JP2002326607A - シリンジへの液状樹脂の充填装置及び充填方法 - Google Patents

シリンジへの液状樹脂の充填装置及び充填方法

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JP2002326607A
JP2002326607A JP2001128539A JP2001128539A JP2002326607A JP 2002326607 A JP2002326607 A JP 2002326607A JP 2001128539 A JP2001128539 A JP 2001128539A JP 2001128539 A JP2001128539 A JP 2001128539A JP 2002326607 A JP2002326607 A JP 2002326607A
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syringe
resin
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Junichi Himeji
淳一 姫路
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Panasonic Electric Works Co Ltd
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Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高粘度の液状樹脂をシリンジ内に注入して充
填することのできるものであって、注入ノズル内に残存
する液状樹脂がばらつくことがないように素早く充填す
ることのできるシリンジへの液状樹脂の充填装置及び充
填方法を提供する。 【解決手段】 充填装置は、真空雰囲気室13と、この
真空雰囲気室内13に配置さた複数のシリンジ1と、液
状樹脂5がストックされたストックタンク14と、移送
ホース4によって接続されると共に真空雰囲気室13内
のシリンジ1の上方に配置される注入ノズル2とを具備
する。上記注入ノズル2が、上端に形成した液状樹脂5
の供給口6と、下端に形成した吐出口7とを連結する直
線状の樹脂移送路3を形成すると共に、この樹脂移送路
3に横側から合流して、合流個所より下方の樹脂移送路
3に存在する液状樹脂5を吐出すエアーが流入するエア
ー流入路8を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体パッケージ
の封止に用いられる液状封止樹脂等、液状樹脂をシリン
ジに充填する装置及び方法に関し、特に粘度が30Pa
・S以上で、実用的に粘度が500Pa・S以下の高粘
度液状樹脂に適用されるシリンジへの液状樹脂の充填装
置及び充填方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液状樹脂を用いて半導体パッケージの封
止を行う充填装置として、複数本のシリンジを配列して
手作業によることなく、自動的に液状樹脂を充填するこ
とが試みられている。粘度の高い液状樹脂を充填する装
置として、複数のシリンジを真空雰囲気に配置し、スト
ックタンクからを介して上記シリンジの上方に配置した
注入ノズルに液状樹脂を供給し、注入ノズルからシリン
ジに注入して充填する装置が知られている(例えば、特
開2001―2190号公報等)。上記充填装置に採用
される注入ノズルの注入方法は、ニードル方式の液垂れ
防止機構で注入する方法や、ピンチコック方式の液垂れ
防止機構で注入する方法や、スプリング方式の液垂れ防
止機構で注入する方法が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】電子機器の使用範囲の
拡大に伴い、半導体パッケージ等の封止に用いられる液
状樹脂は、多様な材料が採用されており、これに伴い、
粘度が30Pa・S以上の高粘度のものが多用されてい
る。そして、高粘度の液状樹脂を充填する場合にあって
は、注入ノズル内に残存する液状樹脂がばらつくことが
ないように素早く充填することで、より精度の向上する
充填装置や方法が求められている。また、生産性の向上
のために、注入ノズルを交換したり、清掃したりするこ
とが容易である簡素なものが望まれている。
【0004】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、高粘度の液状樹脂をシリ
ンジ内に注入して充填することのできるものであって、
注入ノズル内に残存する液状樹脂がばらつくことがない
ように素早く充填することのできるシリンジへの液状樹
脂の充填装置及び充填方法を提供することにある。
【0005】さらに、本発明の他の目的とするところ
は、注入ノズルを交換したり、清掃したりすることが容
易で、簡素な構造のシリンジへの液状樹脂の充填装置及
び充填方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載のシリンジ
への液状樹脂の充填装置は、真空雰囲気室と、この真空
雰囲気室内に配置され上端に開口部を下端に注出口を設
けて形成された複数のシリンジと、真空雰囲気室外に配
置され液状樹脂がストックされたストックタンクと、ス
トックタンクと移送ホースによって接続されると共に真
空雰囲気室内にあってシリンジの上方に配置されて、ス
トックタンクから供給される30Pa・S以上の高粘度
の液状樹脂をシリンジ内に上端の開口部から注入して充
填する注入ノズルとを具備するシリンジへの液状樹脂の
充填装置において、上記注入ノズルが、上端に形成した
液状樹脂の供給口と、下端に形成した吐出口とを連結す
る直線状の樹脂移送路を形成すると共に、この樹脂移送
路に横側から合流して、合流個所より下方の樹脂移送路
に存在する液状樹脂を吐出すエアーが流入するエアー流
入路を形成したことを特徴とする。上記によって、真空
雰囲気室内の注入ノズルにエアーを導入するので、この
エアーの導入によって注入ノズル内に残存する液状樹脂
を確実に且つ短時間で吐出することができるものであ
る。また、上記充填装置は、注入ノズルが直線状の樹脂
移送路とエアー流入路で構成されており、簡素な構造で
あり、注入ノズルを交換したり、清掃したりすることが
容易である。
【0007】請求項2記載のシリンジへの液状樹脂の充
填装置は、請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填
装置において、上記エアー流入路が、樹脂移送路に対し
斜め上方から合流するように形成されていることを特徴
とする。上記によって、より短時間で高粘度の液状樹脂
を注入することができるものである。
【0008】請求項3記載のシリンジへの液状樹脂の充
填装置は、請求項1又は請求項2記載のシリンジへの液
状樹脂の充填装置において、上記真空雰囲気室内の真空
度の低下を感知して、エアーの流入を停止する手段を有
することを特徴とする。
【0009】請求項4記載のシリンジへの液状樹脂の充
填装置は、請求項1乃至請求項3いずれか記載のシリン
ジへの液状樹脂の充填装置において、上記真空雰囲気室
内の真空度を所定範囲に保持する手段を有することを特
徴とする。
【0010】請求項5記載のシリンジへの液状樹脂の充
填方法は、上端に開口部を下端に注出口を設けて形成さ
れた複数本のシリンジを真空雰囲気に配置し、真空雰囲
気の外部に配置され液状樹脂がストックされたストック
タンクから移送ホースを介して真空雰囲気内に配置され
た注入ノズルに30Pa・S以上の高粘度の液状樹脂を
供給し、注入ノズルから液状樹脂を各シリンジにその上
端の開口部から注入して充填するシリンジへの液状樹脂
の充填方法において、上記注入ノズルの供給口と吐出口
とを連結する直線状の樹脂移送路に液状樹脂を満たし、
上記樹脂移送路に横側から合流するエアー流入路からエ
アーを流入して合流個所より下方の樹脂移送路に存在す
る液状樹脂をエアーで吐出すことを特徴とする。上記に
よって、真空雰囲気室内の注入ノズルにエアーを導入す
るので、このエアーの導入によって注入ノズル内に残存
する液状樹脂を確実に且つ短時間で吐出することができ
るものである。
【0011】請求項6記載のシリンジへの液状樹脂の充
填方法は、請求項5記載のシリンジへの液状樹脂の充填
方法において、上記エアーを樹脂移送路に対し斜め上方
から合流するエアー流入路から流入することを特徴とす
る。上記によって、より短時間で高粘度の液状樹脂を注
入することができるものである。
【0012】請求項7記載のシリンジへの液状樹脂の充
填方法は、請求項5又は請求項6記載のシリンジへの液
状樹脂の充填方法において、上記真空雰囲気の真空度の
低下で液状樹脂は吐出されたことを感知して、エアーの
流入を停止することを特徴とする。
【0013】請求項8記載のシリンジへの液状樹脂の充
填方法は、請求項5乃至請求項7記載の記載のシリンジ
への液状樹脂の充填方法において、上記シリンジへの液
状樹脂の充填が終了後、真空雰囲気で放置して充填した
液状樹脂からの脱泡を行うことを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】図1〜4は、本発明の充填装置の
実施の形態の一例を示し、図1は充填装置の概略図、図
2は充填装置の全体構成図、図3及び図4は注入ノズル
のステップを説明した説明図である。
【0015】本発明が対象とする液状樹脂5は、粘度が
30Pa・S以上の高粘度のものであり、半導体パッケ
ージの封止に用いられるものである。なお、上記液状樹
脂5の粘度は、実用的に500Pa・S以下である。
【0016】上記充填装置は、真空雰囲気室13を備え
る。上記真空雰囲気室13は、アクリル樹脂板等で作製
されたものであり、開閉自在に設けた出し入れ口(図示
せず)を閉じると密閉状態になるようにしてある。上記
真空雰囲気室13は、その側面に排気筒18が設けてあ
り、この排気筒18に真空ポンプ17が接続してある。
上記真空ポンプ17は、作動させて真空雰囲気室13内
の空気を排気することによって、真空雰囲気室13内を
真空雰囲気にすることができるものである。また、上記
真空雰囲気室13は、その側面に真空計16を備えてお
り、真空雰囲気室13内の真空度を測定することができ
るようになっている。上記充填装置は、真空計16で真
空雰囲気室13内の真空度を測定し、真空雰囲気室13
外に設置された制御器20を介して、真空ポンプ17を
作動及び停止することができる。上記充填装置は、これ
ら真空計16、制御器20、真空ポンプ17によって、
真空雰囲気室13内の真空度を所定の真空度に保持する
ことができるようになっている。
【0017】上記充填装置は、真空雰囲気室13内に複
数のシリンジ1が配置されている。シリンジ1は、シリ
ンジスタンド10の上面に縦方向及び横方向に配列して
保持されている。これら各シリンジ1は、その開口部1
1を上に、注入口12を下にして立直状態で保持されて
おり、縦方向と横方向共に同じ間隔で碁盤目状に並いで
いる。上記シリンジスタンド10は、計量秤51の上に
載置されており、シリンジ1内に注入された液状樹脂を
計量できるようになっている。上記シリンジスタンド1
0は、上記計量秤51を介してスタンド移動装置52に
よって水平方向及び垂直方向に移動されるようになって
いる。スタンド移動装置52は、シリンジ1が配列する
縦方向と平行な方向にシリンジスタンド10を移動する
縦テーブル53と、シリンジ1が配列する横方向と平行
な方向にシリンジスタンド10を移動する横テーブル5
4と、シリンジスタンド10を垂直方向に移動する垂直
テーブル55を備えている。上記スタンド移動装置52
としては、XYZスライドテーブル方式のもの、多関節
ロボットで形成したものを用いることができる。
【0018】上記充填装置は、真空雰囲気室13外の上
方に、上記液状樹脂5をストックするストックタンク1
4を備える。上記ストックタンク14は、下部がテーパ
ー形状になっていると共に、その下端に供給口29が設
けてあり、エアー加圧方式で液状樹脂5を供給口29か
ら送り出すことができるようにしてある。上記ストック
タンク14は、供給量を一定とするため、エアーの圧力
が一定となるように、加圧圧力制御装置(図示せず)を
備えている。上記充填装置は、ストックタンク14の外
周に液状樹脂5の温度を調整する温度調整装置15が付
設されている。上記温度調整装置15は、制御機構を具
備しており、ストックタンク14内の液状樹脂の温度を
25±2℃の範囲となるように調整している。
【0019】上記ストックタンク14の下端の供給口2
9には、移送ホース4の一端が接続されており、移送ホ
ース4の他端には注入ノズル2が接続されている。上記
注入ノズル2は、真空雰囲気室13内において、シリン
ジ1の上方に配置されている。上記注入ノズル2は、上
記ストックタンク14から供給された液状樹脂5を、下
端の吐出口7から吐出ようになっている。この注入ノズ
ル2から注入される液状樹脂5は、シリンジスタンド1
0がスタンド移動装置52で上下方向及び水平方向に移
動することによって、複数のシリンジ1に順次注入され
るようになっている。なお、上記充填装置は、シリンジ
1へ液状樹脂5が注入されたことを確認するために、シ
リンジ1の上方に画像センサー(図示せず)を設置する
ことができる。上記充填装置は、スタンド移動装置52
によるシリンジ1の移動を上記制御器20からの指示信
号で行うことができる。
【0020】上記充填装置にあって、注入ノズル2は、
上端に形成した液状樹脂5の供給口6と、下端に形成し
た吐出口7を連結する樹脂移送路3が直線状に形成され
ている。さらに、上記注入ノズル2は、この樹脂移送路
3に横側から合流するエアー流入路8が形成されてい
る。上記充填装置は、エアー流入路8からエアーを流入
することによって、合流個所より下方の樹脂移送路3に
存在する液状樹脂5を、吐出して、シリンジ1内に注入
するものである。なお、上記注入ノズル2の吐出口7
は、シリンジ1の高さ、液状樹脂5の粘度によって、そ
の先端形状をストレート型、テーパー型、段付き型等を
適宜選択することができる。
【0021】上記エアー流入路8は、エアー移送ホース
9が連接されており、このエアー移送ホース9の始端
は、真空雰囲気室13外に開口されている。
【0022】上記充填装置は、注入ノズル2の供給口6
近傍に、樹脂用バルブ21を設けている。上記樹脂用バ
ルブ21は、前後自在に可動する断面視が半円形状の押
片22とその対向面に具備するプレート23とで、移送
ホース4を挟み込み締めることで、供給を停止するピン
チコック式のものである。また、上記上記充填装置は、
エアー流入路8に連結するエアー移送ホース9の近傍
に、エアー用バルブ31を設けている。上記エアー用バ
ルブ31も、前後自在に可動する断面視が半円形状の押
片32とその対向面に具備するプレート33とで、エア
ー移送ホースを挟み込み締めることで、供給を停止する
ピンチコック式のものである。なお、樹脂用バルブ21
及びエアー用バルブ31は、移送ホース4又はエアー移
送ホース9と接する押片22、32及びプレート32、
33の面にシリコンゴムを取り付けていると、移送ホー
ス4又はエアー移送ホース9を傷つけ難い点で、好まし
い。
【0023】上記シリンジ1への液状樹脂5の充填方法
を、図3及び図4に示す樹脂用バルブ21及びエアー用
バルブ31の動作に基づいて説明する。上記充填方法
は、充填を開始する前、エアー用バルブ31が可動して
押片32が前進して、エアー移送ホース9を挟み込み締
めることで、エアー流入路8にエアーが流れ込むことを
停止する。この状態で、上記充填方法は、図3に示すよ
うに液状樹脂5が移送ホース4を介して注入ノズル2の
樹脂移送路3内に供給される。液状樹脂5が所定量供給
されたところで、樹脂用バルブ21が可動して押片22
が前進して、移送ホース4を挟み込み締めることで、樹
脂移送路3内に液状樹脂5を供給することを停止する。
次いで、上記充填方法は、図4に示すようにエアー用バ
ルブ31が可動して押片32が後退して、エアー流入路
8にエアーが流れ込む。上記充填方法は、エアー流入路
8からエアーを導入して、樹脂移送路3の合流個所より
下方に存在する液状樹脂5を吐出して、樹脂移送路3を
シリンジ1内に注入する。上記充填方法は、液状樹脂5
がシリンジ1に供給されると、エアーが真空雰囲気室1
3内に供給されることになるため、真空雰囲気室13内
の真空度が低下する。上記充填方法は、真空計16で真
空雰囲気室13内の真空度が低下したことを感知し、こ
れに基づいてエアー用バルブ31を可動してエアー移送
ホース9を締めて、エアーが流れ込むことを停止するこ
とができる。
【0024】上記エアー流入路8は、樹脂移送路3に対
し斜め上方から合流するように形成されることが、好ま
しい。上記エアーを斜め上方から流入すると、液状樹脂
5の注入時間を短くすることができる。上記エアー流入
路8は、例えば、上方約45°から合流するように形成
することができる。因みに、液状樹脂5の注入時間は、
エアー流入路8が樹脂移送路3に対し約90°で形成し
た場合に10秒かかったものが、エアー流入路8が樹脂
移送路3に対し斜め上方約45°で形成した場合に7秒
とすることができる。
【0025】さらに、上記充填方法にあっては、上記シ
リンジへ1の液状樹脂5の充填が終了後、真空雰囲気で
しばらく放置しておくことが好ましい。放置する時間
は、5〜10分程度が好適である。この真空雰囲気で放
置をすることで、充填した液状樹脂5から脱泡が行わ
れ、後工程で塗布した液状樹脂が途中で切れたりするな
どのトラブルを防ぎ、後工程の塗布作業を円滑にするも
のである。
【0026】上記充填方法は、真空雰囲気室13内の注
入ノズル2にエアーを導入するので、このエアーの導入
によって注入ノズル2内の合流個所より下方の樹脂移送
路3に存在する液状樹脂5を確実に且つ短時間で吐出す
ることができる。その結果、上記充填装置及びこの装置
を採用した充填方法は、注入ノズル2内に残存する液状
樹脂5がばらつくことがないように素早くシリンジ1に
充填することのできる。特に、エアー流入路8が、樹脂
移送路3に対し斜め上方から合流するように形成した充
填装置は、より短時間で充填できるものである。
【0027】また、上記充填装置は、注入ノズル2が直
線状の樹脂移送路3とエアー流入路8で構成されてお
り、簡素な構造であり、注入ノズル2を交換したり、清
掃したりすることが容易なものである。
【0028】
【発明の効果】請求項1〜4記載のシリンジへの液状樹
脂の充填装置は、真空雰囲気室内の注入ノズルのエアー
流入路からエアーを流入することによって、合流個所よ
り下方の樹脂移送路に存在する液状樹脂を吐出するの
で、素早く液状樹脂を注入することができる。上記充填
装置は、注入ノズル内に残存する液状樹脂がばらつくこ
とがないように素早く充填することのできるものであ
る。また、上記充填装置は、注入ノズルが直線状の樹脂
移送路とエアー流入路で構成されており、簡素な構造で
あり、注入ノズルを交換したり、清掃したりすることが
容易なものである。
【0029】さらに、請求項2記載のシリンジへの液状
樹脂の充填装置は、特に、エアー流入路が、樹脂移送路
に対し斜め上方から合流するように形成されているの
で、より短時間で高粘度の液状樹脂を注入することがで
きる。
【0030】請求項5〜8記載のシリンジへの液状樹脂
の充填方法は、真空雰囲気室内の注入ノズルにエアーを
導入するので、このエアーの導入によって注入ノズル内
に残存する液状樹脂を確実に且つ短時間で吐出すること
ができる。
【0031】さらに、請求項6記載のシリンジへの液状
樹脂の充填方法は、特に、エアーを斜め上方から導入す
るので、より短時間で高粘度の液状樹脂を注入すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の充填装置の実施の形態の一例を示した
概略図である。
【図2】同上の全体構成図である。
【図3】同上の注入ノズルのステップを説明した説明図
である。
【図4】同上の注入ノズルのステップを説明した説明図
である。
【符号の説明】
1 シリンジ 2 注入ノズル 3 樹脂移送路 4 移送ホース 5 液状樹脂 6 供給口 7 吐出口 8 エアー流入路 9 エアー移送ホース 11 開口部 12 注入口 13 真空雰囲気室 14 ストックタンク 16 真空計 17 真空ポンプ 20 制御器 21 樹脂用バルブ 31 エアー用バルブ 52 スタンド移動装置

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空雰囲気室と、この真空雰囲気室内に
    配置され上端に開口部を下端に注出口を設けて形成され
    た複数のシリンジと、真空雰囲気室外に配置され液状樹
    脂がストックされたストックタンクと、ストックタンク
    と移送ホースによって接続されると共に真空雰囲気室内
    にあってシリンジの上方に配置されて、ストックタンク
    から供給される30Pa・S以上の高粘度の液状樹脂を
    シリンジ内に上端の開口部から注入して充填する注入ノ
    ズルとを具備するシリンジへの液状樹脂の充填装置にお
    いて、上記注入ノズルが、上端に形成した液状樹脂の供
    給口と、下端に形成した吐出口とを連結する直線状の樹
    脂移送路を形成すると共に、この樹脂移送路に横側から
    合流して、合流個所より下方の樹脂移送路に存在する液
    状樹脂を吐出すエアーが流入するエアー流入路を形成し
    たことを特徴とするシリンジへの液状樹脂の充填装置。
  2. 【請求項2】 上記エアー流入路が、樹脂移送路に対し
    斜め上方から合流するように形成されていることを特徴
    とする請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装
    置。
  3. 【請求項3】 上記真空雰囲気室内の真空度の低下を感
    知して、エアーの流入を停止する手段を有することを特
    徴とする請求項1又は請求項2記載のシリンジへの液状
    樹脂の充填装置。
  4. 【請求項4】 上記真空雰囲気室内の真空度を所定範囲
    に保持する手段を有することを特徴とする請求項1乃至
    請求項3いずれか記載のシリンジへの液状樹脂の充填装
    置。
  5. 【請求項5】 上端に開口部を下端に注出口を設けて形
    成された複数本のシリンジを真空雰囲気に配置し、真空
    雰囲気の外部に配置され液状樹脂がストックされたスト
    ックタンクから移送ホースを介して真空雰囲気内に配置
    された注入ノズルに30Pa・S以上の高粘度の液状樹
    脂を供給し、注入ノズルから液状樹脂を各シリンジにそ
    の上端の開口部から注入して充填するシリンジへの液状
    樹脂の充填方法において、上記注入ノズルの供給口と吐
    出口とを連結する直線状の樹脂移送路に液状樹脂を満た
    し、上記樹脂移送路に横側から合流するエアー流入路か
    らエアーを流入して合流個所より下方の樹脂移送路に存
    在する液状樹脂をエアーで吐出すことを特徴とするシリ
    ンジへの液状樹脂の充填方法。
  6. 【請求項6】 上記エアーを樹脂移送路に対し斜め上方
    から合流するエアー流入路から流入することを特徴とす
    る請求項5記載のシリンジへの液状樹脂の充填方法。
  7. 【請求項7】 上記真空雰囲気の真空度の低下で液状樹
    脂は吐出されたことを感知して、エアーの流入を停止す
    ることを特徴とする請求項5又は請求項6記載のシリン
    ジへの液状樹脂の充填方法。
  8. 【請求項8】 上記シリンジへの液状樹脂の充填が終了
    後、真空雰囲気で放置して充填した液状樹脂からの脱泡
    を行うことを特徴とする請求項5乃至請求項7記載のシ
    リンジへの液状樹脂の充填方法。
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