CN105789080B - 半导体封装产品的检测机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体封装产品的检测机，包括机架，检测机构，上料机构，活动流道取料机构，下料机构以及至少一组固定流道接料机构；检测机构用于检测产品的是否合格；上料机构用于支撑第一装料盒；活动流道取料机构与上料机构对接，用于夹取待检产品；固定流道接料机构的前端与活动流道取料机构的尾部对接，固定流道接料机构包括两平行设置的第二夹板，与活动流道取料机构尾部对接的吸料组件，设于吸附组件下游的第二抓取组件以及第二皮带轮组件；下料机构支撑第二装料盒，第二装料盒用于装载已检产品。本发明的优点是能够快速、准确地检测出产品的各种外观缺陷；检测准确、效率高，减少了劳动强度，节省了劳动力，降低了生产成本。

Description

半导体封装产品的检测机

技术领域

本发明涉及检测设备，尤其是一种半导体封装产品的检测机。

背景技术

由于目前元件微型化，精密化，导致对产品本身的质量良率要求不断提高，不良产品流入下道工序或者市场对工厂或者产品本身造成很大的影响。目前这些行业对产品的质量以及检验的良率，均由人工通过显微镜来进行肉眼观察检测。而人工检测存在工人的工作情绪状态、工作的责任态度、肉眼的疲劳、人眼本身对密集事物的混乱等因素导致产品的质量检测准确率非常低，而且效率不高。并且人工检测需要大量的工人，会对无尘室车间造成很多不必要的污染以及更多地人员管理与费用的付出。

发明内容

本发明的目的是解决现有技术的不足，提供一种半导体封装产品的检测机。

本发明的一种技术方案：

一种半导体封装产品的检测机，包括机架，检测机构，上料机构，活动流道取料机构，下料机构以及至少一组固定流道接料机构；

检测机构，检测机构位于机架内，检测机构包括X轴传动装置，Y轴传动装置和Z轴传动装置；Z轴传动装置包括Z轴座，与Z轴座固定连接的Z轴导块，与Z轴导块平行的固定箱以及调节固定箱与Z轴导块相对高度的调节螺杆，固定箱的内部设有用于对产品进行拍照CCD相机；Y轴传动装置包括与Z轴座固定连接的Y轴座以及驱动Y轴座沿Y轴方向滑动的电机；X轴传动装置用于驱动Y轴传动装置沿X轴移动的电机；

上料机构，上料机构与Z轴导块平行且用于支撑第一装料盘，第一装料盘用于装载待检产品，上料机构包括与机架固定连接的第一固定板，设于第一固定板一侧用于支撑第一装料盘的第一支撑板，以及与第一固定板固定连接且驱动第一支撑板沿第一固定板滑动的第一升降组件；

活动流道取料机构，活动流道取料机构与Y轴平行且其前端与上料机构对接，活动流道取料机构包括第一轨道，沿第一轨道滑行的底板，设置于底板上表面的两平行第一夹板，设于两平行第一夹板间用于夹取待检产品的第一夹取组件，以及带动第一夹取组件沿两第一夹板移动的第一皮带轮组件；第一轨道与X轴方向平行用于支撑第一夹板沿X轴方向移动；第一夹取组件包括第一底座，设于第一底座上表面且与第一底座垂直的第一基板，设于第一基板外侧面的第一升降气缸，第二基板，设于第二基板外侧面的第二气缸以及用于夹取待检产品的第一上夹头和第一下夹头，第一升降气缸的主轴支撑第二基板且控制第二基板上下活动，第二气缸控制第一上夹头和第一下夹头夹取待检产品；至少一组固定流道接料机构，固定流道接料机构与Y轴平行且其前端与活动流道取料机构的尾部对接，固定流道接料机构包括两平行设置的第二夹板，设于两第二夹板之间且与活动流道取料机构尾部对接的吸料组件，设置于两第二夹板之间且位于吸料组件下游的第二夹取组件以及驱动第二夹取组件沿第二夹板移动的第二皮带轮组件，吸料组件位于Z轴传动装置的正下方且用于吸附待检产品紧贴其表面，吸料组件包括表面贯穿有第一通孔的吸附板，表面贯穿有第二通孔的底板，吸附板与底板四周密封连接，底板的第二通孔与外部真空发生器连接；第二夹取组件包括第二底座，设于第二底座上表面且与第二底座垂直的第三基板，设于第三基板外侧面的第三升降气缸，第四基板，设于第四基板外侧面的第四气缸以及用于夹取已检产品的第二上夹头和第二下夹头，第三升降气缸的主轴支撑第四基板且控制第四基板上下活动，第四气缸控制第二上夹头和第二下夹头夹取已检产品；

下料机构；下料机构与Z轴导块平行且用于支撑第二装料盘，第二装料盘用于装载已检产品，下料机构包括与机架固定连接的第二固定板，设于第二固定板一侧用于支撑第二装料盘的第二支撑板，以及与第二固定板固定连接且驱动第二支撑板沿第二固定板滑动的第二升降组件；第二支撑板与固定流道接料机构的尾部对接。

一种优选方案是固定流道接料机构还包括用于矫正待检产品位置的矫正组件，矫正组件包括与第二夹板固定连接的基座以及伸向吸附板上表面且用于压紧待检产品两侧的压块，基座与压块通过设有的滑杆活动连接，且滑杆外环套有压缩弹簧。

一种优选方案是固定箱的外侧壁设有用于标记产品不合格的标记组件，标记组件包括与固定箱侧壁固定连接的第三固定板，第五升降气缸以及与第五升降气缸固定连接的标记笔，第五升降气缸的主轴与第三固定板固定连接，第五升降气缸用于控制标记笔的升降。

一种优选方案是第一皮带轮组件包括第一皮带轮，带动第一皮带轮旋转的马达，第一前滚轮，第一后滚轮以及用于张紧第一皮带轮的第一张紧轮，第一皮带轮与第一底座固定连接用于带动第一夹取组件沿两第一夹板移动。

一种优选方案是固定流道接料机构还包括用于推动已检产品沿两平行第二夹板移动的第二推料组件，第二推料组件包括沿第二夹板外侧面滑动的第二滑块，第二连接块，第二固定块以及用于推动已检产品的第二推片，第二连接块的一端与第二滑块固定连接，另一端伸向两平行第二夹板正上方且与第二固定块的一端固定连接，第二固定块的另一端与第二推片活动连接，且第二固定块的端部设有限制第二推片的限位板。

一种优选方案是第二皮带轮组件包括第二皮带轮，带动第二皮带轮旋转的马达，第二前滚轮，第二后滚轮以及用于张紧第二皮带轮的第二张紧轮，第二皮带轮与第二底座固定连接用于带动带动第二夹取组件沿两第二夹板移动。

一种优选方案是第一升降组件包括马达，与马达主轴连接的第一丝杆，第一丝杆用于调节第一支撑板沿第一固定板上下移动。

一种优选方案第二升降组件包括马达，与马达主轴连接的第二丝杆，第二丝杆用于调节第二支撑板沿第二固定板上下移动。

一种优选方案是第一夹取组件还包括第一限位块，第一限位块包括与第二气缸固定连接的第一限位块连接部，位于第一限位块连接部上侧的第一限位块上限位部和位于第一限位块连接部下侧的第一限位块下限位部，第一上夹头和第一下夹头位于第一限位块上限位部和第一限位块下限位部之间。

一种优选方案是固定流道接料机构还包括用于调节两平行第二夹板宽度的调节组件，调节组件包括与第一轨道平行的第二轨道以及与第二夹板固定连接且与第二轨道上滑动的滑座。

综合上述技术方案，本发明的有益效果：由于第一夹板和第二夹板的宽度可以精确的调节，因此可以检测不同宽度的产品；第一夹取组件可以准确快速的夹取待检产品，并结合第一推料缓冲组件和第一推料组件可将待检产品快速准确的推向吸附板表面；吸料组件可以对待检产品定位和固定，方便检测机构对待检产品检测；第二夹取组件可以准确快速的夹取吸料组件上表面的已检产品，并结合第二推料缓冲组件和第二推料组件可将已检产品推向下料机构；能够检测出产品的各种缺陷；检测准确，检测效率高，减少了劳动强度。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本发明的立体图。

图2是图1除去上壳体的示意图。

图3是本发明中机架的内部示意图。

图4是本发明中Z轴传动装置的示意图。

图5是本发明中Z轴传动装置的主视图。

图6是本发明中上料机构的示意图。

图7是本发明中活动流道取料机构的示意图。

图8是图7中除去一块第一夹板的示意图。

图9是本发明中第一夹取组件和第一推料缓冲组件的示意图。

图10是本发明中第一夹取组件的示意图。

图11是本发明中第一夹取组件的爆炸图。

图12是本发明中活动流道取料机构的示意图。

图13是图12中除去一块第二夹板的示意图。

图14是本发明中第二夹取组件和第二推料缓冲组件的示意图。

图15是本发明中矫正组件的示意图。

图16是本发明推料组件的示意图。

图17是本发明中两组活动流道取料机构的示意图。

图18是本发明中下料机构的示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图对本发明做进一步描述。

如图1至图18所示，一种半导体封装产品的检测机，包括机架1，检测机构2，上料机构3，活动流道取料机构4，下料机构5以及至少一组固定流道接料机构6。

如图1机架1分为上壳体101和下壳体102两部分，下壳体102材质为Fe，表面喷上白色漆，下壳体102内部是通过骨架支撑上壳体101。下壳体102与上壳体101通过隔板103隔开，103隔开的材质为大理石。检测机构2，活动流道取料机构4，固定流道接料机构6分别位于上壳体101内，且隔板103支撑检测机构2，活动流道取料机构4，固定流道接料机构6。上料机构3位于机架1的左侧，下料机构5位于机架1的右侧。

如图2至图5所示，检测机构2，检测机构2位于机架1内，且可以在X 轴，Y轴和Z轴三个方向上移动，通过在X轴，Y轴和Z轴三个方向上移动来调节检测机构2与固定流道接料机构6间的相对位置。如图3所示，检测机构2 包括X轴传动装置21，Y轴传动装置22和Z轴传动装置23。上料机构3和下料机构5所连成的直线与X轴传动装置21垂直。上料机构3和下料机构5所连成的直线与Y轴传动装置22平行。Z轴传动装置23与X轴传动装置21、Y轴传动装置22所组成的平面垂直。如图4所示，Z轴传动装置23包括Z轴座231，与Z轴座231固定连接的Z轴导块232，与Z轴导块232平行的固定箱233以及调节固定箱233与Z轴导块232相对高度的调节螺杆234，通过旋转调节螺杆 234可调节固定箱233与Z轴导块232的相对高度。固定箱233的内部设有用于对产品进行拍照CCD相机235，固定箱233的底部设有照向待检产品的，打开光源，CCD相机235对固定箱233正下方的待检产品拍照，并通过控制板分析产品是否合格。Z轴导块232的侧壁设有与Z轴平行的第三导轨236，固定箱 233可沿第三导轨236上下滑动。CCD相机235与固定箱233内壁之间的相对高度可以调节，以便调节CCD相机235的焦距，其中，固定箱233内壁设有第一安装孔，CCD相机235与第一安装板237固定连接，且第一安装板237环套 CCD相机235，第一安装板237设有与第一安装孔对应的第二安装孔，通过调节第一安装孔与第二安装孔的相对位置来调节CCD相机235与固定箱233内壁的相对高度。Y轴传动装置22包括与Z轴座231固定连接的Y轴座221以及驱动Y轴座221沿Y轴方向滑动的电机，电机驱动Z轴传动装置23沿Y轴方向移动。X轴传动装置21用于驱动Y轴传动装置22沿X轴移动的电机，X轴传动装置21驱动Y轴传动装置22沿X轴方向移动。因此检测机构2可于X轴， Y轴和Z轴三个方向上移动，以便调节检测机构2与待检产品的相对位置。

如图2和图6所示，上料机构3，上料机构3与Z轴导块232平行且用于支撑第一装料盘(图中未标出)，第一装料盘用于装载待检产品，第一装料盘为长方体且其两侧为开口结构，待检产品分层间隔放置于第一装料盘内，待检产品可以是COMS、LEAD FRAME、LED、IGBT及厚膜电路，第一装料盘的开口处对着活动流道取料机构4。如图6所示，上料机构3包括与机架1固定连接的第一固定板31，设于第一固定板31一侧用于支撑第一装料盘的第一支撑板32，以及与第一固定板31固定连接且驱动第一支撑板32沿第一固定板31滑动的第一升降组件33，第一固定板31与Z轴平行，第一固定板31的侧面设有第四导轨311，第一支撑板32的边缘固定有第二安装板34，且第二安装板34与第一固定板31平行，第一升降组件33驱动第二安装板34可沿第四导轨311上下滑动。第一升降组件33包括马达，与马达主轴连接的第一丝杆331，第一丝杆331调节第一支撑板32沿第一固定板31上下移动，其中第一丝杆331穿过第二安装板34，马达通过第一丝杆331带动第二安装板34和第一支撑板32沿第四导轨311精密上下滑动。本实施例中，第一支撑板32的数量为2个，且2 个第一支撑板32通过第二安装板34固定连接，2个第一支撑板32上分别放置有第一装料盘，通过第一升降组件33来控制2个第一支撑板32的升降，因此2 个第一支撑板32上的第一装料盘可以分别交替使用。第一支撑板32的两侧边缘设有第一导向片321，第一装料盘位于两第一导向片321之间，第一导向片 321可以防止第一装料盘抖动，同时使得第一装料盘对准活动流道取料机构4。第一丝杆331为梯形丝杆，当出现突然断电或机器停运情况时，梯形丝杆可以防止第二安装板34和第一支撑板32往下滑，保证了运行时的安全可靠。

如图7至图11所示，活动流道取料机构4，活动流道取料机构4位于机架 1内，活动流道取料机构4与Y轴平行且其前端与上料机构3对接，隔板103 支撑活动流道取料机构4。如图7和图8所示，活动流道取料机构4包括固定设于机架1内且与X轴方向平行的第一轨道41，沿第一轨道41滑行的滑板42，设置于滑板42上表面的两平行第一夹板43，设于两平行第一夹板43间用于夹取待检产品的第一夹取组件44，以及带动第一夹取组件44沿两第一夹板43移动的第一皮带轮组件46。第一轨道41与X轴方向平行用于第一夹板43沿X轴方向移动，第一夹板43通过滑板42沿第一轨道41滑动以调节两平行第一夹板 43之间的间距，因此可以适应不同宽度待检产品的输送。如图8、图9，图10 和图11所示，第一夹取组件44包括第一底座441，设于第一底座441上表面且与第一底座441垂直的第一基板442，设于第一基板442外侧面的第一升降气缸 443，第二基板444，设于第二基板444外侧面的第二气缸445以及用于夹取待检产品的第一上夹头446和第一下夹头447，第一升降气缸443的主轴支撑第二基板444且控制第二基板444上下活动，第二气缸445控制第一上夹头446和第一下夹头447夹取待检产品。第一基板442与第二基板444平行设置，第二基板444上端设有与第二基板444垂直的第一顶板448，第二基板444与第一顶板448为一体式结构，第二基板444和第一顶板448构成一“7”字形，第一基板442位于第一顶板448的正下方，第一升降气缸443的主轴抵接第一顶板448 的下表面用于控制第二基板444上下移动。第二基板444的外侧面固定有第二气缸445，即第二气缸445设于第二基板444远离第一基板442的面，第二气缸 445为双向气缸，即第二气缸445的主轴同时张开或同时收缩，第二气缸445同时控制第一上夹头446和第一下夹头447张开和收缩，第二气缸445通过控制第一上夹头446和第一下夹头447张开或收缩来夹取第一装料盘内的待检产品。同时为了使得第一夹取组件44每次只夹取一件待检产品，第一夹取组件44还设置了第一限位块449，第一限位块449包括与第二气缸445固定连接的第一连接部4492，位于第一连接部4492上侧的第一上限位部4490和位于第一连接部4492下侧的第一下限位部4491，第一上夹头446和第一下夹头447位于第一上限位部4490和第一下限位部4491之间，第一上夹头446和第一下夹头447只能于第一上限位部4490和第一下限位部4491之间活动，第一上夹头446和第一下夹头447活动的范围与待检产品的厚度相同，因此第一上夹头446和第一下夹头447每次只能夹取第一装料盘内的一件待检产品。第一顶板448向远离第一上夹头446方向固定有第一推料缓冲组件45，第一推料缓冲组件45包括与第一顶板448固定连接的第一缓冲块451，用于推动待检产品沿两平行第一夹板 43移动的第一推块452以及连接第一推块452与第一缓冲块451的第一推杆(图中未标记)，第一推杆的一端与第一推块452固定连接，另一端与第一缓冲块 451活动连接，第一推杆外环套有第一压缩弹簧453，第一推块452远离第一推杆的一侧设有第一推槽4521，当第一推料缓冲组件45推动待检产品时，待检产品的侧壁位于第一推块452的第一推槽4521内。第一皮带轮组件46包括第一皮带轮461，带动第一皮带轮461旋转的马达，第一前滚轮462，第一后滚轮463 以及用于张紧第一皮带轮461的第一张紧轮464，第一皮带轮461与第一底座 441固定连接用于带动第一夹取组件44沿两第一夹板43移动。于两平行的第一夹板43间设置有第一支撑条47，第一支撑条47与第一夹板43平行且位于两平行第一夹板43的底部，第一支撑条47的上表面设有第五滑轨471，第一夹取组件44位于第五滑轨471正上方且于第五滑轨471上滑动。第一前滚轮462固定于第一支撑条47侧壁的前部，第一后滚轮463固定于第一支撑条47侧壁的后部，第一张紧轮464位于第一支撑条47侧壁的中部，且第一张紧轮464的数量为2个，马达位于2个第一张紧轮464之间，第一皮带轮461与第一底座441 固定连接用于带动第一夹取组件44沿第五滑轨471上滑动。本实施例中，第一皮带轮461内侧设有齿条，马达的主轴套有与齿条对应的齿轮。隔板103的上表面还设有用于支撑活动流道取料机构4的支撑组件40，支撑组件40包括第三支撑板401，以及设有隔板103的上表面的滑道402，滑道402与X轴方向平行，第三支撑板401支撑着活动流道取料机构4并沿滑道402滑动。

如图12至图17所示，至少一组固定流道接料机构6，固定流道接料机构 6与Y轴平行且其前端与活动流道取料机构4的尾部对接。如图12和图13所示，固定流道接料机构6包括两平行设置的第二夹板61，设于两第二夹板61之间且与活动流道取料机构4尾部对接的吸料组件62，设置于两第二夹板61之间且位于吸料组件62下游的第二夹取组件63以及驱动第二夹取组件63沿第二夹板61移动的第二皮带轮组件64。如图12所示，吸料组件62位于Z轴传动装置 23的正下方且用于吸附待检产品紧贴其表面，吸料组件62包括表面贯穿有第一通孔的吸附板621，表面贯穿有第二通孔的底板622，吸附板621与底板622四周密封连接，底板622的第二通孔与外部真空发生器连接，当待检产品从活动流道取料机构4进入吸附板621上表面时，抽真空机将吸附板621与底板622 之间抽成真空状态，吸附板621吸附待检产品紧贴其表面，检测机构2位于吸附板621正上方，并对吸附板621表面的待检产品产品进行检测。如图14所示，第二夹取组件63包括第二底座631，设于第二底座631上表面且与第二底座631 垂直的第三基板632，设于第三基板632外侧面的第三升降气缸633，第四基板634，设于第四基板634外侧面的第四气缸635以及用于夹取已检产品的第二上夹头636和第二下夹头637，第三升降气缸633的主轴支撑第四基板634且控制第四基板634上下活动，第四气缸635控制第二上夹头636和第二下夹头637 夹取已检产品。第三基板632与第四基板634平行设置，第四基板634上端设有与第四基板634垂直的第二顶板638，第四基板634与第二顶板638为一体式结构，第四基板634和第二顶板638构成一“7”字形，第三基板632位于第二顶板638的正下方，第三升降气缸633的主轴抵接第二顶板638的下表面用于控制第四基板634上下移动。第四基板634的外侧面固定有第四气缸635，即第四气缸635设于第四基板634远离第三基板632的面，第四气缸635为双向气缸，即第四气缸635的主轴同时张开或同时收缩，第四气缸635同时控制第二上夹头636和第二下夹头637张开和收缩，第四气缸635通过控制第二上夹头 636和第二下夹头637张开或收缩来夹取吸附板621上表面已检测产品。同时为了使得第二夹取组件63每次只夹取一件已检产品，第二夹取组件63还设置了第二限位块639，第二限位块639包括与第四气缸635固定连接的第二连接部 6392，位于第二连接部6392上侧的第二上限位部6390和位于第二连接部6392 下侧的第二下限位部6391，第二上夹头636和第二下夹头637位于第二上限位部6390和第二下限位部6391之间，第二上夹头636和第二下夹头637只能于第二上限位部6390和第二下限位部6391之间活动，第二上夹头636和第二下夹头637活动的范围与已检产品的厚度相同，第二夹取组件63与第一夹取组件44结构相同。第二顶板638的边沿向远离第二上夹头636方向固定有第二推料缓冲组件64，第二推料缓冲组件64包括与第二顶板638固定连接的第二缓冲块，用于推动待检产品沿两平行第二夹板61移动的第二推块以及连第二推块与第二缓冲块的第二推杆643，第二推杆643的一端与第二推块固定连接，另一端与第二缓冲块固定连接，第二推块远离第二推杆643的一侧设有第二推槽6421，当第二推料缓冲组件64推动已检产品时，已检产品的侧壁位于第二推块的第二推槽6421内。如图13所示，第二皮带轮组件64包括第二皮带轮641，带动第二皮带轮641旋转的马达，第二前滚轮，第二后滚轮642以及用于张紧第二皮带轮641的第二张紧轮，第二皮带轮641与第二底座631固定连接用于带动带动第二夹取组件63沿两第二夹板61移动，第二皮带轮组件64与第一皮带轮组件 46结构相同。于两平行的第二夹板61间设置有第二支撑条65，第二支撑条65 与第二夹板61平行且位于两平行第二夹板61的底部，第二支撑条65与隔板103 接触，第二支撑条65的上表面设有第六滑轨(图中未标记)，第二夹取组件63 位于第六滑轨正上方且于第六滑轨上滑动。第二前滚轮固定于第二支撑条65侧壁的前部，第二后滚轮642固定于第二支撑条65侧壁的后部，第二张紧轮位于第二支撑条65侧壁的中部，且第二张紧轮的数量为2个，马达位于2个第二张紧轮之间，第二皮带轮641与第二底座631固定连接用于带动第二夹取组件63 沿第六滑轨上滑动。如图12、图13和图17所示，本实施例中，第二皮带轮641 内侧设有齿条，马达的主轴套有与齿条对应的齿轮。固定流道接料机构6还包括用于调节两平行第二夹板61宽度的调节组件69，调节组件69包括与第一轨道平行的第二轨道691以及与第二夹板61固定连接且与第二轨道691上滑动的滑座692。固定流道接料机构6的组数为2组，且2组固定流道接料机构6平行设置，活动流道取料机构4沿滑道402滑动可分别对不同位置的固定流道接料机构6输送待检产品。隔板103的上表面还设有用于固定丝杠661的固定座66，丝杠661的一端固定于固定座66上，另一端依次穿过2组固定流道接料机构6 的第二夹板61，通过调节丝杠661，第二夹板61可沿第二轨道691移动，因此可以调节每组固定流道接料机构6中两平行第二夹板61之间的宽度，以适应不同宽度的检测产品于两第二夹板61间滑动。

如图18所示，下料机构5，下料机构5与Z轴导块232平行且用于支撑第二装料盘，第二装料盘用于装载已检产品，下料机构包括与机架1固定连接的第二固定板51，设于第二固定板51一侧用于支撑第二装料盘的第二支撑板52，以及与第二固定板51固定连接且驱动第二支撑板52沿第二固定板51滑动的第二升降组件53；第二支撑板52与固定流道接料机构的尾部对接。第二固定板 51与Z轴平行，第二固定板51的侧面设有第七导轨511，第二支撑板52的边缘固定有第三安装板54，且第三安装板54与第二固定板51平行。第二升降组件53马达，与马达主轴连接的第二丝杆531，第二丝杆531用于调节第二支撑板52沿第二固定板51上下移动，其中第二丝杆531穿过第三安装板54，马达通过第二丝杆531带动第三安装板54和第二支撑板52沿第七导轨511精密上下滑动。本实施例中，第二支撑板52的数量为2个，且2个第二支撑板52通过第三安装板54固定连接，第二支撑板52的两侧边缘设有第二导向片521，第二装料盘位于两第二导向片521之间。第二丝杆531为梯形丝杆，当出现突然断电或机器停运情况时，梯形丝杆可以防止第三安装板54和第二支撑板52往下滑，保证了运行时的安全可靠。

如图13和图15所示，具体地，固定流道接料机构6还包括用于矫正待检产品位置的矫正组件67，矫正组件67包括与第二夹板61固定连接的基座671 以及伸向吸附板621上表面且用于压紧待检产品两侧的压块672，基座671与压块672通过设有的滑杆活动连接，且滑杆外环套有第二压缩弹簧673。基座671 的一端与第二夹板61外壁固定连接，基座671另一端的上表面固定有抵接板 674，抵接板674设有滑杆容纳孔，滑杆的一端与压块672固定连接，另一端穿过容纳孔与抵接板674活动连接，滑杆外套有第二压缩弹簧673，当待检产品位于吸附板621的上表面时，第二压缩弹簧673由于弹力的作用，推动压块672 紧压待检产品的侧壁，同时结合吸附板621表面的真空吸附作用力，使得待检产品于合适的位置牢固地固定于吸附板621的表面。

如图4所示，固定箱233的外侧壁设有用于标记产品不合格的标记组件24，标记组件24包括与固定箱233侧壁固定连接的第三固定板241，第五升降气缸 242以及与第五升降气缸242固定连接的标记笔243，第五升降气缸242的主轴与第三固定板241固定连接，第五升降气缸242用于控制标记笔243的升降。当检测机构2检测到吸附板621表面的待检产品为不合格品时，第五升降气缸 242控制标记笔243于不合格品表面做标记。

如图12、图16和图17所示，固定流道接料机构6还包括用于推动已检产品沿两平行第二夹板61移动的第二推料组件68，第二推料组件68包括沿第二夹板61外侧面滑动的第二滑块681，第二连接块682，第二固定块683以及用于推动已检产品的第二推片684；第二连接块682的一端与第二滑块681固定连接，另一端伸向两平行第二夹板61正上方且与第二固定块683的一端固定连接，第二固定块683的另一端与第二推片684活动连接，且第二固定块683的端部设有限制第二推片684的限位板6831。

如图7和图16所示，活动流道取料机构4还包括用于推动待检产品沿两平行第一夹板43移动的第一推料组件49，第一推料组件49包括沿第一夹板43 外侧面滑动的第一滑块，第一连接块，第一固定块以及用于推动待检产品的第一推片；第一连接块的一端与第一滑块固定连接，另一端伸向两平行第一夹板 43正上方且与第一固定块的一端固定连接，第一固定块的另一端与第一推片活动连接。第一推料组件49与第二推料组件68结构是一样的，这里不在重复。

如图8所示，第一夹板43的前端和尾端分别安装有检测产品通过的第一检测器，且第一检测器位于第一夹板43内侧。如图12所示，第二夹板 61的前端和尾端分别安装有检测产品通过的第二检测器611，且第二检测器611 位于第二夹板61内侧。

下面介绍本发明的工作原理和过程：

如图1至图18所示，待检产品放于第一装料盘内，第一装料盘放于第一支撑板32上，第一支撑板32的数量为2个，第一支撑板32可以交替使用，第一升降组件33控制第一支撑板32升至合适位置，并与活动流道取料机构对接，活动流道取料机构4中的第一夹取组件44夹取第一装料盘内的待检产品，第一夹取组件44在第一皮带轮组件46的带动下沿两平行的第一夹板43移动，当第一夹取组件44将待检产品运输至第一夹板43相对应的位置后，第一上夹头446 和第一下夹头447松开，第一升降气缸443控制第二基板444下降，此时，待检产品与第一夹取组件44脱离，待检产品支撑于两平行第一夹板43之间，第一皮带轮组件46带动第一夹取组件44往回移动，活动流道取料机构4中的第一推料组件49继续推动待检产品沿两平行第一夹板43移动，当待检产品移至另一相对应位置时，第一升降气缸443控制第二基板444上升，第一皮带轮组件46带动第一夹取组件44向待检产品方向移动，第一推料缓冲组件45继续推动待检产品往固定流道接料机构6方向移动，当待检产品推至固定流道接料机构6中的吸料组件62上表面时，吸料组件62和矫正组件67将待检产品于合适的位置固定于吸附板621的表面。检测机构2对吸附板621表面的待检产品进行检测，当检测到产品不合格时，标记组件24对不合格品打上标记，当吸附板 621的表面的待检产品检测完后，第二夹取组件63夹取吸附板621表面的已检产品，第二夹取组件63在第二皮带轮组件64的带动下沿两平行第二夹板61移动，当已检产品移至第二夹板61相应位置后，第二上夹头636和第二下夹头637 松开，第二升降气缸控制第四基板634下降，此时，已检产品与第二夹取组件63脱离，已检产品支撑于两平行第二夹板61之间，第二皮带轮组件64带动第二夹取组件63往回移动，固定流道接料机构6中推料组件68继续推动已检产品沿第二夹板61移动，当已检产品移动至另一位置时，第二升降气缸控制第四基板634上升，第二皮带轮组件64带动第二夹取组件63向已检产品方向移动，此时，第二缓冲块推动已检产品至第二装料盘内，第二升降组件53控制第二支撑板52沿第二固定板51滑动。

一些实施例中，固定流道接料机构6的数量为多个，活动流道取料机构4 可分别对不同的固定流道接料机构6送料。

以上是本发明的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体封装产品的检测机，包括机架，其特征在于，还包括：

检测机构，所述检测机构位于机架内，所述检测机构包括X轴传动装置，Y轴传动装置和Z轴传动装置；所述Z轴传动装置包括Z轴座，与Z轴座固定连接的Z轴导块，与Z轴导块平行的固定箱以及调节固定箱与Z轴导块相对高度的调节螺杆，所述固定箱的内部设有用于对产品进行拍照CCD相机；Y轴传动装置包括与Z轴座固定连接的Y轴座以及驱动Y轴座沿Y轴方向滑动的电机；X轴传动装置用于驱动Y轴传动装置沿X轴移动的电机；

上料机构，所述上料机构与Z轴导块平行且用于支撑第一装料盘，所述第一装料盘用于装载待检产品，所述上料机构包括与机架固定连接的第一固定板，设于第一固定板一侧用于支撑第一装料盘的第一支撑板，以及与第一固定板固定连接且驱动第一支撑板沿第一固定板滑动的第一升降组件；

活动流道取料机构，所述活动流道取料机构与Y轴平行且其前端与上料机构对接，所述活动流道取料机构包括第一轨道，沿第一轨道滑行的底板，设置于底板上表面的两平行第一夹板，设于两平行第一夹板间用于夹取待检产品的第一夹取组件，以及带动第一夹取组件沿两第一夹板移动的第一皮带轮组件；所述第一轨道与X轴方向平行用于支撑第一夹板沿X轴方向移动；所述第一夹取组件包括第一底座，设于第一底座上表面且与第一底座垂直的第一基板，设于第一基板外侧面的第一升降气缸，第二基板，设于第二基板外侧面的第二气缸以及用于夹取待检产品的第一上夹头和第一下夹头，所述第一升降气缸的主轴支撑所述第二基板且控制所述第二基板上下活动，所述第二气缸控制第一上夹头和第一下夹头夹取待检产品；

至少一组固定流道接料机构，所述固定流道接料机构与Y轴平行且其前端与活动流道取料机构的尾部对接，所述固定流道接料机构包括两平行设置的第二夹板，设于两第二夹板之间且与活动流道取料机构尾部对接的吸料组件，设置于两第二夹板之间且位于吸料组件下游的第二夹取组件以及驱动所述第二夹取组件沿第二夹板移动的第二皮带轮组件，所述吸料组件位于所述Z轴传动装置的正下方且用于吸附待检产品紧贴其表面，吸料组件包括表面贯穿有第一通孔的吸附板，表面贯穿有第二通孔的底板，所述吸附板与底板四周密封连接，所述底板的第二通孔与外部真空发生器连接；所述第二夹取组件包括第二底座，设于第二底座上表面且与第二底座垂直的第三基板，设于第三基板外侧面的第三升降气缸，第四基板，设于第四基板外侧面的第四气缸以及用于夹取已检产品的第二上夹头和第二下夹头，所述第三升降气缸的主轴支撑所述第四基板且控制所述第四基板上下活动，所述第四气缸控制第二上夹头和第二下夹头夹取已检产品；

下料机构；所述下料机构与Z轴导块平行且用于支撑第二装料盘，第二装料盘用于装载已检产品，所述下料机构包括与机架固定连接的第二固定板，设于第二固定板一侧用于支撑第二装料盘的第二支撑板，以及与第二固定板固定连接且驱动第二支撑板沿第二固定板滑动的第二升降组件；所述第二支撑板与固定流道接料机构的尾部对接。

2.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述固定流道接料机构还包括用于矫正待检产品位置的矫正组件，矫正组件包括与第二夹板固定连接的基座以及伸向所述吸附板上表面且用于压紧待检产品两侧的压块，所述基座与压块通过设有的滑杆活动连接，且滑杆外环套有压缩弹簧。

3.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述固定箱的外侧壁设有用于标记产品不合格的标记组件，所述标记组件包括与固定箱侧壁固定连接的第三固定板，第五升降气缸以及与第五升降气缸固定连接的标记笔，所述第五升降气缸的主轴与第三固定板固定连接，第五升降气缸用于控制标记笔的升降。

4.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述第一皮带轮组件包括第一皮带轮，带动第一皮带轮旋转的马达，第一前滚轮，第一后滚轮以及用于张紧第一皮带轮的第一张紧轮，所述第一皮带轮与第一底座固定连接用于带动第一夹取组件沿两第一夹板移动。

5.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述固定流道接料机构还包括用于推动已检产品沿两平行第二夹板移动的第二推料组件，所述第二推料组件包括沿第二夹板外侧面滑动的第二滑块，第二连接块，第二固定块以及用于推动已检产品的第二推片，第二连接块的一端与第二滑块固定连接，另一端伸向两平行第二夹板正上方且与第二固定块的一端固定连接，所述第二固定块的另一端与第二推片活动连接，且第二固定块的端部设有限制第二推片的限位板。

6.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述第二皮带轮组件包括第二皮带轮，带动第二皮带轮旋转的马达，第二前滚轮，第二后滚轮以及用于张紧第二皮带轮的第二张紧轮，所述第二皮带轮与第二底座固定连接用于带动带动第二夹取组件沿两第二夹板移动。

7.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述第一升降组件包括马达，与马达主轴连接的第一丝杆，所述第一丝杆用于调节第一支撑板沿第一固定板上下移动。

8.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述第二升降组件包括马达，与马达主轴连接的第二丝杆，所述第二丝杆用于调节第二支撑板沿第二固定板上下移动。

9.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述第一夹取组件还包括第一限位块，所述第一限位块包括与第二气缸固定连接的第一连接部，位于第一连接部上侧的第一上限位部和位于连接部下侧的第一下限位部，所述第一上夹头和第一下夹头位于第一上限位部和第一下限位部之间。

10.如权利要求1所述的半导体封装产品的检测机，其特征在于，所述固定流道接料机构还包括用于调节两第二夹板宽度的调节组件，调节组件包括与第一轨道平行的第二轨道以及与第二夹板固定连接且与第二轨道上滑动的滑座。