发明内容
解决的技术问题
在以往的平板显示器中存在缺陷的情况下,能够在修复装置的平台(stage)上放置作为修复对象的平板显示器,并能够通过仅向x轴、y轴方向移动上述平板显示器的简单的控制来修复(repair)缺陷。并且,在平板显示器的情况下,当驱动用于消除缺陷的光学系的激光头(head)部时,即使以振动及光束(Beam)的形态为平面基准进行控制,也不会发生问题。
但是,在曲面显示器的情况下,由于其表面具有并非平面的三维的形态特性,因此,当在平台上简单放置曲面显示器时,只有上述曲面显示器面板的中心(center)部朝向与平台的表面相同的方向。因此,此时以不会发生变形的方式使用于消除缺陷的现有的激光技术的情况下,具有激光束只向上述曲面显示器面板的中心(center)部准确地照射,而在除此之外的区域中无法准确地消除缺陷的问题。
为了修理存在于被制成曲面显示器的AMOLED面板的TFT基板端的不良,可以适用选择性地薄膜加工技术。由于是数十nm~数百nm厚度的多层薄膜结构,因此,在未形成准确的加工的情况下,有可能在需要进行加工的加工对象层之外的其他区域发生缺陷(damage)。因此,当进行缺陷加工时,需要防止在除加工对象层之外的其他区域发生缺陷,因此,有必要准确地控制激光束的大小和功率。
激光束为了加工而使用光子能量(Photon energy),一般情况下,通过聚焦(focusing)光束来控制强度(Intensity)。当进行缺陷加工时,只有以直角方式向加工对象的表面入射激光束,才可以进行正常的加工,但在曲面显示器的情况下,由于其基板本身的角度而导致曲面显示器内的每个位置的激光束的强度均有所不同。
随着根据上述曲面显示器的区域,向曲面显示器的表面照射的激光束的强度以不均衡的方式分布的情况下,存在所照射的激光束无法同时满足加工目的的形态、大小及分布的问题。
本发明提供用于解决可在接触曲面显示器的缺陷时发生的上述的问题。
技术方案
为了解决上述的问题,根据本发明的一实施方式来提供的装置包括连杆平台(LinkStage),上述连杆平台沿着曲面显示器的曲率半径驱动。其中,“连杆”意味着用于控制曲面显示器的位置和定位的结构物包括连杆结构。此时,上述连杆平台能够与用于修理上述曲面显示器的缺陷的激光束相连动。
根据本发明的一实施方式来提供的平台包括驱动部,当为了修复(repair)曲面显示器的缺陷而向上述曲面显示器的第一地点照射激光束时,上述驱动部控制上述检测平台的姿势,使得上述激光束向上述第一地点垂直入射。
此时,上述驱动部可以包括:第一连杆11;第四连杆14,能够安装上述曲面显示器;第一运行连接部41,上述第一运行连接部41的一端部借助第三旋转接头23来与上述第四连杆14的第一地点相结合,上述第一运行连接部41的另一端部借助第一旋转接头21来与上述第一连杆相结合;以及第二运行连接部42,上述第二运行连接部42的一端部借助第四旋转接头24来与上述第四连杆的第二地点相结合,上述第二运行连接部42的另一端部与上述第一连杆相结合。
此时,上述第二运行连接部的另一端部能够与上述第一连杆固定结合。
此时,能够通过控制上述第一运行连接部的第一总长度和上述第二运行连接部的第二总长度来改变上述平台的姿势。
此时,上述第一运行连接部可以包括第二连杆12及第三连杆13,上述第二连杆12及第三连杆13以能够相互进行活塞运动的方式相结合,上述第二连杆能够与上述第一旋转接头相连接,上述第三连杆能够与上述第三旋转接头相连接。
此时,能够在上述第二连杆或上述第三连杆设置有第二线性致动器,借助上述第二线性致动器,上述第三连杆能够相对于上述第二连杆进行活塞运动。
此时,上述第二运行连接部能够包括第五连杆15,上述第五连杆15以能够与上述第一连杆的一部分111相互进行活塞运动的方式相结合,上述第二运行连接部的上述一端部与上述第四旋转接头部相连接。
此时,能够在上述第一连杆的上述一部分或上述第五连杆设置有第一线性致动器,借助上述第一线性致动器,上述第五连杆能够相对于上述第一连杆的一部分进行活塞运动。
或者,上述驱动部可以包括:安装部103,能够架置曲面显示器;以及旋转部,相对于上述曲面显示器,以对于提供的激光束的光轴的垂直方向(y轴)为旋转轴使上述安装部旋转。
发明效果
根据本发明,能够提供与曲面显示器的缺陷位置无关地准确修理上述缺陷的修复装置。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施例进行详细的说明,以使本发明所属技术领域的普通技术人员能够容易地实施。但本发明能够以多种不同的形态体现,本发明并不局限于在此所述的实施例。以下所使用的术语仅用于提及特定的实施例,并不用于限制本发明。并且,以下所使用的单独形态的语句除非表示明确不同的含义,就包括复数形态。
图1的(a)、图1的(b)、图1的(c)为用于说明可以在为了消除曲面显示器的缺陷而向曲面显示器照射激光束的情况下出现的问题的图。
在图1的(a)中成为,检测对象的曲面显示器2固定于检测平台50上。以假设检测平台50的架置面存在于x-y平面上的方式进行说明。用于照射激光束的激光光学系3设置于检测平台50上,使得激光束5、5’朝向检测平台50面向垂直方向进行照射。即,激光束5、5’始终沿着z轴方向进行照射。
在曲面显示器2上的第一位置51存在第一缺陷的情况下,能够向上述第一缺陷照射激光束5,从而能够消除上述第一缺陷的影响。如果在曲面显示器2的第二位置51’存在第二缺陷的情况下,能够向上述第二缺陷照射激光束5’,从而能够消除上述第二缺陷的影响。
在图1的(a)的例中,以使激光束5、5’始终向检测平台50的表面垂直地进行照射的方式设置有激光光学系3。因此,为了从第一位置51向第二位置51’移动激光束的照射位置,激光光学系3应沿着水平方向,即,x,y平面从位置31向位置31'移动,或者使检测平台50本身与曲面显示器2一同向水平方向移动,或者使曲面显示器2在检测平台50上向水平方向移动。
图1的(b)及图1的(c)分别表示与向曲面显示器2的第一位置51及第二位置51’的表面照射的光束强度的分布有关的轮廓(profile)。在图1的(b)及图1的(c)中,横轴及纵轴分别表示x轴和y轴。
在图1的(b)中,虽然被测定为激光束5的强度向x轴和y轴方向依循高斯分布,但在图1的(c)中,则示出激光束5’的强度并不均衡。发生如图1的(c)之类的激光束强度的空间不均衡性是因为对于在第二位置51’中的曲面显示器2表面的第二切线91’和激光束5’的角度θ’未形成90˚而发生的。相比于此,由于对于第一位置51中的曲面显示器2表面的第一切线91和激光束5的角度θ’形成90˚,因而才可以维持如图1的(b)所示的激光束强度的x轴、y轴的对称性。
<第一实施例>
以下,对本发明的第一实施例的连杆型平台1进行说明。
图2为用于说明本发明的第一实施例的连杆型平台1的图。
图2所示的连杆型平台1为具有两个运行连接部41、42的2轴连杆型(link type)平台。能够适用上述连杆型平台1来在曲面显示器上的任何位置都能够以垂直方式恒定维持激光光学系的光轴和曲面显示器上的激光照射地点的表面之间的角度。因此,能够在曲面显示器上的任何位置都可以恒定维持激光束的轮廓(Profile)。图2所示的连杆型平台1尤其可以为了具有圆筒形曲面的曲面显示器而使用。
连杆型平台1大致可以包括五个连接部11~15和五个接头部21~25。五个连接部11~15可以包括第一连杆11、第二连杆12、第三连杆13、第四连杆14及第一连杆15,五个接头部21~25可以包括第一接头21、第二接头22、第三接头23、第四接头24及第一接头25。
第一连杆11可以为底座(base),并且,第四连杆14为能够形成或附着有夹具单元(Jig Unit)69的安装部,能够在上述夹具单元69安装曲面显示器。
第一接头21形成于第一连杆11和第二连杆12之间,第二接头22形成于第二连杆12和第三连杆13之间,第三接头23形成于第三连杆13和第四连杆14之间,第四接头24形成于第四连杆14和第五连杆15之间,而且,第五接头25形成于第五连杆15和第一连杆11之间。
第一接头21、第三接头23及第四接头24可以为旋转接头,第二接头22及第五接头25可以为滑动接头。
能够在第一连杆11、111和/或第五连杆15设置有第一线性致动器。第五连杆15能够与上述第一线性致动器的第一运行部相连接,并能够相对于第一连杆11、111进行滑动运动或活塞运动。
能够在第二连杆12和/或第三连杆13设置有第二线性致动器。第三连杆13能够与上述第二线性致动器的第二运行部相连接,并能够相对于第二连杆12进行滑动运动或活塞运动。
此时,能够将由第二连杆12和第三连杆13形成的轴定义为第一轴41或第一运行连接部41,能够将由第五连杆15(及第一连杆11、111)形成的轴定义为第二轴42或第二运行连接部42。
图2所示的2轴连杆型平台能够由第一轴41和第二轴42相互向反方向移动,并在夹具单元形成倾斜面。即,能够一边控制第一轴41的总长度变长,一边控制第二轴42的总长度缩短,从而形成第一方向的倾斜面,或者能够一边控制第一轴41的总长度缩短,一边控制第二轴42的总长度变长,从而形成作为第一方向的反方向的第二方向的倾斜面。
结果,能够控制用于表示曲面显示器2的弯曲程度的R值的角度,从而能够使加工面的表面始终相对于激光光学系形成垂直。
能够以如以下[数学式]一样的方式计算图2的连杆型平台的自由度(DOF,DegreeOf Freedom)。
[数学式]
DOF=(#Link-1)*3-#Joint*2=(5-1)*3-5*2=12-10=2
因此,上述的2轴连杆型平台为能够通过两个致动器来进行2轴控制的系统。即,图2所示的2轴连杆型平台1能够仅控制上述第一线性致动器和第二线性致动器来制作出所有可能的姿势。若控制上述第一线性致动器和第二激光致动器来分别调节第一轴41和第二轴42的长度,则第一接头21、第三接头23及第四接头24能够以此来自由地进行旋转。
如上所述,上述的2轴连杆型平台体现并列结构,从而不会累积在各轴中发生的位置误差,因而具有控制精密度非常高的优点。
在图2的结构中,相对于第一连杆11的第一轴41的倾斜度能够根据连杆型平台1的定位来发生变化,但相对于第一连杆11的第二轴42的倾斜度有可能不会根据连杆型平台1的定位来发生变化。
图3a及图3b表示通过图2所述的连杆型平台来提供的两种定位的例。
图3a表示需要通过激光光学系3来修复的地点存在于作为曲面显示器2的中央部的第一位置51的情况下的连杆型平台1的第一位置。
在上述第一定位中,例如,第一轴41和第二轴42的总长度可以相同。而且,起到安装有曲面显示器的安装部作用的第四连杆14的表面能够与从光学系3照射的激光束的光轴形成垂直。在这一实施过程中,需要被修复的第一位置51中的相对于曲面显示器2表面的切线91能够与上述激光束的光轴正交,因此,如图1的(b),激光束强度的轮廓能够以优选的形态提供于曲面显示器2的表面。
图3b表示需要通过光学系3来修复的地点存在于作为曲面显示器2的右侧部分的第二位置51’的情况下的连杆型平台1的第二定位。
此时,在上述第二定位中,可以控制第一轴41的总长度大于第二轴42的总长度。为此,借助上述第二线性致动器,第三连杆13能够向第二连杆12的外侧滑动来脱离。而且,或者可以通过上述第一线性致动器使第五连杆15向第一连杆11、111的内侧滑动来进入。如上所述,若控制第一线性致动器和第二线性致动器,则第一接头21、第三接头23及第四接头24的旋转状态自然发生变化。
随着连杆型平台1从上述第一定位向上述第二定位发生变化,光学系3的位置被控制为向右侧移动。此时,光学系3能够以并进的方式移动,此时,从光学系3照射的激光束的光轴方向可以不发生变化。如上所述,光学系3的位置能够与连杆型平台1的定位相连动来发生变化。
在上述第二定位中,起到安装部作用的第四连杆14的表面不会与从激光光学系3照射的激光束的光轴形成垂直。但是,由于需要修复的第二位置51’中的曲面显示器2的表面的切线91'能够与上述激光束的光轴正交,因此,如图1的(b)所示,激光束强度的轮廓能够以优选的形态提供于曲面显示器2的表面。
在图3a及图3b中,能够在连杆型平台1的下部形成或设置有隔离器71,上述隔离器71用于除去外部的振动。例如,隔离器71可以为振动过滤器。
能够在激光光学系3结合有第一驱动装置(未图示),上述第一驱动装置(未图示)用于使激光光学系3向水平方向并进移动。而且,或者能够在连杆型平台1结合有第二驱动装置(未图示),上述第二驱动装置(未图示)用于使连杆型平台1向水平方向并进移动,或者能够在第四连杆14和曲面显示器2之间结合有第三驱动装置(未图示),上述第三驱动装置(未图示)用于使曲面显示器2相对于第四连杆14的表面进行移动。此时,在上述第一驱动装置、第二驱动装置和/或第三驱动装置中,控制装置85有可能以无线/或有线方式下达移动指令。控制装置85能够控制上述第一驱动装置、第二驱动装置和/或第三驱动装置,从而根据曲面显示器2上的缺陷位置来(1)控制上述平台的姿势,用于变更相对于上述曲面显示器的水平面的倾斜度,(2)并以变更相对于上述平台的上述激光光学系的位置的方式进行控制。
<第二实施例>
图4表示本发明第二实施例的修复装置的结构。
图4所示的修复装置可以包括检测平台101和激光光学系3。此时,检测平台101基本上能够向x轴及y轴方向进行移动。
此时,在曲面显示器2中,需要进行修复的第一位置51位于曲面显示器2的中央部,激光光学系3位于曲面显示器2的中央部的正上方的情况下,激光光学系3相对于缺陷部的表面向垂直方向照射激光束5,从而能够消除第一位置51的缺陷影响。
但是,在曲面显示器2中,需要进行修复的第二位置51’脱离曲面显示器2的上述中央部的情况下,使激光光学系3的光轴旋转规定角度(θ2˚-90˚),并照射激光束5’。此时,如果激光光学系3的旋转轴从曲面显示器2隔开与曲面显示器2的曲率半径相对应的距离的情况下,只要使激光光学系3旋转即可。但是,如果不这样,不仅需要使激光光学系3旋转,而且还要使检测平台101沿着z轴方向移动,才可以使激光束以垂直方式向修复位置入射。
因此,在第二实施例中,应根据曲面显示器2的结合位置来控制检测平台101向x轴、y轴、z轴方向并进移动,并控制激光光学系3进行旋转。
此时,由于激光光学系3对振动和歪曲敏感,因此,需要准确地实现激光光学系3的旋转控制。
<第三实施例>
图5a及图5b为用于说明本发明第三实施例的检测平台103的图。
检测平台103可以包括旋转部57,上述旋转部57使检测平台103以y轴为中心进行旋转。
图5a及图5b所示的修复装置可以包括检测平台103和激光光学系3。此时,检测平台103基本上能够向x及y轴方向进行并进移动,并能够以y轴为中心进行旋转。
此时,在曲面显示器2中需要进行修复的第一位置51位于曲面显示器2的中央部,激光光学系3位于曲面显示器2的中央部的正上方的情况下,激光光学系3使激光束5相对于缺陷部的表面向垂直方向进行照射,从而能够消除第一位置51的缺陷的影响。
但是,在曲面显示器2中需要进行修复的第二位置51’脱离曲面显示器2的上述中央部的情况下,检测平台103旋转所需的角度θ3˚,并在沿着x轴、y轴并进移动所需距离后,利用激光束来消除由缺陷部位引起的影响。
图6为表示在图2所示的连杆型平台安装曲面显示器的状态的使用状态立体图。图2至图5所示的多个结构为仅为抽选图6所示的立体图中的一部分来表示的。
利用上述的本发明的实施例,本发明所属技术领域的普通技术人员,能在不脱离本发明的本质特性的范围内容易地实施多种变更及修改。权利要求书中的各权利要求项的内容能够在通过本说明书来理解的范围内与没有引用关系的其他权利要求项相结合。
附图标记的说明
1:连杆型平台 2:曲面显示器
3:激光光学系 5、5':激光束
11~15:第一连杆~第五连杆
21~25:第一接头~第五接头
41:第一轴、第一运行连接部 42:第二轴、第二运行连接部
51:第一位置 51':第二位置
57:旋转部
69:夹具单元 71:隔离器
85:控制装置
91:第一切线 91':第二切线
101:检测平台 103:检测平台