CN105856844B

CN105856844B - 液体喷射头以及液体喷射装置

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Publication number: CN105856844B
Application number: CN201511030044.XA
Authority: CN
Inventors: 钟江贵公
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2015-02-09
Filing date: 2015-12-31
Publication date: 2019-07-26
Anticipated expiration: 2035-12-31
Also published as: US20160229186A1; JP6331029B2; EP3053744B1; US9682551B2; CN105856844A; US20170232749A1; US10093091B2; JP2016144918A; EP3053744A1

Abstract

本发明提供液体喷射头以及液体喷射装置，能够抑制液体的喷射特性的差别。液体喷射头具备：多个压力产生室，其连通于喷射液体的喷嘴；歧管，其连通于上述多个压力产生室；可挠部件，其在一侧的面规定上述歧管的壁的至少一部分，在另一侧的面形成有粘合层，并且在形成有粘合层的区域内具有能够与上述歧管内的压力变动相对应地挠曲的柔性区域；柔性空间，其经由上述可挠部件，配置于与上述歧管相反的一侧；盖部件，其隔着上述柔性空间与上述可挠部件相对置；以及框部件，其配置于上述可挠部件与上述盖部件之间，并具有悬臂梁，上述悬臂梁在至少一部分与上述柔性区域的上述可挠部件进行固定，且在末端侧具有不与上述盖部件进行固定的非固定区域。

Description

液体喷射头以及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及一种从喷嘴喷射液体的液体喷射头以及液体喷射装置，特别是涉及一种作为液体而喷射墨水的喷墨式记录头以及喷墨式记录装置。

背景技术

作为喷射液滴的液体喷射头的代表例的喷墨式记录头，例如存在如下喷墨式记录头，即具备喷嘴、以及连通于喷嘴的压力产生室等的流路，该喷墨式记录头利用压力产生单元使压力产生室内的墨水产生压力变化，从而从喷嘴排出墨滴。

在上述喷墨式记录头中，提出了一种设置有所谓柔性区域的喷墨式记录头，上述柔性区域利用具有挠性的薄膜划分供多个压力产生室相连通的歧管的一部分，并通过使薄膜变形来吸收歧管内的液体的压力变动(例如，参照专利文献1)。

专利文献：日本特开2006-95725号公报

然而，存在如下问题：在从不喷射墨水的印刷待机状态开始墨水的喷射时、即在开始印刷时，若柔性区域在初始阶段急剧地完全挠曲，则初始阶段的墨水的喷射特性特别是墨水重量、与印刷中途向歧管内填充墨水而缓和柔性区域的挠曲并且墨水被消耗从而向挠曲的方向变形的状态下的墨水的喷射特性会产生差别。

此外，这样的问题并不仅在喷墨式记录头中存在，在喷射墨水以外的液体的液体喷射装置中也同样存在。

发明内容

本发明鉴于这样的情况，目的在于提供一种能够抑制液体的喷射特性的差别的液体喷射头以及液体喷射装置。

技术方案1

本发明的技术方案1是一种液体喷射头，其特征在于，具有：多个压力产生室，所述多个压力产生室连通于喷射液体的喷嘴；歧管，其连通于上述多个压力产生室；可挠部件，其在一侧的面规定上述歧管的壁的至少一部分，在另一侧的面形成有粘合层，并且在形成有粘合层的区域内具有能够与上述歧管内的压力变动相对应地挠曲的柔性区域；柔性空间，其隔着上述可挠部件配置于与上述歧管相反的一侧；盖部件，其隔着上述柔性空间与上述可挠部件相对置；以及框部件，其配置于上述可挠部件与上述盖部件之间，并具有悬臂梁，上述悬臂梁通过至少一部分与上述柔性区域的上述可挠部件固定，且在末端侧具有不与上述盖部件固定的非固定区域。

在上述技术方案中，通过设置悬臂梁，从而能够在歧管内的压力变动的初始阶段抑制可挠部件的柔性区域急剧地完全挠曲变形，由此能够利用柔性区域吸收歧管内的压力变动。因此，能够在歧管内的压力变动的初始阶段与中途抑制液体的喷射特性、特别是液滴的重量的差别。另外，通过设置悬臂梁，能够抑制可挠部件的柔性区域粘贴于盖部件，从而抑制由可挠部件粘贴于盖部件引起的动作不良。

技术方案2

这里，在技术方案1的液体喷射头中，优选，上述框部件在与上述盖部件相对置的面具有第一切口，与上述盖部件对置的面中的相对于上述第一切口靠上述悬臂梁侧的部分成为上述非固定区域。据此，通过在框部件设置第一切口，能够抑制粘合框部件与盖部件的粘合剂向相对于第一切口靠悬臂梁侧的部位流出，从而能够容易且高精度地形成非固定区域。

技术方案3

另外，在技术方案1或者2的液体喷射头中，优选，上述悬臂梁在上述柔性区域与上述盖部件相对置方向上的厚度在末端侧比在支点侧薄。据此，通过使悬臂梁的末端侧的厚度较薄，能够抑制粘合框部件与盖部件的粘合剂向末端侧流出，从而能够在悬臂梁的末端侧容易且高精度地形成非固定区域。

技术方案4

另外，在技术方案1～3的液体喷射头中，优选，上述盖部件在与上述悬臂梁相对置的面具有第二切口，在与上述悬臂梁相对置的面中的相对于上述第二切口靠上述悬臂梁的末端侧的面，不与上述框部件固定。据此，通过在盖部件设置第二切口，能够抑制粘合框部件与盖部件的接着剂向相对于第二切口靠悬臂梁侧的部位流出，从而能够容易且高精度地形成非固定区域。

技术方案5

另外，在技术方案1～4的液体喷射头中，优选，在上述盖部件的面中的与上述悬臂梁相对置的面，上述盖部件的上述悬臂梁的末端侧相对于上述悬臂梁的支点侧凹陷。据此，通过在盖部件设置凹陷，能够抑制粘合框部件与盖部件的粘合剂向相对于凹陷靠悬臂梁侧的部位流出，从而能够容易且高精度地形成非固定区域。

技术方案6

另外，在技术方案1～5的液体喷射头中，优选，规定上述歧管的壁面的流路部件下述方式与上述可挠部件固定，即：使该流路部件中的与上述悬臂梁相对置的面的开口亦即规定上述歧管的开口相对于上述悬臂梁的末端靠支点侧。据此，由于能够利用框部件来承受将流路部件与可挠部件以及框部件接合时的负载，所以能够可靠地进行流路部件与可挠部件的接合。因此，能够抑制在流路部件与可挠部件的接合时由负载不足引起的缝隙产生、充有气泡等不良情况的产生。

技术方案7

另外，在技术方案1～6的液体喷射头中，优选，还具备岛状部件，该岛状部件配置在上述可挠部件与上述盖部件之间，并且与上述框部件分离且配置于上述柔性区域内，上述岛状部件中，与上述可挠部件相对置的面与该可挠部件固定，与上述盖部件相对置一侧的面不与上述盖部件固定。据此，通过设置岛状部件，能够抑制可挠部件的柔性区域粘贴于盖部件。另外，由于不将岛状部件与盖部件固定，从而抑制柔性区域向歧管侧变形被限制，由此能够可靠地进行由柔性区域实现的歧管内的压力变动的吸收。

技术方案8

另外，在技术方案7的液体喷射头中，优选，上述岛状部件的厚度比上述悬臂梁的上述支点侧的厚度薄。据此，能够抑制岛状部件与盖部件接触，从而抑制岛状部件与盖头的粘贴。

技术方案9

另外，在技术方案8的液体喷射头中，优选，上述岛状部件的厚度与上述悬臂梁的末端侧的厚度相同。据此，能够同时容易地形成岛状部件以及具有悬臂梁的框部件。

技术方案10

另外，在技术方案1～9的液体喷射头中，优选，上述悬臂梁的面中的与上述盖部件相对置的面亦即上述末端侧的面被实施了不浸润处理。据此，即使在悬臂梁与盖部件相抵接的情况下，也能够抑制由结露等引起的水分附着，从而抑制由水分引起的粘贴。

技术方案11

另外，在技术方案1～10的液体喷射头中，优选，上述盖部件中的与上述悬臂梁相对置的面亦即与该悬臂梁的末端侧相对置的面被实施了不浸润处理。据此，即使在悬臂梁与盖部件相抵接的情况下，也能够抑制由结露等引起的水分附着，从而抑制由水分引起的粘贴。

技术方案12

并且，本发明的其他技术方案是一种液体喷射装置，其特征在于具备上述技术方案的液体喷射头。

在上述技术方案中，能够实现一种利用柔性区域吸收歧管内的液体的压力变动，从而抑制由压力变动引起的液体喷射特性的差别，并且抑制柔性领域朝向盖部件的粘贴的液体喷射装置。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的记录头的分解立体图。

图2是实施方式1所涉及的记录头的俯视图。

图3是实施方式1所涉及的柔性基板的俯视图。

图4是实施方式1所涉及的记录头的剖视图。

图5是实施方式1所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图6是实施方式1所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图7是表示实施方式1所涉及的记录头的比较例的主要部分剖视图。

图8是表示实施方式1所涉及的压力变动的图表。

图9是实施方式1所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图10是表示实施方式1所涉及的记录头的比较例的主要部分剖视图。

图11是实施方式2所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图12是实施方式2所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图13是实施方式3所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图14是实施方式4所涉及的柔性基板的俯视图。

图15是实施方式4所涉及的柔性基板的俯视图。

图16是实施方式5所涉及的柔性基板的俯视图。

图17是实施方式5所涉及的记录头的剖视图。

图18是实施方式5所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图19是实施方式5所涉及的记录头的主要部分剖视图。

图20是表示实施方式5所涉及的记录头的比较例的主要部分剖视图。

图21是本发明的一实施方式所涉及的记录装置的概略图。

具体实施方式

以下，基于实施方式对本发明进行详细的说明。

(实施方式1)

图1是作为本发明的实施方式1所涉及的液体喷射头的一个例子的喷墨式记录头的分解立体图，图2是喷墨式记录头的俯视图。并且，图3是柔性基板的俯视图，图4是图3的A-A′线剖视图，图5是放大图4的主要部分的剖视图。

如图所示，本实施方式的喷墨式记录头II(以下，也简称为记录头II)具备头主体11、固定于头主体11的一面侧的壳体部件40、固定于头主体11的另一面侧的盖头130等多个部件。另外，本实施方式的头主体11具备：流路形成基板10；连通板15，其设置于流路形成基板10的一面侧；喷嘴板20，其设置于连通板15的与流路形成基板10相反的一面侧；保护基板30，其设置于流路形成基板10的与连通板15相反的一侧；以及柔性基板45，其设置于连通板15的设置有喷嘴板20的一面侧。

构成头主体11的流路形成基板10能够使用不锈钢或Ni等金属、以ZrO₂或是Al₂O₃为代表的陶瓷材料、玻璃陶瓷材料、MgO、LaAlO₃那样的氧化物等。在本实施方式中，流路形成基板10是由硅单晶基板构成的。在该流路形成基板10，通过从一面侧进行各向异性蚀刻，从而沿着排出墨水的多个喷嘴21所并列设置的方向并列设置有被多个隔壁划分的压力产生室12。以下，将该方向称为压力产生室12的列设方向，或者第一方向X。另外，在流路形成基板10，沿第一方向X并列设置了压力产生室12的列为多列，在本实施方式中，设置有两列压力产生室12。以下，将设置有多列压力产生室12的列的列设方向称为第二方向Y，其中，上述压力产生室12的列沿着第一方向X形成有该压力产生室12。并且，将与第一方向X以及第二方向Y二者相交叉的方向称为第三方向Z。在本实施方式中，虽然第一方向X、第二方向Y以及第三方向Z在相互正交的方向相交叉，但当然也可以在正交以外的方向相交叉。

另外，也可以在流路形成基板10并在压力产生室12的第二方向Y的一端部侧设置供给路等，其开口面积比该压力产生室12狭窄，从而给予流入压力产生室12的墨水的流路阻力。

另外，在流路形成基板10的一面侧依次层叠有连通板15与喷嘴板20。即，具备：连通板15，其设置于流路形成基板10的一面；以及喷嘴板20，其具有设置于连通板15的与流路形成基板10相反的一侧的喷嘴21。

在连通板15设置有连通压力产生室12与喷嘴21的喷嘴连通路16。连通板15具有比流路形成基板10大的面积，喷嘴板20具有比流路形成基板10小的面积。像这样，通过设置连通板15，使喷嘴板20的喷嘴21与压力产生室12分离，因此处于压力产生室12中的墨水不易受到由在喷嘴21附近的墨水产生的墨水中的水分的蒸发引起的增稠的影响。另外，由于喷嘴板20只要覆盖将压力产生室12与喷嘴21连通的喷嘴连通路16的开口即可，因此能够将喷嘴板20的面积设置得比较小，另外，由于能够将流路形成基板10的面积设置得比连通板15小，因此能够实现成本的减少。此外，在本实施方式中，将对喷嘴板20的喷嘴21进行开口而排出墨滴的面称为液体喷射面20a。

另外，在连通板15设置有构成歧管100的一部分的第一歧管部17与第二歧管部18。

第一歧管部17被设置为沿厚度方向(连通板15与流路形成基板10的层叠方向)贯通连通板15。

另外，第二歧管部18设置为不沿厚度方向贯通连通板15，而是在连通板15的喷嘴板20侧开口。

此外，歧管100的喷嘴板20侧的开口形状在包含第一方向X以及第二方向Y的面内方向上具有长边方向以及短边方向。此外，歧管100具有长边方向以及短边方向是指歧管100的喷嘴板20侧的开口的纵横比(长宽比)为1：1以外的值。另外，歧管100的开口形状并没有被特别限定，例如也可以为矩形、梯形、平行四边形、多边形、椭圆形等。在本实施方式中，由于在流路形成基板10沿第一方向X并列设置有压力产生室12，所以作为与各压力产生室12连通的共用液室的歧管100遍及沿第一方向X并列设置的压力产生室12地，以使第一方向X成为长边方向、换句话说成为长尺寸的方式设置，并以使第二方向Y成为短边方向、换句话说成为短尺寸的方式设置为梯形。而且，歧管100的喷嘴板20侧的开口形状也同样设置为第一方向X成为长边方向、第二方向Y成为短边方向的梯形。

并且，在连通板15，相对于各压力产生室12独立地设置有与压力产生室12的第二方向Y的一端部连通的供给连通路19。该供给连通路19将第二歧管部18与压力产生室12连通。即，在本实施方式中，作为将喷嘴21与第二歧管部18连通的独立流路，设置有供给连通路19、压力产生室12以及喷嘴连通路16。

作为这样的连通板15，能够使用不锈钢或镍(Ni)等金属、或者锆(Zr)等陶瓷等。此外，连通板15优选为线膨胀系数与流路形成基板10相同的材料。即，在使用线膨胀系数与流路形成基板10有很大不同的材料作为连通板15的情况下，由于被加热、冷却，从而会因流路形成基板10与连通板15的线膨胀系数的差异而产生弯曲。在本实施方式中，通过使用与流路形成基板10相同的材料、即使用硅单晶基板作为连通板15，由此能够抑制由热量引起的弯曲、由热量引起的裂纹、剥离等的产生。

在喷嘴板20形成有经由喷嘴连通路16而与各压力产生室12连通的喷嘴21。即，喷嘴21中的喷射相同种类的液体(墨水)的喷嘴沿第一方向X并列设置，沿该第一方向X并列设置的喷嘴21的列沿第二方向Y形成有两列。

作为这样的喷嘴板20，能够使用例如不锈钢(SUS)等金属、聚酰亚胺树脂那样的有机物、或者硅单晶基板等。并且，通过使用硅单晶基板作为喷嘴板20，从而将喷嘴板20与连通板15的线膨胀系数设置为相同，由此能够抑制由加热、冷却引起的弯曲、由热量引起的裂纹、剥离等的产生。

另一方面，在流路形成基板10的与连通板15相反的一面侧形成有振动板50。在本实施方式中，作为振动板50而设置：弹性膜51，其由设置于流路形成基板10侧的氧化硅构成；绝缘体膜52，其由设置于弹性膜51上的氧化锆构成。此外，压力产生室12等液体流路通过从一面侧(接合有喷嘴板20的一面侧)对流路形成基板10进行各向异性蚀刻而形成，压力产生室12等液体流路的另一面被弹性膜51划分而成。

另外，在振动板50的绝缘体膜52上层叠形成有第一电极60、压电体层70与第二电极8，从而构成压电促动器300。这里，压电促动器300是指包括第一电极60、压电体层70以及第二电极80的部分。一般情况下，构成为将压电促动器300的任一电极作为共用电极，并使另一个电极以及压电体层70在每个压力产生室12图案化。而且，在此将由被图案化的任一个电极以及压电体层70所构成的、通过向两电极外加电压而产生压电形变的部分称为压电体主动部。在本实施方式中，将第一电极60作为压电促动器300的共用电极，将第二电极80作为压电促动器300的独立电极，然而由于驱动电路、布线的情况，将之反过来也并无妨碍。此外，在上述的例子中，由于第一电极60遍及多个压力产生室12而连续地设置，所以第一电极60作为振动板的一部分而发挥作用，但是当然不局限于此，例如，也可以不设置上述的弹性膜51以及绝缘体膜52，仅使第一电极60作为振动板而发挥作用。另外，压电促动器300本身实际上也可以兼做振动板。但是，在流路形成基板10上直接设置第一电极60的情况下，优选以使第一电极60与墨水不导通的方式利用绝缘性的保护膜等保护第一电极60。换句话说，在本实施方式中，虽然例示出了在基板(流路形成基板10)上经由振动板50设置有第一电极60的结构，但并不特别局限于此，也可以不设置振动板50，而直接在基板上设置第一电极60。即，也可以使第一电极60作为振动板发挥作用。换句话说，所谓基板上既包括在基板的正上方，又包括中间夹设有其他部件的状态(上方)。

并且，在作为这样的压电促动器300的独立电极的各第二电极80连接有引线电极90，其从与供给连通路19相反的一侧的端部附近拉出，并延伸配置至振动板50上，并且例如由金(Au)等构成。

另外，在作为流路形成基板10的压力产生单元的压电促动器300侧的面接合有保护基板30，其具有与流路形成基板10大致相同的大小。保护基板30具有保持部31，其是用于保护压电促动器300的空间。

另外，在如这样构成的头主体11固定有壳体部件40，其与头主体11一起划分与多个压力产生室12连通的歧管100。壳体部件40在俯视观察时具有与上述的连通板15大致相同的形状，且与保护基板30相接合，并且也与上述的连通板15相接合。具体而言，壳体部件40具有凹部41，其深度为可在保护基板30侧收纳流路形成基板10以及保护基板30。该凹部41具有比保护基板30的与流路形成基板10接合的面更宽阔的开口面积。而且，在凹部41收纳有流路形成基板10等的状态下，凹部41的喷嘴板20侧的开口面被连通板15密封。由此，在流路形成基板10的外周部由壳体部件40与头主体11划分有第三歧管部42。而且，利用设置于连通板15的第一歧管部17以及第二歧管部18、与由壳体部件40和头主体11划分的第三歧管部42构成本实施方式的歧管100。即，歧管100具备第一歧管部17、第二歧管部18以及第三歧管部42。另外，本实施方式的歧管100沿第二方向Y配置于2列的压力产生室12的两个外侧，设置于两列的压力产生室12的两个外侧的两个歧管100以在记录头II内不连通的方式分别独立地设置。即，在本实施方式的压力产生室12的列(沿第一方向X并列设置的列)中的每一列连通设置有一个歧管100。

另外，在壳体部件40设置有导入路44，其连通于歧管100，并用于将墨水供给各歧管100。另外，在壳体部件40设置有连接口43，其连通于保护基板30的贯通孔32，并供布线基板121插通。此外，插通连接口43的布线基板121与引线电极90相连接。另外，在布线基板121设置有驱动电路120。

此外，两个歧管100也可以在记录头II的上游侧，即也可以在连接于与后文详述的歧管100相连通的导入路44的上游流路相连通。

作为这样的壳体部件40的材料，能够使用例如树脂、金属等。而且，作为壳体部件40，通过成形树脂材料，能够以低成本批量生产。

另外，如图3～图5所示，在连通板15的第一歧管部17以及第二歧管部18所开口的面设置有柔性基板45。该柔性基板45设置有第一露出开口部45a，其在俯视观察时具有与上述的连通板15大致相同的大小，并使喷嘴板20露出。而且，该柔性基板45在利用第一露出开口部45a使喷嘴板20露出的状态下，密封第一歧管部17与第二歧管部18的液体喷射面20a侧的开口。

即，柔性基板45划分歧管100的一部分。这样的柔性基板45具备：可挠部件46，其由具有挠性的材料形成；以及框部件47，其固定于可挠部件46的与连通板15相反的一侧。可挠部件46由具有挠性的膜状的薄膜(例如，由聚苯硫醚(PPS)、芳香族聚酰胺(芳纶)等形成的厚度为20μm以下的薄膜)构成，框部件47由不锈钢(SUS)等金属等的与可挠部件46相比更加硬质的材料形成。由于该框部件47的与歧管100相对置的区域成为沿厚度方向被完全除去的开口部48，因此歧管100的一面成为仅被具有挠性的可挠部件46密封的柔性区域49。即，通过在框部件47设置开口部48，从而形成用于分离可挠部件46与作为盖部件的盖头130的柔性空间131，利用柔性空间131，能够将可挠部件46的一部分作为柔性区域49而变形。此外，在本实施方式中，与一个歧管100相对应地设置有一个柔性区域49。即，在本实施方式中，设置有两个歧管100，因此以夹持喷嘴板20的方式在第二方向Y的两侧设置有两个柔性区域49。

此外，例如，通过在遍及可挠部件46的一面的整个面涂覆粘合剂形成粘合剂后，在可挠部件46的形成有粘合剂的一面粘合框部件47，从而形成可挠部件46与框部件47。因此，如图5所示，在框部件47的开口部48露出的柔性区域49也形成有粘合剂固化而成的粘合层46a。当然，并不局限于此，也可以不在开口部48内的柔性区域49形成粘合层46a。

这里，如图3所示，由开口部48规定的柔性区域49在第一方向X以及第二方向Y上具有长边方向以及短边方向。此外，所谓柔性区域49具有长边方向以及短边方向是指柔性区域49的纵横比(长宽比)为1：1以外的值。另外，柔性区域49的形状并没有被特别限定，例如也可以为矩形、梯形、平行四边形、多边形、椭圆形等。在本实施方式中，如上所述，由于歧管100的柔性基板45侧的开口被设置为在第一方向X具有长边方向、在第二方向Y具有短边方向的梯形，所以柔性区域49与歧管100的开口形状同样地被设置为在第一方向X具有长边方向、在第二方向Y具有短边方向的梯形。由此，能够相对于歧管100的开口，将柔性区域49设置为尽可能大的面积，从而能够实现记录头II的小型化。当然，柔性区域49未必需要设置为与歧管100的开口形状相同的形状，也可以设置为与歧管100的开口形状不同的形状。

另外，在本实施方式中，规定柔性区域49的开口部48的短边方向的壁面在第三方向Z上设置于与歧管100相对置的位置。即，歧管100的与可挠部件46相对置的面的开口亦即规定歧管100的开口的短边方向的壁面在第三方向Z上配置于与框部件47相对置的位置。由此，能够利用框部件47来承受接合作为流路部件的连通板15与可挠部件46时的负载，从而能够可靠地进行连通板15与可挠部件46的接合。因此，能够抑制在连通板15与可挠部件46的接合时由负载不足引起的缝隙产生、充有气泡等不良情况的产生。

另外，如图4以及图5所示，在头主体11的液体喷射面20a侧设置有作为本实施形态的盖部件的盖头130。

在盖头130设置有使喷嘴21露出的第二露出开口部132。在本实施方式中，第二露出开口部132具有使喷嘴板20露出的大小的开口、换句话说具有与柔性基板45的第一露出开口部45a大致相同的开口。

另外，在本实施方式中，盖头130以覆盖头主体11的侧面(与液体喷射面20a相交叉的面)的方式，设置为端部从液体喷射面20a侧弯曲。

这样的盖头130接合于柔性基板45的与连通板15相反的一面侧，并且密封柔性区域49的与流路(歧管100)相反的一侧的空间。即，作为盖部件的盖头130设置为在与柔性区域49之间配置了柔性空间131的状态下，覆盖柔性区域49。像这样利用作为盖部件的盖头130覆盖柔性区域49，从而即使接触有纸等被记录介质也能够抑制该柔性区域49被破坏。另外，抑制墨水(液体)附着于柔性区域49，并能够利用例如擦拭板等擦拭附着于盖头130的表面的墨水(液体)，从而能够抑制附着于盖头130的墨水等污染被记录介质。

这样，柔性区域49与盖头130之间所划分的柔性空间131向记录头II的外部进行大气开放。在本实施方式中，在各柔性区域49的第一方向X的一侧设置沿厚度方向贯通框部件47的贯通孔48a，通过将贯通孔48a与开口部48连通，从而经由贯通孔48a，将柔性区域49与盖头130之间的柔性空间131向外部进行大气开放。此外，与柔性区域49和盖头130之间的柔性空间131相连通的贯通孔48a例如在记录头II的液体喷射面20a侧、侧面侧、与液体喷射面20a相反一侧(壳体部件40侧)等进行大气开放即可。但是，由于存在墨水从进行大气开放的开口流入，而导致大气开放路的闭塞、墨水附着于柔性区域49等不良情况产生的担心，所以连通于贯通孔48a的大气开放路(未图示)优选在与液体喷射面20a相反的一面侧、即在壳体部件40侧向外部开口而进行大气开放。并且，为了使贯通孔48a进行大气开放，在构成记录头II的部件(流路形成基板10、连通板15等)设置槽、贯通孔等大气开放路(未图示)，并经由该大气开放路使之与外部连通即可。在本实施方式中，在每个柔性区域49设置贯通孔48a，在每个贯通孔48a设置大气开放路(未图示)，从而在每个柔性区域49独立地进行大气开放。当然，柔性区域49与盖头130之间的空间的大气开放并不局限于此，也可以使柔性区域49与盖头130之间的两个空间连通，并经由共用的大气开放路进行大气开放。

而且，如图3、图4以及图5所示，在柔性区域49与盖头130之间的柔性空间131内设置有悬臂梁150。

悬臂梁150以从框部件47沿第二方向Y连续地向柔性空间131内突出的方式而设置。此外，在本实施方式中，将悬臂梁150的与框部件47相连续的端部侧称为支点侧，将向柔性空间131内突出的端部侧称为末端侧。本实施方式的悬臂梁150以从柔性空间131的第二方向Y的两侧的框部件47向柔性空间131的中心侧突出的方式而设置，从第二方向Y的两侧突出的悬臂梁150的末端彼此隔开一定的间隔地在第二方向Y相对置。另外，悬臂梁150在柔性空间131内，沿第一方向X隔开间隔地设置有多个。

这样的悬臂梁150被柔性区域49的可挠部件46的至少一部分固定，并且末端侧成为不与盖头130进行固定的非固定区域。

具体而言，悬臂梁150的与可挠部件46相对置面的整个面固定于可挠部件46。在本实施方式中，由于遍及可挠部件46的整个面设置有粘合层46a，所以利用该粘合层46a将可挠部件46与悬臂梁150粘合在一起。此外，悬臂梁150在至少一部分与可挠部件46进行固定即可，悬臂梁150的与可挠部件46进行固定的部分可以为末端侧，也可以为支点侧。

另外，对于悬臂梁150而言，在本实施方式中，在悬臂梁150的与盖头130相对置的面上，在末端侧具有第一切口151。由此，将末端侧的厚度设置为比悬臂梁150的支点侧薄。而且，将悬臂梁150的设置有第一切口151的部分作为不与盖头130进行固定的非固定区域，使悬臂梁150的未设置有第一切口151的部分与盖头130进行固定。即，在利用粘合剂135粘合框部件47与盖头130时，从框部件47与盖头130之间溢出的粘合剂135因第一切口151而存积于比第一切口151更靠支点侧的部位，从而能够抑制粘合剂135向比第一切口151更靠末端侧的部位过度地流出。由此，能够无差别地形成悬臂梁150的非固定区域。并且，也可以不设置第一切口151，但在不设置第一切口151的情况下，很难控制框部件47与盖头130之间的粘合剂135向悬臂梁150上的流出量以及流出位置，可能会在非固定区域产生差别。在本实施方式中，通过在悬臂梁150设置第一切口151并将末端侧的厚度形成为较薄，能够抑制粘合剂135的流出，从而能够容易且高精度地形成非固定区域。此外，通过调整粘合剂135的涂覆区域、粘度，从而即使不设置第一切口151，也能够抑制粘合剂135的溢出，由此规定非固定区域。另外，悬臂梁150的比第一切口151更靠支点侧的部位也可以与盖头130进行固定，或者也可以不进行固定。在本实施方式中，悬臂梁150的比第一切口151更靠支点侧的部位与盖头130进行固定。

这里，在不喷射墨水的待机状态下，歧管100内的墨水的压力成为负压(以大气压为基准)，因此如图6(b)所示，可挠部件46的柔性区域49面向歧管100的内侧、即在第三方向Z上向与盖头130相反的一侧挠曲变形。此时，由于在柔性区域49设置有悬臂梁150，因此利用悬臂梁150抑制柔性区域49的挠曲。

而且，若喷射墨水而使得歧管100内的压力进一步成为负压，则如图6(c)所示，可挠部件46的柔性区域49以使悬臂梁150弹性变形而进一步向歧管100的内侧突出的方式挠曲变形。这样，利用设置有悬臂梁150的柔性区域49，能够在印刷开始时以及印刷中途吸收歧管100内的墨水的压力变动，因此能够抑制印刷中的墨水的喷射特性、特别是墨滴的重量的差别，提高印刷品质。

与此相对，例如，在没有设置悬臂梁150的情况下，如图7(b)所示，若柔性区域49在印刷待机状态下向歧管100的内侧完全挠曲，则在开始墨水的喷射时，柔性区域49无法与由歧管100内的墨水消耗引起的压力变化相对应地充分地挠曲。另外，若利用墨水的喷射进行歧管100内的墨水的消耗，则从上游侧向歧管100内供给墨水，但由墨水的供给引起的歧管100内的墨水的压力变化会延迟。因此，在开始墨水的喷射紧后、与墨水的喷射经过一定程度后，歧管100内的墨水的压力变动不被柔性区域49吸收，从而会导致墨水的喷射特性、特别是墨滴的重量产生差别。

这里，在图8的图表中示出了从待机状态开始墨水的喷射时的歧管100内的压力变动、即墨滴的重量与时间的关系的一个例子。此外，在图8中用实线表示设置了悬臂梁的实施例，用虚线表示没有设置悬臂梁的比较例。

如图8所示，在没有设置悬臂梁150的比较例的情况下，在墨水的喷射开始紧后的T1阶段，虽然歧管100内的墨水被消耗，但是由于柔性区域49无法吸收压力变动，所以歧管100内成为很大的负压。由此，在T1阶段，被喷射的墨滴的重量变小，印刷浓度变薄。而且，在其后的T2阶段，因从上游侧向歧管100内供给墨水的反作用，从而歧管100内的压力暂时成为正压。由此，在T2阶段，墨滴的重量变大，印刷浓度变浓。其后，在T3阶段，柔性区域49吸收歧管100内的墨水的压力变动，使得歧管100内的压力稳定，墨滴的重量适中、即印刷浓度适中。

与此相对，在设置了悬臂梁150的实施例的情况下，由于柔性区域49能够吸收歧管100内的压力变动，所以在T1、T2、T3阶段，能够减少歧管100内的墨水压力差，将墨滴的重量差设置为与比较例相比较小。因此，通过设置悬臂梁150，能够抑制被喷射的墨滴的重量的差别，提高印刷品质。

并且，作为可挠部件46，虽然也考虑由难以变形的材料、例如由使可挠部件46的厚度变厚、或不变更厚度地使可挠部件46难以变形的材料形成，但由于可挠部件46变得难以挠曲，从而柔性能力可能会降低，并且柔性区域49相对于歧管100内的墨水的压力变动而挠曲变形的反应性降低，从而墨滴的喷射特性可能会产生差别，因此不优选。在本实施方式中，通过设置悬臂梁150，从而能够使用容易挠曲的可挠部件46抑制墨滴的喷射特性的差别，而不使柔性区域49的反应性降低。

另外，在本实施方式中，由于从第二方向Y的两侧突出的悬臂梁150的末端彼此隔开一定的间隔地在第二方向Y上相对置，所以通过设置悬臂梁150，也能够尽可能抑制阻碍可挠部件46的柔性区域49的变形。即，在使从第二方向Y的两侧突出的悬臂梁150的末端彼此连续，从而不设置悬臂梁150而设置双支撑梁(两端固定梁)的情况下，存在柔性区域49的变形被双支撑梁明显阻碍，而导致无法充分进行由柔性区域49实现的压力变动的吸收的担心。

另外，如图9所示，通过设置悬臂梁150，从而在可挠部件46的柔性区域49向盖头130侧移动时，使得朝向盖头130侧的移动被悬臂梁150限制。因此，能够抑制由可挠部件46的柔性区域49抵接于盖头130引起的粘贴。并且，如图10所示，在没有设置悬臂梁150的情况下，柔性区域49与盖头130接触，并因设置于可挠部件46的粘合层46a在高温·多湿的环境下恢复粘合性，使得可挠部件46的柔性区域49粘贴于盖头130。另外，即使在柔性区域49没有设置粘合层46a的情况下，可挠部件46的柔性区域49也会因结露等而粘贴于盖头130。若可挠部件46的柔性区域49粘贴于盖头130，则导致柔性区域49无法吸收歧管100内的墨水的压力变动。在本实施方式中，利用悬臂梁150抑制可挠部件46的朝向盖头130的紧贴，从而抑制由柔性区域49的粘贴引起的无法进行歧管100内的墨水的压力变动的吸收，由此能够抑制墨水的喷射特性的差别。且，当柔性区域49向盖头130侧挠曲变形时，悬臂梁150可以与盖头130接触，或者也可以不接触。例如，在悬臂梁150与盖头130接触的情况下，通过对悬臂梁150的与盖头130相对置的区域以及盖头130的与悬臂梁150相对置的面的任一方或者两方进行不浸润处理，能够在两者相抵接的区域抑制结露等的水分附着，从而抑制由水分引起的固着。

此外，如上所述，歧管100内在印刷待机时以及印刷时成为负压。因此，柔性区域49的朝向盖头130侧的变形例如是在没有对记录头II填充墨水的状态下进行输送等情况下产生的。因此，未在歧管100内填充墨水而使柔性区域49克服悬臂梁150的弹力向盖头130侧移动是困难的。换句话说，通过设置悬臂梁150，能够抑制在输送时等柔性领域49与盖头130接触所引起的固着。

(实施方式2)

图11是将本发明的实施方式2所涉及的喷墨式记录头的主要部分放大的剖视图，图12是将表示本发明的实施方式2所涉及的喷墨式记录头的变形例的主要部分放大的剖视图。此外，对于与上述实施方式相同的部件标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

如图11所示，在可挠部件46与盖头130之间的柔性空间131设置有悬臂梁150。在悬臂梁150的与盖头130相对置的面，在支点侧与末端侧之间设置有第一切口151。这样，即使悬臂梁150的第一切口151的两侧、即支点侧与末端侧形成为相同的厚度，也能够利用第一切口151抑制粘合框部件47与盖头130的粘合剂135向悬臂梁150的末端侧流出。因此，能够容易地在悬臂梁150的包括第一切口151在内的比第一切口151更靠末端侧的部位形成非固定区域。此外，第一切口151也可以设置于悬臂梁150的支点侧。

另外，如图12所示，第一切口151也可以不设置于悬臂梁150，而设置于框部件47的与盖头130相对置的面。这样，即使在框部件47的悬臂梁150以外的部分设置第一切口151，也能够利用第一切口151使粘合剂135不向悬臂梁150侧流出，从而容易在悬臂梁150的末端侧形成非固定区域。即，所谓悬臂梁150的末端侧成为非固定区域既包含仅悬臂梁150的末端侧成为非固定区域的情况、又包含悬臂梁150的包括末端侧在内的全部都成为非固定区域的情况。

(实施方式3)

图13是将本发明的实施方式3所涉及的喷墨式记录头的主要部分放大的剖视图。此外，对于与上述实施相同的部件标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

如图13所示，框部件47具有与该框部件47厚度相同的悬臂梁150。另外，在盖头130，在与悬臂梁150相对置的面设置有第二切口136。利用该第二切口136，使盖头130与悬臂梁150分离地配置。而且，通过设置第二切口136，能够抑制粘合框部件47与盖头130的粘合剂135向与第二切口136相对置的悬臂梁150上流出。即，悬臂梁150的与第二切口136相对置的部分成为不固定于本实施方式的盖头130的非固定区域。

即使是这样的结构，也能够实现与上述的实施方式1相同的效果，即，能够利用悬臂梁150抑制墨滴的喷射特性的差别。

此外，第二切口136可以与上述的图11的第一切口151同样地设置于与悬臂梁150相对置的区域的一部分，也可以与图12的第一切口151同样地设置于框部件47的与未设置有悬臂梁150的区域相对置的部分。由此，也能够利用第二切口136抑制粘合剂135向悬臂梁150的末端侧的流出，从而容易在悬臂梁150的末端侧形成非固定区域。

(实施方式4)

图14是本发明的实施方式4所涉及的柔性基板的俯视图，图15是表示实施方式4所涉及的柔性基板的变形例的俯视图。此外，对于与上述的实施方式相同的部件标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

如图14所示，框部件47具有向柔性空间131内突出设置的悬臂梁150。悬臂梁150在末端侧具有切口151。这样的悬臂梁150以开口部48的第二方向Y的一侧、在本实施方式中以第一露出开口部45a侧为支点侧，从第一露出开口部45a侧延伸配置，而使得悬臂梁150的末端与开口部48的另一侧分离地配置。即使是这样的悬臂梁150，也能够与上述的实施方式1同样地抑制墨水的喷射特性的差别。

另外，如图15所示，多个悬臂梁150也能够以使支点侧成为开口部48的第二方向Y的一侧以及另一侧的方式沿着第二方向Y交替地配置。在这样的情况下，也能够与上述的实施方式1同样地利用悬臂梁150抑制墨水的喷射特性的差别。

(实施方式5)

图16是本发明的实施方式5所涉及的喷墨式记录头的柔性基板的俯视图，图17是以图16的B－B′线为基准的剖视图，图18是将图17的主要部分放大的剖视图。此外，对于与上述的实施方式相同的部件标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

如图所示，在柔性区域49与盖头130之间的柔性空间131设置有与上述的实施方式1相同的悬臂梁150与岛状部件140。

这里，岛状部件140设置为与框部件47不连续，并且与可挠部件46相对置一侧的面以及与盖头130相对置一侧的面中的一个与对置的部件进行固定，另一个不与对置的部件进行固定。即，岛状部件140固定于可挠部件46以及盖头130中的一个，不固定于另一个。在本实施方式中，将岛状部件140固定于可挠部件46，不固定于盖头130。此外，岛状部件140与可挠部件46的固定利用可挠部件46的设置于盖头130侧的粘合层46a来进行。

另外，岛状部件140在可挠部件46与盖头130相对置的方向、即在第三方向Z上形成为比框部件47的厚度薄。换句话说，岛状部件140的厚度优选为比作为悬臂梁150的支点侧的框部件47的厚度薄。

并且，岛状部件140在作为柔性区域49的短边方向的第二方向Y上，错开该第二方向Y的中心而配置。具体而言，在本实施方式中，在柔性区域49，将两个岛状部件140在第二方向Y的中心的两侧分别各设置一个。另外，在第二方向Y上并列设置的两个岛状部件140沿着作为长边方向的第一方向X以一定的间隔配置有多个。

这样，通过在柔性区域49与盖头130之间的柔性空间131设置岛状部件140，从而如图19所示，当柔性领域49向盖头130侧挠曲变形时，岛状部件140抵接于盖头130，从而能够抑制柔性区域49抵接于盖头130引起的粘贴。此外，在本实施方式中，通过在第一方向X以及第二方向Y上并列设置多个岛状部件140，从而能够在第一方向X以及第二方向Y这两个方向上抑制柔性区域49朝向盖头130的粘贴。

与此相对，如图20(a)所示，在没有设置岛状部件140的情况下，由于柔性区域49挠曲，从而柔性区域49会接触粘贴于盖头130。

此外，在本实施方式中，如图19所示，即使设置岛状部件140，柔性区域49也在第三方向Z上超过岛状部件140地向盖头130侧挠曲变形。由此，能够利用柔性区域49的变形，加大使歧管100增大的容积S1。另外，即使柔性区域49超过岛状部件140地向盖头130侧挠曲，岛状部件140的厚度只要为使柔性区域49不与盖头130接触的程度的厚度即可。

并且，如图20(b)所示，即使在将岛状部件140设置为与框部件47相同的厚度的情况下，也能够抑制由柔性区域49朝向盖头130的接触引起的粘贴。然而，由于利用岛状部件140进一步限制柔性区域49朝向盖头130侧的移动，所以由柔性区域49的挠曲变形产生的使歧管100增大的容积S2会变得不充分。换句话说，在本实施方式中和能够使设置与框部件47相同的厚度的岛状部件140的情况下的歧管100的容积扩大的S2相比，通过将岛状部件140的厚度设置为比框部件47薄，能够进行较宽的容积S1的扩大，从而能够抑制柔性区域49朝向盖头130的粘贴，并且充分地进行歧管100的容积的扩大。另外，通过将岛状部件140的厚度设置为比作为悬臂梁150的支点侧的框部件47的厚度薄，从而能够在歧管100内未填充墨水的输送时等抑制岛状部件140与盖头130的接触，而抑制岛状部件140与盖头130的粘贴。

此外，在本实施方式中，虽然将岛状部件140固定于可挠部件46，不固定于盖头130，但是并不特别局限于此，也可以将岛状部件140固定于盖头130，不固定于可挠部件46。但是，在将岛状部件140固定于盖头130的情况下，在可挠部件46的柔性区域49形成有粘合层46a的结构中，柔性区域49可能会因粘合层46a而粘贴于岛状部件140。然而，即使柔性区域49因粘合层46a而粘贴于岛状部件140，也由于岛状部件140的面积较小，所以能够以比较小的力将柔性区域49从岛状部件140剥离。当然，如本实施方式一样，若将岛状部件140固定于可挠部件46，则能够抑制由上述的粘合层46a引起的粘贴。

(其他的实施方式)

以上，对本发明的各实施方式进行了说明，然而本发明的基本结构并不局限于上述内容。

例如，在上述的各实施方式中，虽然例示出了设置两个歧管100并在各歧管100设置柔性区域49的构造，然而并没有特别局限于此，也可以在第一方向X上设置被划分为多个的歧管100。

另外，在上述的实施方式1以及2中，虽然将岛状部件140配置于从柔性区域49的第二方向Y上的中心偏离的位置，但是当然不局限于此，如图19的(b)所示，也可以将岛状部件140配置于柔性区域49的第二方向Y的中心。

并且，在上述的各实施方式中，虽然将柔性基板45设置于设置有喷嘴板20的一面侧，但是并不特别局限于此，例如，柔性基板45也可以设置于壳体部件40侧、与液体喷射面20a相交叉的侧面等。即，由于所谓的盖部件只要是在与柔性基板45的柔性区域49之间划分柔性空间131的部件即可，因此并不局限于上述的盖头130，也可以为是其他的部件。

另外，在上述的各实施方式中，作为使压力产生室12产生压力变化的压力产生单元，虽然使用薄膜型的压电促动器300进行说明，然而并不特别限定于此，也能够使用例如通过粘贴印刷电路基板等方法而形成的厚膜型的压电促动器、使压电材料与电极形成材料交替地层叠并沿轴向伸缩的纵向振动型的压电促动器等。另外，作为压力产生单元，能够使用在压力产生室内配置发热元件，并利用由发热元件的发热而产生的气泡从喷嘴排出液滴的装置、使振动板与电极之间产生静电，并利用静电力使振动板变形而从喷嘴排出液滴的所谓静电式促动器等。

另外，上述各实施方式的喷墨式记录头II构成具备与墨盒等连通的墨水流路的喷墨式记录头单元的一部分，并搭载于喷墨式记录装置。图20是表示该喷墨式记录装置的一个例子的概略图。

在图21所示的喷墨式记录装置I中，具有多个喷墨式记录头II的喷墨式记录头单元1(以下，也称为头单元1)将构成墨水供给单元的墨盒2设置为能够装卸，搭载了该头单元1的托架3设置为能够沿安装于装置主体4的托架轴5自由地轴向移动。该记录头单元1例如是分别排出黑色墨水组成物以及彩色墨水组成物的记录头单元。

而且，驱动马达6的驱动力经由未图示的多个齿轮以及同步带7传递至托架3，从而使搭载了记录头单元1的托架3沿着托架轴5移动。另一方面，在装置主体4设置有作为输送单元的输送辊8，利用输送辊8对作为纸等记录介质的记录片S进行输送。此外，输送记录片S的输送单元并不局限于输送辊8，也可以为皮带、硒鼓等。

此外，在上述的喷墨式记录装置I中，虽然例示出了喷墨式记录头II(头单元1)搭载于托架3并沿主扫描方向移动的结构，然而并不特别局限于此，例如，也能够将本发明应用于将喷墨式记录头II固定、仅通过使纸等的记录片S沿副扫描方向移动来进行印刷的所谓行式记录装置。

另外，在上述的例子中，喷墨式记录装置I虽然是在托架3搭载有作为液体存积单元的墨盒2的结构，然而并不特别局限于此，例如，也可以将墨水匣等液体存积单元固定于装置主体4，并经由筒管等供给管连接存积单元与喷墨式记录头II。另外，液体存积单元也可以不搭载于喷墨式记录装置。

并且，本发明是广泛地以液体喷射头整体为对象的，例如，也能够应用于印刷机等图像记录装置所使用的各种喷墨式记录头等记录头、液晶显示器等彩色滤光器的制造所使用的颜色材料喷射头、有机EL显示器、FED(场发射显示器)等的电极形成所使用的电极材料喷射头、生物芯片制造所使用的生物体有机物喷射头等。

附图标记说明：

I…喷墨式记录装置(液体喷射装置)；II…喷墨式记录头(液体喷射头)；1…喷墨式记录头单元(液体喷射头单元)；10…流路形成基板；11…头主体；15…连通板；20…喷嘴板；20a…液体喷射面；21…喷嘴；30…保护基板；40…壳体部件；45…柔性基板；46…可挠部件；47…框部件；48…开口部；49…柔性区域；50…振动板；60…第一电极；70…压电体层；80…第二电极；100…歧管；120…驱动电路；121…布线基板；130…盖头(盖部件)；131…柔性空间；135…粘合剂；136…第二切口；140…岛状部件；150…悬臂梁；151…第一切口。

Claims

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：

多个压力产生室，所述多个压力产生室连通于喷射液体的喷嘴；

歧管，其连通于所述多个压力产生室；

可挠部件，其形成所述歧管的壁的至少一部分，通过所述歧管的压力变化而变形；

框部件，其相对于所述可挠部件配置于与所述歧管相反的一侧；

柔性空间，其由所述可挠部件与所述框部件形成；

在所述柔性空间内设有从所述框部件的与所述可挠部件交叉的壁面突出的悬臂梁，

所述悬臂梁的与所述可挠部件对置的面，与所述可挠部件固定，

所述悬臂梁在所述歧管的内侧挠曲变形。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述悬臂梁由比所述可挠部件硬质的材料形成。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述悬臂梁的面中，在所述悬臂梁的与所述可挠部件相反侧的面中，在所述悬臂梁的末端侧设有第一切口。

4.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

所述悬臂梁中的在所述柔性空间内与所述可挠部件正交的方向上的厚度，在末端侧比在支点侧薄。

5.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述悬臂梁的面中，在所述悬臂梁的与所述可挠部件相反侧的面中，在所述悬臂梁的末端侧与支点侧之间设有切口。

6.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述柔性空间内设有多个所述悬臂梁，

所述悬臂梁的末端彼此隔着规定的间隔相对置。

7.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

规定所述歧管的壁面的流路部件以下述方式与所述可挠部件固定，即：使该流路部件中的与所述悬臂梁相对置的面的开口亦即规定所述歧管的开口相对于所述悬臂梁的末端位于支点侧。

8.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

形成所述柔性空间的面中的与所述可挠部件对置的面具有第二切口，

所述悬臂梁的末端与所述第二切口重叠。

9.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

还具备岛状部件，该岛状部件配置在所述可挠部件与盖部件之间，且与所述框部件分离并配置于所述柔性空间内，其中，所述盖部件隔着所述柔性空间与所述可挠部件相对置，

所述岛状部件中，与所述可挠部件相对置的面与所述可挠部件固定。

10.根据权利要求9所述的液体喷射头，其特征在于，

所述岛状部件的厚度比所述悬臂梁的支点侧的厚度薄。

11.根据权利要求9所述的液体喷射头，其特征在于，

所述岛状部件的厚度与所述悬臂梁的末端侧的厚度相同。

12.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述悬臂梁的面中，在所述悬臂梁的与所述可挠部件相反侧的面中，所述悬臂梁的末端侧被实施了不浸润处理。

13.根据权利要求9所述的液体喷射头，其特征在于，

所述盖部件中的与所述悬臂梁相对置的面亦即与该悬臂梁的末端侧相对置的面被实施了不浸润处理。

14.一种液体喷射装置，其特征在于，

具备权利要求1～13中任一项所述的液体喷射头。