CN105887019A - 一种车灯镀膜设备及其镀膜方法 - Google Patents

一种车灯镀膜设备及其镀膜方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105887019A
CN105887019A CN201610294370.XA CN201610294370A CN105887019A CN 105887019 A CN105887019 A CN 105887019A CN 201610294370 A CN201610294370 A CN 201610294370A CN 105887019 A CN105887019 A CN 105887019A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum
film coating
film
vehicle lamp
ionization
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610294370.XA
Other languages
English (en)
Inventor
潘振强
朱宇彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangdong Zhen Hua Technology Co Ltd
Original Assignee
Guangdong Zhen Hua Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guangdong Zhen Hua Technology Co Ltd filed Critical Guangdong Zhen Hua Technology Co Ltd
Priority to CN201610294370.XA priority Critical patent/CN105887019A/zh
Publication of CN105887019A publication Critical patent/CN105887019A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
  • Securing Globes, Refractors, Reflectors Or The Like (AREA)

Abstract

本发明属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种车灯镀膜设备及其镀膜方法，所述镀膜设备包括真空镀膜室、与真空镀膜室连通的抽气管道和反应气充气系统，与真空镀膜室连接的用于检测室内真空度的电离真空规管和电阻真空规管，以及作为反应气体的离化电源，所述抽气管道上设有流量调节装置。该镀膜设备能使保护膜沉积速度快、膜层较厚且均匀，确保保护性能稳定，以满足高品质需求的车灯镀膜的需要，此外，本发明所述的镀膜方法易于实现，镀膜速度快，膜层均匀度高，镀膜效果好。

Description

一种车灯镀膜设备及其镀膜方法
技术领域
本发明属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种车灯镀膜设备及其镀膜方法。
背景技术
汽车灯具(主要是指汽车灯具中的关键部件，如反射镜、装饰框)，其多以BMC、PC、ABS或PBT等主要材料制成，其不仅是汽车的安全部件，也是非常重要的外观件，随着汽车工业的飞速发展，对汽车照明也提出了越来越高的要求，汽车灯具配件的质量直接影响到其车灯的照明功能和外观效果。
为提高汽车车灯的照明效果以及增强外观效果，通常是采用真空镀铝的工艺，该真空镀铝是通过专用的真空镀膜系统，在高温条件下将铝材蒸发使其成为分子状态后，吸附/覆盖在汽车灯具的反射镜、装饰框等表面以形成一层铝膜层，从而使得部件表面具有耐磨损、耐腐蚀、抗氧化和装饰等性能和效果。但该种真空蒸发镀铝的方式由于其生产过程中不节能、效率低以及损耗高等因素，越来越不能满足生产的需要，因此，在现有技术中，汽车车灯的镀膜技术逐渐被带保护膜的真空蒸发反光膜所替代。
目前镀车灯保护膜主要的方式为真空蒸发镀膜系统+硅油蒸汽充气系统+RF或直流高压离化镀保护膜系统，该设备配置工艺稳定成熟，但仍存在不少不足之处，比如测量高真空用的电离真空规管管容易因为灯丝被镀上保护膜导致失效，损耗比较快，而且硅油蒸汽消耗量大，部分会被真空泵直接排走，硅油损耗大利用率低；此外保护膜沉积速率仍然较慢，膜层厚度不够，且厚度不够均匀，性能不够稳定等，无法满足车灯镀膜高品质的要求。
因此，研发一种保护膜沉积速度快、膜层较厚且均匀、性能稳定、满足高品质需求的车灯镀膜设备迫在眉睫。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，公开一种车灯镀膜设备，该镀膜设备能使保护膜沉积速度快、膜层较厚且均匀，确保保护性能稳定，以满足高品质需求的车灯镀膜的需要。
为了克服上述技术目的，本发明是按以下技术方案实现的：
本发明所述的一种车灯镀膜设备，包括真空镀膜室、与真空镀膜室连通的抽气管道和反应气充气系统，与真空镀膜室连接的用于检测室内真空度的电离真空规管和电阻真空规管，以及作为反应气体的离化电源，所述抽气管道上设有流量调节装置。
作为上述技术的进一步改进，所述反应充气系统接入真空镀膜室的入口处设有第一截止阀门。
作为上述技术的进一步改进，所述电离真空规管的测量入口处设有第二截止阀门。
在本发明中，所述离化电源为中频电源，其额定功率值为10KW，额定频率值为40KHZ，额定电压值为5000V。
在本发明中，所述真空镀膜室内腔的两侧位置处各安装有一离化发生器。
在本发明中，所述抽气管道上向着流量调节装置的前端还依次设置有粗抽泵、增压泵和挡板阀。
在本发明中，所述流量调节装置为节流阀，所述节流阀的节流范围可调节，其最大可减少流导面积90％。
在本发明中，所述真空镀膜室内腔内安装有基片转架。
在本发明中，所述反应气充气系统包括硅油罐以及流量控制器MFC。
本发明还公开了上述车灯镀膜设备的镀膜方法，其具体步骤如下：
(1)抽真空至10帕左右，启动流量调节装置，对真空镀膜室内的待镀车灯工件进行离化轰击清洗；
(2)关闭流量调节装置，继续抽真空至0.05帕以下压力，镀反射铝膜，此步骤需使用高真空阀门+扩散泵的配置抽气管道；
(3)打开流量调节装置，反应气充入后，开始进行镀保护膜，此时，关闭电离真空规管的测量入口处的第二截止阀门，通过电阻真空规管来测量真空镀膜室内的真空度；
(4)保护膜镀膜完成后，立即关闭反应充气系统接入真空镀膜室的入口处设有第一截止阀门和流量调节装置。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)本发明中，由于在抽气管道上设有流量调节装置，在进行表面离化轰击清洗以及充反应气镀保护膜的时候，关闭流量调节装置，大大减少抽气速度，可以很方便地稳定气压，并使真空室内压力梯度变化比无流量调节装置的设备减少50％以上；其一方面方便气体充分反应，并且膜层沉积速率均匀；同时可大大减少充入的反应气体用量，节约成本。
(2)在本发明中，由于在电离真空规管管入口处设有截止阀，在进行镀保护膜时，关闭电离真空规管入口的截止阀，改用电阻真空规管时行测量，防止保护膜沉积到电离真空规管的灯丝上造成规管损坏；另外，在镀完保护膜后立即关闭充反应气与真空室的管道阀门，这是由于充反应气的输入管道比较长、细，内部往往存在积油，在保护膜镀完后仍然会持续产生硅油蒸汽，这个时候电离真空规管启动，灯丝也会产生电离造成保护膜沉积到灯丝上，也会造成规管损坏，通过上述两个阀门的设置与适时开合，可以防止电离真空规管管受到污染，大大节约规管损耗成本。
(3)采用大功率高电压中频电源配合真空室两侧配置离化发生器，可以在两个发生器间形成往复振荡的电场，形成大范围的等离子离化区，大大提高离化效率，提高保护膜的沉积速率。
(4)本发明能使车灯镀膜的保护膜沉积速度快、膜层较厚且均匀，确保保护性能稳定，以满足高品质需求的车灯镀膜的需要。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本发明做详细的说明：
图1是本发明所述的车灯镀膜设备结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本发明所述的一种车灯镀膜设备，包括真空镀膜室1、与真空镀膜室1连通的抽气管道2和反应气充气系统3，与真空镀膜室1连接的用于检测室内真空度的电离真空规管4和电阻真空规管5，以及作为反应气体的离化电源6，所述抽气管道2上设有流量调节装置7，所述流量调节装置7为节流阀，所述节流阀的节流范围可调节，其最大可减少流导面积90％。
在本发明中，所述反应气充气系统3包括硅油罐31以及流量控制器(MFC)32此外，所述反应气充气系统3接入真空镀膜室1的入口处设有第一截止阀门8；所述电离真空规管4的测量入口处设有第二截止阀门9。
所述离化电源6为中频电源，其额定功率值为10KW，额定频率值为40KHZ，额定电压值为5000V。
在本发明中，所述真空镀膜室1内腔的两侧位置处各安装有一离化发生器11，所述真空镀膜室1内腔内安装有基片转架12。
在本发明中，所述抽气管道2上向着流量调节装置7的前端还依次设置有粗抽泵10、增压泵20和挡板阀30。
本发明还公开了上述车灯镀膜设备的镀膜方法，其具体步骤如下：
(1)抽真空至10帕左右，启动流量调节装置7，对真空镀膜室1内的待镀车灯工件进行离化轰击清洗；
(2)关闭流量调节装置7，继续抽真空至0.05帕以下压力，镀反射铝膜，此步骤需使用高真空阀门+扩散泵的配置抽气管道；
(3)打开流量调节装置7，反应气充入后，开始进行镀保护膜，此时，关闭电离真空规管4的测量入口处的第二截止阀门9，通过电阻真空规管5来测量真空镀膜室1内的真空度；
(4)保护膜镀膜完成后，立即关闭反应充气系统3接入真空镀膜室1的入口处设有第一截止阀门8和流量调节装置7。
本发明能使车灯镀膜的保护膜沉积速度快、膜层较厚且均匀，确保保护性能稳定，以满足高品质需求的车灯镀膜的需要；本发明所述的车灯镀膜方法简单，易于实现。
本发明并不局限于上述实施方式，凡是对本发明的各种改动或变型不脱离本发明的精神和范围，倘若这些改动和变型属于本发明的权利要求和等同技术范围之内，则本发明也意味着包含这些改动和变型。

Claims (10)

1.一种车灯镀膜设备，包括真空镀膜室、与真空镀膜室连通的抽气管道和反应气充气系统，与真空镀膜室连接的用于检测室内真空度的电离真空规管和电阻真空规管，以及作为反应气体的离化电源，其特征在于：所述抽气管道上设有流量调节装置。
2.根据权利要求1所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述反应充气系统接入真空镀膜室的入口处设有第一截止阀门。
3.根据权利要求1所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述电离真空规管的测量入口处设有第二截止阀门。
4.根据权利要求1至3所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述离化电源为中频电源，其额定功率值为10KW，额定频率值为40KHZ，额定电压值为5000V。
5.根据权利要求4所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜室内腔的两侧位置处各安装有一离化发生器。
6.根据权利要求5所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述抽气管道上向着流量调节装置的前端还依次设置有粗抽泵、增压泵和挡板阀。
7.根据权利要求1所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述流量调节装置为节流阀，所述节流阀的节流范围可调节，其最大可减少流导面积90％。
8.根据权利要求1所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述真空镀膜室内腔内安装有基片转架。
9.根据权利要求1所述的车灯镀膜设备，其特征在于：所述反应气充气系统包括硅油罐以及流量控制器MFC。
10.一种根据权利要求1所述的车灯镀膜设备的镀膜方法，其具体步骤如下：
(1)抽真空至10帕左右，启动流量调节装置，对真空镀膜室内的待镀车灯工件进行离化轰击清洗；
(2)关闭流量调节装置，继续抽真空至0.05帕以下压力，镀反射铝膜；
(3)打开流量调节装置，反应气充入后，开始进行镀保护膜，此时，关闭电离真空规管的测量入口处的第二截止阀门，通过电阻真空规管来测量真空镀膜室内的真空度；
(4)保护膜镀膜完成后，立即关闭反应充气系统接入真空镀膜室的入口处设有第一截止阀门和流量调节装置。
CN201610294370.XA 2016-05-05 2016-05-05 一种车灯镀膜设备及其镀膜方法 Pending CN105887019A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610294370.XA CN105887019A (zh) 2016-05-05 2016-05-05 一种车灯镀膜设备及其镀膜方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610294370.XA CN105887019A (zh) 2016-05-05 2016-05-05 一种车灯镀膜设备及其镀膜方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105887019A true CN105887019A (zh) 2016-08-24

Family

ID=56703277

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610294370.XA Pending CN105887019A (zh) 2016-05-05 2016-05-05 一种车灯镀膜设备及其镀膜方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105887019A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107326327A (zh) * 2017-07-02 2017-11-07 上海小糸车灯有限公司 车灯外饰镀铝工件的制造方法
CN110629164A (zh) * 2019-10-11 2019-12-31 张学迪 一种汽车大灯反光板镀膜装置
CN114059035A (zh) * 2021-07-08 2022-02-18 徐州联超光电科技有限公司 一种光学玻璃的表面防护真空镀膜系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102829004A (zh) * 2012-09-05 2012-12-19 常州大成绿色镀膜科技有限公司 一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法
CN104233199A (zh) * 2014-08-28 2014-12-24 马瑞利汽车零部件(芜湖)有限公司 一种汽车车灯镀铝工艺
CN204138751U (zh) * 2014-10-23 2015-02-04 肇庆市科润真空设备有限公司 车灯玻璃用的硅油镀膜装置
CN104552965A (zh) * 2013-10-18 2015-04-29 丹阳市中远车灯有限公司 一种车灯灯罩制备工艺
CN104746018A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 腔室压力读取方法及设备
CN105088139A (zh) * 2014-01-30 2015-11-25 奥昱新材料技术（嘉兴）有限公司 闪蒸沉积装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102829004A (zh) * 2012-09-05 2012-12-19 常州大成绿色镀膜科技有限公司 一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法
CN104552965A (zh) * 2013-10-18 2015-04-29 丹阳市中远车灯有限公司 一种车灯灯罩制备工艺
CN104746018A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 腔室压力读取方法及设备
CN105088139A (zh) * 2014-01-30 2015-11-25 奥昱新材料技术（嘉兴）有限公司 闪蒸沉积装置
CN104233199A (zh) * 2014-08-28 2014-12-24 马瑞利汽车零部件(芜湖)有限公司 一种汽车车灯镀铝工艺
CN204138751U (zh) * 2014-10-23 2015-02-04 肇庆市科润真空设备有限公司 车灯玻璃用的硅油镀膜装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘振春等: "《食品工程原理》", 31 August 2000, 吉林科学技术出版社 *
田民波: "《薄膜技术与薄膜材料》", 31 August 2006, 清华大学出版社 *
马爱军: "《载人航天环境模拟舱（上册）》", 31 October 2014, 国防工业出版社 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107326327A (zh) * 2017-07-02 2017-11-07 上海小糸车灯有限公司 车灯外饰镀铝工件的制造方法
CN110629164A (zh) * 2019-10-11 2019-12-31 张学迪 一种汽车大灯反光板镀膜装置
CN110629164B (zh) * 2019-10-11 2021-11-05 泗阳盛大车用灯具有限公司 一种汽车大灯反光板镀膜装置
CN114059035A (zh) * 2021-07-08 2022-02-18 徐州联超光电科技有限公司 一种光学玻璃的表面防护真空镀膜系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105887019A (zh) 一种车灯镀膜设备及其镀膜方法
CN107400878A (zh) 一种原子层沉积设备的进气系统及其方法
CN102420272A (zh) 一种太阳能电池钝化层分层镀膜方法和装置
Sperlich et al. High productive Solar Cell Passivation on Roth&Rau MAiA® MW-PECVD inline machine–a comparison of Al2O3, SiO2 and SiNx-H process conditions and performance
CN108265269A (zh) 提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法
CN102560402A (zh) 车灯反光杯镀膜的方法
CN108004519A (zh) 药品自动包装用高阻隔vmcpp薄膜制备方法及药品自动包装用高阻隔vmcpp薄膜
CN101788127B (zh) 车灯镀膜组合工艺
CN208532925U (zh) 一种双面物理气相沉积镀膜设备
CN209456566U (zh) 一种真空镀膜机的抽真空系统
CN201158699Y (zh) 卷绕镀膜机
CN205556765U (zh) 一种真空离子蒸发镀膜装置
CN109764264B (zh) 一种深海照明led光源装置及制备方法
CN103847170B (zh) 一种多功能层低辐射节能玻璃及其制备方法
CN109972107A (zh) 一种耐高温红外低发射率材料的制备方法及其应用
CN104233199A (zh) 一种汽车车灯镀铝工艺
CN208632384U (zh) 车用纳米隔热玻璃镀膜进架室抽真空机构
CN113774354A (zh) 一种新型气体隔离装置及磁控溅射连续镀膜线及工作方法
CN106321435A (zh) 降低干泵功耗的系统及方法
CN100529167C (zh) 节能高效太阳能集热管镀膜机反应溅射拐点电压控制方法
CN220564713U (zh) 一种改善镀膜均匀性的进气装置
CN104818466A (zh) 钼铝钼金属膜的制备方法
CN110904429A (zh) 镀膜装置的镀膜系统
CN208604023U (zh) 车用纳米隔热玻璃镀膜的预抽真空装置
CN109183003A (zh) 压力控制方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20160824

RJ01 Rejection of invention patent application after publication