CN104746018A - 腔室压力读取方法及设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种腔室压力读取方法及设备，其中方法包括：设置真空规保护阀，并使真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和腔室之间不导通；通过安装在腔室上的皮拉尼规检测腔室中的压力，当检测到腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，开启真空规保护阀，实时读取真空规的压力值并进行显示。本发明提供的腔室压力读取方法及设备，在准确读取腔室压力的基础上，充分发挥了皮拉尼规的作用，延长了真空规的使用寿命，降低了生产成本。

Description

腔室压力读取方法及设备

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别是涉及一种腔室压力读取方法及设备。

背景技术

物理气相沉积（PVD）技术是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发，并使蒸发物质与气体均发生电离，利用电厂的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。此技术广泛应用于IC、LED、光伏、平板显示等领域。

图1中描述了一种PVD设备的基本结构，在设备执行工艺时，其流程如下：大气机械手（ATR）从料盒（LP）中取出硅片（wafer），放到传输腔室（loadlock）中；真空机械手（VTR）将硅片从传输腔室中取出，放入到去气腔室（Degas腔室）；硅片放到去气腔室后，在真空条件下执行去气工艺；真空机械手将完成去气工艺的硅片传入到工艺腔室（PM）中；工艺腔室在真空条件下执行镀膜工艺；工艺腔室完成工艺后，机械手将硅片取出传回到料盒中，工艺流程结束。

在上述工艺过程中，去气腔室的去气工艺、工艺腔室的镀膜工艺均要求在真空条件下完成，能否实时反应以及控制当前腔室的压力，将直接影响工艺的结果。

传统的气相沉积设备，在去气腔室充气与抽真空过程中，通过皮拉尼规（CG）和离子规（IG）检测当前的去气腔室的压力。具体检测方法为，对皮拉尼规设定一大气信号Atm和一个真空信号Vac。在去气腔室门阀打开时，通过皮拉尼规对以上两个信号的检测，判断当前的去气腔室与传输腔室是否处于同一压力范围。如果两者在同一压力范围内，则允许去气腔室门阀打开，否则不允许门阀开启。而通过离子规对去气腔室内部压力的变化进行全程监测，即从大气到真空状态一直通过离子规读取当前的压力值，并进行显示。与去气腔室相比，工艺腔室在安装有皮拉尼规和离子规的基础上，还设有工艺规（PG），并且皮拉尼规与离子规的用途分别与在去气腔室中的用途一样。在工艺过程中，通过工艺规的读数来检测工艺时的压力状态，其目的是为了获取更加精确的压力值。

皮拉尼规的真空测量范围到0.001Torr，适用于粗真空和前级压力测量，而在上述传统的读取腔室压力的方法中，皮拉尼规的作用只限于提供两个判断当前压力状态的信号，显然未充分发挥皮拉尼规的作用。其次，离子规是利用气体离化的原理来决定粒子浓度，从而判断当前的压力。由于随着粒子密度（气压）的上升，离化性会下降，在常压下使用离子规容易造成电极氧化击穿。所以离子规适用于0.01torr以下的压力环境。所以，传统技术中使用离子规全程测试腔室压力，很容易造成离子规的损害。同理，工艺规同样需在真空下使用，如果长期暴露在高气压下，极容易损坏。

发明内容

基于上述问题，本发明提供了一种腔室压力读取方法及设备，能够在准确读取当前腔室压力值的同时，延长设备的使用寿命。

为实现本发明目的而提供的一种腔室压力读取方法，包括如下步骤：

设置真空规保护阀，并使所述真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和所述腔室之间不导通；

通过安装在所述腔室上的皮拉尼规检测所述腔室中的压力，当检测到所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示。

其中，所述真空规包括第一离子规、第二离子规以及工艺规，所述腔室包括去气腔室和工艺腔室;

所述设置真空规保护阀，并使所述真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和所述腔室之间不导通，包括如下步骤：

在所述去气腔室与所述第一离子规之间设置第一离子规前阀，使所述第一离子规前阀处于关闭状态时，所述第一离子规与所述去气腔室之间不导通；

在所述工艺腔室与所述第二离子规之间设置第二离子规前阀，使所述第二离子规前阀处于关闭状态时，所述第二离子规与所述工艺腔室之间不导通；

在所述工艺腔室与所述工艺规之间设置工艺规前阀，使所述工艺规前阀处于关闭状态时，所述工艺规与所述工艺腔室之间不导通。

其中，所述皮拉尼规包括第一皮拉尼规;

所述通过安装在所述腔室上的皮拉尼规检测所述腔室中的压力，当所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示，包括以下步骤：

通过安装在所述去气腔室上的第一皮拉尼规检测所述去气腔室中的压力；

在所述去气腔室中的压力处于适合所述第一离子规工作的压力范围时，开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示。

进一步地，所述皮拉尼规还包括第二皮拉尼规；

所述通过安装在所述腔室上的皮拉尼规检测所述腔室中的压力，当所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示，还包括以下步骤：

通过安装在所述工艺腔室上的第二皮拉尼规检测所述工艺腔室中的压力；

在所述工艺腔室中的压力处于适合所述第二离子规工作的压力范围时，开启所述第二离子规前阀，并通过所述第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力；

在所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力处于适合所述工艺规工作的压力范围时，开启所述工艺规前阀，实时读取所述工艺规的压力值并进行显示。

其中，在所述去气腔室中的压力处于适合所述第一离子规工作的压力范围时，开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示，包括以下步骤：

设置所述第一离子规前阀的开启值；

判断所述去气腔室中的压力值是否小于或等于所述第一离子规前阀的开启值；

若判断为是，则开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示。

其中，在所述工艺腔室中的压力处于适合所述第二离子规工作的压力范围时，开启所述第二离子规前阀，并通过所述第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力，包括以下步骤：

设置所述第二离子规前阀的开启值；

判断所述工艺腔室中的压力值是否小于或等于所述第二离子规前阀的开启值；

若判断为是，则开启所述第二离子规前阀，进一步检测所述当前工艺腔室中的压力。

其中，在所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力处于适合所述工艺规工作的压力范围时，开启所述工艺规前阀，实时读取所述工艺规的压力值并进行显示，包括以下步骤：

设置所述工艺规前阀的开启值；

判断所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力值是否小于或等于所述工艺规前阀的开启值，若判断为是，则开启所述工艺规前阀；

实时读取所述工艺规的压力值并进行显示。

其中，在判断第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力值是否小于或等于所述工艺规前阀的开启值后，还包括以下步骤：

若判断为否，则实时读取所述第二离子规的压力值并进行显示。

相应地，为实现本发明目的还提供一种腔室压力读取设备，用于读取腔室及安装在腔室上的真空规的压力并显示，包括真空规保护阀、皮拉尼规以及控制器；

所述真空规保护阀设置在所述腔室与所述真空规之间；当所述真空规保护阀处于关闭状态时，所述真空规和所述腔室之间不导通；

所述皮拉尼规安装在所述腔室上；所述皮拉尼规用于检测所述腔室的压力，并将检测结果发送至所述控制器；

所述控制器分别与所述真空规、皮拉尼规以及真空规保护阀连接；所述控制器用于对所述皮拉尼规检测到的所述腔室中的压力进行判断，并且在判断所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示。

其中，所述腔室包括去气腔室和工艺腔室；

所述真空规包括第一离子规、第二离子规和工艺规，所述皮拉尼规包括第一皮拉尼规和第二皮拉尼规；

所述第一离子规和第一皮拉尼规均安装在所述去气腔室上，所述第二离子规、第二皮拉尼规和工艺规均安装在所述工艺腔室上；

所述第一皮拉尼规用于实时检测所述去气腔室中的压力，并将检测结果发送至所述控制器；

所述第二皮拉尼规用于实时检测所述工艺腔室中的压力，并将检测结果发送至所述控制器。

其中，所述真空规保护阀包括第一离子规前阀、第二离子规前阀以及工艺规前阀；

所述第一离子规前阀设置在所述去气腔室和所述第一离子规之间，当所述第一离子规前阀处于关闭状态时，所述第一离子规和所述去气腔室之间不导通；

所述第二离子规前阀设置在所述工艺腔室和所述第二离子规之间，当所述第二离子规前阀处于关闭状态时，所述第二离子规和所述工艺腔室之间不导通；

所述工艺规前阀设置在所述工艺腔室和所述工艺规之间，当所述工艺规前阀处于关闭状态时，所述工艺规和所述工艺腔室之间不导通。

其中，所述控制器包括第一控制模块和第二控制模块；

所述第一控制模块，用于在判断所述第一皮拉尼规发送的所述去气腔室中的压力处于适合所述第一离子规工作的压力范围时，开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示；

所述第二控制模块，用于在判断所述第二皮拉尼规发送的所述工艺腔室中的压力处于适合所述第二离子规工作的压力范围时，开启所述第二离子规前阀，并控制所述第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力；在所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力处于适合所述工艺规工作的压力范围时，开启所述工艺规前阀，实时读取所述工艺规的压力值并进行显示。

本发明的有益效果为：本发明的腔室压力读取方法及设备，通过安装在腔室上的皮拉尼规检测腔室中的压力，当检测到腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，开启真空规保护阀，实时读取真空规的压力值并进行显示。在准确读取腔室压力的同时，充分发挥了皮拉尼规的作用，通过保证真空规工作在合适的压力范围内，延长了真空规的使用寿命，降低了生产成本。

附图说明

为了使本发明的腔室压力读取方法及设备的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体附图及具体实施例，对本发明腔室压力读取方法及设备进行进一步详细说明。

图1为背景技术中的用于物理气相沉积的设备结构图；

图2为本发明腔室压力读取方法的一个实施例的流程图；

图3为图2所示的本发明腔室压力读取方法中的真空规的使用流程示意图；

图4为本发明腔室压力读取方法的另一个实施例的流程图，其中，示出了去气腔室的压力读取流程；

图5为本发明腔室压力读取方法的另一个实施例的流程图，其中，示出了工艺腔室的压力读取流程；

图6为本发明腔室压力读取设备的一个实施例的结构示意图；

图7为本发明腔室压力读取设备的另一个实施例的结构示意图。

具体实施方式

本发明实施例提供的腔室压力读取方法及设备，如图2至7所示。

本发明提供的腔室压力读取方法的一个实施例，如图2所示，包括如下步骤：

S100，设置真空规保护阀，并使真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和腔室之间不导通；

S200，通过安装在腔室上的皮拉尼规检测腔室中的压力，当检测到腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，开启真空规保护阀，实时读取真空规的压力值并进行显示。

本发明实施例提供的腔室压力读取方法除了使用皮拉尼规提供的大气、真空信号外，通过皮拉尼规实时检测腔室中的压力，直到检测腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，通过打开设置的真空规保护阀，使用具体的真空规进一步精确读取当前腔室的压力，这样，在准确读取腔室压力的同时，充分发挥了皮拉尼规的作用。而且，由于离子规和真空规在常压下极易损坏，通过设置真空规保护阀，只有在皮拉尼规检测到的腔室中的压力处于适合具体的真空规工作的压力范围时，才开启相应的真空规保护阀，从而使真空规与腔室连通，开始工作，读取腔室的压力，一方面，延长了真空规的使用寿命，降低生产成本；另一方面，保证各个真空规都工作在自己合适的压力范围内，进一步提高了压力检测的准确性。

作为一种可实施方式，真空规包括第一离子规、第二离子规以及工艺规，腔室包括去气腔室和工艺腔室;步骤S100，具体包括如下步骤：

S110，在去气腔室与第一离子规之间设置第一离子规前阀，使第一离子规前阀处于关闭状态时，第一离子规与去气腔室之间不导通；

S120，在工艺腔室与第二离子规之间设置第二离子规前阀，使第二离子规前阀处于关闭状态时，第二离子规与工艺腔室之间不导通；

S130，在工艺腔室与工艺规之间设置工艺规前阀，使工艺规前阀处于关闭状态时，工艺规与工艺腔室之间不导通。

优选地，第一离子规前阀、第二离子规前阀以及工艺规前阀可分别对应设置在第一离子规、第二离子规以及工艺规上，也可以分别对应设置在去气腔室和工艺腔室的设定位置处，只要能够方便控制第一离子规、第二离子规以及工艺规与腔室之间的导通状态即可。

作为一种可实施方式，如图3所示，上述本发明实施例提供的腔室压力读取方法中的真空规的使用过程如下（其中，第一离子规前阀与第二离子规前阀统称为离子规前阀）：

真空规保护阀包括离子规前阀和工艺规前阀。

S11，通过皮拉尼规实时检测腔室压力；

S12，判断腔室压力是否小于或等于离子规前阀的开启值；

S13，若判断为是，则进一步判断离子规前阀是否处于关闭状态，若判断离子规前阀处于开启状态，则进入步骤S15；

S14，若判断离子规前阀处于关闭状态，则开启离子规前阀，进入步骤S15；

S15，继续检测当前的腔室压力值；

S16，在步骤S12之后，若判断腔室压力大于离子规前阀的开启值，则进一步判断离子规前阀是否处于开启状态，若判断离子规前阀处于关闭状态，则进入步骤S15；

S17，在步骤S16之后，若判断离子规前阀处于开启状态，则关闭离子规前阀，进入步骤S15；

S18，在步骤S15之后，判断腔室压力是否小于或等于工艺规前阀的开启值；

S19，若判断为是，则进一步判断工艺规前阀是否处于关闭状态，若判断工艺规前阀处于开启状态，则进入步骤S23；

S20，若判断工艺规前阀处于关闭状态，则开启工艺规前阀，进入步骤S23；

S21，在步骤S18之后，若判断腔室压力大于工艺规前阀的开启值，则进一步判断工艺规前阀是否处于开启状态，若判断工艺规前阀处于关闭状态，则进入步骤S23；

S22，在步骤S21之后，若判断工艺规前阀处于开启状态，则关闭工艺规前阀，进入步骤S23；

S23，结束。

较佳地，作为一种可实施方式，皮拉尼规包括第一皮拉尼规，步骤S200，具体包括如下步骤：

S210，通过安装在去气腔室上的第一皮拉尼规检测去气腔室中的压力；

S220，在去气腔室中的压力处于适合第一离子规工作的压力范围时，开启第一离子规前阀，实时读取第一离子规的压力值并进行显示。

较佳地，作为一种可实施方式，皮拉尼规还包括第二皮拉尼规，步骤S200，具体还包括如下步骤：

S230，通过安装在工艺腔室上的第二皮拉尼规检测工艺腔室中的压力；

S240，在工艺腔室中的压力处于适合第二离子规工作的压力范围时，开启第二离子规前阀，并通过第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力；

S250，在第二离子规检测到的当前工艺腔室中的压力处于适合工艺规工作的压力范围时，开启工艺规前阀，实时读取工艺规的压力值并进行显示。

需要说明的是，上述第一离子规和第一皮拉尼规设置在去气腔室上，用于分别读取去气腔室的压力；第二离子规和第二皮拉尼规分别设置在工艺腔室上，用于分别读取工艺腔室的腔室压力；工艺规设置在工艺腔室上，用于读取工艺腔室的工艺压力。

优选地，第一离子规和第二离子规为相同的离子规，第一皮拉尼规和第二皮拉尼规为相同的皮拉尼规，方便控制使用。

进一步地，步骤S220，包括以下步骤：

S221，设置第一离子规前阀的开启值；

S222，判断去气腔室中的压力值是否小于或等于第一离子规前阀的开启值；

S223，若判断为是，则开启第一离子规前阀，实时读取第一离子规的压力值并进行显示。

进一步地，步骤S240，包括以下步骤：

S241，设置第二离子规前阀的开启值；

S242，判断工艺腔室中的压力值是否小于或等于第二离子规前阀的开启值；

S243，若判断为是，则开启第二离子规前阀，进一步检测当前工艺腔室中的压力。

进一步地，步骤S250，包括以下步骤：

S251，设置工艺规前阀的开启值；

S252，判断第二离子规检测到的当前工艺腔室中的压力值是否小于或等于工艺规前阀的开启值，若判断为是，则开启工艺规前阀；

S253，实时读取工艺规的压力值并进行显示。

较佳地，作为一种可实施方式，在步骤S252之后，还包括以下步骤：

S254，若判断为否，则实时读取第二离子规的压力值并进行显示。

下面，分别对去气腔室和工艺腔室采用本发明实施例提供的腔室压力读取方法的腔室压力读取流程进行举例说明：

去气腔室的压力读取流程，如图4所示，包括如下步骤：

设定一个变量pressure接收来自皮拉尼规和离子规的压力值；设定一个变量bypassIG，标识是否在使用离子规；当bypassIG为false时，表示在使用离子规，当bypassIG为true时，表示未使用离子规；设定一个变量openValue，表示离子规前阀打开时的压力值，此值应在0.5Torr以下，实际应用时的设定值为0.2Torr；

S21，对皮拉尼规显示的压力值和离子规显示的压力值进行实时的检测；

S22，判断当前检测的腔室压力值是否来自皮拉尼规；

S23，若判断当前检测的腔室压力值来自皮拉尼规，则进一步判断皮拉尼规的压力值是否小于或等于离子规前阀开启值openValue；

S24，若判断当前检测的腔室压力值来自离子规，则进一步判断bypassIG是否为false，且当前检测的腔室压力值是否小于或等于离子规前阀开启值openValue；

S25，在步骤S23之后，当判断皮拉尼规的压力值大于离子规前阀开启值openValue时，将皮拉尼规的压力值赋给pressure，并将bypassIG设置为true；

S26，在步骤S23之后，当判断皮拉尼规的压力值小于或等于openValue时，打开离子规前阀，将离子规的压力值赋给pressure，并将bypassIG设置为false；

S27，在步骤S24之后，若判断为是，则bypassIG为false，且当前检测的腔室压力值小于或等于离子规前阀开启值openValue，则将离子规的压力值赋给pressure；

S28，将处理后的变量pressure显示在界面。

对于工艺腔室，仍然使用皮拉尼规和离子规配合获取腔室压力，其流程与去气腔室的压力读取流程相同。如图5所示，在读取工艺规压力时，需对工艺腔压力进行实时的检测。当检测到腔室压力小于等于工艺规前阀开启值时，打开工艺规前阀，开始使用工艺规，并将读取的压力值显示在软件界面上，具体包括以下步骤：

设定一个变量，表示工艺规前阀开启时的压力值，此值应在0.1Torr以下，在实际应用时设定值为0.08Torr；

S29，判断pressure的值是否小于或等于工艺规前阀开启时的压力值；

S30，若判断腔室压力值pressure小于或等于工艺规前阀开启时的压力值时，打开工艺规前阀，读取工艺压力；

S31，将工艺规读取的工艺压力值显示到软件界面（即工艺腔界面，提供了腔室压力显示和工艺压力显示）。

相应地，本发明提供的腔室压力读取设备的一个实施例，用于读取腔室及安装在腔室上的真空规的压力并显示，包括真空规保护阀、皮拉尼规以及控制器；

真空规保护阀设置在腔室与真空规之间，当真空规保护阀处于关闭状态时，真空规和腔室之间不导通。

皮拉尼规安装在腔室上；皮拉尼规用于检测腔室的压力，并将检测结果发送至控制器；

控制器分别与真空规、皮拉尼规以及真空规保护阀连接；控制器用于对皮拉尼规检测到的腔室中的压力进行判断，并且在判断腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，开启真空规保护阀，实时读取真空规的压力值并进行显示。

进一步地，腔室包括去气腔室和工艺腔室；

真空规包括第一离子规、第二离子规和工艺规，皮拉尼规包括第一皮拉尼规和第二皮拉尼规。

第一离子规和第一皮拉尼规均安装在去气腔室上，第二离子规、第二皮拉尼规和工艺规均安装在工艺腔室上；第一皮拉尼规用于实时检测去气腔室中的压力，并将检测结果发送至控制器；第二皮拉尼规用于实时检测工艺腔室中的压力，并将检测结果发送至控制器。

进一步地，真空规保护阀包括第一离子规前阀、第二离子规前阀以及工艺规前阀。

第一离子规前阀设置在去气腔室和第一离子规之间，当第一离子规前阀处于关闭状态时，第一离子规和去气腔室之间不导通；第二离子规前阀设置在工艺腔室和第二离子规之间，当第二离子规前阀处于关闭状态时，第二离子规和工艺腔室之间不导通；工艺规前阀设置在工艺腔室和工艺规之间，当工艺规前阀处于关闭状态时，工艺规和工艺腔室之间不导通。

较佳地，作为一种可实施方式，控制器包括第一控制模块和第二控制模块；

第一控制模块，用于在判断第一皮拉尼规发送的去气腔室中的压力处于适合第一离子规工作的压力范围时，开启第一离子规前阀，实时读取第一离子规的压力值并进行显示。

第二控制模块，用于在判断第二皮拉尼规发送的工艺腔室中的压力处于适合第二离子规工作的压力范围时，开启第二离子规前阀，并控制第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力；在第二离子规检测到的当前工艺腔室中的压力处于适合工艺规工作的压力范围时，开启工艺规前阀，实时读取工艺规的压力值并进行显示。

如图6、图7所示，分别给出了去气腔室100和工艺腔室200的简单结构图。去气腔室100连接一路氮气N2、第一离子规110和第一皮拉尼规120，且在第一离子规110前装有保护阀111（即，第一离子规前阀）。

在工艺腔室200中，连接三路气体，分别为背吹氩气Ar1、工艺氩气Ar2和氮气N2，还连接第二离子规210、第二皮拉尼规220，以及工艺规230，在第二离子规210前装有第二离子规前阀211，在工艺规230前装有工艺规前阀231。

本发明实施例提供的腔室压力读取设备，通过设置皮拉尼规实时检测腔室中的压力，直到检测腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，打开设置的真空规保护阀使真空规处于工作状态，从而保证各个真空规都工作在自己合适的压力范围，在准确读取腔室压力的同时，充分发挥了皮拉尼规的作用，延长了真空规的使用寿命，降低了生产成本。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (12)

1.一种腔室压力读取方法，其特征在于，包括如下步骤：

设置真空规保护阀，并使所述真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和所述腔室之间不导通；

通过安装在所述腔室上的皮拉尼规检测所述腔室中的压力，当检测到所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示。

2.根据权利要求1所述的腔室压力读取方法，其特征在于，所述真空规包括第一离子规、第二离子规以及工艺规，所述腔室包括去气腔室和工艺腔室;

所述设置真空规保护阀，并使所述真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和所述腔室之间不导通，包括如下步骤：

在所述去气腔室与所述第一离子规之间设置第一离子规前阀，使所述第一离子规前阀处于关闭状态时，所述第一离子规与所述去气腔室之间不导通；

在所述工艺腔室与所述第二离子规之间设置第二离子规前阀，使所述第二离子规前阀处于关闭状态时，所述第二离子规与所述工艺腔室之间不导通；

在所述工艺腔室与所述工艺规之间设置工艺规前阀，使所述工艺规前阀处于关闭状态时，所述工艺规与所述工艺腔室之间不导通。

3.根据权利要求2所述的腔室压力读取方法，其特征在于，所述皮拉尼规包括第一皮拉尼规;

所述通过安装在所述腔室上的皮拉尼规检测所述腔室中的压力，当所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示，包括以下步骤：

通过安装在所述去气腔室上的所述第一皮拉尼规检测所述去气腔室中的压力；

在所述去气腔室中的压力处于适合所述第一离子规工作的压力范围时，开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示。

4.根据权利要求3所述的腔室压力读取方法，其特征在于，所述皮拉尼规还包括第二皮拉尼规；

所述通过安装在所述腔室上的皮拉尼规检测所述腔室中的压力，当所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示，还包括以下步骤：

通过安装在所述工艺腔室上的所述第二皮拉尼规检测所述工艺腔室中的压力；

在所述工艺腔室中的压力处于适合所述第二离子规工作的压力范围时，开启所述第二离子规前阀，并通过所述第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力；

在所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力处于适合所述工艺规工作的压力范围时，开启所述工艺规前阀，实时读取所述工艺规的压力值并进行显示。

5.根据权利要求3或4所述的腔室压力读取方法，其特征在于，在所述去气腔室中的压力处于适合所述第一离子规工作的压力范围时，开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示，包括以下步骤：

设置所述第一离子规前阀的开启值；

判断所述去气腔室中的压力值是否小于或等于所述第一离子规前阀的开启值；

若判断为是，则开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示。

6.根据权利要求4所述的腔室压力读取方法，其特征在于，在所述工艺腔室中的压力处于适合所述第二离子规工作的压力范围时，开启所述第二离子规前阀，并通过所述第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力，包括以下步骤：

设置所述第二离子规前阀的开启值；

判断所述工艺腔室中的压力值是否小于或等于所述第二离子规前阀的开启值；

若判断为是，则开启所述第二离子规前阀，进一步检测所述当前工艺腔室中的压力。

7.根据权利要求6所述的腔室压力读取方法，其特征在于，在所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力处于适合所述工艺规工作的压力范围时，开启所述工艺规前阀，实时读取所述工艺规的压力值并进行显示，包括以下步骤：

设置所述工艺规前阀的开启值；

判断所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力值是否小于或等于所述工艺规前阀的开启值，若判断为是，则开启所述工艺规前阀；

实时读取所述工艺规的压力值并进行显示。

8.根据权利要求7所述的腔室压力读取方法，其特征在于，在判断第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力值是否小于或等于所述工艺规前阀的开启值后，还包括以下步骤：

若判断为否，则实时读取所述第二离子规的压力值并进行显示。

9.一种腔室压力读取设备，用于读取腔室及安装在腔室上的真空规的压力并显示，其特征在于，包括真空规保护阀、皮拉尼规以及控制器；

所述真空规保护阀设置在所述腔室与所述真空规之间；当所述真空规保护阀处于关闭状态时，所述真空规和所述腔室之间不导通；

所述皮拉尼规安装在所述腔室上；所述皮拉尼规用于检测所述腔室的压力，并将检测结果发送至所述控制器；

所述控制器分别与所述真空规、皮拉尼规以及真空规保护阀连接；所述控制器用于对所述皮拉尼规检测到的所述腔室中的压力进行判断，并且在判断所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，实时读取所述真空规的压力值并进行显示。

10.根据权利要求9所述的腔室压力读取设备，其特征在于，所述腔室包括去气腔室和工艺腔室；

所述真空规包括第一离子规、第二离子规和工艺规，所述皮拉尼规包括第一皮拉尼规和第二皮拉尼规；

所述第一离子规和第一皮拉尼规均安装在所述去气腔室上，所述第二离子规、第二皮拉尼规和工艺规均安装在所述工艺腔室上；

所述第一皮拉尼规用于实时检测所述去气腔室中的压力，并将检测结果发送至所述控制器；

所述第二皮拉尼规用于实时检测所述工艺腔室中的压力，并将检测结果发送至所述控制器。

11.根据权利要求10所述的腔室压力读取设备，其特征在于，所述真空规保护阀包括第一离子规前阀、第二离子规前阀以及工艺规前阀；

所述第一离子规前阀设置在所述去气腔室和所述第一离子规之间，当所述第一离子规前阀处于关闭状态时，所述第一离子规和所述去气腔室之间不导通；

所述第二离子规前阀设置在所述工艺腔室和所述第二离子规之间，当所述第二离子规前阀处于关闭状态时，所述第二离子规和所述工艺腔室之间不导通；

所述工艺规前阀设置在所述工艺腔室和所述工艺规之间，当所述工艺规前阀处于关闭状态时，所述工艺规和所述工艺腔室之间不导通。

12.根据权利要求11所述的腔室压力读取设备，其特征在于，所述控制器包括第一控制模块和第二控制模块；

所述第一控制模块，用于在判断所述第一皮拉尼规发送的所述去气腔室中的压力处于适合所述第一离子规工作的压力范围时，开启所述第一离子规前阀，实时读取所述第一离子规的压力值并进行显示；

所述第二控制模块，用于在判断所述第二皮拉尼规发送的所述工艺腔室中的压力处于适合所述第二离子规工作的压力范围时，开启所述第二离子规前阀，并控制所述第二离子规进一步检测当前工艺腔室中的压力；在所述第二离子规检测到的所述当前工艺腔室中的压力处于适合所述工艺规工作的压力范围时，开启所述工艺规前阀，实时读取所述工艺规的压力值并进行显示。