CN105458426A - 旋转轴装置以及具备上述旋转轴装置的放电加工机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够实现密封性能的长寿命的旋转轴装置以及具有该旋转轴装置的放电加工机。在旋转轴装置(24)的壳体(1)的内部配设有动力部(2)、减速机(3)。在壳体的前端侧并设有轴承支撑部(7),在轴承部(4)的两侧固定有轴(5)、旋转台(6),轴和旋转台能够与减速机的旋转同步地自由地旋转。在轴承支撑部的附近设置有密封机构部(8),在密封机构部内部设置有密封件(9)。在壳体内部的密封机构部的附近设置有用于供给清洁的加工液的管道(10)。清洁的加工液在密封机构部与旋转台的空间(11)流动,从而能够防止包含废渣的加工液与密封件接触。清洁的加工液是利用放电加工机加工工件时使用的液体。

Description

旋转轴装置以及具备上述旋转轴装置的放电加工机
技术领域
本发明涉及旋转轴装置以及具备上述旋转轴装置的放电加工机。
背景技术
图6是表示使用于放电加工机等的旋转轴装置的剖面的示意图。如图6所示,在旋转轴(旋转轴装置)24的壳体1的内部配设有动力部2、减速机3。减速机3是对动力部2的旋转进行减速的装置。在壳体1的前端侧并设有轴承支撑部7,轴承部4被轴承支撑部7支撑。在轴承部4的两侧固定有轴5,旋转台6,轴5和旋转台6能够与减速机3的旋转同步地自由地旋转。在轴承支撑部7的附近设置有密封机构部8,在密封机构部8内部设置有密封件9。通过密封件9与旋转台6的外周面接触,从而防止来自密封机构部8与旋转台6的缝隙11的加工液进入壳体1内部。
在放电加工机对工件的加工中,产生被称为废渣的加工碎渣并漂浮在加工槽内的加工液中。如包含废渣的加工液的流向18所示,若包含废渣的加工液进入缝隙11,则废渣附着在密封件9和旋转台6之间。因此,导致在较早的时期产生密封件9的磨损。此外,公开有在一般的旋转轴的密封机构部使用了空气密封构造、迷宫构造的旋转轴装置(参照日特开2011-104725号公报、日本特开2008-272853号公报)。
使用于放电加工机的旋转轴装置设置于配置在填满加工液的加工槽内的工件台,在旋转轴台固定加工物来使用。在旋转轴主体和旋转轴台的缝隙设置有密封机构部,防止加工槽内的加工液向旋转轴内部进入(日本特开2005-118915号公报)。然而,在加工中产生的废渣(细小的金属粉)流到密封机构部,使密封性能显著地恶化。
发明内容
因此本发明的目的在于提供通过在密封机构部的近前设置防废渣进入单元从而能够实现密封性能的长寿命的旋转轴装置以及具有该旋转轴装置的放电加工机。
本发明的旋转轴装置具备:旋转轴主体;轴支承于上述旋转轴主体并旋转的台旋转体;用于使上述台旋转体旋转的驱动部;在上述旋转轴主体与上述台旋转体之间配设有密封件的密封机构部;以及向上述密封机构部供给加工所使用的清洁的流体的第一供给部。第一供给部例如与图1的管道10对应。
本发明的旋转轴装置具备:旋转轴主体;轴支承于上述旋转轴主体并旋转的台旋转体;用于使上述台旋转体旋转的驱动部;在上述旋转轴主体和上述台旋转体之间配设有密封件的密封机构部;在上述旋转轴主体与上述台旋转体之间配设有辅助密封件的辅助密封机构部;以及向形成于上述密封机构部的上述密封件与上述辅助密封机构部的上述辅助密封件之间的空间供给加工所使用的清洁的流体的第二供给部。第二供给部例如与图2的管道10对应。
上述密封机构部具备能够与上述旋转轴主体分割的构造。
上述密封机构部或者上述辅助密封机构部或者上述密封机构部以及上述辅助密封机构部的双方具备能够相对于上述旋转轴主体分割的构造。
上述旋转轴装置在上述密封机构部设置用于上述加工的清洁的流体的排出口。
上述旋转轴装置在上述密封机构部以及上述辅助密封机构部的至少一方设置有上述加工所使用的清洁的流体的排出口。
供上述加工所使用的清洁的流体流动的管道设置于上述密封机构部的密封件。
供上述加工所使用的清洁的流体流动的管道能够设置于上述辅助密封机构部的辅助密封件。
本发明的放电加工机在加工槽内具备上述旋转轴装置。
上述放电加工机具备对供给至上述旋转轴装置所具备的上述第一供给部或者上述第二供给部的加工所使用的清洁的流体的量进行控制的供给量控制单元。
本发明通过具备以上的结构,能够提供通过在密封机构部的近前设置防废渣进入单元从而能够实现密封性能的长寿命的旋转轴装置以及具备该旋转轴装置的放电加工机。
附图说明
本发明的上述的以及其他的目的以及特征通过参照附图的以下的实施例的说明将变得更清楚。其中:
图1是表示设置了清洁的加工液供给管道的旋转轴装置的剖面的示意图。
图2是表示设置了辅助密封机构部的旋转轴装置的剖面的示意图。
图3是表示设置了排水口的旋转轴装置的剖面的示意图。
图4是表示清洁的加工液供给单元的管道设置于辅助密封件的旋转轴装置的剖面的示意图。
图5是表示搭载了旋转轴装置的放电加工机的结构的图。
图6是表示以往的旋转轴装置的剖面的示意图。
具体实施方式
图1是表示设置了清洁的加工液供给管道的旋转轴装置的剖面的示意图。如图1所示,旋转轴(旋转轴装置)24的旋转轴的壳体1构成为包含密封机构部8和轴承支撑部7。在旋转轴的壳体1的内部配设有作为旋转台6的驱动部的动力部2、减速机3。减速机3是对动力部2的旋转进行减速的装置。在旋转轴的壳体1的前端侧并设有轴承支撑部7,轴承部4被轴承支撑部7支撑。在轴承部4的两侧固定有轴5、旋转台6,轴5和旋转台6能够与减速机3的旋转同步地自由地旋转。此外,图1中轴5固定于轴承部4。工件直接或者经由夹具固定于旋转台6。
旋转台6固定于轴5。与轴承支撑部7相邻地设置有密封机构部8,在密封机构部8内部设置有密封件9。密封件9例如是橡胶制的O型环,通过密封件9与旋转台6的外周面接触,防止来自密封机构部8与旋转台6的缝隙11的加工液进入壳体1内部。
再有,如图1所示,在壳体1内部的密封机构部8设置有用于供给清洁的加工液的管道10。通过在密封机构部8与旋转台6的缝隙11流通清洁的加工液,防止包含废渣的加工液与密封件9接触。清洁的加工液是利用放电加工机加工工件时使用的液体。
图2是表示设置了辅助密封机构部12的旋转轴装置的剖面的示意图。旋转轴的壳体1构成为包含辅助密封机构部12、密封机构部8以及轴承支撑部7。
图2中在密封机构部8的外侧设置有辅助密封机构部12。这里外侧是指将配置有动力部2的一侧作为内侧时它的相反侧,是靠近旋转轴装置24的旋转轴的壳体1的外部的一侧。旋转轴的壳体1中,在辅助密封机构部12安装有辅助密封件13,辅助密封件13以与旋转台6轻接触或具有微小的缝隙的方式被安装。
在密封机构部8与辅助密封机构部12之间,形成有被密封件9和辅助密封件13夹持的、密封机构部与辅助密封构造部之间的空间14。通过经由管道10向该空间14供给清洁的加工液,从而从辅助密封件13与旋转台6之间朝向旋转轴的壳体1的外侧像清洁的加工液的流向19那样流动。因此,能够可靠地防止废渣的进入。供给的清洁的加工液的量能够由加工液供给单元25(参照图5)任意地调整。因此,能够临时地增加流量来去除堆积于辅助密封机构部12与旋转台6的缝隙11的废渣。
因此,作业者不用进行机构部的分解也可以简单地进行清扫。另外,在加工停止中等不需要提供清洁的加工液的情况下,能够停止清洁的加工液的供给。通过将密封机构部8、辅助密封机构部12做成能够与旋转轴的壳体1、密封机构部8、辅助密封机构部12分割的构造,能够容易地分解。因此,能够大幅度地缩短密封件9、辅助密封件13的清扫、更换所需的时间。
图3中,通过在密封机构部8的侧面设置排出口15、排出用管16等,能够将箭头19的加工液的流动成为仅箭头26的加工液的流动。因此,在工件替换作业时等能够防止工件、旋转台6不必要地浸湿。
图4中,在辅助密封件13设置管道17,能够更可靠地进行废渣的排出。此外,虽然在图中未记载,但管道17也可以设置于密封件9。此时,密封件9、辅助密封件13的剖面形状不仅为圆形、四方形也可以为其他的形状。
图5是表示搭载了旋转轴装置的放电加工机的结构的图。旋转轴(旋转轴装置)24以旋转台6的旋转轴方向成为铅垂方向、水平方向或者其他的方向的方式配置在加工槽21内。包含从加工槽21排出的加工屑的加工液积存于污水槽23。积存于污水槽23的加工液经过未图示的净化装置而供给至清水槽22。积存于清水槽22的加工液是被未图示的净化装置净化了的清洁的加工液。控制装置20对向旋转轴装置24供给加工液的单元(加工液供给单元25)进行控制,从清水槽22吸取被净化的加工液,并供给到旋转轴装置24。
上述的实施方式中,将旋转轴装置24应用于放电加工机,作为供给至旋转轴装置24的清洁的流体供给除去了加工屑的清洁的加工液。除了放电加工机以外提供旋转轴装置24的情况下,使用机床所使用的加工用的流体即可。

Claims (10)

1.一种旋转轴装置,其特征在于,具备:
旋转轴主体;
轴支承于上述旋转轴主体并旋转的台旋转体;
用于使上述台旋转体旋转的驱动部;
在上述旋转轴主体与上述台旋转体之间配设有密封件的密封机构部;以及
向上述密封机构部供给加工所使用的清洁的流体的第一供给部。
2.一种旋转轴装置,其特征在于,具备:
旋转轴主体;
轴支承于上述旋转轴主体并旋转的台旋转体;
用于使上述台旋转体旋转的驱动部;
在上述旋转轴主体和上述台旋转体之间配设有密封件的密封机构部;
在上述旋转轴主体与上述台旋转体之间配设有辅助密封件的辅助密封机构部;以及
向形成于上述密封机构部的上述密封件与上述辅助密封机构部的上述辅助密封件之间的空间供给加工所使用的清洁的流体的第二供给部。
3.根据权利要求1所述的旋转轴装置,其特征在于,
上述密封机构部具备能够与上述旋转轴主体分割的构造。
4.根据权利要求2所述的旋转轴装置,其特征在于,
上述密封机构部或者上述辅助密封机构部或者上述密封机构部以及上述辅助密封机构部的双方具备能够相对于上述旋转轴主体分割的构造。
5.根据权利要求1或3所述的旋转轴装置,其特征在于,
在上述密封机构部设置有上述加工所使用的清洁的流体的排出口。
6.根据权利要求2或4所述的旋转轴装置,其特征在于,
在上述密封机构部以及上述辅助密封机构部的至少一方设置有上述加工所使用的清洁的流体的排出口。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的旋转轴装置,其特征在于,
供上述加工所使用的清洁的流体流动的管道设置于上述密封机构部的密封件。
8.根据权利要求2或4或6所述的旋转轴装置,其特征在于,
供上述加工所使用的清洁的流体流动的管道设置于上述辅助密封机构部的辅助密封件。
9.一种放电加工机,其特征在于,
在加工槽内具备上述权利要求1至权利要求8中任一项所述的上述旋转轴装置。
10.根据权利要求9所述的旋转轴装置,其特征在于,
具备对供给至上述旋转轴装置所具备的上述第一供给部或上述第二供给部的加工所使用的清洁的流体的量进行控制的供给量控制单元。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6370767B2 (ja) * 2015-11-25 2018-08-08 ファナック株式会社 放電加工機用の回転テーブル装置
CN108971677B (zh) * 2018-09-12 2020-04-07 南京航空航天大学 极间温度梯度差辅助电解切割加工方法
CN109551258A (zh) * 2018-12-28 2019-04-02 广州市威嘉机床有限公司 一种精密转台
JP7265388B2 (ja) * 2019-03-22 2023-04-26 株式会社北川鉄工所 工作用の回転機器
JP2022154089A (ja) * 2021-03-30 2022-10-13 津田駒工業株式会社 回転割出し装置
CN113600945B (zh) * 2021-10-08 2021-12-17 南通格美工业数控设备有限公司 一种可精度调式的智能型中走丝线切割机床
KR102626345B1 (ko) * 2023-09-04 2024-01-17 주식회사 올니스 Cnc선반용 척킹장치

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1033251A (zh) * 1987-08-28 1989-06-07 查米尔斯技术公司 利用电极放电机械加工的切削装置
JPH0642058U (ja) * 1992-11-12 1994-06-03 新東ブレーター株式会社 遠心流動バレル研摩機
JP2005118915A (ja) * 2003-10-14 2005-05-12 Kitagawa Iron Works Co Ltd 放電加工用回転テーブル装置
US20100237566A1 (en) * 2009-03-23 2010-09-23 Pete Balsells Seal assemblies for movable and static shafts
JP2011104725A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Kitagawa Iron Works Co Ltd エアシール構造を有する回転テーブル
CN102974905A (zh) * 2011-09-06 2013-03-20 发那科株式会社 电火花线切割机的预密封装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0796167B2 (ja) * 1990-10-20 1995-10-18 株式会社牧野フライス製作所 ワイヤ放電加工機のシール装置
JP2768194B2 (ja) * 1993-01-11 1998-06-25 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JPH1190761A (ja) * 1997-09-25 1999-04-06 Enshu Ltd 主軸エアーカーテン装置
JP2975923B1 (ja) * 1998-05-22 1999-11-10 日本ピラー工業株式会社 回転継手装置
TW477882B (en) * 2000-07-03 2002-03-01 Tokyo Electron Ltd Processing apparatus with sealing mechanism
US6806435B2 (en) * 2001-04-12 2004-10-19 Elenix, Inc. Small hole electric discharge machine drill provided with depth-specific processing means
JP5082569B2 (ja) 2007-04-26 2012-11-28 株式会社ジェイテクト 工作機械における高加速度回転テーブル装置
JP2008302485A (ja) * 2007-06-11 2008-12-18 Tsudakoma Corp 回転割出装置のテーブル板体の冷却装置
US20120306161A1 (en) * 2011-05-31 2012-12-06 Crown Iron Works Company Multi-segment seal retainer for rotating shafts
NL2018946A (en) * 2016-05-20 2017-11-23 Galvani Bioelectrics Ltd Treatment of conditions associated with impaired glucose control

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1033251A (zh) * 1987-08-28 1989-06-07 查米尔斯技术公司 利用电极放电机械加工的切削装置
JPH0642058U (ja) * 1992-11-12 1994-06-03 新東ブレーター株式会社 遠心流動バレル研摩機
JP2005118915A (ja) * 2003-10-14 2005-05-12 Kitagawa Iron Works Co Ltd 放電加工用回転テーブル装置
US20100237566A1 (en) * 2009-03-23 2010-09-23 Pete Balsells Seal assemblies for movable and static shafts
JP2011104725A (ja) * 2009-11-18 2011-06-02 Kitagawa Iron Works Co Ltd エアシール構造を有する回転テーブル
CN102974905A (zh) * 2011-09-06 2013-03-20 发那科株式会社 电火花线切割机的预密封装置

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Publication number Publication date
CN105458426B (zh) 2019-05-10
JP2016064481A (ja) 2016-04-28
JP6280010B2 (ja) 2018-02-14
US9975193B2 (en) 2018-05-22
US20160089739A1 (en) 2016-03-31
KR102049219B1 (ko) 2019-11-28
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KR20160036513A (ko) 2016-04-04
EP3009219B1 (en) 2021-06-02

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