CN105441881A - 铬靶材及其组合的制造方法 - Google Patents
铬靶材及其组合的制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105441881A CN105441881A CN201410437023.9A CN201410437023A CN105441881A CN 105441881 A CN105441881 A CN 105441881A CN 201410437023 A CN201410437023 A CN 201410437023A CN 105441881 A CN105441881 A CN 105441881A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chromium
- target
- blank
- manufacture method
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410437023.9A CN105441881B (zh) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 铬靶材及其组合的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410437023.9A CN105441881B (zh) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 铬靶材及其组合的制造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105441881A true CN105441881A (zh) | 2016-03-30 |
CN105441881B CN105441881B (zh) | 2018-06-08 |
Family
ID=55552504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410437023.9A Active CN105441881B (zh) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 铬靶材及其组合的制造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105441881B (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107805789A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-16 | 清远先导材料有限公司 | 一种钌溅射靶材的制备方法 |
CN111318657A (zh) * | 2018-12-14 | 2020-06-23 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 钛靶材铜铬合金背板的制作方法 |
CN111922351A (zh) * | 2020-09-23 | 2020-11-13 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种高纯低氧金属铬粉的制备方法 |
CN111922350A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-11-13 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种低盐酸不溶物金属铬粉的制备方法 |
CN112008083A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-01 | 山东旭拓新材料科技有限公司 | 一种奥氏体不锈钢、硬质合金复合材料及其制备方法和应用 |
CN113088909A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-09 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种镍铬合金溅射靶材及其热压制备方法 |
CN114182217A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-03-15 | 西安欧中材料科技有限公司 | 一种低氧铬靶及其制造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102398035A (zh) * | 2011-11-25 | 2012-04-04 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 镍靶坯及靶材的制造方法 |
CN102423802A (zh) * | 2011-12-20 | 2012-04-25 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 高纯钴靶材的制备方法 |
JP2013253308A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Futek Furnace Inc | Cigsスパッタリングターゲットの製造方法 |
CN103691953A (zh) * | 2012-09-27 | 2014-04-02 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法 |
CN103695852A (zh) * | 2012-09-27 | 2014-04-02 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨硅靶材的制造方法 |
CN103834923A (zh) * | 2012-11-27 | 2014-06-04 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨钛靶材的制作方法 |
-
2014
- 2014-08-29 CN CN201410437023.9A patent/CN105441881B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102398035A (zh) * | 2011-11-25 | 2012-04-04 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 镍靶坯及靶材的制造方法 |
CN102423802A (zh) * | 2011-12-20 | 2012-04-25 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 高纯钴靶材的制备方法 |
JP2013253308A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Futek Furnace Inc | Cigsスパッタリングターゲットの製造方法 |
CN103691953A (zh) * | 2012-09-27 | 2014-04-02 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法 |
CN103695852A (zh) * | 2012-09-27 | 2014-04-02 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨硅靶材的制造方法 |
CN103834923A (zh) * | 2012-11-27 | 2014-06-04 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨钛靶材的制作方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107805789A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-16 | 清远先导材料有限公司 | 一种钌溅射靶材的制备方法 |
CN107805789B (zh) * | 2017-11-30 | 2019-09-03 | 清远先导材料有限公司 | 一种钌溅射靶材的制备方法 |
CN111318657A (zh) * | 2018-12-14 | 2020-06-23 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 钛靶材铜铬合金背板的制作方法 |
CN112008083A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-01 | 山东旭拓新材料科技有限公司 | 一种奥氏体不锈钢、硬质合金复合材料及其制备方法和应用 |
CN111922350A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-11-13 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种低盐酸不溶物金属铬粉的制备方法 |
CN111922350B (zh) * | 2020-09-22 | 2021-01-01 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种低盐酸不溶物金属铬粉的制备方法 |
CN111922351A (zh) * | 2020-09-23 | 2020-11-13 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种高纯低氧金属铬粉的制备方法 |
CN111922351B (zh) * | 2020-09-23 | 2021-01-01 | 西安斯瑞先进铜合金科技有限公司 | 一种高纯低氧金属铬粉的制备方法 |
CN113088909A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-09 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种镍铬合金溅射靶材及其热压制备方法 |
CN114182217A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-03-15 | 西安欧中材料科技有限公司 | 一种低氧铬靶及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105441881B (zh) | 2018-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105441881A (zh) | 铬靶材及其组合的制造方法 | |
CN102423802B (zh) | 高纯钴靶材的制备方法 | |
RU2550670C2 (ru) | Способ изготовления металлического изделия лазерным цикличным нанесением порошкового материала и установка для его осуществления | |
CN106782977A (zh) | 一种大尺寸烧结钐钴永磁体的制备方法 | |
CN105483624B (zh) | 钼硅靶材及其组合的制造方法 | |
CN108070832A (zh) | 钼铌靶坯的制造方法 | |
CN106319457A (zh) | 钨钛管靶的制造方法 | |
CN106312071A (zh) | 钨钛管靶的制造方法 | |
CN103691953A (zh) | 钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法 | |
JP6403421B2 (ja) | 焼結装置および焼結方法 | |
JP2006207007A (ja) | タングステン合金の製造方法とそのタングステン合金 | |
CN106475566A (zh) | 钼钛靶坯的制造方法 | |
CN105568237A (zh) | 铬钼合金靶材的制备方法 | |
CN106475567A (zh) | 铬钼靶坯的制造方法 | |
CN103805826B (zh) | NdFeB铁基复相材料烧结工艺 | |
CN106735191A (zh) | 一种制备粉末高速钢的方法 | |
CN104694775B (zh) | 一种可调热膨胀的SiC/Al2(WO4)3/Al复合材料 | |
CN102363844A (zh) | 一种微波烧结制备孔隙梯度金属或合金材料的方法 | |
US20230024291A1 (en) | Method for producing molybdenum alloy targets | |
JP2006269870A (ja) | 熱電材料の製造方法 | |
CN109365824B (zh) | 一种6.5wt%高硅电工钢薄壁空心管材的制备方法 | |
JP2006269871A (ja) | 熱電材料の製造方法 | |
JP2008133516A (ja) | アモルファス金属成形体、その製造方法及び製造装置 | |
CN108103458A (zh) | 钼铌靶坯的制造方法 | |
JP2016132612A (ja) | 焼結用金型及びその作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20191028 Address after: 315400 no.198 Anshan Road, Yuyao City, Ningbo City, Zhejiang Province Patentee after: Ningbo Jiangfeng Powder Metallurgy Co., Ltd Address before: 315400, No. 198, Mount Ann Road, state science and Technology Industrial Park, Yuyao, Zhejiang, Zhejiang, Ningbo Patentee before: NINGBO JIANGFENG ELECTRONIC MATERIAL CO., LTD. |
|
TR01 | Transfer of patent right | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Application publication date: 20160330 Assignee: NINGBO JIANGFENG ELECTRONIC MATERIAL CO., LTD. Assignor: Ningbo Jiangfeng Powder Metallurgy Co., Ltd Contract record no.: X2019330000048 Denomination of invention: Making method of chromium target and making method of combination of chromium target Granted publication date: 20180608 License type: Exclusive License Record date: 20191203 |
|
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 315400 no.198 Anshan Road, Yuyao City, Ningbo City, Zhejiang Province Patentee after: Ningbo Jiangfeng hot isostatic pressing technology Co.,Ltd. Address before: 315400 no.198 Anshan Road, Yuyao City, Ningbo City, Zhejiang Province Patentee before: Ningbo Jiangfeng Powder Metallurgy Co.,Ltd. |
|
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |