CN201586488U - 五速段自动整体搅拌系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种五速段自动整体搅拌系统,其包括设于制绒槽内上部的吸水管和下部的出水管、与吸水管和出水管联通的循环泵、设于制绒槽内各处的检测装置,还包括一控制循环泵的控制系统。该控制系统包括:可控制循环泵以五个速度段运转的变频器,所述的检测装置与该控制系统连接。本实用新型根据检测装置提供的数据,由控制系统将控制循环泵抽吸和排放制绒槽中的液体,进行循环搅拌,并可以五个速度段运转来自动调整搅拌速度,以便快速的控制槽内的温差以及防止碱液结晶。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片处理设备,尤其涉及一种用于硅片碱液制绒面处理中,可以使碱液在清洗过程中的浓度、温度均匀以及减少碱液结晶的五速段自动整体搅拌系统。
背景技术
在硅片碱液制绒面处理过程中,清洗硅片时碱液的浓度、温度是否均匀以及碱液结晶多少是必须控制的。这直接影响硅片清洗的质量。现有制绒碱液的浓度、温度及结晶的控制是采用简单的搅拌装置来控制,碱液各点温度的及时检测和碱液的及时搅拌,都不能有效的控制,使得碱液结晶较快、较多,影响硅片碱液制绒面处理的质量。
发明内容
为解决上述技术问题,本实用新型提出一种可以高效、准确控制碱液浓度、温度以及减少碱液结晶的五速段自动整体搅拌系统。
本实用新型提出的五速段自动整体搅拌系统,其包括设于制绒槽内上部的吸水管和下部的出水管、与吸水管和出水管联通的循环泵、设于制绒槽内各处的检测装置,还包括一控制系统。该控制系统包括:可控制循环泵以五个速度段运转的变频器,所述的检测装置与该控制系统连接。
本实用新型的检测装置不断测量碱液中各点的温度,当各点的温差达到设备设定值时,控制系统将控制循环泵抽吸和排放制绒槽中的液体,进行循环搅拌,并会根据温差的大小控制循环泵以高速、较高速、中速、较低速、低速--五个速度段运转,自动调整循环搅拌速度。以便快速控制槽内的温差以及防止碱液结晶。本实用新型采用五速段自动整体搅拌系统来调节搅拌速度,其结合电气控制和检测功能,达到使制绒碱液浓度、温度均匀及减少结晶的效果。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明,其中:
图1为本实用新型较佳实施例结构示意图;
图2为图1的剖视图。
具体实施方式
图1和图2示出了本实用新型较佳实施例基本结构,所述的五速段自动整体搅拌系统,其包括设于制绒槽1内上部的吸水管2和下部的出水管3、与吸水管2和出水管3联通的循环泵4、设于制绒槽1内各处的检测装置5,还包括一控制系统。该控制系统包括可控制循环泵4以高速、较高速、中速、较低速、低速--五个速度段运转的的变频器6,所述的检测装置5与控制系统连接。
在硅片的清洗过程中,检测装置5不断测量制绒槽1中的碱液中各点的温度,当各点的温差达到设备设定值时,控制系统通过变频器6控制循环泵4启动,循环泵由吸水管2和出水管3来抽吸和排放制绒槽中的液体,从而使得液体进行循环搅拌。变频器控制循环泵以高速、较高速、中速、较低速、低速--五个速度段运转,根据温差自动调整循环搅拌速度。搅拌的速度也可人工在控制系统的触摸屏上调整。这样便可以快速的控制槽内的温差以及防止碱液结晶,加工出高质量的硅片。
以上结合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述,但是本技术领域内的技术人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化,这些变更和变化应落入本实用新型保护的范围之内。
Claims (1)
1.一种五速段自动整体搅拌系统,其特征在于,包括设于制绒槽(1)内上部的吸水管(2)和下部的出水管(3)、与吸水管(2)和出水管(3)联通的循环泵(4)、设于制绒槽(1)内各处的检测装置(5),还包括一控制系统;该控制系统包括可控制循环泵(4)以五个速度段运转的变频器(6),所述的检测装置(5)与控制系统连接。
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CN2009202611555U CN201586488U (zh) | 2009-12-08 | 2009-12-08 | 五速段自动整体搅拌系统 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108421444A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-08-21 | 砺剑防务技术集团有限公司 | 一种搅拌装置 |
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2009
- 2009-12-08 CN CN2009202611555U patent/CN201586488U/zh not_active Expired - Fee Related
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GR01 | Patent grant | ||
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