CN108319116A - 显影液回收装置 - Google Patents

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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

本申请涉及液晶面板制造领域，一种显影液回收装置。包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。本申请所述显影液回收装置，因为消除了气泡对所述液位传感器的影响，从而纠正了液位传感器的检测偏差，可以更加准确的检测当前的液位高度，保证正产的正常运行，避免因液位传感偏差而带来的宕机或者基板报废等损失。

Description

显影液回收装置
技术领域
本申请涉及液晶面板制造领域，尤其涉及一种显影机内显影液循环系统中的显影液回收装置。
背景技术
显影机是液晶面板制造行业中必不可少的设备，涂布光阻的玻璃基板经过曝光后进入显影机，显影机将显影液均匀的撒在玻璃基板上，进而将光罩定义出的图像显现出来。基板在滚轮的带动下持续向前运动，多余的显影液顺着基板流到显影槽内，然后通过排液管道回流到显影液收集装置中回收利用。
显影液通过排液管道回流时，由于显影液在管道内会与管道产生冲击。显影液在冲击的作用下会产生很多气泡，气泡将随显影液顺管道回流到显影液收集装置中。若显影液收集装置中的气泡长时间累积，会在显影液表面上以泡沫状漂浮。漂浮的气泡容易导致收集装置中的液位传感器对当前的显影液位感应失真而引发警报，引起机台宕机。这样的情况下需要对玻璃基板重新执行光阻，或直接对基板执行报废，造成不必要的损失。
发明内容
本申请本提出一种显影液回收装置，可以准确测定显影液在收集装置中的液位高度，避免浪费或损失。本申请包括如下技术方案：
一种显影液回收装置，包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。
其中，所述除泡器包括串联于所述进水管中的泡沫离心机。
其中，所述除泡器包括串联于所述进水管中的细孔过滤装置，所述细孔过滤装置用于过滤显影液中较大直径的气泡。
其中，所述细孔过滤装置位于所述泡沫离心机和所述储液器之间。
其中，所述除泡器包括装置于所述储液器上的超声波发生器，所述超声波发生器用于向所述储液器中的显影液发出超声波以消除气泡。
其中，所述超声波发生器位于所述储液器内腔的顶部，以使得所述超声波发生器发出的超声波直接作用于漂浮于显影液表面的气泡。
其中，所述除泡器包括装设于所述储液器内腔的搅拌器，所述搅拌器在所述储液器中的高度低于所述储液器的最低液位高度。
其中，所述除泡器包括减压装置，所述减压装置连通所述储液器内腔，所述减压装置用于降低所述储液器内腔的气压以消除气泡。
其中，所述液位传感器为多个，多个所述液位传感器分散于所述储液器内腔中，多个所述液位传感器共同作用以确定所述显影液的液位高度。
其中，所述显影液回收装置还设有控制单元，所述控制单元与所述液位传感器及所述除泡器电连接，所述控制单元根据所述液位传感器反馈的液位信息以控制所述除泡器的运行功率大小。
本申请所述显影液回收装置，通过将所述储液器的所述进水管和所述出水管串联于显影机的显影液循环系统中，实现了将进行过显影工作的显影液引入所述显影液回收装置进行回收处理的基础。通过所述除泡器对所述显影液回收装置中的显影液进行除泡动作，使得所述储液器内显影液中的气泡减少或消失。进而避免了气泡过多过大引得所述储液器中的所述液位传感器感应失真的现象，提高了所述液位传感器的传感精度。
附图说明
图1是本申请显影液回收装置的示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
请参阅图1所示的显影液回收装置100，装备于显影机的显影液循环系统200中。所述显影液回收装置100包括储液器10，所述储液器10通过进水管11和出水管12串联于显影机的所述显影液循环系统200中。可以理解的，所述进水管11接收由所述显影液循环系统200回收的显影液，并将显影液引入所述储液器10中进行存储。所述储液器10中还设有液位传感器20，所述液位传感器20用于感应当前所述储液器10中的显影液位高度。所述显影液回收装置100还包括除泡器30，所述除泡器30用于消除显影液中的气泡，从而消除气泡对所述液位传感器20的感应数据影响，避免液位感应数据的失真。
具体的，由于所述储液器10中设有液位传感器20，所述液位传感器20的工作原理是根据自身所探测到的最高显影液位来认定当前所述储液器10中的显影液存量。而泡沫状的气泡会导致所述液位传感器20将气泡顶面误认为当前液位的最高位置，这与实际液位的高度产生了偏差。当偏差的液位高度达到高位预警值时，会引起显影机机台的宕机。如果此时玻璃基板停留在显影机中，需重新执行光阻制程。更甚者，若当前显影机正处于PLN层的制备过程中，则玻璃基板需要直接执行报废处理。然而，此时显影液的实际液位并没有达到高位预警的程度，是由于显影液中的气泡对所述液位传感器20的干扰而带来的检测数据失真。可见由此造成的浪费属于生产制程汇总不必要的浪费。
另一方面，所述液位传感器20往往还设有液位过低的报警阈值。即当所述储液器10中的显影液存量不足，不能保证所述显影液循环系统200的正常运行时，会产生报警以提醒操作者进行显影液的补充。但是由于气泡的影响，所述液位传感器20对显影液的液位判断依然高于显影液的实际液位高度。即当所述储液器10中的显影液已经低于需要补充显影液的低位阈值时，所述液位传感器20仍然显示当前的显影液处于可接受状态。由此可能导致整个所述显影液循环系统200不能保证正常工作，造成显影机显影不达标等不利影响。因此，在引入所述除泡器30将气泡进行过滤或击破后，所述液位传感器20能够减少或避免由气泡带来的感应失真现象，保证显影机的正常运转。
一种实施例，所述除泡器30包括泡沫离心机31。所述泡沫离心机31串联于所述进水管11中，即所述泡沫离心机31位于所述进水管11与所述储液器10之间。带气泡的显影液进入所述储液器10之前，需要通过所述泡沫离心机31。所述泡沫离心机31对通过其内部流向所述储液器10中的显影液施加高速旋转运动，使得含气泡的显影液在高速的旋转运动中气泡壁被离心力挤破，从而达到消除显影液中气泡的效果。
一种实施例，所述除泡器30包括细孔过滤装置32，所述细孔过滤装置32串联于所述进水管11中。也即所述细孔过滤装置32位于所述进水管11与所述储水器10之间。带气泡的显影液进入所述储液器10之前，需要通过所述细孔过滤装置32。所述细孔过滤装置32可以将显影液中较大直径的气泡进行过滤，较大直径的气泡在无法通过所述细孔过滤装置32的情况下或者破裂，或者分裂为能够通过所述细孔过滤装置的多个小气泡而进入所述储液器10。由上述的原理可知，所述液位传感器20在显影液的表面漂浮有较大气泡的情况下会受到更多的干扰，其感应检测值的偏差会更大。而直径较小的气泡则相应对所述液位传感器20造成的偏差值较小。当所述细孔过滤装置32容许通过的气泡直径达到一定小的尺寸时，可以认为所述除泡器30对显影液中的气泡进行了有效的控制，所述液位传感器20的检测数据误差也被纳入可接受范围之内。
可以理解的，所述泡沫离心机31和所述细孔过滤装置32还可以同时设置于本申请所述显影液回收装置100中，以共同组成所述除泡器30。在所述泡沫离心机31和所述细孔过滤装置32共同的作用下，所述除泡器30可以有效的减少显影液中的气泡数量，并将剩余气泡的直径控制在可接受的范围内。由于所述细孔过滤装置32的工作方式更稳定，对气泡的直径更可控，宜将所述细孔过滤装置32设置于所述泡沫离心机31和所述储液器10之间，让显影液先通过所述泡沫离心机31的除泡处理，再经由所述细孔过滤装置32流入所述储液器10。在所述泡沫离心机31中未能完全消除的气泡可以通过所述细孔过滤装置32化解为直径较小的气泡进入所述储液器10中，从而将显影液气泡对所述液位感应器20的影响化至更小。
一种实施例，所述除泡器30中包括超声波发生器33。所述超声波发生器33装置于所述储液器10上。具体的，所述超声波发生器33位于所述储液器10的内腔13中，所述超声波发生器33用于向所述储液器10的所述内腔13中发出超声波。在超声波的定向能冲击下，显影液中的气泡受到超声振动，高频率的振动将气泡壁振破，从而达到消除气泡的效果。
进一步的，所述超声波发生器33位于所述储液器10的所述内腔13顶部，即所述超声波发生器33从所述内腔13的顶部朝向显影液表面发出超声波。因为气泡多以漂浮的形式存在与显影液中，当所述超声波发生器33正对显影液表面时，所述超声波发生器33发出的超声波可以直接作用于漂浮于显影液表面的气泡，进而更有效，更直接的将漂浮于显影液表面的气泡击破，达到更理想的除泡效果。
尽管显影液中的气泡大多以漂浮的形式存在于显影液的表面，但显影液内部还是存在包含有一部分气体的现象。为此，一种实施例，所述除泡器30包括搅拌器34，所述搅拌器34装设于所述储液器10的所述内腔13中。具体的，所述搅拌器34需要直接伸入显影液中进行搅拌。这样的设置可以通过所述搅拌器34直接搅拌显影液，从而将包含于显影液内部的部分气体通过搅拌的方式排出。为了不影响所述液位传感器20的工作，一方面，所述搅拌器34在所述储液器10中的高度应低于所述储液器10的最低液位高度，以在搅拌的过程中避开所述液位传感器20，消除干涉；另一方面，所述搅拌器34为断续工作制，即所述搅拌器34在工作一段时间后需要停止搅拌，待所述内腔13中的显影液液面归于平静后，由所述液位传感器20读取液位的检测数据后，再进行下一次的搅拌工作。这样可以避免因为所述搅拌器34的搅拌而造成显影液液面的不规则运动，影响所述液位传感器20的感应工作正常开展。
一种实施例，所述除泡器30包括减压装置35。所述减压装置35需要连通所述储液器10的所述内腔13，并同时连通所述储液器10的外部。所述减压装置35通过抽气等方式持续向所述储液器10的外部输出气压，以降低所述储液器10的所述内腔13以内的气压。当所述内腔13内的气压越来越低时，显影液表面的气泡内部气压依然为正常气压，此时在气泡壁的内外形成了越来越大的压强差，最终使得气泡壁的内外压强差超过气泡壁自身承受极限，进而破裂以实现气泡的消除。
可以理解的，同所述泡沫离心机31和所述细孔过滤装置32可以同时设置于本申请所述显影液回收装置100中以共同组成所述除泡器30的情况类似，上述所述超声波发生器33、所述搅拌器34和所述减压装置34同样可以与所述泡沫离心机31和/或所述细孔过滤装置32搭配于本申请所述显影液回收装置100中，通过二者或者多者的搭配以实现更好的除泡效果。在图1的实施例中，所述除泡器30同时包括了上述的全部除泡组件，从而实现较好的除泡效果，可以有效提高所述液位传感器20的传感精度，避免偏差。
一种实施例，本申请所述显影液回收装置100还设有控制单元40。所述控制单元40与所述液位传感器20及所述除泡器30电连接，所述控制单元40根据所述液位传感器20反馈的液位信息，来控制所述除泡器30的工作时长、功率大小等参数。甚至，在多个除泡组件组合以形成所述除泡器30的情况下，所述控制单元40还可以控制单个除泡组件的启动或关闭动作，从而通过所述液位传感器20反馈的液位信息来控制所述除泡器30中的工作组件搭配。例如，所述控制单元40可以控制所述搅拌器34的搅拌速度和搅拌时长，同时辅以控制所述减压装置35的减压功率，使得二者配合起来以实现更好或更经济节能的除泡效果。另一示例为：所述控制单元40通过所述液位传感器20反馈的液位信息来控制所述泡沫离心机31的转速或转动时长，同时辅以控制所述超声波发生器33所发出的超声波的功率或波长、频率，以此来搭配并实现更好或鞥经济节能的除泡效果。类似的示例较多，本申请不对此做一一限定。
还有一种实施例，是针对所述液位传感器20设置的。该实施例中的所述液位传感器20为多个，多个所述液位传感器20分散于所述储液器10的所述内腔13中，多个所述液位传感器20同时工作。因为在显影液表面的气泡通常不会均匀分布，会出现一些液面位置的气泡聚集较多，另一些液面位置的气泡聚集较少的情况。当多个所述液位传感器20同时设置于所述内腔13中时，可以通过设定，认定多个所述液位传感器20中读数最低的一个所述液位传感器20的读数为当前的液面高度。这样可以有效规避只有一个所述液位传感器20时，所述液位传感器20因为气泡的随机聚集效应而造成较大的读数偏差。可以理解的，液位读数最低位置的所述液位传感器20的读数，可能是当前准确的液位高度读数，也可能是当前多个所述液位传感器20中受气泡干扰最小的一个所述液位传感器20的读数。无论如何，这样的设置都可以提高所述液位传感器20的读数精度，将偏差值降至最小。
可以理解的，多个所述液位传感器20的方案也可以同上述的除泡器30方案搭配实施，由此进一步降低所述液位传感器20的读数偏差值。
以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种显影液回收装置，其特征在于，包括储液器，所述储液器通过进水管和出水管串联于显影机的显影液循环系统中，所述储液器中设有液位传感器，所述显影液回收装置还包括除泡器，所述除泡器用于消除显影液中的气泡。
2.如权利要求1所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括串联于所述进水管中的泡沫离心机。
3.如权利要求2所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括串联于所述进水管中的细孔过滤装置，所述细孔过滤装置用于过滤显影液中较大直径的气泡。
4.如权利要求3所述显影液回收装置，其特征在于，所述细孔过滤装置位于所述泡沫离心机和所述储液器之间。
5.如权利要求3所述显影液回收装置，特征在于，所述除泡器包括装置于所述储液器上的超声波发生器，所述超声波发生器用于向所述储液器中的显影液发出超声波以消除气泡。
6.如权利要求5所述显影液回收装置，其特征在于，所述超声波发生器位于所述储液器内腔的顶部，以使得所述超声波发生器发出的超声波直接作用于漂浮于显影液表面的气泡。
7.如权利要求2所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括装设于所述储液器内腔的搅拌器，所述搅拌器在所述储液器中的高度低于所述储液器的最低液位高度。
8.如权利要求2所述显影液回收装置，其特征在于，所述除泡器包括减压装置，所述减压装置连通所述储液器内腔，所述减压装置用于降低所述储液器内腔的气压以消除气泡。
9.如权利要求2～8中任一项所述显影液回收装置，其特征在于，所述液位传感器为多个，多个所述液位传感器分散于所述储液器内腔中，多个所述液位传感器共同作用以确定所述显影液的液位高度。
10.如权利要求2～8中任一项所述显影液回收装置，其特征在于，所述显影液回收装置还设有控制单元，所述控制单元与所述液位传感器及所述除泡器电连接，所述控制单元根据所述液位传感器反馈的液位信息以控制所述除泡器的运行功率大小。
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