟位于另一侧。两个晶舟均放置在晶舟定位装置内部，晶舟底部贴合装配载台，使得晶舟装载保护装置中的活动钮下压，带动连接杆向下运动，定位杠杆顶部与连接杆固定一侧向下运动，另一侧项上运动，使得定位杠杆平放，完全位于定位凹槽内，此时，工作人员握住手柄将滑动块移动，滑动块带动推送杆及推送支架移动，推送支架将晶片从原来的装载晶舟推送至目标晶舟内部，实现晶片转移。
转移完成后，将手柄推回初始位置，并将两个晶舟从装配载台上取出，晶舟装载保护装置活动钮通过弹簧的作用力向上运动，带动连接杆向上运动，定位杠杆顶部与连接杆固定一侧向上运动，另一侧向下运动，使得定位杠杆倾斜，底部伸出定位凹槽内，第一晶舟装载保护装置的定位杠杆底部抵住滑动块，第二晶舟装载保护装置定位杆上的卡位凸起抵住滑动块上的卡位块。
本发明的有益效果为：
采用本发明的晶片转移装置，可以有效减少晶片转移过程中造成的人为接触，人为污染以及掉落破碎等风险。晶片转移时，全程采用绝缘材料与晶片点接触的方式进行转移，完全避免人体与晶片接触，从根源上避免人为污染。采用双重晶舟装载保护装置，做到只有两个晶舟同时在装配载台上的晶舟定位装置内，才能推动滑动块，避免了只有一个晶舟在装配载台上，不小心触碰手柄使得装配支架空推，晶片掉落破碎的情况发生。不易损失晶片，大幅度提高安全性能。
防静电凸块与支撑块均呈圆柱体结构，使用时最下方移动的晶片与支撑块顶部为点接触，防静电凸块在侧面推动晶片时，通过圆柱体结构与晶片侧边呈点接触，采用绝缘材料与晶片点接触的方式进行转移，接触面小，不易发生污染。
本专利设计人性化，操作简单，定位性高，出错率低等特点。还可以对大尺寸蓝宝石衬底、陶瓷衬底等变通使用，通用性强。
这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。
Claims (3)
1.一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，其特征在于，包括装配载台、推片机构及晶舟装载保护机构，所述装配载台呈方形板体结构，底部四角均设有撑脚；所述装配载台上设有晶舟定位机构和晶片支撑机构，所述晶舟定位机构数量为两个，包括左，右晶舟定位机构，每个晶舟定位机构包括上、下定位卡块，所述上定位卡块与下定位卡块均呈L型结构，所述上、下定位卡块呈轴对称设置；所述左、右晶舟定位机构呈对称设置；所述晶片支撑机构包括八个支撑块，所述支撑块呈两排设置，每排呈横向设置4个支撑块，所述支撑块呈圆柱体结构，所述支撑块底部固定在所述装配载台上；
所述推片机构包括滑杆、滑动块、手柄、推送杆以及推片支架，所述滑杆数量为两个，所述滑杆两端连接固定在撑脚上，所述两个滑杆呈平行设置，所述滑动块上设置有两个滑杆孔，所述滑杆孔呈圆形结构，所述滑动块通过所述两个滑杆贯穿两个滑杆孔实现滑动块在滑杆上滑动连接；所述滑动块一端连接手柄；所述滑动块一侧连接推送杆，所述推送杆一端连接推片支架，所述推片支架包括推片块以及支撑块，所述支撑块呈倒L型结构，所述支撑块底部连接推送杆，顶部一侧连接推片块，所述推片块呈长方体结构，其一侧底部连接支撑块，另一侧竖直设置有两条凹槽，所述凹槽截面呈半圆形结构，所述凹槽内卡接设置了由聚四氟乙烯构成的防静电凸块，所述防静电凸块呈圆柱体结构，其大小与凹槽相对应；
所述晶舟装载保护装置包括定位杠杆、杠杆凹槽、连接杆、连接杆通孔、活动钮、活动钮弹簧以及活动钮凹槽；所述杠杆凹槽、连接杆通孔、活动钮凹槽均位于所述装配载台上，所述活动钮凹槽呈圆柱体凹槽，所述活动凹槽位于所述装配载台上表面，所述活动钮呈圆柱体结构，设置于所述活动钮凹槽内部，所述活动钮底部两侧均连接一个活动钮弹簧，所述两个活动钮弹簧底部连接在活动钮凹槽底部；所述连接杆通孔为圆形通孔，位于所述活动钮凹槽下方，呈竖直设置，所述连接杆为圆柱体结构，顶部连接在所述活动钮下表面中间位置，底部贯穿连接杆通孔伸入杠杆凹槽；所述杠杆凹槽为长方体凹槽，位于所述装配载台下表面，所述连接杆通孔位于所述杠杆凹槽顶部一侧；所述杠杆凹槽内部两侧上对称设有圆柱体形凹槽，所述定位杠杆为一体式结构，包括弧形杆和转动轴，所述转动轴两端设置于所述两个圆柱体凹槽内，所述转动轴连接在所述弧形杆一端边缘位置，所述弧形杆连接转动轴一侧的顶端与连接杆底部固定连接；
所述晶舟装载保护装置数量为两个，所述两个晶舟装载保护装置位于所述两排支撑块的两侧，包括第一晶舟装载保护装置，与第二晶舟装载保护装置，所述第二晶舟装载保护装置的定位杠杆尾部设有卡位凸起，所述卡位凸起呈三角形凸起结构，所述推动机构的滑动块上设有卡位块，所述卡位块设置在所述第二晶舟保护装置的定位杠杆一侧。
2.如权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，其特征在于，所述撑脚呈圆柱体结构。
3.如权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石晶舟转移装置，其特征在于，所述手柄呈圆柱体结构。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| GR01 | Patent grant | ||
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