CN209456566U - 一种真空镀膜机的抽真空系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体地说，涉及一种真空镀膜机的抽真空系统。包括通过管道与真空室连接的抽空机构、真空检测机构和PLC控制系统；所述抽空机构包括机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵和扩散泵，其中，所述机械泵、第一罗茨泵和第二罗茨泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条预抽空气路，所述机械泵、第一罗茨泵和扩散泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条抽真空气路；所述扩散泵上装配有调功器，所述的调功器连接并受控于PLC控制系统。本实用新型在扩散泵上加装调功器，按PLC设定值随时调节扩散泵的功率，既可以实现真空状态的维持，又可以达到省电的效果，降低了能耗，同时降低了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体地说，涉及一种真空镀膜机的抽真空系统。
背景技术
真空镀膜是在真空环境下将金属铝铜等材料通过加热形成蒸汽蒸镀到卷状塑料薄膜表面上。真空镀膜设备由真空设备和抽真空系统两大部分组成，而抽真空系统主要利用扩散泵作为主泵达到抽真空的目的。
现有的抽真空系统，无论真空设备是处于工作状态还是停机状态，扩散泵都处于持续抽空状态。如果真空设备处于停机状态，扩散泵上方的阀盖落下，盖住扩散泵的进气口，扩散泵自己对自己抽气；真空设备工作时，其余泵组进行预抽气，达到一定的条件，一般为3-5Pa的时候，才提起扩散泵上方的阀盖，扩散泵对真空设备进行抽气。这种抽真空系统，在真空设备处于停机状态时，扩散泵仍持续工作，浪费大量的电能，耗能大，导致生产成本高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供一种真空镀膜机的抽真空系统，解决以上技术问题。
为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：
一种真空镀膜机的抽真空系统，包括通过管道与真空室连接的抽空机构、真空检测机构和PLC控制系统；所述抽空机构包括机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵和扩散泵，其中，所述机械泵、第一罗茨泵和第二罗茨泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条由泵体通向真空室的预抽空气路，所述机械泵、第一罗茨泵和扩散泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条由泵体通向真空室的抽真空气路，并在第一罗茨泵与第二罗茨泵之间的管道上设置有第一阀门，在第一罗茨泵与扩散泵之间的管道上设置有第二阀门，在扩散泵与真空室之间的管道上设置有第三阀门；所述第二罗茨泵与真空室之间的管道上设置有放气管，其上安装有放气阀；所述扩散泵上通过管道连接有维持泵；所述真空检测机构包括第一真空规、第二真空规、第三真空规和第四真空规，其中，第一真空规设置在真空室与放气管之间的管道上，第二真空规设置在维持泵与扩散泵之间的管道上，第三真空规与第四真空规设置在真空室与扩散泵之间的管道上；所述机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵、扩散泵、维持泵、第一阀门、第二阀门、第三阀门以及放气阀分别连接并受控于PLC控制系统；所述第一真空规、第二真空规、第三真空规和第四真空规分别与PLC控制系统的信号输入端连接；所述扩散泵上装配有调功器，所述的调功器连接并受控于PLC控制系统。
有益效果：与现有技术相比，本实用新型在扩散泵上加装调功器，按PLC设定值随时调节扩散泵的功率，既可以实现真空状态的维持，又可以达到省电的效果，降低了能耗，同时降低了生产成本。
附图说明
图1为本实用新型的原理图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
实施例
参照图1，本实施例所述的真空镀膜机的抽真空系统，包括通过管道与真空室1连接的抽空机构、真空检测机构和PLC控制系统。其中：
所述抽空机构包括机械泵2、第一罗茨泵3、第二罗茨泵4和扩散泵5，其中，所述机械泵2、第一罗茨泵3和第二罗茨泵4通过管道顺序连接与真空室1之间形成一条由泵体通向真空室1的预抽空气路，所述机械泵2、第一罗茨泵3和扩散泵5通过管道顺序连接与真空室1之间形成一条由泵体通向真空室1的抽真空气路，并在第一罗茨泵3与第二罗茨泵4之间的管道上设置有第一阀门6，在第一罗茨泵3与扩散泵5之间的管道上设置有第二阀门7，在扩散泵5与真空室1之间的管道上设置有第三阀门8。所述第二罗茨泵4与真空室1之间的管道上设置有放气管9，其上安装有放气阀10。所述扩散泵5上通过管道连接有维持泵11。
所述真空检测机构包括第一真空规12、第二真空规13、第三真空规14和第四真空规15，其中，第一真空规12设置在真空室1与放气管9之间的管道上，第二真空规13设置在维持泵11与扩散泵5之间的管道上，第三真空规14与第四真空规15设置在真空室1与扩散泵5之间的管道上。
所述机械泵2、第一罗茨泵3、第二罗茨泵4、扩散泵5、维持泵11、第一阀门6、第二阀门7、第三阀门8以及放气阀10分别连接并受控于PLC控制系统。所述第一真空规12、第二真空规13、第三真空规14和第四真空规15分别与PLC控制系统的信号输入端连接。
所述扩散泵5上装配有调功器16，所述的调功器16连接并受控于PLC控制系统。
本实用新型的工作原理简述如下：
抽真空时，PLC控制系统控制第一阀门6打开，同时，控制机械泵2、第一罗茨泵3和第二罗茨泵4启动对真空室1进行预抽空；与此同时，PLC控制系统控制扩散泵5启动。当真空室1内的压力达到3-5Pa的时候，PLC控制系统控制第二阀门7和第三阀门8打开，利用扩散泵5对真空室1进行抽真空。抽真空过程中，当扩散泵5的抽空效果达到PLC设定值时，PLC控制系统通过调功器16控制扩散泵5的功率下降，当扩散泵5的抽空效果低于PLC设定值时，PLC控制系统通过调功器16控制扩散泵5的功率再上升，这样循环往复的进行交变，以达到节能减排的效果。
当设备因清理卫生或维修而处于停机状态时，真空室1内不再需要抽真空，PLC控制系统控制机械泵2、第一罗茨泵3和第二罗茨泵4停止工作；同时，控制第一阀门6、第二阀门7和第三阀门8关闭，并控制放气阀10打开进行放气；与此同时，PLC控制系统通过调功器16控制扩散泵5的功率下降，并保持刚刚沸腾状态。
当再次需要抽真空时，PLC控制系统再次控制第一阀门6打开，同时，控制机械泵2、第一罗茨泵3和第二罗茨泵4启动对真空室1进行预抽空；此时，PLC控制系统通过调功器16控制扩散泵5大功率加热，使扩散泵5迅速达到抽空效果。当真空室1内的压力达到3-5Pa的时候，PLC控制系统控制第二阀门7和第三阀门8打开，利用扩散泵5对真空室1进行抽真空。
本实用新型在扩散泵上加装调功器，按PLC设定值随时调节扩散泵的功率，既可以实现真空状态的维持，又可以达到省电的效果，降低了能耗，同时降低了生产成本。
以上仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制另一方面通过本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型的专利保护范围之内。
Claims (1)
1.一种真空镀膜机的抽真空系统，包括通过管道与真空室(1)连接的抽空机构、真空检测机构和PLC控制系统；所述抽空机构包括机械泵(2)、第一罗茨泵(3)、第二罗茨泵(4)和扩散泵(5)，其中，所述机械泵(2)、第一罗茨泵(3)和第二罗茨泵(4)通过管道顺序连接与真空室(1)之间形成一条由泵体通向真空室(1)的预抽空气路，所述机械泵(2)、第一罗茨泵(3)和扩散泵(5)通过管道顺序连接与真空室(1)之间形成一条由泵体通向真空室(1)的抽真空气路，并在第一罗茨泵(3)与第二罗茨泵(4)之间的管道上设置有第一阀门(6)，在第一罗茨泵(3)与扩散泵(5)之间的管道上设置有第二阀门(7)，在扩散泵(5)与真空室(1)之间的管道上设置有第三阀门(8)；所述第二罗茨泵(4)与真空室(1)之间的管道上设置有放气管(9)，其上安装有放气阀(10)；所述扩散泵(5)上通过管道连接有维持泵(11)；所述真空检测机构包括第一真空规(12)、第二真空规(13)、第三真空规(14)和第四真空规(15)，其中，第一真空规(12)设置在真空室(1)与放气管(9)之间的管道上，第二真空规(13)设置在维持泵(11)与扩散泵(5)之间的管道上，第三真空规(14)与第四真空规(15)设置在真空室(1)与扩散泵(5)之间的管道上；所述机械泵(2)、第一罗茨泵(3)、第二罗茨泵(4)、扩散泵(5)、维持泵(11)、第一阀门(6)、第二阀门(7)、第三阀门(8)以及放气阀(10)分别连接并受控于PLC控制系统；所述第一真空规(12)、第二真空规(13)、第三真空规(14)和第四真空规(15)分别与PLC控制系统的信号输入端连接；其特征在于：所述扩散泵(5)上装配有调功器(16)，所述的调功器(16)连接并受控于PLC控制系统。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114427550A (zh) * | 2022-03-04 | 2022-05-03 | 山东省宝丰镀膜有限公司 | 一种分区加热式扩散泵 |
| CN114438470A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-05-06 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 磁控溅镀真空室及其控制方法 |
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