CN105451996A - 橡皮布制造设备和橡皮布制造方法 - Google Patents

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Abstract

本说明书涉及一种用于制造橡皮布的设备、用于制造橡皮布的方法、使用其制造的橡皮布、设置有所述橡皮布的反向平版印刷辊以及包括所述反向平版印刷辊的反向平版印刷设备。

Description

橡皮布制造设备和橡皮布制造方法
技术领域
本说明书涉及一种用于制造橡皮布(blanket)的设备、用于制造橡皮布的方法、使用其制造的橡皮布、设置有所述橡皮布的反向平版印刷辊(reverseoffsetprintingroll)以及包括所述反向平版印刷辊的反向平版印刷设备。
背景技术
诸如液晶显示器件和半导体器件的电子器件一般通过在基板上形成多层图案来制造。目前通常使用光刻法工艺来形成这些图案。然而，光刻法工艺的问题在于，由于需要制备规定的图案掩模并且需要重复化学蚀刻和汽提过程，制造过程很复杂，并且产生大量对环境有害的化学废弃物。这很快导致制造成本增加并且降低产品竞争力。作为克服这种光刻法工艺的缺点的新的图案形成方法，已经提出了使用印刷辊的辊印法(rollprintingmethod)。
辊印法可以包括多种方法，但是可以主要分为凹版印刷法和反向平版印刷法。
凹版印刷是这样一种印刷方法：使用设置有带图案的橡皮布的传递辊(transferroll)将油墨涂布在橡皮布上，然后在刮去(scrapingoff)过量的油墨之后执行印刷，并且众所周知这种方法适用于各领域的印刷，例如，出版(publishing)、包装(packing)、玻璃纸(cellophane)、乙烯树脂(vinyl)和聚乙烯(polyethylene)。已经进行了将凹版印刷用于制造显示器件中使用的有源器件或电路图案的研究。凹版印刷通过使用传递辊将油墨传递到基板上，因此，通过使用与显示器件的目标区对应的传递辊，甚至在大面积显示器件中用一次传递就可以形成图案。这种凹版印刷可以不仅在基板上形成油墨图案(用于抗蚀剂)，而且用于图案化显示器件的各种图案，例如，在液晶显示器件中，TFT及与TFT连接的栅极线和数据线、像素电极，以及用于电容器的金属图案。
然而，在凹版印刷中常用的橡皮布通过在硬母模(hardmastermold)中浇铸基于硅的树脂(silicone-basedresin)来制备，并且按照上述方法制备的橡皮布不仅对制成具有均匀的厚度存在限制，而且在中试规模的大量生产中存在困难。因此，通常采用反向平版印刷法以便形成精确的微图案。
反向平版印刷法由于降低成本并且提高生产率而在图案形成中备受青睐，然而，需要高质量橡皮布以便获得精确的图案。换句话讲，由于图案的质量受到橡皮布的性能的影响，所以制造用于印刷的高质量橡皮布是非常重要的技术挑战。
发明内容
技术问题
本说明书的目的是提供一种用于制造橡皮布的设备、用于制造橡皮布的方法、使用其制造的橡皮布、设置有所述橡皮布的反向平版印刷辊以及包括所述反向平版印刷辊的反向平版印刷设备。
技术方案
本说明书提供了一种用于制造橡皮布的设备，所述设备包括：面板(surfaceplate)，衬底膜(substratefilm)供应到所述面板上；涂布单元，所述涂布单元将橡皮布组成物(blanketcomposition)涂布在所述衬底膜上；以及逗号刮刀(commablade)，所述逗号刮刀在涂布有所述橡皮布组成物的面板上水平移动，其中，所述逗号刮刀的全部表面的与所述橡皮布组成物接触的表面是斜面。
此外，本说明书提供了一种用于制造橡皮布的方法，所述方法包括：1)将衬底膜供应到面板上；2)在所述衬底膜上涂布橡皮布组成物；3)通过使逗号刮刀在涂布有所述橡皮布组成物的面板上水平移动来调整所涂布的橡皮布组成物的厚度；以及，4)通过使所述橡皮布组成物在室温下干燥或固化来制造橡皮布，其中，所述逗号刮刀的全部表面的与所述橡皮布组成物接触的表面是斜面。
此外，本说明书提供了根据所述用于制造橡皮布的方法制造的且具有20μm或20μm以下的厚度变化(thicknessvariation)的橡皮布。
此外，本说明书提供了设置有所述橡皮布的反向平版印刷辊。
此外，本说明书提供了一种包括所述反向平版印刷辊的反向平版印刷设备。
有益效果
根据本说明书的一个实施例制造的橡皮布具有小厚度变化的优点。
通过使用根据本说明书的一个实施例的用于制造橡皮布的设备可以制造具有均匀厚度的大面积橡皮布。
附图说明
图1是根据本说明书的设置有具有孔结构和线结构的真空抽吸单元(vacuumsuctionunit)的面板的前视图。
图2是根据本说明书的设置有具有孔结构的真空抽吸单元的面板的侧剖视图。
图3是根据本说明书的设置有具有线结构的真空抽吸单元的面板的侧剖视图。
图4是根据本说明书的涂布单元的剖视图。
图5是根据本说明书的一个实施例的逗号刮刀的剖视图。
图6是根据本说明书的一个实施例的用于制造橡皮布的设备的示意图。
图7是测量根据本说明书的一个实施例制造的橡皮布的厚度均匀性的视图。
<附图标号>
100：逗号刮刀
110：与橡皮布组成物接触的边缘、端部
130：与橡皮布组成物接触的表面
具体实施方式
以下将详细描述本说明书。
本说明书提供了一种用于制造橡皮布的设备，所述设备包括：面板，衬底膜供应到所述面板上；涂布单元，所述涂布单元将橡皮布组成物涂布在所述衬底膜上；以及逗号刮刀，所述逗号刮刀在涂布有所述橡皮布组成物的面板上水平移动。
在本说明书中，衬底膜不特别地受限于材料和厚度，只要衬底膜能被供应到面板并且被涂布橡皮布组成物。
在本说明书中，衬底膜的厚度可以大于或等于100μm并且小于或等于350μm。在这种情况下，具有以下优点，在传递和紧致过程(transferringandtighteningprocesses)期间不发生变形，并且衬底膜的物理性质(例如，厚度均匀性)是良好的。
在本说明书中，衬底膜可以是塑料膜(plasticfilm)。
在本说明书的一个实施例中，用于制造橡皮布的设备可以进一步包括：衬底膜供应单元；以及，衬底膜收集单元。
衬底膜供应单元和衬底膜收集单元可以以间歇而连续的方式提供衬底膜。在本文中，间歇而连续的方式指的是通过重复以下过程来供应衬底膜：以恒定的时间间隔停止供应衬底膜，并且然后连续供应衬底膜。例如，在将衬底膜供应到衬底膜上涂布橡皮布组成物的区域时连续供应衬底膜，并且可以在涂布及干燥或固化橡皮布组成物的时刻停止供应衬底膜以便精确涂布。
衬底膜供应单元和衬底膜收集单元不特别地受限于结构、材料、形式等，只要它们能够供应并收集衬底膜，并且可以采用本领域中常用的衬底膜供应单元和衬底膜收集单元。
在本说明书中，面板指的是具有精确且平滑地精加工(finished)的平表面的块体或桌子。
在本说明书的一个实施例中，面板不受特别地限制，只要面板具有平滑的平表面，使得可以执行精确加工，然而，面板的厚度变化可以是20μm或20μm以下。具体地讲，面板的厚度变化可以是15μm或15μm以下。在这种情况下，具有以下优点，降低了形成在面板上的橡皮布的厚度变化。此外，由于面板的厚度变化变小，所以橡皮布的厚度变化变小，并且因此，当橡皮布用于反向平版印刷辊时，可以减小局部印刷压差。
在本说明书中，厚度变化的意思是最大值与最小值之差。
在本说明书的一个实施例中，面板的材料不受特别地限制，然而，其实例可以包含花岗岩、人造花岗岩、金刚石树脂、陶瓷、金属和玻璃中的任意一种或多种。
在本说明书的一个实施例中，面板可以是包含花岗岩、人造花岗岩等中的任意一种或多种的花岗岩面板。
在本说明书的一个实施例中，衬底膜粘附构件可以设置在面板上。
所述衬底膜粘附构件可以包括真空抽吸单元，所述真空抽吸单元具有形成在所述面板的表面上的孔结构(holestructure)、槽结构(groovestructure)和线结构(linestructure)中的任何一种或多种。
在本说明书的一个实施例中，如图1所示，可以设置具有孔结构和线结构的真空抽吸单元。具体地，真空抽吸单元可以具有在网格形成的交叉点处的孔结构，并且具有在用线标记的剩余区域中形成有槽的线结构。
在本说明书的另一个实施例中，如图2所示，可以设置具有孔结构的真空抽吸单元。
在本说明书的又另一个实施例中，如图3所示，可以设置具有线结构的真空抽吸单元。
在本说明书中，在真空抽吸单元被设置为衬底膜粘附构件的情况下，真空抽吸单元可以设置在面板的上表面的边缘处，以便维持面板的平面度。当在面板上制造橡皮布时，设置有真空抽吸单元的面板的上表面的边缘可以与待去除的橡皮布的一部分相对应。
衬底膜粘附构件可以是提供张力(tension)的构件，使得衬底膜能够粘附在面板上。具体地，衬底膜粘附构件可以是设置在面板的侧面部分上的夹持单元(nippingunit)，以便在衬底膜上提供张力。
在本说明书中，涂布单元不受特别地限制，只要涂布单元能够在衬底膜上涂布橡皮布组成物，并且可以采用本领域中使用的涂布单元。例如，橡皮布组成物可以通过使用图4所示的涂布单元涂布在衬底膜上，或者可以使用溅射法进行涂布。
在本说明书中，橡皮布组成物不受特别地限制，只要橡皮布组成物是用于制造设置在用于辊印的传递辊或者印刷辊中的橡皮布的组成物，并且可以采用本领域中使用的橡皮布组成物。例如，橡皮布组成物可以包含基于硅氧烷的树脂组成物(siloxane-basedresincomposition)。
在本说明书中，橡皮布组成物的粘度(viscosity)可以大于或等于10,000cp并且小于或等于1,000,000cp。在这种情况下，具有以下优点，可以容易制造能够用于各种目的的橡皮布。具体地，橡皮布组成物的粘度可以大于或等于50,000cp并且小于或等于150,000cp，并且在这种情况下，具有以下优点，在例如橡皮布的厚涂布中容易确保厚度均匀性。在必要时，橡皮布组成物的粘度可以大于或等于50,000cp并且小于或等于100,000cp，并且在这种情况下，具有以下优点，由于变形变得较为简单，所以确保橡皮布的厚度均匀性得到了进一步提升。
在本说明书中，逗号刮刀在涂布有橡皮布组成物的面板上水平移动。在本文中，当逗号刮刀在涂布在面板上的橡皮布组成物的表面上水平移动时，橡皮布组成物的厚度被调整均匀。在本文中，水平移动的意思是平行于面板的上表面移动。
在本发明中，逗号刮刀指的是具有“逗号”形状的横截面的刮刀。
当逗号刮刀在与橡皮布组成物接触的同时水平移动时，逗号刮刀去除一部分橡皮布组成物以便调整橡皮布组成物的厚度使之均匀。在本文中，橡皮布组成物的厚度被调整为面板的上表面与最靠近面板的逗号刮刀的端部(110)之间的距离。被逗号刮刀去除以便调整橡皮布的厚度的橡皮布组成物与图5中的虚线所示的逗号刮刀的表面(130)接触。
在本说明书中，涂布在衬底膜上的橡皮布组成物的粘度很高，因此，难以使用诸如小刀、刮片和挤压器(squeeze)的板式工具将橡皮布组成物的厚度调整均匀。具体地，当橡皮布组成物的粘度很高时，接触的橡皮布组成物的阻力很大，因此，诸如小刀、刮片和挤压器的板式工具的水平移动不简单，并且板式工具会由于阻力而弯曲。因此，通过使用板式工具无法均匀地调整高粘性橡皮布组成物的厚度和表面。
在本说明书中，涂布的橡皮布组成物的厚度可以大于或等于0.1mm并且小于或等于100mm。由于涂布厚度更小，具有将组成物的厚度调整均匀的优点。具体地，涂布的橡皮布组成物的厚度可以大于或等于0.1mm并且小于或等于10mm，并且如有必要，可以大于或等于0.4mm并且小于或等于2mm。
在本说明书中，面板的上表面与最靠近面板的逗号刮刀的端部(110)之间的距离可以大于或等于200μm并且小于或等于5mm，并且具体地，可以大于或等于200μm并且小于或等于2mm。
在本说明书的另一个实施例中，逗号刮刀的表面可以具有作为斜面的与橡皮布组成物接触的表面。在这种情况下，节省了将与橡皮布组成物接触的表面制造为曲面所需的制造成本，因此，具有在切割逗号刮刀表面方面的优点。
如图5所示，本说明书的逗号刮刀(100)的全部表面的与橡皮布组成物(130)接触的表面可以是斜面。
在逗号刮刀的斜面中，任何一个表面和上述任何一个表面的相邻表面之间形成的锐角大于或等于5°并且小于或等于30°。
逗号刮刀的设计尺寸可以大于或等于30R并且小于或等于120R。在这种情况下，具有以下优点，在设计并制造设备时，逗号刮刀可以具有关于用于涂布的刮刀的移动的适合的重量和尺寸。R，设计尺寸的单位，意味着半径(mm)，并且是本领域中的通用标识方法。
在本说明书的一个实施例中，用于制造橡皮布的设备可以进一步包括控制单元，该控制单元调整从逗号刮刀的端部(110)到面板的上表面的距离。
在本说明书中，控制单元在调整到面板的上表面的距离时可以使逗号刮刀水平移动。
在本说明书中，控制单元不受特别地限制，只要控制单元能够使逗号刮刀移动，并且能够调整到面板的上表面的距离，并且可以采用本领域中使用的控制单元。
本说明书提供了一种用于制造橡皮布的方法，该方法包括：1)将衬底膜供应到面板上；2)在衬底膜上涂布橡皮布组成物；3)通过使逗号刮刀在涂布有橡皮布组成物的面板上水平移动来调整所涂布的橡皮布组成物的厚度；以及4)通过使橡皮布组成物在室温下干燥或固化来制造橡皮布。
用于制造橡皮布的方法中的衬底膜、面板、橡皮布组成物以及逗号刮刀的描述与上文所作描述相同。
本说明书的用于制造橡皮布的方法包括1)将衬底膜供应到面板上。
在本说明书的一个实施例中，在步骤1)中，通过经由真空抽吸单元对衬底膜施加真空负压，衬底膜能够紧密地接触面板，所述真空抽吸单元具有形成在面板的表面上的孔结构、槽结构和线结构中的任何一种或多种。
在本说明书的一个实施例中，在步骤1)中，通过使用对衬底膜提供张力的构件，衬底膜可以紧密地接触面板。
本说明书的用于制造橡皮布的方法可以进一步包括在步骤1)之前去除衬底膜上的灰尘的步骤。
本说明书的用于制造橡皮布的方法可以进一步包括在步骤1)之前通过衬底膜供应单元和衬底膜收集单元在面板上供应衬底膜的步骤。
在本说明书中，在步骤1)之后，通过经由衬底膜供应单元和衬底膜收集单元对衬底膜施加张力，衬底膜能够紧密地接触面板。
本说明书的用于制造橡皮布的方法包括2)在衬底膜上涂布橡皮布组成物。
在步骤2)中，涂布橡皮布组成物的方法不受特别地限制，并且可以采用本领域中使用的方法。例如，橡皮布组成物可以通过图4所示的涂布单元涂布在衬底膜上，或者使用溅射法进行涂布。
在步骤2)中，具有不同的组成成分的橡皮布组成物可以涂布两次或更多次。
橡皮布组成物不受特别地限制，并且可以采用本领域在使用的橡皮布组成物。例如，橡皮布组成物可以包含基于硅氧烷的树脂组成物。
在本说明书的一个实施例中，在步骤2)之前可以进一步包括在衬底膜上形成底涂层(primerlayer)的步骤。具体地，底涂层可以通过在衬底膜上涂布用于底涂层的组成物并且干燥或固化所得物来形成。
底涂层不受特别地限制，只要底涂层是用于增强衬底膜与橡皮布组成物之间的粘附强度的，并且可以采用本领域中使用的底涂层。例如，底涂层可以使用基于硅烷的偶联剂(silane-basedcouplingagent)来形成。
底涂层的厚度不受特别地限制，然而，例如，可以大于0μm并且小于1μm。在这种情况下，具有以下优点，不会发生由快速干燥引起的斑点(stains)等。
用于形成底涂层的方法不受特别地限制，然而，例如，可以使用喷涂方法、使用刷子或纱布(gauze)的涂布方法。
本说明书的用于制造橡皮布的方法包括3)通过使逗号刮刀在涂布有橡皮布组成物的面板上水平移动来调整涂布的橡皮布组成物的厚度。
在本说明书中，使逗号刮刀水平移动的步骤3)使得从逗号刮刀的端部(110)到面板的上表面的距离保持恒定。
如图6所示，在设置有孔结构的真空抽吸单元的花岗岩面板上供应衬底膜，并且可以在衬底膜上涂布聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)组成物。在如图6所示的逗号刮刀在涂布有聚二甲基硅氧烷组成物的花岗岩面板上水平移动时，可以调整组成物的厚度。
本说明书的用于制造橡皮布的方法包括包括4)通过在室温下干燥或固化橡皮布组成物来制造橡皮布。
具体地，由逗号刮刀调整了厚度的橡皮布组成物可以在放置在面板上的同时在室温下干燥或固化。
在本说明书中，在室温下用于干燥或固化橡皮布组成物的时间可以大于或等于3小时至小于或等于24小时。
在本说明书中，在步骤4)之后可以进一步包括通过加热或紫外线辐射来固化面板上的橡皮布组成物的步骤。
在本说明书的一个实施例中，在步骤2)之前可以进一步包括在衬底膜上形成功能层(functionallayer)的步骤。
在本说明书的一个实施例中，在步骤4)之后可以进一步包括在橡皮布上形成功能层的步骤。
在本说明书中，功能层的意思是额外形成的以便补充橡皮布的物理性质等的层，并且尽管不特别地限于此，其实例可以包括平面化层(planarizationlayer)、滑动层(sliplayer)和缓冲层(cushionlayer)等。
平面化层和滑动层的厚度不受特别地限制，然而，例如，当平面化层设置在橡皮布上时，平面化层的厚度可以大于或等于200μm并且小于或等于1,000μm，并且当滑动层设置在橡皮布上时，滑动层的厚度可以是20μm或20μm以下。
可以进一步包括对在步骤4)之后形成的橡皮布执行诸如异物检查的缺陷检查的步骤。
可以进一步包括将在步骤4)之后形成的橡皮布切割为待安装的辊的大小的步骤。其中，可以去除橡皮布的不需要的部分。
用于在衬底膜等在辊之间移动时连续制造橡皮布的方法具有以下缺点，损失了相当长的初始生产量以便在初始阶段稳定厚度并且检查橡皮布的涂布性质。
此外，当使用辊对辊方法连续制造橡皮布时，具有以下缺点，对于表面上的气泡和异物难以及时响应，并且由于使用张力调整设备和各种支撑辊实现移动，所以在移动期间的张力不适当，或者由于支撑辊的污染和损坏而难以确保橡皮布的均匀的厚度。
特别地，当制造的橡皮布的面积变得更大时，如上所述的缺点的影响变得更大，从而导致制造成本增加，并且制造均匀的橡皮布变得很困难。
同时，本说明书的用于制造橡皮布的方法具有以下优点，不存在由弃置初始生产量而造成的损失成本，因为橡皮布组成物涂布在放置在面板上的衬底膜上，并且所得物在不移动的情况下在面板上干燥或固化。
本说明书的用于制造橡皮布的方法具有以下优点，可以获得对于橡皮布组成物的表面上的气泡和异物的迅速响应。
本说明书的用于制造橡皮布的方法具有以下优点，橡皮布不会被破坏或污染，因为在衬底膜上涂布橡皮布组成物之后没有使橡皮布移动的过程。
本说明书的用于制造橡皮布的方法具有以下优点，甚至当制造的橡皮布的面积变得更大时，也可以制备具有均匀厚度的橡皮布。
图7示出了根据本说明书制造的橡皮布的厚度均匀性，并且橡皮布的面积是1300mm×1800mm，并且可以看到最高点与最低点之差为20μm或20μm以下。
本说明书提供了根据本说明书的用于制造橡皮布的方法制造的且具有20μm或20μm以下的厚度变化的橡皮布。在这种情况下，具有以下优点，橡皮布由于小的厚度变化而具有均匀的厚度。因此，通过使用橡皮布可以转移并印刷精确的图案。
本说明书的橡皮布是根据本说明书的用于制造橡皮布的方法制造的，具有20μm或20μm以下的厚度变化，并且可以具有1000mm×1000mm或更大的大面积。具体地，橡皮布的面积可以是1300mm×1800mm或更大。在这种情况下，具有以下优点，通过使用具有大面积和均匀厚度的橡皮布可以在大面积的印刷制品上形成精确的图案。在必要时，橡皮布的面积可以是1400mm×2200mm或更大。
本说明书可以用于需要具有均匀厚度的橡皮布的辊或平板，并且橡皮布的使用不受特别地限制。
本说明书提供了设置有所述橡皮布的反向平版印刷辊。
本说明书提供了一种包括所述反向平版印刷辊的反向平版印刷设备。
本说明书可以用于使用橡皮布复制微图案的技术领域。

Claims (21)

1.一种用于制造橡皮布的设备，包括：
面板，衬底膜供应到所述面板上；
涂布单元，所述涂布单元将橡皮布组成物涂布在所述衬底膜上；以及
逗号刮刀，所述逗号刮刀在涂布有所述橡皮布组成物的面板上水平移动，
其中，所述逗号刮刀的全部表面的与所述橡皮布组成物接触的表面是斜面。
2.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，其中，所述橡皮布组成物的粘度大于或等于10,000cp且小于或等于1,000,000cp。
3.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，其中，所涂布的橡皮布组成物的厚度大于或等于0.1mm且小于或等于100mm。
4.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，其中，在所述逗号刮刀的斜面中，任何一个表面和所述任何一个表面的相邻表面之间形成的锐角大于或等于5°且小于或等于30°。
5.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，其中，所述面板具有20μm或20μm以下的厚度变化。
6.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，其中，所述面板包含花岗岩、人造花岗岩、金刚石树脂、陶瓷、金属和玻璃中的任意一种或多种。
7.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，其中，所述面板设置有衬底膜粘附构件。
8.根据权利要求7所述的用于制造橡皮布的设备，其中，所述衬底膜粘附构件包括真空抽吸单元，所述真空抽吸单元具有形成在所述面板的表面上的孔结构、槽结构和线结构中的任何一种或多种。
9.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，进一步包括：
控制单元，所述控制单元调整从最靠近所述面板的所述逗号刮刀的端部到所述面板的上表面的距离。
10.根据权利要求1所述的用于制造橡皮布的设备，进一步包括：
衬底膜供应单元；以及
衬底膜收集单元。
11.一种用于制造橡皮布的方法，包括：
1)将衬底膜供应到面板上；
2)在所述衬底膜上涂布橡皮布组成物；
3)通过使逗号刮刀在涂布有所述橡皮布组成物的面板上水平移动来调整所涂布的橡皮布组成物的厚度；以及
4)通过使所述橡皮布组成物在室温下干燥或固化来制造橡皮布，
其中，所述逗号刮刀的全部表面的与所述橡皮布组成物接触的表面是斜面。
12.根据权利要求11所述的用于制造橡皮布的方法，进一步包括：在步骤1)之前去除所述衬底膜上的灰尘。
13.根据权利要求11所述的用于制造橡皮布的方法，其中，使所述逗号刮刀水平移动的步骤3)使得从最靠近所述面板的所述逗号刮刀的端部到所述面板的上表面的距离保持恒定。
14.根据权利要求11所述的用于制造橡皮布的方法，其中，在所述步骤1)中，通过经由真空抽吸单元对所述衬底膜施加真空负压，所述衬底膜能够紧密地接触所述面板，所述真空抽吸单元具有形成在所述面板的表面上的孔结构、槽结构和线结构中的任何一种或多种。
15.根据权利要求11所述的用于制造橡皮布的方法，其中，在所述步骤1)中，通过经由所述衬底膜供应单元和所述衬底膜收集单元对所述衬底膜施加张力，所述衬底膜能够紧密地接触所述面板。
16.根据权利要求11所述的用于制造橡皮布的方法，其中，所述橡皮布组成物包含基于硅氧烷的树脂。
17.根据权利要求11所述的用于制造橡皮布的方法，进一步包括：在步骤2)之前在所述衬底膜上形成底涂层。
18.根据权利要求11所述的用于制造橡皮布的方法，进一步包括：在步骤4)之后在所述橡皮布上形成滑动层。
19.根据权利要求11至18中的任一项所述的用于制造橡皮布的方法制造的且具有20μm或20μm以下的厚度变化的橡皮布。
20.一种设置有根据权利要求19所述的橡皮布的反向平版印刷辊。
21.一种包括根据权利要求20所述的反向平版印刷辊的反向平版印刷设备。
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