JP3815191B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリンタやプロッタ等のインクジェット式記録装置に好適に用いられるインクジェット式記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のインクジェット式記録ヘッド、例えば、圧電振動子を電気機械変換素子として用いた記録ヘッドには、複数のノズル開口を列状に開設したノズルプレートと、共通インク室から圧力室を経てノズル開口に連通するインク流路を形成した流路形成基板と、圧力室及び共通インク室の一方の開口面を封止する弾性体膜を有する弾性板とを備え、これらの各部材を積層状態で接合して流路ユニットを構成し、この流路ユニットをケースに接合した構成を採るものがある。上記の流路形成基板は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することにより作製されており、この流路形成基板の一方の表面にステンレス鋼製のノズルプレートが接合され、他方の表面に弾性板が接合されている。そして、弾性板は、例えば、接着層と樹脂製フィルムとからなる2層構造の弾性体膜をステンレス鋼製の支持板で支持した複合板材により構成されており、1枚の弾性体膜で圧力室の封止部と共通インク室のコンプライアンス部とを兼ねている。
【0003】
このインクジェット式記録ヘッドでは、共通インク室から圧力室を経てノズル開口に至る一連のインク流路がノズル開口毎に形成されている。そして、ノズル開口からインク滴を吐出させる場合には、圧電振動子によって弾性体膜を変形させて圧力室の容積を可変し、圧力室内のインクを加減圧する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した構成のインクジェット式記録ヘッドにおいて、共通インク室には複数のインク供給口が面している。このため、インク滴の吐出時に圧力室を収縮させると、インク供給口から共通インク室に向けて圧力波(インク噴流)が生じる。ここで、共通インク室には各圧力室に連通したインク供給口が連通している。これにより、インク供給口から出た圧力波が他のインク供給口を通じて他の圧力室に作用してしまうと、この圧力室によるインク滴の吐出が不安定になってしまう。
【0005】
このような不具合を防止するためには、共通インク室については、コンプライアンスを大きく設定することが好ましい。その一方で、インク滴吐出の応答性を高めるという観点からは、圧力室についてはコンプライアンスを小さく設定するのが好ましい。
しかしながら、従来の弾性体膜は、圧力室の封止部と共通インク室のコンプライアンス部とが同一の厚みで形成されており、弾性体膜の厚みはインク滴吐出の応答性にあわせて規定されている。このため、共通インク室に関して必要なコンプライアンスを得るためには、弾性体膜におけるコンプライアンス部の面積を十分に広くする必要があり、これによって共通インク室を大きく形成しなければならず、記録ヘッドの小型化を阻害するという問題があった。
【0006】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、インク滴吐出の応答性を良好に維持しつつも、共通インク室のコンプライアンスを大きく設定することができ、共通インク室を小さく形成して記録ヘッドの小型化を促進することができるインクジェット式記録ヘッドを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために提案されたもので、請求項1に記載のものは、共通インク室から圧力室を経てノズル開口に連通する一連のインク流路を形成した流路形成基板と圧力室及び共通インク室の一方の開口面を封止する弾性体膜とを積層状態で接合してなる流路ユニットと、弾性体膜を変形させることで圧力室の容積を変化させる電気機械変換素子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧力室とは反対側の弾性体膜表面に、電気機械変換素子の変位面を当接固定するための島部を設け、
前記弾性体膜を、接着層と弾性膜層とからなる2層の複合膜材により構成し、
前記弾性体膜における圧力室に対応した島部の周辺の部分を、接着層と弾性膜層だけから構成する一方、共通インク室に対応した部分を、接着層を選択的に除去して弾性膜層のみで構成することで、前記共通インク室に対応した部分の厚さを圧力室に対応した島部の周辺の部分の厚さよりも薄くし、共通インク室に対応した部分のコンプライアンスを相対的に高めたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドである。
【0008】
請求項2に記載のものは、前記弾性体膜の共通インク室に対応した部分の曲げ剛性を圧力室に対応した部分の曲げ剛性よりも相対的に小さくしたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0009】
請求項3に記載のものは、共通インク室から圧力室を経てノズル開口に連通する一連のインク流路を形成した流路形成基板と圧力室及び共通インク室の一方の開口面を封止する弾性体膜とを積層状態で接合してなる流路ユニットと、弾性体膜を変形させることで圧力室の容積を変化させる電気機械変換素子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧力室とは反対側の弾性体膜表面に、電気機械変換素子の変位面を当接固定するための島部を設け、
前記弾性体膜を、接着層と弾性膜層とからなる2層の複合膜材により構成し、
前記弾性体膜における圧力室に対応した島部の周辺の部分を、接着層と弾性膜層だけから構成する一方、共通インク室に対応した部分を、接着層を選択的に除去して弾性膜層のみで構成することで、前記圧力室に対応した島部の周辺の部分の厚さを共通インク室に対応した部分の厚さよりも厚くし、圧力室に対応した部分の曲げ剛性を相対的に大きくしたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドである。
【0011】
請求項4に記載のものは、前記弾性体膜の除去を物理・化学的処理により行ったことを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0012】
ここで、「物理・化学的処理」とは、加工のエネルギー源として電気エネルギー、化学エネルギー、電気化学エネルギー、光エネルギー、熱エネルギーなどを利用した処理のことをいう。要するに、力学的エネルギー以外のエネルギーを用いた処理を意味する。
【0013】
請求項5に記載のものは、前記物理・化学的処理がプラズマアッシング処理であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0014】
請求項6に記載のものは、前記物理・化学的処理がドライエッチング処理であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0015】
請求項7に記載のものは、前記物理・化学的処理がウェットエッチング処理であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0016】
請求項8に記載のものは、前記弾性体膜を枠体状の支持板で支持したことを特徴とする請求項1から請求項7の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0017】
請求項9に記載のものは、前記支持板を金属材料によって構成したことを特徴とする請求項8に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0019】
請求項10に記載のものは、前記島部を、支持板となる支持板基材の圧力室に対応した部分を環状に除去することにより形成したことを特徴とする請求項9に記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0020】
請求項11に記載のものは、前記電気機械変換素子を圧電振動子によって構成したことを特徴とする請求項1から請求項10の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッドである。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ここで、図1は、本発明のインクジェット式記録ヘッド1の断面図、図2は、弾性板2となる弾性板基材2´の層構成を示す模式図である。
【0022】
例示した記録ヘッド1は、複数の圧電振動子3…、固定板4、及び、フレキシブルケーブル5等をユニット化した振動子ユニット6と、この振動子ユニット6を収納可能なケース7と、ケース7の先端面に接合される流路ユニット8とを備えている。ケース7は、先端と後端が共に開放された収容空部10を形成した合成樹脂製のブロック状部材であり、収容空部10内には振動子ユニット6が収納固定されている。この振動子ユニット6は、圧電振動子3の櫛歯状先端を収容空部10の先端側開口に臨ませた姿勢とされており、固定板4が収容空部10の壁面に接着固定されている。
【0023】
圧電振動子3は、電気機械変換素子の一種であり、縦方向に細長い櫛歯状に形成されている。例えば、50μm〜100μm程度の極めて細い幅のニードル状に切り分けられている。この圧電振動子3は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成された積層型の圧電振動子であって、積層方向に直交する縦方向に伸縮可能な縦振動(d31効果)型の圧電振動子である。そして、各圧電振動子3…は、基端側部分が固定板4上に接合されており、圧電振動子3の自由端部を固定板4の縁よりも外側に突出させた片持ち梁の状態で取り付けられている。また、変位面として機能する各圧電振動子3…の櫛歯状先端面は、それぞれ対応する島部11(後述する)に当接固定されている。また、フレキシブルケーブル5は、固定板4とは反対側となる振動子の基端部側面で、圧電振動子3と電気的に接続されている。
【0024】
流路ユニット8は、流路形成基板12を間に挟んでノズルプレート13を流路形成基板12の一方の面側に配置し、弾性板2をノズルプレート13とは反対側となる他方の面側に配置して積層状態で接合することで構成されている。
【0025】
ノズルプレート13は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口14…を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、例えば、180dpiのピッチで96個のノズル開口14…を開設し、これらのノズル開口14…によってノズル列を構成する。そして、このノズル列を、吐出可能なインクの種類に対応した複数列形成する。
【0026】
流路形成基板12は、共通インク室16、インク供給口17、圧力室18、及びノズル連通口19からなるインク流路が形成された板状部材である。具体的には、この流路形成基板12は、各ノズル開口14…に対応させて圧力室18となる空部を隔壁で区画した状態で複数形成するとともに、インク供給口17および共通インク室16となる空部を形成した板状の部材である。
【0027】
圧力室18は、ノズル開口14の列設方向(ノズル列方向)に対して直交する方向に細長い室であり、堰部20で区画された偏平な凹室で構成されている。この堰部20は共通インク室16の出口からノズル連通口19の入口に亘って形成してあり、該堰部20によって流路幅の狭い狭窄部の形で、インク供給口17が形成されている。ノズル連通口19は、圧力室18とノズル開口14とを連通する部分であり、圧力室18の一端、即ち圧力室18内における共通インク室16から最も離れた位置に形成されている。共通インク室16は、インクカートリッジ(図示せず)に貯留されたインクを各圧力室18…に供給するための室であり、インク供給口17を通じて対応する圧力室18の他端と連通している。また、共通インク室16における長手方向のほぼ中央には、インク供給管21が連通するインク導入口が開設されている。そして、インクカートリッジ(図示せず)からのインクは、インク供給管21を通ってインク導入口から共通インク室16内に導入される。
【0028】
このように流路形成基板12には、共通インク室16、インク供給口17、圧力室18、及び、ノズル連通口19を順に経る一連のインク流路が形成される。つまり、共通インク室16とノズル開口14との間を連通するインク流路がノズル開口14に対応する複数設けられている。
【0029】
弾性板2は、ステンレス鋼板により作製された枠体状の支持板30に弾性体膜31を積層した構造の複合板材である。そして、圧力室18とは反対側の弾性体膜表面であって、各圧力室18に対応した位置には、島部11が形成されている。この島部11は、圧電振動子3の先端部を当接固定するための接合部であり、圧力室18と同様にノズル開口14の列設方向と直交する方向に細長く、圧力室18の平面形状よりも一回り小さいブロック状に作製されている。
【0030】
上記の構成を有する記録ヘッド1では、圧電振動子3を振動子長手方向に伸長させることにより、島部11がノズルプレート13側に押圧され、島部周辺で弾性体膜31が変形して圧力室18が収縮する。また、圧電振動子3を振動子長手方向に収縮させると、弾性体膜31の弾性により圧力室18が膨張する。そして、圧力室18の膨張や収縮を制御することにより、圧力室18内のインク圧力が変動してノズル開口14からインク滴が吐出される。
【0031】
次に、本発明の主要部を成す弾性板2の構造について詳細に説明する。
【0032】
例示した弾性板2は、インク圧力や圧電振動子3の変形によって弾性変形する弾性体膜31と、この弾性体膜31を支持する枠体状の支持板30とからなる複合板材によって構成される。これは、弾性体膜31を支持板30で支持した方が弾性体膜単体よりも製造時における取り扱いが容易であり、製造の効率化が図れるためである。
【0033】
上記の支持板30を構成する材料としては、加工性や強度の観点から金属材料が好適に用いられる。本実施形態ではステンレス鋼を用いている。また、弾性体膜31は、圧力室18の一方の開口面を封止する封止部31Aとして機能すると共に、共通インク室16の一方の開口面を封止するコンプライアンス部31Bとしても機能する部分である。この弾性体膜31は、弾性膜層32と接着層(AD層)33とからなる2層構造であり、接着層33が支持板30に接着する。従って、弾性板2は、弾性膜層32と支持板30とを間に介在させた接着層33によって接着した3層構造ということもできる。そして、弾性膜層32としてはPPS(ポリフェニレンサルファイド)等の樹脂フィルムが好適に用いられ、接着層33としてはウレタン系、ポリエステル系、及びエポキシ系等の樹脂系接着剤が好適に用いられる。また、本実施形態における弾性板2の各層の厚みは、例えば、支持板30が10〜60μm(マイクロメートル)、接着層33が1〜5μm、弾性膜層32が3〜10μmである。
【0034】
この弾性板2は、例えば、次の手順で作製される。まず、図2に示すように、支持板30となる支持板基材30´(つまり、加工前のステンレス鋼板)上に接着層33を挟んで弾性膜層32を接着することにより、3層構造の弾性板基材2´を作製する。弾性板基材2´を作製したならば、封止部31Aとして機能する部分とコンプライアンス部31Bとして機能する部分とについて加工を行う。
【0035】
圧力室18に対応した封止部31Aについては、支持板基材30´の部分を環状に除去して島部11を形成する。ここでは、支持板基材30´側から支持板基材30´のみが選択的に除去されるように厚さ方向の途中までの部分を除去する。これにより、島部11の周辺の弾性体膜31は接着層33と弾性膜層32とから構成される。
また、共通インク室16に対応したコンプライアンス部31Bについては、支持板基材30´及び接着層33を選択的に除去する。即ち、支持板基材30´側から支持板基材30´と接着層33が選択的に除去されるように厚さ方向の途中までの部分を除去する。これにより、コンプライアンス部31Bの弾性体膜31は弾性膜層32のみで構成される。
【0036】
要するに、本実施形態では、性質が異なる複数種類の材料で構成された積層構造の弾性板基材2´に対して、層単位での除去処理を行うことで弾性板2を作製している。このように層単位での除去を行うと、各層を構成する材料の性質の差を利用して除去対象となる層だけを容易に除去できる。例えば、ステンレス鋼製の支持板基材30´のみを除去する場合には、ステンレス鋼が容易に溶解されて、接着層33や弾性膜層32が耐性を有する薬品、例えば酸で処理することにより、支持板基材30´のみを容易に除去できる。同様に、接着層33のみを除去して弾性膜層32を残す場合には、接着層33が容易に溶解されて弾性膜層32が耐性を有する薬品、例えば接着層33を構成する接着剤の溶媒で処理することにより、接着層33のみを容易に除去できる。
【0037】
このように、各層を構成する材料の性質の差を利用して除去を行うと、残った部分の厚さを均一化できる。例えば、共通インク室16に対応したコンプライアンス部31Bに関しては、弾性膜層32の膜厚で均一化される。
【0038】
そして、これらの支持板基材30´や接着層33の選択的な除去は、μm単位以下の微細な処理が可能となる物理・化学的処理により行うことが好ましい。この物理・化学的処理は、加工のエネルギー源として電気エネルギー、化学エネルギー、電気化学エネルギー、光エネルギー、熱エネルギーなどを利用した処理のことをいい、例えば、プラズマアッシング、ドライエッチング、ウエットエッチング、及び、レーザ処理等が挙げられる。
【0039】
プラズマアッシングは、アルゴン(Ar)、ヘリウム(He)などの不活性ガスをアークによってプラズマ化し、これを細いノズルから噴出させて超高温、高速流のプラズマジェットで不要部分を選択的に除去する処理である。また、ドライエッチングは、酸化雰囲気やアルカリ雰囲気中にマスキングを施した弾性板基材2´を暴露して、マスキングを施していない部分を選択的にエッチング加工する処理である。ウエットエッチングは、例えば、KOH等の強アルカリ液にマスキングを施した弾性板基材2´を接触させ、マスキングを施していない部分を選択的にエッチング加工する処理である。レーザ処理は、除去したい部分にレーザビームを照射して選択的に除去を行う処理である。
【0040】
なお、本実施形態では、これら支持板基材30´及び接着層33の選択的除去を物理・化学的処理により行っているが、加工のエネルギー源として力学的エネルギーを用いた処理(便宜上、力学的処理と称する。)で行ってもよい。
例えば、媒体に圧力を加えてノズルより噴射する等により、この媒体を工作物(つまり、弾性板基材2´)に衝突させて表面を加工する噴射処理(ブラスト処理やウォータージェット処理等)や、砥粒スラリを超音波で振動させて加工を行う超音波処理で支持板基材30´及び接着層33の選択的除去を行ってもよい。
【0041】
また、これらの物理・化学的処理や力学的処理は、それぞれ単独で行っても良く、いくつかの処理を組み合わせて行っても良い。例えば、支持板基材30´の部分を力学的処理で除去した後に、接着層33を化学的処理で除去することも可能である。さらに、化学的処理においては、使用する薬品等を変えて、複数回の処理を行っても良い。
【0042】
そして、圧力室18に面する封止部31A及び共通インク室16に面するコンプライアンス部31Bに対する除去処理を行うことにより、支持板基材30´は枠体状の支持板30となり、上記した弾性板2が得られる。
【0043】
このような構成の弾性板2では、共通インク室16に対応したコンプライアンス部31Bの厚さが圧力室18に対応する封止部31Aの厚さよりも薄く、コンプライアンス部31Bにおけるコンプライアンスが封止部31Aのコンプライアンスよりも相対的に高い。この構成により、共通インク室16のコンプライアンスを従来よりも高めることができ、より小さい容積でも圧力室18側からの圧力波(インク噴流)を吸収することができる。さらに、曲げ剛性の観点でも、コンプライアンス部31Bの曲げ剛性の方が封止部31Aの曲げ剛性よりも相対的に小さくなるので、コンプライアンス部31Bの方が撓み変形し易くなり、共通インク室16のコンプライアンスを従来よりも高めることができる。
【0044】
一方、圧力室18に対応した封止部31Aについては、インク滴の吐出に必要な厚さが確保できる。つまり、封止部31Aの曲げ剛性の方がコンプライアンス部31Bの曲げ剛性よりも大きくなるので、圧力室18内のインクを効率よく加圧したり減圧したりすることができる。これにより、インク滴吐出時において高い応答性を得ることができる。さらに、本実施形態では、圧力室18とは反対側の弾性体膜表面に、ステンレス鋼で作製された島部11を設けているので、この島部11によっても曲げ剛性が高められる。従って、圧力室18内のインクを一層効率よく加減圧できる。
【0045】
このように、本実施形態は、1枚の弾性体膜31について要所要所で選択的に厚みを異ならせることで、機能性を高めた構成である。これにより、コンプライアンス部31Bについては従来よりも高いコンプライアンスを得ることができる。そして、共通インク室16として必要なコンプライアンスは従来と同じであるため、共通インク室16を小さく形成することができる。その結果、記録ヘッド1の小型化を図ることができる。一方、封止部31Aについてはコンプライアンス部31Bよりも十分高い剛性が得られるので、インク滴の吐出時において高い応答性を得ることができる。
【0046】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づき、種々の変形が可能である。
【0047】
例えば、本実施形態では、積層構造の弾性板基材2´に対して層単位での除去処理を行うことで弾性板2を作製しているが、層の厚さ方向の途中まで除去するようにしてもよい。例えば、コンプライアンス部31Bに関し、弾性膜層32の途中まで除去して極めて薄く構成するようにしてもよい。さらに、弾性体膜31は、複数層の構成に限定されるものではなく、単一層で構成されていてもよい。
【0048】
また、電気機械変換素子として、撓み振動型の圧電振動子を用いてもよい。この圧電振動子は、圧電体を上電極と下電極とで挟んだ構成であり、上電極と下電極との電位差に応じて圧電体は電界方向に撓み、圧力室18の容積を変化させる。さらに、電気機械変換素子は、圧電振動子に限らず、駆動信号の印加により機械的変形を生じる素子であればよく、例えば磁歪素子であってもよい。
【0049】
また、本実施形態では、流路形成基板12とノズルプレート13とを別部材により構成した流路ユニット8を例に挙げて説明したが、この構成に限定されるものではなく、ノズルプレート13と流路形成基板12とを一体に形成した流路ユニットであってもよい。
【0050】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、以下の効果を奏する。即ち、弾性体膜を、接着層と弾性膜層とからなる2層の複合膜材により構成し、弾性体膜における圧力室に対応した島部の周辺の部分を、接着層と弾性膜層だけから構成する一方、共通インク室に対応した部分を、接着層を選択的に除去して弾性膜層のみで構成することで、共通インク室に対応する部分の厚さを圧力室に対応する島部の周辺の部分の厚さよりも薄くし、共通インク室に対応する部分のコンプライアンスを相対的に高めたので、共通インク室を小さく形成しても必要なコンプライアンスを得ることができる。また、共通インク室に対応する部分については、接着層を構成する材料と弾性膜層を構成する材料との性質の差を利用して接着層のみを容易に除去して弾性膜層のみとすることができる。これにより、この共通インク室に対応する部分を弾性膜層の膜厚で容易に均一化できる。一方、圧力室に対応する部分については必要な厚さが確保できる。さらに、圧力室とは反対側の弾性体膜表面に、電気機械変換素子の変位面を当接固定するための島部を設けたので、圧力室に対応する部分の曲げ剛性がこの島部によっても高められる。これにより、インク滴吐出の応答性が一層高められる。
その結果、インク滴吐出の応答性を良好に維持しつつも、記録ヘッドの小型化を促進することができる。
【0051】
また、弾性体膜を、接着層と弾性膜層とからなる2層の複合膜材により構成し、弾性体膜における圧力室に対応した島部の周辺の部分を、接着層と弾性膜層だけから構成する一方、共通インク室に対応した部分を、接着層を選択的に除去して弾性膜層のみで構成することで、圧力室に対応する島部の周辺の部分の厚さを共通インク室に対応する部分の厚さよりも厚くし、圧力室に対応する部分の曲げ剛性を相対的に大きくしたので、圧力室に対応する部分については必要な剛性が確保でき、インク滴吐出の応答性を良好に維持できる。さらに、圧力室とは反対側の弾性体膜表面に、電気機械変換素子の変位面を当接固定するための島部を設けたので、圧力室に対応する部分の曲げ剛性がこの島部によっても高められる。これにより、インク滴吐出の応答性が一層高められる。
一方、共通インク室に対応する部分については、圧力室に対応する部分よりも剛性を低く抑えることができ、コンプライアンスを高めることができる。これにより、共通インク室を小さく形成しても必要なコンプライアンスを得ることができる。また、共通インク室に対応する部分は、接着層を構成する材料と弾性膜層を構成する材料との性質の差を利用して接着層のみを容易に除去して弾性膜層のみとすることができる。これにより、この共通インク室に対応する部分を弾性膜層の膜厚で容易に均一化できる。
その結果、インク滴吐出の応答性を良好に維持しつつも、記録ヘッドの小型化を促進することができる。
【0053】
また、弾性体膜の除去を物理・化学的処理により行った場合には、極めて微細な処理が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドを示す断面図である。
【図2】弾性板基材の層構成を示す模式図である。
【符号の説明】
1 記録ヘッド
2 弾性板
2´弾性板基材
3 圧電振動子
4 固定板
5 フレキシブルケーブル
6 振動子ユニット
7 ケース
8 流路ユニット
10 収容空部
11 島部
12 流路形成基板
13 ノズルプレート
14 ノズル開口
16 共通インク室
17 インク供給口
18 圧力室
19 ノズル連通口
20 堰部
21 インク供給管
30 支持板
30´ 支持板基材
31 弾性体膜
31A 圧力室に対応する封止部
31B 共通インク室に対応するコンプライアンス部
32 弾性膜層
33 接着層
Claims (11)
- 共通インク室から圧力室を経てノズル開口に連通する一連のインク流路を形成した流路形成基板と圧力室及び共通インク室の一方の開口面を封止する弾性体膜とを積層状態で接合してなる流路ユニットと、弾性体膜を変形させることで圧力室の容積を変化させる電気機械変換素子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧力室とは反対側の弾性体膜表面に、電気機械変換素子の変位面を当接固定するための島部を設け、
前記弾性体膜を、接着層と弾性膜層とからなる2層の複合膜材により構成し、
前記弾性体膜における圧力室に対応した島部の周辺の部分を、接着層と弾性膜層だけから構成する一方、共通インク室に対応した部分を、接着層を選択的に除去して弾性膜層のみで構成することで、前記共通インク室に対応した部分の厚さを圧力室に対応した島部の周辺の部分の厚さよりも薄くし、共通インク室に対応した部分のコンプライアンスを相対的に高めたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。 - 前記弾性体膜の共通インク室に対応した部分の曲げ剛性を圧力室に対応した部分の曲げ剛性よりも相対的に小さくしたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 共通インク室から圧力室を経てノズル開口に連通する一連のインク流路を形成した流路形成基板と圧力室及び共通インク室の一方の開口面を封止する弾性体膜とを積層状態で接合してなる流路ユニットと、弾性体膜を変形させることで圧力室の容積を変化させる電気機械変換素子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記圧力室とは反対側の弾性体膜表面に、電気機械変換素子の変位面を当接固定するための島部を設け、
前記弾性体膜を、接着層と弾性膜層とからなる2層の複合膜材により構成し、
前記弾性体膜における圧力室に対応した島部の周辺の部分を、接着層と弾性膜層だけから構成する一方、共通インク室に対応した部分を、接着層を選択的に除去して弾性膜層のみで構成することで、前記圧力室に対応した島部の周辺の部分の厚さを共通インク室に対応した部分の厚さよりも厚くし、圧力室に対応した部分の曲げ剛性を相対的に大きくしたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。 - 前記弾性体膜の除去を物理・化学的処理により行ったことを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記物理・化学的処理がプラズマアッシング処理であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記物理・化学的処理がドライエッチング処理であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記物理・化学的処理がウェットエッチング処理であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記弾性体膜を枠体状の支持板で支持したことを特徴とする請求項1から請求項7の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記支持板を金属材料によって構成したことを特徴とする請求項8に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記島部を、支持板となる支持板基材の圧力室に対応した部分を環状に除去することにより形成したことを特徴とする請求項9に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記電気機械変換素子を圧電振動子によって構成したことを特徴とする請求項1から請求項10の何れかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
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