CN105722769B - 直线运动转动装置 - Google Patents

Abstract

实现一种直线运动转动装置，该直线运动转动装置能够实现物品支承部沿第1方向的移动和绕其移动轴心的转动这两者，同时能够抑制大型化及重量的增加。直线运动转动装置具备：支承部（23），该支承部（23）将一体地设有物品支承部（S）的被操作部件（24）绕移动轴心（X1）转动自如地支承并沿第1方向（D1）移动自如地支承；直线移动体（21a），该直线移动体（21a）借助驱动部（M1）而沿着第1方向（D1）移动。被操作部件（24）在沿着移动轴心（X1）的方向观察，在从移动轴心（X1）离开的部分处与直线移动体（21a）连结。直线运动转动装置具备向直线运动状态和转动状态切换自如的动作状态切换部（L），在所述直线运动状态中，限制被操作部件（24）绕移动轴心（X1）的转动并容许被操作部件（24）沿第1方向（D1）的移动，在所述转动状态中，容许被操作部件（24）绕移动轴心（X1）的转动并限制被操作部件（24）沿第1方向（D1）的移动。

Description

直线运动转动装置

技术领域

本发明涉及直线运动转动装置,该直线运动转动装置使支承物品的物品支承部沿着直线状的第1方向移动，并且使该物品支承部绕与第1方向正交的移动轴心转动。

背景技术

上述那样的直线运动转动装置例如设于在工厂等中输送物品的顶棚输送车。顶棚输送车构成为，行进部在从顶棚悬挂的行进轨道上行进。在行进部上支承着物品支承部。在该物品支承部中，具备把持物品的把持部和将把持部升降驱动的升降驱动部。顶棚输送车在使把持部下降的状态下，在与交接物品的交接部位之间交接输送对象的物品。此时，借助直线运动转动装置调整物品支承部的俯视下的物品的位置及姿势。由此，由把持部把持的物品的俯视下的位置及姿势变得适合于交接部位，顶棚输送车能够相对于交接部位适当地交接物品。

在日本特开2000－161457号公报（专利文献1）中，公开了直线运动转动装置的一例。该直线运动转动装置具有与绕沿着上下方向的移动轴心转动自如的小齿轮一体地转动的物品支承部。该小齿轮被对置的一对齿条夹着。一对齿条分别安装在借助螺纹轴的旋转沿螺纹轴移动的块上。各块与各个螺纹轴螺纹接合。一对齿条分别随着螺纹轴的旋转而在沿着螺纹轴的旋转轴心的方向（设该方向为“第1方向”）上移动。另外，将这些螺纹轴旋转驱动的马达对应于一对螺纹轴设有一对。

当使用这样的直线运动转动装置而使物品支承部沿着第1方向移动时，控制两个马达的旋转，使得一对齿条以与物品支承部的移动量对应的移动量朝相同方向移动。另一方面，在使物品支承部绕沿着上下方向的移动轴心转动的情况下，控制两个马达的旋转，使得各自的齿条的移动量不同。即，能够对应于两个齿条的移动量的差而使物品支承部转动。

专利文献1：日本特开2000－161457号公报。

如上述那样，专利文献1的直线运动转动装置在实现物品支承部的沿着第1方向的移动、和物品支承部的绕沿着上下方向的移动轴心的转动时，需要两个驱动部。但是，如果对直线运动转动装置设置两个驱动部，则有可能导致装置大型化或直线运动转动装置的重量变重。在需要在顶棚侧支承载荷的顶棚输送车中，特别希望抑制这样的直线运动转动装置的大型化及重量的增加。

发明内容

因此，希望实现下述这样的直线运动转动装置，该直线运动转动装置能够实现物品支承部沿第1方向的移动（直线运动）和绕与第1方向正交的移动轴心的转动这两者，同时能够抑制大型化及重量的增加。

涉及本发明的直线运动转动装置的特征技术方案在于，一种直线运动转动装置，该直线运动转动装置使支承物品的物品支承部沿着直线状的第1方向移动，并且使前述物品支承部绕与前述第1方向正交的移动轴心转动，具备：被操作部件，该被操作部件一体地设有前述物品支承部；支承部，该支承部将前述被操作部件绕前述移动轴心转动自如地支承，并且将前述被操作部件沿前述第1方向移动自如地支承；直线移动体，该直线移动体借助驱动部而沿着前述第1方向移动；前述被操作部件在沿着前述移动轴心的方向观察，在从前述移动轴心离开的部分处与前述直线移动体连结；还具备向直线运动状态和转动状态切换自如的动作状态切换部，在所述直线运动状态中，限制前述被操作部件绕前述移动轴心的转动，并且容许前述被操作部件沿前述第1方向的移动，在所述转动状态中，容许前述被操作部件绕前述移动轴心的转动，并且限制前述被操作部件沿前述第1方向的移动。

根据该技术方案，能够通过在直线运动状态（限制被操作部件绕移动轴心的转动并容许被操作部件沿第1方向的移动的状态）下使直线移动体沿第1方向移动，而使被操作部件沿第1方向移动。即，能够使与被操作部件一体设置的物品支承部沿第1方向移动（能够直线运动）。此外，能够通过在转动状态（容许被操作部件绕移动轴心的转动并限制被操作部件沿第1方向的移动的状态）下使直线移动体沿第1方向移动，而使被操作部件绕移动轴心转动。即，能够使与被操作部件一体设置的物品支承部绕移动轴心转动。

这样，具备用于直线移动体的沿第1方向的移动操作的单一的驱动部，由此能够执行物品支承部沿第1方向的移动和物品支承部绕移动轴心的转动这两者。因此，能够抑制直线运动转动装置的大型化及重量的增加。即，能够实现下述这样的直线运动转动装置：该直线运动转动装置能够实现物品支承部沿第1方向的移动和物品支承部绕沿着上下方向的移动轴心的旋转这两者，同时能够抑制其大型化及重量的增加。

这里，优选的是，前述驱动部具备螺纹轴和旋转马达，所述螺纹轴配设为，旋转轴心为沿着前述第1方向的姿势，所述旋转马达将该螺纹轴绕前述旋转轴心旋转驱动；前述直线移动体以随着前述螺纹轴的旋转而沿前述第1方向移动的方式安装在前述螺纹轴上。根据该技术方案，直线移动体借助被旋转马达旋转驱动的螺纹轴而沿着第1方向移动，所以能够精度良好地调整直线移动体的沿第1方向的移动量。因此，当实现直线运动（物品支承部借助直线移动体的移动而沿着第1方向的移动）和转动（物品支承部绕沿着上下方向的移动轴心的旋转）时，能够精度良好地调整物品支承部的沿第1方向的移动量和物品支承部的绕移动轴心的旋转量。

此外，涉及本发明的直线运动转动装置作为1个实施方式，优选的是，具备控制前述驱动部及前述动作状态切换部的动作的控制部；前述控制部执行直线运动驱动控制和转动控制，所述直线运动驱动控制通过将前述动作状态切换部设为前述直线运动状态并使前述驱动部动作，使前述物品支承部沿前述第1方向移动，所述转动控制通过将前述动作状态切换部设为前述转动状态并使前述驱动部动作，使前述物品支承部绕移动轴心转动。即，能够借助控制部控制动作状态切换部的切换状态和驱动部的动作，而自动地切换物品支承部的直线运动和转动，得到使用方便性良好的直线运动转动装置。

附图说明

图1是涉及实施方式的顶棚输送车的局部剖视侧视图。

图2是直线运动转动装置的整体结构图。

图3是控制块图。

图4是说明直线运动驱动控制和转动控制的流程图。

图5是说明直线运动驱动控制的俯视图。

图6是说明转动控制的俯视图。

图7是说明有输送指令的情况下的物品支承部的位置调整的流程图。

图8是涉及另一实施方式的顶棚输送车的局部剖视侧视图。

图9是说明另一实施方式的直线运动驱动控制及转动控制的俯视图。

具体实施方式

以将本发明的直线运动转动装置应用到顶棚输送车中的情况为例，基于附图说明本发明的实施方式。如图1所示，顶棚输送车1具备行进部11和主体部12，所述行进部11在从设置于顶棚的轨道支承体2S悬挂的行进轨道2上行进自如，所述主体部12被从行进部11悬挂支承。行进部11具备在行进轨道2上旋转移动的行进车轮W和将该行进车轮W旋转驱动的行进驱动部M4。顶棚输送车1构成为，将收纳着半导体基板的容器B作为输送对象的物品，在与多个处理装置的交接部位（以后称作交接站（station））之间输送容器B。在处理装置中，构成为，对半导体基板的制造中途的半成品等进行既定的处理。

主体部12在行进部11的行进方向的前后具备罩部12C，如图1所示，在侧视中形成为向下方开口的C字状。主体部12被水平姿势的支承板12S上下分隔。在支承板12S的下方侧，具备支承容器B的物品支承部S，在支承板12S的上方侧，设有后述的直线运动转动装置。另外，直线运动转动装置是为了下述目的而使用的装置：使物品支承部S沿直线状的第1方向D1移动，并使物品支承部S绕与第1方向D1正交且沿着上下方向的移动轴心（后述的“X1”）转动。

物品支承部S具备把持容器B的把持部30和将把持部30升降驱动的升降驱动部35。把持部30具备把持用摆动体31，所述把持用摆动体31借助把持部驱动部M3相互向接近方向及离开方向移动自如。把持用摆动体31通过在把持部驱动部M3的驱动下成为接近状态，与安装在容器B的容器主体Bh的上端的凸缘Bf卡合。即，把持用摆动体31以与凸缘Bf卡合的方式把持容器B。此外，把持用摆动体31通过在把持部驱动部M3的驱动下成为离开状态，将与凸缘Bf的卡合解除而将容器B从把持状态释放。

另外，从把持部驱动部M3向把持用摆动体31的驱动力的传递例如使用进给螺纹机构或曲柄机构等已知的机构来实现，说明省略。此外，把持用摆动体31和凸缘Bf构成为，以在俯视中成为规定的“设定卡合位置关系”的方式卡合，使得把持部30能够稳定地把持容器B。

在升降驱动部35上支承着升降驱动部M2。在升降驱动部M2中，具备升降用马达和被该升降用马达旋转驱动的升降用滚筒。被该升降用滚筒卷绕或放出的金属线19a的端部连接在把持部30上。把持部30构成为从升降驱动部35由金属线19a悬挂支承的状态。通过使升降用马达正转驱动或反转驱动，把持部30上升或下降。

接着，基于图1～图3说明本实施方式的直线运动转动装置。在支承板12S上，设有在俯视中与行进部11的行进方向正交的狭缝。此外，在支承板12S上，沿着该狭缝的开口端部设有引导直线运动用支承体23的移动的导轨12G。直线运动用支承体23如图2或图3所示，形成为矩形状。在俯视中直线运动用支承体23的与行进部11的行进方向前后对置的边为与导轨12G的起立部12Ga抵接的状态。由此，直线运动用支承体23在俯视中维持着相对于导轨12G的姿势而移动自如。此外，直线运动用支承体23的底面部构成为，成为与导轨12G的水平部上表面的摩擦为较小的状态。在本实施方式中，是将轴承滚珠支承于直线运动用支承体23的底面部的构造，但例如也可以将直线运动用支承体23的底面部用摩擦系数较小的材质构成。在本实施方式中，由导轨12G进行的直线运动用支承体23的引导方向相当于第1方向D1。

此外，在直线运动用支承体23上，安装着构成为具备主体部L1a和锁止销L1b的第1锁止机构L1。第1锁止机构L1通过使锁止销L1b为突出状态并与导轨12G的起立部12Ga抵接，能够成为限制直线运动用支承体23相对于导轨12G的相对移动的锁止状态。此外，第1锁止机构L1通过使锁止销L1b为避让状态并从导轨12G离开，能够成为容许直线运动用支承体23相对于导轨12G的相对移动的释放状态。

此外，直线运动用支承体23在俯视中在大致中央处转动自如地支承着转动轴部22。在转动轴部22的下端固定着升降驱动部35。因而，升降驱动部35相对于直线运动用支承体23以转动轴部22为转动轴心相对转动自如地被支承。

在支承板12S中的行进部11的行进方向的一侧的端部上，螺纹轴12B以其旋转轴心为沿着导轨12G的姿势（即，沿着第1方向D1的方向）的方式被螺纹轴支承体12D旋转自如地支承。此外，在支承板12S上设有将螺纹轴12B旋转驱动的旋转马达MK。进而，在螺纹轴12B上具备块体21a，所述块体21a具有与该螺纹轴12B螺纹接合的阴螺纹，且随着螺纹轴12B的旋转而沿螺纹轴12B移动自如。因而，块体21a以随着螺纹轴12B的旋转而沿第1方向D1移动的方式安装在螺纹轴12B上。块体21a在上方具备与后述的连结部件24的长孔部24h卡合的卡合销21b。

连结部件24以与转动轴部22一体转动的方式连结，在俯视中以转动轴部22为转动中心转动自如。此外，在连结部件24与转动轴部22之间，设有向容许它们的相对转动的释放状态和限制相对转动的锁止状态切换自如的电磁制动式的第2锁止机构L2。

在本实施方式中，转动轴部22的轴心X1相当于移动轴心，连结部件24相当于被操作部件，块体21a相当于直线移动体，导轨12G及直线运动用支承体23相当于支承部，由旋转马达MK及螺纹轴12B构成的位置调整用驱动部M1相当于驱动部。即，直线运动转动装置具备一体地设有物品支承部S的连结部件24、将连结部件24绕转动轴部22的轴心X1转动自如地支承且将连结部件24沿第1方向D1移动自如地支承的导轨12G及直线运动用支承体23、和被旋转马达MK及螺纹轴12B沿第1方向D1移动操作的块体21a，连结部件24在沿着转动轴部22的轴心X1的方向观察在从转动轴部22的轴心X1离开的部分处与块体21a连结。

接着，说明本实施方式的控制方案。在顶棚输送车1中，设有控制其各部的动作的控制部H。控制部H例如以具备存储器、寄存器、运算部等的微型计算机为核心构成，将控制程序存储到存储器中，并且根据需要地将该程序装载到运算部中来执行。此外，在控制部H上，以能够通信的方式连接着位置调整用驱动部M1、升降驱动部M2、把持部驱动部M3、行进驱动部M4、以及第1锁止机构L1及第2锁止机构L2，控制部H控制它们各自的动作。

另外，虽然图示省略，但以能够与控制部H相互通信的方式设置有向顶棚输送车下达输送指令的上位管理装置。控制部H接受来自上位管理装置的输送指令，执行与该输送指令对应的各种控制（行进控制、升降控制、把持状态切换控制等）。这里，所谓行进控制，是下述控制：为了使行进部11移动到与目的的交接站对应的行进位置而使行进驱动部M4动作。此外，所谓升降控制，是下述控制：为了在其行进位置上使把持部30升降而使升降驱动部M2动作。此外，所谓把持状态切换控制，是下述控制：为了使把持部30的把持用摆动体31成为离开状态或接近状态而使把持部驱动部M3动作来切换容器B的凸缘Bf的把持状态。

如图4的流程图所示，控制部H如果从上位管理装置接收到指示使物品支承部S沿第1方向D1滑动移动的滑动指令（步骤#1），则执行以下这样的控制。控制部H进行控制以使第2锁止机构L2成为锁止状态，并且进行控制以使第1锁止机构L1成为释放状态（步骤#2）。即，控制部H控制第1锁止机构L1及第2锁止机构L2的动作，以成为下述状态：使第2锁止机构L2成为锁止状态而限制连结部件24绕转动轴部22的轴心X1的转动，并且使第1锁止机构L1成为释放状态而容许连结部件24沿第1方向D1的移动。并且，在此状态下，在被指示滑动的结束之前（步骤#4：Yes），驱动位置调整用驱动部M1而使螺纹轴12B旋转（步骤#3）。由此，如图5所示，连结部件24随着块体21a的移动，在维持着在俯视中绕转动轴部22的轴心X1的转动姿势的原状下移动，直线运动用支承体23沿第1方向D1移动。因而，能够在维持着物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1的转动姿势的原状下，使支承在直线运动用支承体23上的转动轴部22及支承在该转动轴部22的下端的物品支承部S沿第1方向D1移动。在本实施方式中，涉及步骤#2及步骤#3的控制相当于直线运动驱动控制。

此外，控制部H如果从上位管理装置接收到要使物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1转动的转动指令（步骤#5），则执行以下这样的控制。控制部H进行控制以使第2锁止机构L2成为释放状态，并且进行控制以使第1锁止机构L1成为锁止状态（步骤#6）。即，控制部H控制第1锁止机构L1及第2锁止机构L2的动作，以成为下述状态：使第2锁止机构L2为释放状态而容许连结部件24绕转动轴部22的轴心X1的转动，并且使第1锁止机构L1为锁止状态而限制连结部件24沿第1方向D1的移动。并且，在该状态下，在被指示转动的结束之前（步骤#4：Yes），驱动位置调整用驱动部M1而使螺纹轴12B旋转（步骤#7）。由此，如图6所示，随着块体21a的移动，在直线运动用支承体23维持着沿着第1方向D1的方向上的位置的原状下，连结部件24以转动轴部22的轴心X1为中心转动。由于连结部件24和转动轴部22以一体转动的方式连结，所以转动轴部22也以该轴心X1为中心转动。此外，如图1所示，在转动轴部22的下端，固定着构成物品支承部S的升降驱动部35，所以升降驱动部35（物品支承部S）也同样地转动。因而，能够在维持着直线运动用支承体23的沿着第1方向D1的位置的原状下，使物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1转动。在本实施方式中，涉及步骤#6及步骤#7的控制相当于转动控制。

另外，在本实施方式中，第1锁止机构L1及第2锁止机构L2相当于动作状态切换部L。此外，“使第2锁止机构L2为锁止状态、并使第1锁止机构L1为释放状态的状态”相当于直线运动状态。此外，“使第2锁止机构L2为释放状态、并使第1锁止机构L1为锁止状态的状态”相当于转动状态。并且，控制部H能够通过控制第1锁止机构L1及第2锁止机构L2的动作，切换为直线运动状态和转动状态。

此外，控制部H如上述那样构成为，执行直线运动驱动控制和转动控制。这里，所谓“直线运动驱动控制”，是“使第1锁止机构L1及第2锁止机构L2为直线运动状态而驱动位置调整用驱动部M1以使螺纹轴12B旋转、由此使物品支承部S沿前述第1方向D1移动的控制”。此外，所谓“转动控制”，是 “使第1锁止机构L1及第2锁止机构L2为转动状态而驱动位置调整用驱动部M1以使螺纹轴12B旋转、由此使物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1转动的控制”。

接着，对使用本实施方式的顶棚输送车进行容器B的输送的情况下的控制进行说明。在本实施方式中，虽然图示省略，但交接由物品支承部S（具体而言是把持部30）支承的容器B的交接站设置于在俯视中沿着行进轨道2且处于物品支承部S的下方的位置。

控制部H基于来自上位管理装置的输送指令，将容器B在输送源的交接站捞取移载，在输送目标的交接站卸下移载。为此，控制部H使行进部11行进移动到与输送源的交接站或输送目标的交接站对应的行进位置，并在使行进部11停止在该行进位置处的状态下进行捞取移载或卸下移载。在以下的说明中，关于行进部11向与输送源的交接站对应的位置的行进移动、以及行进部11从与输送源的交接站对应的位置向与输送目标的交接站对应的位置的行进移动，省略说明。以下，将输送源的交接站及输送目标的交接站作为容器B的移载对象的交接站，以该移载对象的交接站处的移载动作为中心进行说明。

在交接站中，规定了支承容器B时的俯视中的姿势（称作移载用规定姿势）。但是，当为了将被交接站支承的容器B捞取而使把持部30下降时，有被交接站支承的容器B的凸缘Bf的位置与把持部30的把持用摆动体31的位置关系不为上述的“设定卡合位置关系”的情况。此外，相反，在为了将容器B向交接站卸下而使把持部30下降的情况下，有容器B的俯视中的姿势不为交接站处的“移载用规定姿势”的情况。控制部H执行直线运动驱动控制及转动控制，以使在捞取时被交接站支承的容器B的凸缘Bf的位置与把持部30的把持用摆动体31的位置关系成为设定卡合位置关系。或者，控制部H执行直线运动驱动控制及转动控制，以使在卸下时容器B的俯视中的姿势成为交接站处的移载用规定姿势。

控制部H针对每个交接站存储为了在捞取时满足设定卡合位置关系所需要的移动量和为了在卸下时满足移载用规定姿势所需要的移动量。前者的移动量是为了在捞取时使被交接站支承的容器B的凸缘Bf的位置与把持部30的把持用摆动体31的位置关系成为设定卡合位置关系而需要的移动量。换言之，该移动量是“使物品支承部S沿第1方向D1移动的直线运动移动量”及“使物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1转动的旋转移动量”。此外，后者的移动量是为了在卸下时使容器B的俯视下的姿势成为交接站处的移载用规定姿势而需要的移动量。换言之，该移动量是“使物品支承部S沿第1方向D1移动的直线运动移动量”及“使物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1转动的旋转移动量”。

另外，上述“捞取时的移动量”与“卸下时的移动量”相等。因而，控制部H只要相对于各交接站存储单一的移动量（使物品支承部S沿第1方向D1移动的直线运动移动量和使物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1转动的旋转移动量）就可以。

如图7的流程图所示，控制部H如果从上位管理装置接收到输送指令（步骤#11），则取得存储在控制部H中的与该交接站对应的直线运动移动量和旋转移动量的信息（步骤#12）。然后，控制部H基于所取得的直线运动移动量，执行上述直线运动驱动控制（步骤#13），基于所取得的转动移动量，执行上述转动控制（步骤#14）。然后，控制部H使升降驱动部M2动作而使把持部30下降（步骤#15），执行把持状态切换控制（步骤#16）。此时，借助直线运动驱动控制及转动控制，被交接站支承的容器B的凸缘Bf的位置与把持部30的把持用摆动体31的位置关系成为设定卡合位置关系。或者，容器B的俯视中的姿势成为交接站处的移载用规定姿势。因而，能够适当地进行交接站处的容器B的交接。

接着，控制部H使升降驱动部M2动作而使把持部30上升（步骤#17）。然后，控制部H基于在步骤#12中取得的转动移动量，执行转动控制，以使物品支承部S以与在步骤#14中使物品支承部S绕转动轴部22的轴心X1转动的转动量相同的转动量向反方向转动（步骤#18）。进而，控制部H基于在步骤#12中取得的直线运动移动量，执行直线运动驱动控制，以使物品支承部S以与在步骤#13中使物品支承部S沿第1方向D1移动的移动量相同的移动量向反方向移动（步骤#19）。由此，能够使物品支承部S回到与在输送容器B时在俯视中该容器B应处的位置对应的输送用设定位置。

〔其他实施方式〕

（1）在上述说明中，示出了下述这样的方案：将驱动部用螺纹轴12B和使其旋转的旋转马达MK构成，将直线移动体设为与螺纹轴12B螺纹接合并借助螺纹轴12B的旋转而移动的块体21a。但是，驱动部及直线移动体并不限定于这样的结构，例如也可以是借助曲柄机构使沿着直线引导体而移动自如的直线移动体沿着第1方向D1移动的结构。在此情况下，曲柄机构为驱动部。此外，也可以是借助沿着第1方向D1循环驱动的链条使直线移动体沿着第1方向D1移动的结构。在此情况下，链条为驱动部。此外，也可以是，在支承板12S上沿着第1方向D1铺设齿条或链条等，将直线移动体以具备与该齿条或链条啮合的小齿轮和将该小齿轮旋转驱动的马达的方式构成。在此情况下，驱动部被装备在直线移动体上。

（2）在上述说明中，示出了将动作状态切换部L用第1锁止机构L1及第2锁止机构L2这两个锁止机构构成的例子。但是，动作状态切换部L并不限定于这样的结构，也可以例如图8～图10所示那样，将动作状态切换部L用单一的锁止机构L3构成。锁止机构L3具备主体部L3a和锁止销L3b，主体部L3a固定在直线运动用支承体23上。主体部L3a设置在直线运动用支承体23上的转动轴部22与导轨12G的起立部12Ga之间。锁止销L3b能够切换成向转动轴部22侧突出的状态和向导轨12G的起立部12Ga侧突出的状态。

当使锁止销L3b为向转动轴部22侧突出的状态时，如图9所示，锁止销L3b与转动轴部22抵接，转动轴部22以相对于直线运动用支承体23不转动的方式被固定。因而，限制以与转动轴部22一体转动的方式安装的连结部件24绕转动轴部22的轴心X1转动。此外，此时，锁止销L3b与导轨12G的起立部12Ga分离，所以容许连结部件24的沿第1方向D1的移动。这样，能够实现直线运动状态。

进而，当使锁止销L3b为向导轨12G的起立部12Ga侧突出的状态时，如图10所示，锁止销L3b与导轨12G的起立部12Ga抵接，直线运动用支承体23的沿第1方向D1的移动被限制。此外，此时，锁止销L3b与转动轴部22分离，所以转动轴部22能够相对于直线运动用支承体23转动。因而，容许以与转动轴部22一体转动的方式安装的连结部件24以转动轴部22的轴心X1为中心地转动。这样，能够实现转动状态。

（3）在上述中，说明了将直线运动转动装置用于调整顶棚输送车1的把持部的俯视中的姿势的方案。但是，本发明的直线运动转动装置并不限于顶棚输送车1，能够相对于需要实现直线运动状态和转动状态的各种各样的装置进行应用。此外，在上述中，说明了物品支承体将收纳有半导体基板的容器B作为物品、将该容器B为了输送而支承的情况。但是，物品支承体例如也可以用于支承工具或夹具等。此外，容器B、工具或夹具等也可以不是像在上述实施方式中说明的那样由把持部把持，而是固接在物品支承体上。

（4）在上述中，例示了下述方案：在从上位管理装置接收到输送指令的情况下，在使把持部30下降后执行直线运动驱动控制及转动控制，并且在执行直线运动驱动控制及转动控制后使把持部30上升。但是，把持部30的下降或上升与直线运动驱动控制及转动控制的顺序也可以相反。此外，可以先执行直线运动驱动控制和转动控制的中的任一个。

（5）在上述中，例示了以与第1方向D1在俯视中正交（即沿着上下方向）的方式具备移动轴心的直线运动转动装置（移动轴心：转动轴部22的轴心X1）。但是，移动轴心所沿着的方向并不限定于此。即，移动轴心也可以是与第1方向D1在水平方向观察下正交（即沿着水平方向）的方式，也可以是沿着从水平方向或上下方向倾斜的方向的方式。

附图标记说明

12B 螺纹轴；12G 导轨（支承部）；21a 块体（直线移动体）；23 直线运动用支承体（支承部）；24 连结部件（被操作部件）；S 物品支承部；B 物品；D1 第1方向；H 控制部；J 支承部；L 动作状态切换部；MK 旋转马达；M1 位置调整用驱动部（驱动部）；X1 转动轴部的轴心（移动轴心）。

Claims (3)

1.一种直线运动转动装置，该直线运动转动装置使支承物品的物品支承部沿着直线状的第1方向移动，并且使前述物品支承部绕与前述第1方向正交的移动轴心转动，其特征在于，

具备：

被操作部件，该被操作部件一体地设有前述物品支承部；

支承部，该支承部将前述被操作部件绕前述移动轴心转动自如地支承，并且将前述被操作部件沿前述第1方向移动自如地支承；

直线移动体，该直线移动体借助单一的驱动部而沿着前述第1方向移动；

前述被操作部件在沿着前述移动轴心的方向观察，在从前述移动轴心离开的部分处与前述直线移动体连结；

还具备向直线运动状态和转动状态切换自如的动作状态切换部，在所述直线运动状态中，限制前述被操作部件绕前述移动轴心的转动，并且容许前述被操作部件沿前述第1方向的移动，在所述转动状态中，容许前述被操作部件绕前述移动轴心的转动，并且限制前述被操作部件沿前述第1方向的移动，

沿前述第1方向的移动和绕前述移动轴心的转动二者均通过所述单一的驱动部执行，

前述动作状态切换部具备第1锁止机构和第2锁止机构，前述第1锁止机构安装在前述支承部上，用于限制前述被操作部件沿前述第1方向的移动，前述第2锁止机构设置在前述被操作部件和前述移动轴心之间，用于限制前述被操作部件绕前述移动轴心的转动，

前述动作状态切换部在前述移动体借助前述单一的驱动部移动的状态下切换前述直线运动状态和前述转动状态，在前述直线运动状态下将前述第2锁止机构设为锁定状态且将前述第1锁止机构设为释放状态，在前述转动状态下将前述第1锁止机构设为锁定状态且将前述第2锁止机构设为释放状态。

2.如权利要求1所述的直线运动转动装置，其特征在于，

前述驱动部具备螺纹轴和旋转马达，所述螺纹轴配设为，旋转轴心为沿着前述第1方向的姿势，所述旋转马达将该螺纹轴绕前述旋转轴心旋转驱动；

前述直线移动体以随着前述螺纹轴的旋转而沿前述第1方向移动的方式安装在前述螺纹轴上。

3.如权利要求1或2所述的直线运动转动装置，其特征在于，

具备控制前述驱动部及前述动作状态切换部的动作的控制部；

前述控制部执行直线运动驱动控制和转动控制，所述直线运动驱动控制通过将前述动作状态切换部设为前述直线运动状态并使前述驱动部动作，使前述物品支承部沿前述第1方向移动，所述转动控制通过将前述动作状态切换部设为前述转动状态并使前述驱动部动作，使前述物品支承部绕移动轴心转动。