CN105510259B - 一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铅含量的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铅含量的方法，采用标准加入法，以草酸与磷酸二氢铵作复合基体改进剂，利用氘灯自动扣背景，采用石墨炉原子吸收光谱法直接测定电子级二乙二醇甲醚中的铅含量。结果表明：检出限为0.144ng/mL，方法相对标准偏差<3.68％，加标回收率在97.0％～107.2之间。本发明样品不经前处理，大大缩短了分析时间，检测方法简便快速，适用于批量二乙二醇甲醚样品中铅的快速测定，具有很好的技术推广价值。
Description
技术领域
本发明属于化学分析技术领域，具体涉及电子级二乙二醇甲醚中微量元素铅含量的测定方法。
背景技术
二乙二醇甲醚在电子工业中主要作为清洗剂，是半导体制造过程中的关键化工材料，其纯度和洁净度对微电子(IC)产品的成品率、电性能及可靠性都有重要的影响。铅是重金属杂质，若附着在硅晶片的表面上，会使P-N结耐电压降低，影响电子产品IC电性能。因此电子级溶剂对铅等重金属杂质含量的要求越来越高，质量指标从原来的10-6级，发展到超大规模集成电路控制的10-9级。因此，快速准确地测定电子级溶剂中铅的含量成为电子级溶剂生产发展的关键问题之一。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铅含量的方法，按照下述步骤进行：
1、分析条件的确定
1.1分析线的选择：采用最佳仪器工作条件，分别以217.0nm和283.3nm作为分析线对加标量为10、20、30、40、50、60μg/L的DGME溶液进行测定。数据表明283.3nm处线性关系更好，背景吸收更低，数据稳定性与重现性更好；
1.2升温程序的确定：以2.5％草酸与1.0％磷酸二氢铵作复合基体改进剂，确定仪器最佳升温程序；
2、标准加入法标准曲线的绘制
2.1铅的标准使用液的配制：准确移取浓度为1.0g/L铅标准溶液1mL于1000mL容量瓶中，用0.2％稀硝酸溶液定容至刻度线，得浓度为1.0mg/L铅的标准使用液；
2.2标准曲线的绘制：吸取待测样品50mL四份于四个100mL容量瓶中，分别准确移取铅标准使用液0mL、0.5mL、1mL、1.5mL、2.0mL、2.5mL、3mL于容量瓶中，加入草酸溶液和磷酸二氢铵溶液分别为2.5％和1.0％，超纯水定容至刻度，配成加标量为0、10、20、30、40、50、60μg/L的待测样。在1.1仪器条件下进样10μL，以浓度为横坐标，以峰高为纵坐标作标准曲线，计算回归方程及相关系数。
2.3样品测定：在1.2仪器条件下，以2.5％草酸与1.0％磷酸二氢铵为基体改进剂，进行测定。
3、其中步骤1.2所述原子吸收最佳分析条件为：检测波长283.3nm；狭缝0.7nm；灯电流10mA；干燥阶段载气流量100mL/min；灰化及净化阶段载气流量1000mL/min；原子化阶段停气；进样量10μL；峰高测量方式。
本发明的优点
本发明选择了草酸与磷酸二氢铵作复合基体改进剂，因为草酸受热分解产生H2、CO和新生碳等还原性物质，降低待测元素原子化温度，降低背景吸收信号，加入磷酸二氢铵能与铅形成难熔的磷酸盐，避免铅在灰化阶段的损失，提高灰化温度能烧尽有机物，从而减少基体干扰，降低背景吸收，提高灵敏度。
本发明采用标准加入法，以2.5％草酸与1.0％磷酸二氢铵为基体改进剂，利用氘灯自动扣除背景，采用石墨炉原子吸收光谱法测定电子级二乙二醇甲醚中铅的含量，与现有技术相比，大大缩短了分析时间，检测方法简便快速，适用于批量二乙二醇甲醚样品中铅的快速测定，具有很好的技术推广价值。
具体实施方式
下面结合具体实例来进一步详细说明本发明。
实施实例1工作曲线及检出限的确定
1、主要仪器与试剂
GFA-7000石墨炉原子化器(岛津公司)；AA-7000原子分光光度计(岛津公司)；ASC-7000自动进样器(岛津公司)；Pb元素空心阴极灯；热解涂复石墨管。
铅标准溶液(1.0g/L，上海市计量测试技术研究院)；硝酸：(国药集团化学试剂有限公司)。二水合草、磷酸二氢铵都为分析纯；实验用水：超纯水，电阻大于18MΩ；
准确移取浓度为1.0g/L铅标准溶液1mL于1000mL容量瓶中，用0.2％稀硝酸溶液定容至刻度线，得浓度为1.0mg/L铅的标准使用液；
吸取待测样品50mL四份于四个100mL容量瓶中，分别准确移取铅标准使用液0mL、0.5mL、1mL、1.5mL、2.0mL、2.5mL、3mL于容量瓶中，加入草酸溶液和磷酸二氢铵溶液分别为2.5％和1.0％，超纯水定容至刻度，配成加标量为0、10、20、30、40、50、60μg/L的待测样。进样量为10μL，以浓度为横坐标，以吸光度为纵坐标作标准曲线，其回归方程为y＝0.0066x+0.0715，相关系数0.9961。
式中y—吸光度；x—铅浓度(μg/L)。
根据国际纯粹与应用化学联合会(IUPAC)的光谱学检出限定义，连续测定20次空白值，按K＝3时计算出的检出限为0.14μg/L。
实施例2电子级二乙二醇甲醚中铅含量的测定
(1)基体改进剂与样品体积比为1：1
(2)以2.5％草酸与1.0％磷酸二氢铵为基体改进剂，升温程序见你表1，利用氘灯自动扣除背景，根据标准曲线计算样品中铅含量。仪器工作条件为：
检测波长283.3nm；狭缝0.7nm；灯电流10mA；干燥阶段载气流量100mL/min；灰化及净化阶段载气流量1000mL/min；原子化阶段停气；进样量10μL；峰高测量方式。
表1石墨炉升温程序
实施例3回收率、相对标准偏差及精密度实验
按照实施例2取4个平行样，加标量分别为1.5、2.5、5.0、7.5μg/L，分别测定其铅含量。并按照加标量、测定量(已减去原含量)计算回收率，结果见表2。本方法的回收率在97％～107.2之间，说明本方法具有较高的准确性。
表2铅的回收率
取3个不同批次的样品，采用本发明方法对其中铅含量进行测定，每个样品测定5次，所得RSD<3.68％。测得样品中铅含量分别为0.48、0.82、0.58μg/L。
表3样品测定及精密度实验(n＝5)
本发明方法简便、快速，精密度和准确度能满足电子级二乙二醇甲醚中铅含量测定的要求，从事相关工作的技术人员可用本发明方法进行检测。
上述实例仅供说明本发明，而非对本发明限制。
Claims (1)
1.一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铅含量的方法，其特征在于：以草酸和磷酸二氢铵作复合基体改进剂，其中有机试样电子级二乙二醇甲醚无需进行前处理，直接进样分析；所述复合基体改进剂用量为0～4％，与样品体积比为0～1：1；采用石墨炉原子吸收光谱法、标准加入法，利用氘灯自动扣除背景，根据校准曲线计算待测液的铅含量；
其中所述测定电子级二乙二醇甲醚中铅含量方法的具体条件为测定干燥温度为100℃～300℃，干燥时间为5～40s，灰化温度为300℃～1000℃，灰化时间为10～50s，原子化温度为1100～1800℃，原子化时间为1～10s，净化温度为1500℃～2000℃，净化时间为1～10s；
在进行原子吸收测定时所述原子吸收条件为：检测波长283.3nm，狭缝0.7nm，灯电流10mA，干燥阶段载气流量100mL/min；灰化及净化阶段载气流量1000mL/min；原子化阶段停气，干燥温度160～260℃、时间为25s；灰化温度800℃、时间25s；原子化温度1400℃、时间为2s；净化温度1600℃、时间为2s；进样量10μL；峰高测量方式。
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| 不同混合基体改进剂在测定血铅中的比较;吕海燕等;《中国医药指南》;20140331;第12卷(第8期);第42-43页 |
| 尿中铅的石墨炉原子吸收光谱法测定;江萍;《中国公共卫生》;20050630;第21卷(第6期);第749页 |
| 有机基体改进剂用于GFAAS测定食盐中铅的研究;彭荣飞等;《中国卫生检验杂志》;20050430;第15卷(第4期);第402-404页 |
| 用草酸基体改进剂的石墨炉原子吸收法直接测定调味品中的铅;宾羽琳;《广东卫生防疫》;20010331;第27卷(第3期);第25-26页 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Application publication date: 20160420 Assignee: Jiangsu Gongwei Electronic Technology Co.,Ltd. Assignor: CHANGZHOU University Contract record no.: X2023980049800 Denomination of invention: A method for directly determining the lead content in electronic grade diethylene glycol methyl ether Granted publication date: 20190322 License type: Common License Record date: 20231205 |