CN105592937B - 液体材料填充装置及方法 - Google Patents

Abstract

提供一种液体材料填充装置及方法，为了遍及自液体材料的贮存部(51)至吐出口(53)为止的流路的全长而消除气泡的残留，具备气密构造的腔室(10)、对腔室(10)内的压力进行调节的压力调节部(70)及控制装置(100)，将负压供给源(71)与腔室连通管(90)及吐出装置连通管(91)连通而将腔室(10)内以及处于贮存容器(51)的上方的空间减压为真空或接近真空的低压力，并且维持一定时间低压力的状态而对液体材料内的气泡进行脱气，将处于贮存容器(51)的上方的空间与气体供给口(93)连通而流入气体，由此相较于腔室(10)内作为高压并将贮存容器(51)内的液体材料填充至吐出装置(50)，将处于贮存容器(51)的上方的空间与腔室(10)内连通而作为压力平衡状态，之后，以与气体供给口(93)连通而进行压力开放的方式进行填充。

Description

液体材料填充装置及方法

技术领域

本发明涉及一种将液体材料填充至液体材料吐出装置的液体材料 填充装置及方法。特别是涉及一种液体材料填充装置及方法，其在开 始使用液体材料填充装置时，不会使气泡残留于未填充有液体材料的 流路而对液体材料进行填充。

背景技术

作为将液体材料吐出的装置，已知有一种在自供给液体材料的供 给口至吐出液体材料的吐出口的流路内，配置进行旋转移动或进退移 动的轴体，且通过轴体的动作而将液体材料自吐出口吐出的装置(例如， 专利文献1)。

专利文献1的图1所公开的装置，将贮存于注射筒的液体材料经 由孔而导入到形成于分配装置壳体的流路，且通过轴的进入移动而自 喷嘴吐出液体材料。其中，轴插入于流动孔，流路由插入于流动孔的 轴的间隙所形成。此外，轴以由密封圈而朝向轴的驱动源即控制机构 不漏出的方式构成，因此，贮存于注射筒内的液体材料以到达喷嘴的 吐出口的分配装置内的流路全部由液体材料所填满的方式构成。

已知这样的构成的吐出装置，若在流路内存在有气泡，则会对装 置所吐出的液体材料的量引起偏差。此外，若在使用开始时混入了气 泡，则难以将其排除，从而成为阻碍精度良好的吐出的主要原因。具 体而言，会产生在吐出中气泡吐出而液体材料不吐出、或者即使吐出 液体材料也不形成液滴等的吐出不良状况。因此，一直以来，进行对 填充有液体材料的贮存容器(注射筒)进行离心脱泡或真空脱泡的处理 后安装于吐出装置主体。

在喷墨式的吐出装置中，气泡的混入也是问题。即，若有气泡的 混入，则由作为墨水吐出能量的发热所引起的气泡的压力、或用以挤 出墨水的驱动体的压力不会有效地传递至喷嘴，容易产生自头的喷嘴 未吐出墨水的不良状况。因此，例如，在专利文献2中提出了一种液 体填充方法，其在气密构造的腔室载置工件，且将腔室内减压至接近 真空，并通过腔室内的真空压力与贮存液体的供给箱内的大气压力的 压力差，将一定量的液体填充至上述工件内。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-322099号公报

专利文献2：日本特开2006-248083号公报

发明内容

发明所要解决的问题

即使可自贮存容器(注射筒)内的液体材料中去除气泡，在自贮存容 器朝吐出装置主体内的流路导入液体材料时，存在于流路内的气体残 留于弯曲部或阶差部，从而会有由此原因而产生的新的气泡产生的问 题。

专利文献2所公开的填充方法，可将墨水贮存部内的气泡脱气， 但仍有在连通墨水贮存部与盖部的流路内产生新的气泡的混入的可能 性。具体而言，由于在处于墨水贮存部与盖部的三通阀或流量调整阀 具有弯曲部或阶差部，因而气泡可能会残留于此。另外，在三通阀的 切换时所产生的朝气体旁路的墨水的吸入时，也有产生气泡的可能性 (参照同文献段落[0039])，而且在朝墨水盘的墨水排出后，也会有含有 气泡的墨水残留于流路内的可能性。

因此，本发明的目的在于，提供一种液体材料填充装置及方法， 其可遍及自液体材料的贮存部至吐出口为止的流路的全长而消除气泡 的残留。

解决问题的技术手段

本发明的液体材料填充装置，其特征在于，是具备气密构造的腔 室、对腔室内的压力进行调节的压力调节部、及控制装置，且将液体 材料填充至具有吐出口的吐出装置的内部流路的液体材料填充装置， 上述吐出装置是包含液体贮存容器并且被搭载于处于所述腔室外的涂 布装置来使用的吐出装置，该液体贮存容器具有与吐出口连通的出口 及连接器，上述压力调节部具备负压供给源、与腔室连通的腔室连通 管、与上述液体贮存容器的连接器连通的吐出装置连通管、将腔室连 通管与将气体供给至腔室的气体供给口连通或者截断的开闭阀A、将 腔室连通管与吐出装置连通管连通或者截断的开闭阀B、将吐出装置 连通管与将气体供给至液体贮存容器的气体供给口连通或者截断的开 闭阀C、及压力计，且控制装置具备：减压单元，其将负压供给源与 腔室连通管及吐出装置连通管连通而将腔室内及处于贮存容器内的上 方的空间减压至真空或者接近真空的低压力；脱气单元，其将腔室内 及处于贮存容器内的上方的空间维持为一定时间低压力的状态而对液 体材料内的气泡进行脱气；填充单元，其在将所述吐出装置的吐出口 向腔室内空间开放的状态下将处于贮存容器内的上方的空间与将气体 供给至液体贮存容器的气体供给口连通而使气体流入，由此相较于腔 室内作为高压并将贮存容器内的液体材料填充至吐出装置；填充停止 单元，其将处于贮存容器内的上方的空间与腔室内连通而作为压力平 衡状态；及压力开放单元，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空 间与将气体供给至腔室的气体供给口或将气体供给至液体贮存容器的 气体供给口连通，所述腔室具备能够使所述吐出装置出入的门。

在上述液体材料填充装置中，优选其特征在于，进一步具备切换 阀，该切换阀切换将腔室连通管与负压供给源连通的第1位置、及将 腔室连通管与将气体供给至腔室的气体供给口连通的第2位置，上述 控制装置在上述减压单元中将切换阀设为第1位置、及在上述压力开 放单元中将切换阀设为第2位置，更优选其特征在于，进一步具备设 置于将腔室连通管与将气体供给至腔室的气体供给口连通的流路的第 1流量控制阀、及设置于将吐出装置连通管与将气体供给至液体贮存容 器的气体供给口连通的流路的第2流量控制阀，另外，进一步优选其 特征在于，第1流量控制阀的最大流量被设定为第2流量控制阀的最 大流量的3倍以上。

在上述液体材料填充装置中，其特征也可在于，进一步具备检测 自所述吐出装置的吐出口吐出的液体材料并将液体检测信号发送至上 述控制装置的传感器。

本发明的液体材料填充方法，其特征在于，是将液体材料填充至 设置于腔室的具有吐出口的吐出装置的内部流路的方法，上述吐出装 置是包含液体贮存容器并且被搭载于处于所述腔室外的涂布装置来使 用的吐出装置，该液体贮存容器具有与吐出口连通的出口及连接有被 供给负压的管的连接器，所述腔室具备能够使所述吐出装置出入的门，该方法具有：减压工序，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间 减压至真空或者接近真空的低压力；脱气工序，其将腔室内及处于贮 存容器内的上方的空间维持为一定时间低压力的状态而对液体材料内 的气泡进行脱气；填充工序，其在将所述吐出装置的吐出口向腔室内 空间开放的状态下将处于贮存容器内的上方的空间与将气体供给至液 体贮存容器的气体供给口连通而使气体流入，由此相较于腔室内作为 高压并将贮存容器内的液体材料填充至吐出装置；填充停止工序，其 在检测出液滴自吐出口流出之后，迅速地将处于贮存容器内的上方的 空间与腔室内连通而作为压力平衡状态，并停止液体材料的填充；及压力开放工序，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间与将气体 供给至腔室的气体供给口或将气体供给至液体贮存容器的气体供给口 连通而使气体流入。

在上述液体材料填充方法中，其特征也可在于，在上述减压工序 中，对流量控制阀随着时间进行调节，缓慢地将腔室及贮存容器内的 空气排出。

在上述液体材料填充方法中，其特征也可在于，在上述填充工序 中，一边对流量控制阀随着时间进行调节一边使气体朝向处于贮存容 器内的上方的空间缓慢地流入，在上述压力开放工序中，一边对流量 控制阀随着时间进行调节一边使气体朝向处于贮存容器内的上方的空 间缓慢地流入，在此，优选其特征在于，在上述压力开放工序中，上 述流量控制阀的最大流量被设定为上述填充工序中的流量控制阀的最 大流量的3倍以上。

在上述液体材料填充方法中，其特征也可在于，上述吐出装置是 在与吐出口连通的液室内杆进行动作的吐出装置。

发明的效果

根据本发明，可以提供一种液体材料填充装置及方法，其可遍及 自液体材料的贮存部至吐出口为止的流路的全长而消除气泡的残留。

附图说明

图1为本发明的液体材料填充装置的构成图。

图2为显示将吐出装置设置于本发明的液体材料填充装置内的状 态的立体图。

图3为显示控制装置的构成的方块图。

图4为显示吐出装置的构成的主要部分剖面侧视图。

具体实施方式

以下，一边参照附图一边对用以实施本发明的方式的一例进行说 明。

＜构成＞

如图1所示，本发明的液体材料填充装置1将腔室10、压力调节 部70、控制装置100作为主要的构成要件。在气密构造的腔室10之中 设置有吐出装置50，实施填充工序。压力调节部70对腔室10及吐出 装置50的贮存容器51的压力进行调节，且通过控制装置100控制动 作。

如图2所示，腔室10具备由铰链固定的门11、把手12、卡止件 13～14、及密封构件15。

门11的开闭抓住把手12而进行。在将门11关闭且对设置成框缘 状的密封构件15进行按压的状态下，通过利用卡止件A13及卡止件 B14将门11固定，从而可使腔室内为气密。在腔室10的上部的长方 体状的框体内设置有控制装置100及压力调节部70。在该框体的正面 配置有负压计A87及负压计B88，且可自正面目视观察。

压力调节部70具备负压供给源71、流量控制阀80～82、开闭阀 83～85、切换阀86、及负压计87～88。

负压供给源71供给规定的负压，例如，可将减压阀与真空泵组合 而构成。

切换阀86对连通负压供给源71与开闭阀A83的第1位置、及经 由流量控制阀C82而连通开闭阀A83与气体供给口92的第2位置进 行切换。

插通于腔室10的管A90的一端向腔室内空间被开放。插通于腔室 10的管B91的一端与贮存容器51的下端出口连通。如图1所示，管 A90及管B91经由流量控制阀80～82、开闭阀83～85及切换阀86而 与气体供给口92、93及负压源71连通。再者，本实施方式例中，使气体供给口与大气连通而供给大气气体，但也可使气体供给口与不活 泼气体供给源连通而供给不活泼气体。

如图3所示，控制装置100与液滴检测传感器61及压力调节部70 的各要件电连接。控制装置100具备运算装置及存储装置，在下述的 填充工序中，基于来自液滴检测传感器61及负压计87～88的信号， 自动地对切换阀86及开闭阀83～85的动作进行控制。再者，在根据 时间对压力调节部70的各要件的动作进行控制的情况下，也可在控制 装置100设置以硬件或软件实现的定时器。

液滴检测传感器61对自吐出装置50的吐出口53吐出的液滴(或丝 状的液体)进行检测，且将检测信号朝控制装置100发送。也可在承接 器皿62设置计量液滴的计量装置，且通过承接器皿62的重量变化来 检测液滴的吐出。

图4为显示吐出装置50的构成的主要部分剖面侧视图。

贮存容器51与吐出装置主体52经由在内部设置有流路的输液构 件56而连结。在吐出装置主体52的一个侧面固定设置有电磁阀57。

在与吐出口53连通的液室54内配置有沿铅垂方向延伸的杆55的 前端。杆55例如通过由压电元件构成的杆驱动源而在液室54内往返 移动。

贮存容器51在下端具有出口，且在上端具有开口。在覆盖贮存容 器51的开口的盖构件(连接器)连接有空气管，且与空气压力供给58的 空气供给口连通。控制器59对电磁阀57及空气压力供给58的动作进 行控制。

在将吐出装置50设置于腔室10内时，与空气压力供给58及控制 器59的连接被脱离。此时，杆55在上升位置固定，使杆55不堵塞连 通液室54与吐出口53的流路。即，在腔室10内设置连通吐出口53 与液体贮存容器51的出口的状态的吐出装置50。

吐出装置50被搭载于涂布装置而使用，该涂布装置具备：工件台， 其载置涂布对象物；XYZ方向移动装置，其使液体定量吐出装置与工 件台相对移动；及控制部，其控制XYZ方向移动装置的动作。

图4所示的吐出装置50不过是一例，本发明可应用于杆在与吐出 口连通的液室内进行动作的任意的吐出装置。例如，本发明也可应用 于使阀体冲撞于设置于连通于喷嘴的流路的端部的阀座、或者使阀体 快要冲撞至阀座之前停止而使液体材料自喷嘴前端飞射吐出的喷射式 的吐出装置、使紧贴滑动于在前端具有喷嘴的贮存容器的内面的柱塞 移动所期望量而吐出的柱塞式、通过螺杆的旋转而吐出液体材料的螺 杆式的吐出装置。

＜填充工序＞

(准备工序：吐出装置的安装等)

作为准备工序，作业者进行以下的作业。

(1)在处于腔室10内的保持器60安装吐出装置50。

(2)将管B91连接于覆盖贮存液体材料的贮存容器51的开口的盖构 件，在贮存容器51内的上方制作封闭空间。

(3)在吐出装置50的吐出口53之下设置承接器皿62。

(4)使自吐出装置50的吐出口53朝下方延伸的垂直线、与液滴检 测传感器61的检测范围重叠。

(第1工序：腔室及贮存容器的减压)

控制装置100将切换阀86设为连通负压供给源71与开闭阀A83 的第1位置，并设为将开闭阀A83及开闭阀B84开启，且将开闭阀C85 关闭的状态。在该状态下，负压供给源71经由管A90而与腔室10连 通，且经由管B91而与贮存容器51连通。因此，通过来自负压供给源71的负压，使腔室10内的压力及存在于贮存容器51内的上方的气体 的压力减少。

吐出装置50的吐出口53向腔室内空间被开放，因而与吐出口53 连通的装置主体52的内部流路，随着腔室10的压力减少而被减压。 此时，优选通过控制装置100而对流量控制阀A80随着时间进行调节， 且以腔室10及贮存容器51内的空气不被急剧地排气的方式进行控制。 这是因为若在吐出装置50内的流路及贮存容器51内产生急剧的压力 变化，则会有气泡混入的担忧，特别是若贮存容器51内的液体材料脱 序，则混入气泡的担忧会相当程度增高。

(第2工序：气泡的除去)

在负压计A87及负压计B88达到所期望的压力(即，真空或接近真 空的低压力)后，控制装置100将开闭阀A83关闭。由此，自负压供给 源71朝腔室10及贮存容器51内的负压的供给停止，腔室10内的压 力与贮存容器51内的压力及装置主体52的内部流路的压力成为等压 的状态。在该状态下，装置主体52的内部流路实质上成为真空，从而 将气泡自存在于腔室10内的所有液体材料中除去。去除气泡的工序在 预先设定的一定时间内持续地进行。

(第3工序：液体材料的填充开始)

在经过一定时间后，控制装置100将开闭阀B84关闭，使管A90 与管B91截断。由此，腔室10与贮存容器51的上方的空间的连通被 截断。接着，控制装置100在将流量控制阀B81关闭后，开启开闭阀 C85。此时，由于流量控制阀B81关闭，因而负压计B88的指示值不 变化。

接着，控制装置100渐渐地将流量控制阀B81打开。由此，大气 气体经由开闭阀C85而自气体供给口93流入贮存容器51的上方的空 间内。此时，优选通过控制装置100对流量控制阀B81的开放程度进 行调节，以使贮存容器51内的液体材料不会急剧地流入装置主体52 的内部流路。

随着朝贮存容器51内的大气气体流入量的增加，贮存容器51内 的压力也上升，负压计B88的指示值也增加。朝贮存容器51内的大气 气体的流入(压力上升)进行至负压计B88指示所期望的压力值为止。由 于流路B91与流路A90的连通被贮存容器51内的液体材料所截断， 因而负压计A87的指示值不会增加。负压计A87的指示值与负压计B88 的指示值的差，成为贮存容器51与装置主体52的内部流路的压力差。 该压力差成为用以将贮存容器51内的液体材料送入吐出装置的内部流 路的推进压力。腔室10内的负压，例如为-60～-100kPa，负压计A与 负压计B的压力差，例如为数10kPa～数100kPa。

再者，在上述说明中，对通过控制装置100将开闭阀C85开启后 将流量控制阀B81开启的方法进行了说明，但也可通过控制装置100 预先对流量控制阀B81的开启程度进行设定后开启开闭阀C85。

(第4工序：液体材料的填充停止)

在负压计B88的指示值达到所期望值后，控制装置100将开闭阀 C85关闭。也可替代负压计B88的指示值而在经过一定时间后将开闭 阀C85关闭。此时，通过设为保持将开闭阀B84关闭的状态，维持负 压计A87与负压计B88的压力差。因此，液体材料自贮存容器51缓缓地朝装置主体52的内部流路持续地流动。在通过来自液滴检测传感 器61的检测信号确认自贮存容器51流入的液体材料已到达吐出口53 的情况后，控制装置100将开闭阀B84打开，使管A90与管B91连通。 由此，贮存容器51内的压力与腔室10的压力差消失，自贮存容器51 朝装置主体52的内部流路的液体材料的流入停止。此时，负压计A87 与负压计B88的指示值相等(压力平衡状态)。

(第5工序：腔室内负压的开放)

控制装置100将切换阀86设定于第2位置，使开闭阀A83与流量 控制阀C82连通。此时，开闭阀A83及流量控制阀C82处于关闭状态， 开闭阀B84处于开启状态。接着，控制装置100将开闭阀A83打开， 且渐渐地开启流量控制阀C82。由此，大气气体自气体供给口92经由管A90流入腔室10，且经由管B91流入贮存容器51的上方空间内。 腔室10及贮存容器51的压力上升，与大气压相等。

再者，在上述说明中，对通过控制装置100开启开闭阀A83后将 流量控制阀C82开启的方法进行了说明，但也可通过控制装置100在 对流量控制阀C82的开启程度进行设定后将开闭阀A83开启。

另外，在本工序中，也可使大气气体自气体供给口93朝腔室10 及贮存容器51的上方空间内流入。即，控制装置100也可设定为将开 闭阀A83、开闭阀C85及流量控制阀B81关闭的状态，将开闭阀B84 开启的状态，然后打开开闭阀C85，渐渐地开启流量控制阀B81。在此， 也可在通过控制装置100预先对流量控制阀B81的开启程度进行设定 后将开闭阀C85开启。在经由气体供给口93将腔室内的负压开放的情 况下，不需要切换阀86，从而可直接将流量控制阀A80与开闭阀A83 连结。

然而，若对第3工序中的大气气体朝贮存容器51的流入及第5工 序中的大气气体的流入进行比较，则由于后者的流入量明显更多，因 此有将大气气体的流入口分割为多个较好的情况。即，设置切换阀86 的构成，由于可使大气气体经由大流量的阀而自气体供给口92流入， 且可使大气气体经由小流量的阀而自气体供给口93流入，因而在第5 工序中可迅速地将腔室内的负压开放。例如，也可将流量控制阀C82 的最大流量设为流量控制阀B81的3倍以上(优选为5倍以上、更优选 为10倍以上)。

(事后工序：吐出装置的取出)

作业者目视确认负压计A87及负压计B88的指示值已回到大气 压，自腔室10内取出吐出装置50(贮存容器51及装置主体52)。

以上说明的第1～第5工序原则上自动地进行，但当然也可通过手 动进行其中一部分或全部。

根据以上说明的液体材料填充装置1，由于在不残留大气的真空的 状态或实质上真空的状态中进行液体材料的填充，因而无残留气泡的 液体材料遍及至自贮存容器至吐出口的流路的每个角落。此外，吐出 装置其本身在腔室内处于真空状态，因而无气体自吐出口流入吐出装 置的内部流路的担忧。

根据本发明，在自贮存容器至吐出口的流路内不残留气泡，因而 可获得吐出量稳定且不产生吐出不良状况的有利的效果。此外，由于 可消除因残留气泡而造成的来自吐出口的滴垂及滴漏，因而可清洁地 进行吐出。再有，在以液滴状态自吐出口进行吐出的吐出装置中，可 提高着陆位置的精度。本发明特别对在与吐出口连通的液室内配置有 作业轴(杆)的前端部分的机械式吐出装置相当有效。

符号的说明

1：液体材料填充装置

10：腔室

11：门

12：把手

13：卡止件A

14：卡止件B

15：密封构件

50：吐出装置

51：贮存容器(注射筒)

52：装置主体

53：吐出口

54：液室

55：杆

56：输液构件

57：电磁阀

58：空气压力供给

59：控制器

60：保持器

61：液滴检测传感器

62：承接器皿

70：压力调节部

71：负压供给源

80：流量控制阀A

81：流量控制阀B

82：流量控制阀C

83：开闭阀A

84：开闭阀B

85：开闭阀C

86：切换阀

87：负压计A(压力计A)

88：负压计B(压力计B)

90：管A(腔室连通管)

91：管B(吐出装置连通管)

92：(将气体供给至腔室的)气体供给口

93：(将气体供给至液体贮存容器的)气体供给口

100：控制装置。

Claims (12)

1.一种液体材料填充装置，其特征在于，

是具备气密构造的腔室、对腔室内的压力进行调节的压力调节部、及控制装置，且将液体材料填充至具有吐出口的吐出装置的内部流路的液体材料填充装置，

所述吐出装置是包含液体贮存容器并且被搭载于处于所述腔室外的涂布装置来使用的吐出装置，该液体贮存容器具有与吐出口连通的出口及连接器，

所述压力调节部具备负压供给源、与腔室连通的腔室连通管、与所述液体贮存容器的连接器连通的吐出装置连通管、将腔室连通管与将气体供给至腔室的气体供给口连通或者截断的开闭阀A、将腔室连通管与吐出装置连通管连通或者截断的开闭阀B、将吐出装置连通管与将气体供给至液体贮存容器的气体供给口连通或者截断的开闭阀C、及压力计，

所述控制装置具备：

减压单元，其将负压供给源与腔室连通管及吐出装置连通管连通而将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间减压至真空或者接近真空的低压力；

脱气单元，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间维持为一定时间低压力的状态而对液体材料内的气泡进行脱气；

填充单元，其在将所述吐出装置的吐出口向腔室内空间开放的状态下将处于贮存容器内的上方的空间与将气体供给至液体贮存容器的气体供给口连通而使气体流入，由此相较于腔室内作为高压并将贮存容器内的液体材料填充至吐出装置；

填充停止单元，其将处于贮存容器内的上方的空间与腔室内连通而作为压力平衡状态；及

压力开放单元，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间与将气体供给至腔室的气体供给口或将气体供给至液体贮存容器的气体供给口连通，

所述腔室具备能够使所述吐出装置出入的门。

2.如权利要求1所述的液体材料填充装置，其特征在于，

进一步具备切换阀，该切换阀切换将腔室连通管与负压供给源连通的第1位置、及将腔室连通管与将气体供给至腔室的气体供给口连通的第2位置，

所述控制装置在所述减压单元中将切换阀设为第1位置、及在所述压力开放单元中将切换阀设为第2位置。

3.如权利要求2所述的液体材料填充装置，其特征在于，

进一步具备设置于将腔室连通管与将气体供给至腔室的气体供给口连通的流路的第1流量控制阀、及设置于将吐出装置连通管与将气体供给至液体贮存容器的气体供给口连通的流路的第2流量控制阀。

4.如权利要求3所述的液体材料填充装置，其特征在于，

第1流量控制阀的最大流量被设定为第2流量控制阀的最大流量的3倍以上。

5.如权利要求1至4中任一项所述的液体材料填充装置，其特征在于，

进一步具备检测自所述吐出装置的吐出口吐出的液体材料并将液体检测信号发送至所述控制装置的传感器。

6.一种液体材料填充方法，其特征在于，

是将液体材料填充至设置于腔室的具有吐出口的吐出装置的内部流路的方法，

所述吐出装置是包含液体贮存容器并且被搭载于处于所述腔室外的涂布装置来使用的吐出装置，该液体贮存容器具有与吐出口连通的出口及连接有被供给负压的管的连接器，

所述腔室具备能够使所述吐出装置出入的门，

所述液体材料填充方法具有：

减压工序，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间减压至真空或者接近真空的低压力；

脱气工序，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间维持为一定时间低压力的状态而对液体材料内的气泡进行脱气；

填充工序，其在将所述吐出装置的吐出口向腔室内空间开放的状态下将处于贮存容器内的上方的空间与将气体供给至液体贮存容器的气体供给口连通而使气体流入，由此相较于腔室内作为高压并将贮存容器内的液体材料填充至吐出装置；

填充停止工序，其在检测出液滴自吐出口流出之后，迅速地将处于贮存容器内的上方的空间与腔室内连通而作为压力平衡状态，并停止液体材料的填充；及

压力开放工序，其将腔室内及处于贮存容器内的上方的空间与将气体供给至腔室的气体供给口或将气体供给至液体贮存容器的气体供给口连通而使气体流入。

7.如权利要求6所述的液体材料填充方法，其特征在于，

在所述减压工序中，对流量控制阀随着时间进行调节，缓慢地将腔室及贮存容器内的空气排出。

8.如权利要求6或7所述的液体材料填充方法，其特征在于，

在所述填充工序中，一边对流量控制阀随着时间进行调节一边使气体朝向处于贮存容器内的上方的空间缓慢地流入，

在所述压力开放工序中，一边对流量控制阀随着时间进行调节一边使气体朝向处于贮存容器内的上方的空间缓慢地流入。

9.如权利要求8所述的液体材料填充方法，其特征在于，

在所述压力开放工序中，所述流量控制阀的最大流量被设定为所述填充工序中的流量控制阀的最大流量的3倍以上。

10.如权利要求6或7所述的液体材料填充方法，其特征在于，

所述吐出装置是在与吐出口连通的液室内杆进行动作的吐出装置。

11.如权利要求8所述的液体材料填充方法，其特征在于，

所述吐出装置是在与吐出口连通的液室内杆进行动作的吐出装置。

12.如权利要求9所述的液体材料填充方法，其特征在于，

所述吐出装置是在与吐出口连通的液室内杆进行动作的吐出装置。