CN103834923A - 钨钛靶材的制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种钨钛靶材的制作方法，在该方法中，将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后，先对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，然后再对整个钨钛合金粉末进行第二压实，经过第一压实及第二压实之后可以使得钨钛合金粉末将真空热压烧结模具的各个区域完全填满，因此经过真空热压烧结之后所获得的钨钛靶材坯料边缘部位不会存在密度不足、气孔等缺陷。

Description

钨钛靶材的制作方法

技术领域

本发明属于溅射靶材领域，特别是涉及一种钨钛靶材的制作方法。

背景技术

物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，简称PVD）被广泛的应用在光学、电子、信息等高端产业中，例如集成电路、液晶显示器、工业玻璃、照相机镜头、信息存储、船舶、化工等产业。物理气相沉积中使用的合金靶材则是集成电路、液晶显示器等制造过程中最重要的原材料之一。

随着物理气相沉积技术的不断发展，对合金靶材需求量及质量要求日益提高，合金靶材的晶粒越细，成分组织越均匀，其表面粗糙度越小，通过物理气相沉积在硅片上形成的薄膜就越均匀。此外，形成的薄膜纯度与合金靶材的纯度也密切相关，故物理气相沉积后薄膜质量的好坏主要取决于合金靶材的纯度、密度、晶粒度、微观结构等因素。

钨钛（W/Ti）合金由于具有低的电阻系数、良好的热稳定性和抗氧化性，被成功的应用于Al、Cu与Ag布线的扩散阻挡层，因此，钨钛靶材成为了靶材的研究热点之一。

现有一种钨钛靶材的制作方法为：将钨钛合金粉末放入真空热压烧结模具内，根据钨钛靶材成品的尺寸要求来选择真空热压烧结模具的尺寸；对装填在真空热压烧结模具内的钨钛合金粉末进行压实，例如可用不锈钢钢板来压实装填在真空热压烧结模具内的钨钛合金粉末；将装填有钨钛合金粉末的真空热压烧结模具放入真空热压烧结炉中，进行真空热压烧结，得到单个钨钛合金靶材坯料，钨钛合金靶材坯料的尺寸接近钨钛靶材成品尺寸；对钨钛靶材坯料进行进一步的机械加工，以得到钨钛靶材成品。

但是，利用上述钨钛靶材制作方法所获得的钨钛靶材坯料边缘部位存在密度不足、气孔等缺陷，对钨钛靶材坯料进行机械加工时为了避免钨钛靶材成品中也会存在密度不足、气孔等缺陷的边缘部位，需加大钨钛靶材坯料的加工余量，致使成本增加。

发明内容

本发明要解决的技术问题是利用现有方法所获得的钨钛靶材坯料边缘部位存在密度不足、气孔等缺陷。

为解决上述问题，本发明提供了一种钨钛靶材的制作方法，包括：

提供钨钛合金粉末；

将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的边缘区域；

对整个钨钛合金粉末进行第二压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的各个区域；

将装填有钨钛合金粉末的真空热压烧结模具放入真空热压烧结炉中，进行真空热压烧结，以获得钨钛靶材坯料；

对钨钛靶材坯料进行机械加工，以获取钨钛靶材。

可选地，所述第一压实步骤及第二压实步骤的次数至少为一次。

可选地，所述第一压实步骤及第二压实步骤均是利用装模工具来进行。

可选地，所述第一压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的圆棒或材料为钛的方棒，所述第二压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的压块。

可选地，分批次地将所述钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，每次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后均进行所述第一压实步骤及第二压实步骤。

可选地，每次装入钨钛合金粉末之后，先利用直径为10mm的圆棒进行第一压实步骤，所述第一压实步骤的次数为5次-8次，压力为30kg-50kg；然后，利用直径为30mm的圆棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；接着，利用尺寸为30*30mm的方棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；进行第一压实之后，利用直径为100mm的压块进行第二压实步骤，第二压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg。

可选地，进行所述机械加工之前对钨钛靶材坯料进行线切割，以将钨钛靶材坯料至少分割为两个钨钛靶材坯料。

可选地，所述线切割为慢走丝高速线切割。

可选地，所述慢走丝高速线切割的工艺参数包括：主电源电压为3V，伺服电压为1V-2V，电源峰值电流为16A-19A，放电脉冲时间为6s-7s，休止脉冲时间为25s-28s，伺服速度为4mm/s-6mm/s。

可选地，真空热压烧结的工艺参数包括：首先，升温至1280℃-1330℃，升温速率为10℃/min-15℃/min；接着升温加压直至温度为1500℃-1650℃、压力为50t-70t，升温速率为5℃/min-8℃/min，加压速率为2t/min-4t/min；接着在保温条件下加压至130t-160t，加压速率为2t/min-4t/min；接着保温保压1h-3h。

可选地，所述机械加工包括磨削。

可选地，所述机械加工还包括磨削加工之后的镀镍处理。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明所提供的钨钛靶材的制作方法中，将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后，先对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，然后再对整个钨钛合金粉末进行第二压实，经过第一压实及第二压实之后可以使得钨钛合金粉末将真空热压烧结模具的各个区域完全填满，因此经过真空热压烧结之后所获得的钨钛靶材坯料边缘部位不会存在密度不足、气孔等缺陷。

进一步地，可分批次地将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，每次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后均进行所述第一压实步骤及第二压实步骤，这样，不仅使得第一压实步骤及第二压实步骤的执行更为容易，另外，即使前一次钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后所进行的第一压实步骤及第二压实步骤并未使得真空热压烧结模具的边缘区域被钨钛合金粉末完全填满，下一次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后所进行的第一压实步骤及第二压实步骤可以向前一次未被钨钛合金粉末填满的真空热压烧结模具边缘区域补充钨钛合金粉末，进一步降低了钨钛靶材坯料边缘部位会存在密度不足、气孔等缺陷的风险。

进一步地，当利用真空热压烧结工艺所获取的钨钛靶材坯料尺寸较大时，可利用慢走丝高速线切割技术将钨钛靶材坯料至少分割为两个钨钛靶材坯料，提高了钨钛靶材的产能；另外，慢走丝高速线切割具有工作平稳、均匀、抖动小、加工质量较好、加工精度高等优点，故利用慢走丝高速线切割而成的钨钛靶材坯料的表面质量较好，进而能够减小钨钛靶材坯料的加工余量，节省了成本；另外，慢走丝高速线切割技术采用纳秒级脉冲电源技术，脉冲电流变化快，实现了高速切削加工，提高了钨钛靶材成品的加工效率。

附图说明

图1是本发明的一个实施例中所采用真空热压烧结模具的结构示意图；

图2是本发明的一个实施例中制作钨钛靶材的流程图。

具体实施方式

如前所述，利用现有钨钛靶材制作方法所获得的钨钛靶材坯料边缘部位存在密度不足、气孔等缺陷。发明人经过分析得出，造成该缺陷的原因是：钨钛靶材坯料一般为方形，故真空热压烧结模具也设置为方形，将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后，由于钨钛合金粉末是一些固态金属细颗粒，其流动性能并不好，尤其是真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末填充能力较差，致使钨钛合金粉末并不能填满真空热压烧结模具的每个区域。将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后虽然有对钨钛合金粉末进行压实，但是位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末的压实条件与位于真空热压烧结模具边缘区域以外的钨钛合金粉末的压实条件是相同的，而真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末填充能力较差，故这种压实工艺并不能使得钨钛合金粉末将真空热压烧结模具的边缘区域完全填满，因此经过真空热压烧结之后所获得的钨钛靶材坯料边缘部位会存在密度不足、气孔等缺陷。

为了解决利用现有钨钛靶材制作方法所获得的钨钛靶材坯料边缘部位存在密度不足、气孔等缺陷的问题，发明人提供了另一种钨钛靶材的制作方法，在该方法中，将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后，先对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，然后再对整个钨钛合金粉末进行第二压实，经过第一压实及第二压实之后可以使得钨钛合金粉末将真空热压烧结模具的各个区域完全填满，因此经过真空热压烧结之后所获得的钨钛靶材坯料边缘部位不会存在密度不足、气孔等缺陷。

下面结合附图，通过具体实施例，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的可实施方式的一部分，而不是其全部。根据这些实施例，本领域的普通技术人员在无需创造性劳动的前提下可获得的所有其它实施方式，都属于本发明的保护范围。

图1是本发明的一个实施例中所采用真空热压烧结模具的结构示意图，如图1所示，本发明的真空热压烧结模具边缘区域10中，不仅包括真空热压烧结模具边沿区域11，还包括位于相邻两个边沿区域11之间的边角区域12。图中以方形真空热压烧结模具为例示意出边缘区域10，本领域技术人员应该知道当真空热压烧结模具以其它形状设置时其边缘区域的位置以此类推。

图2是本发明的一个实施例中制作钨钛靶材的流程图，下面结合图2对本发明的技术方案进行详细介绍。

首先执行图2中的步骤S1：提供钨钛合金粉末。

将钨粉与钛粉按照一定的重量比混合在一起，得到混合均匀的钨钛合金粉末。需根据钨钛靶材成品的要求来设定钨钛合金粉末中钨粉与钛粉的含量。在一个实施例中，钨钛合金粉末中钛粉的含量为9%-11%（重量百分比），其余为钨粉。在一个实施例中，利用三维混料器将钨粉与钛粉混合在一起。

接着执行图2中的步骤S2：将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，对钨钛合金粉末进行压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的各个区域。

由于钨钛靶材坯料一般为方形，故真空热压烧结模具也为方形。由于钨钛合金粉末是一些固态金属细颗粒，其流动性能并不好，尤其是真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末的填充能力较差，致使钨钛合金粉末并不能填满真空热压烧结模具的每个区域。为此，将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具之后，先对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，第一压实步骤可以向未被钨钛合金粉末充分填满的真空热压烧结模具边缘区域补充钨钛合金粉末，弥补了真空热压烧结模具边缘区域中钨钛合金粉末填充能力不足的缺陷。进行第一压实之后，再对整个钨钛合金粉末进行第二压实。经过第一压实及第二压实两个压实步骤之后可以使得钨钛合金粉末将真空热压烧结模具的各个区域充分填满。

需说明的是，在本发明中所述第一压实步骤及第二压实步骤的次数并不局限于一次，为了使得钨钛合金粉末能更充分地填充在真空热压烧结模具内，可以进行多次（至少为两次）第一压实步骤之后再进行多次（至少为两次）第二压实步骤。在进行第一压实步骤或第二压实步骤时可以观察或感觉填充在真空热压烧结模具内的钨钛合金粉末是否会下陷，若钨钛合金粉末下陷，则代表真空热压烧结模具某些区域仍未被钨钛合金粉末完全填满，需要继续进行第一压实步骤或第二压实步骤；相反，若钨钛合金粉末不下陷，则代表真空热压烧结模具已经被钨钛合金粉末完全填满了，可以停止进行第一压实步骤或第二压实步骤。

在一个实施例中，第一压实及第二压实步骤均是利用装模工具来进行，且第一压实步骤及第二压实步骤中均可先利用一种小尺寸的装模工具来进行，然后再利用另一种大尺寸的装模工具来进行，接着利用第三种更大尺寸的装模工具来进行，依次类推。在一个实施例中，所述第一压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的圆棒或材料为钛的方棒，所述第二压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的压块。这样，由于装模工具的材料为钛，故在对钨钛合金粉末进行压实的过程中不会引入额外的杂质。

进一步地，发明人发现，当真空热压烧结炉的尺寸较大时，钨钛合金粉末的量也较大，若一次性将所有的钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，会使得第一压实步骤及第二压实步骤的执行更为困难。

为此，在步骤S2中可分批次地将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，每次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后均进行上述第一压实步骤及第二压实步骤，这样，不仅使得第一压实步骤及第二压实步骤的执行更为容易，另外，即使前一次钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后所进行的第一压实步骤及第二压实步骤并未使得真空热压烧结模具的边缘区域被钨钛合金粉末完全填满，下一次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后所进行的第一压实步骤及第二压实步骤可以向前一次未被钨钛合金粉末填满的真空热压烧结模具边缘区域补充钨钛合金粉末，进一步降低了钨钛靶材坯料边缘部位会存在密度不足、气孔等缺陷的风险。

作为一个具体的实施例，分批次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，每次装入钨钛合金粉末之后，先利用直径为10mm的圆棒进行第一压实步骤，即对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行压实，第一压实步骤的次数为5次-8次，压力为30kg-50kg；然后，利用直径为30mm的圆棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；接着，利用尺寸为30*30mm的方棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；进行第一压实之后，利用直径为100mm的压块进行第二压实步骤，即对整个钨钛合金粉末进行压实，第二压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg。在第一压实步骤中通过采用几种不同尺寸的装模工具来进行，且按照装模工具尺寸由小到大的顺序进行，既能有效地保证真空热压烧结模具边缘区域被钨钛合金粉末完全填满，又能使第一压实步骤的时间不会过长。

接着执行图2中的步骤S3：将装填有钨钛合金粉末的真空热压烧结模具放入真空热压烧结炉中，进行真空热压烧结，以获得钨钛靶材坯料。

将装填有钨钛合金粉末的真空热压烧结模具放入真空热压烧结炉中之后，对真空热压烧结炉进行抽真空，其的目的为了防止真空热压烧结炉内的钨钛合金粉末在后续烧结过程中发生氧化。在一个实施例中，进行抽真空之后使得真空热压烧结炉的真空度小于等于10^-2Pa。

在一个实施例中，真空热压烧结模具的材料为碳-碳复合材料，碳-碳复合材料是以碳为基体与碳纤维、石墨纤维或它们的织物为增强体组成的复合物。碳-碳复合材料制作的模具强度高、变形小、熔点高（大于2000℃），且在加热的情况下碳-碳复合材料制作的模具不易被氧化。其它实施例中，只要符合强度高、变形小、熔点高（大于2000℃），且在加热的情况下不易被氧化要求的其它材料也可以用作真空热压烧结模具，例如石墨，只是石墨模具没有碳-碳复合模具的效果好。

抽真空处理后，进行真空热压烧结工艺。通过选择合适的真空热压烧结工艺参数可以获得致密度较高的钨钛靶材坯料。真空热压烧结的工艺参数主要包括：首先，升温至1280℃-1330℃，升温速率为10℃/min-15℃/min；接着升温加压直至温度为1500℃-1650℃、压力为50t-70t，升温速率为5℃/min-8℃/min，加压速率为2t/min-4t/min；接着在保温条件下加压至130t-160t，加压速率为2t/min-4t/min；接着保温保压1h-3h。

在升温至1280℃-1330℃的过程中，钨钛合金粉末先受热膨胀，当温度达到1280℃-1330℃时钨钛合金粉末软化并开始收缩，在这个升温过程中升温速率为10℃/min-15℃/min；接着开始加载压力并同时升温，直至温度达到1500℃-1650℃、压力达到50t-70t，在这个过程中升温速率为5℃/min-8℃/min，加压速率为2t/min-4t/min；接着在保温条件下加载压力直至压力为130t-160t，在这个过程中加压速率为2t/min-4t/min，在这个过程中钨钛合金粉末融合在一起，并被压实；在温度为1500℃-1650℃、压力为130t-160t的条件下保温保压1h-3h。

在一个具体的实施例中，首先升温至1300℃，升温速率为10℃/min；接着升温加压直至温度为1600℃、压力为60t，升温速率为5℃/min，加压速率为2t/min；接着在保温条件下加压至150t，加压速率为2t/min；接着保温保压2h。

发明人经创造性研究后发现：

温度的升高有利于钨、钛原子的扩散，后续形成的钨钛靶材坯料内部的空隙率降低，致密度和强度不断提高。但是如果温度超过1500℃-1650℃，不仅浪费燃料，而且还会促使后续形成的钨钛靶材坯料进行重结晶而使后续钨钛靶材坯料的性能恶化。如果温度太低，钨钛合金粉末难以热压成型。

如果升温速度过慢，升温时间过长会使得钨原子、钛原子的表面扩散过多、表面张力受力不均而改变钨钛合金粉末的空隙的形状，从而影响了钨钛合金粉末的初步致密化效果而且还影响后续的钨钛靶材坯料性能；如果升温速度过快，真空热压烧结炉的炉温不容易扩散，造成真空热压烧结炉内和炉壁的炉温不均匀，产生炉温偏差。因此，在真空热压烧结炉的炉温均匀的前提下，应尽可能快的升温至1500℃-1650℃以创造体积扩散的条件。

真空热压烧结工艺中采用的热压压力越大，钨钛合金粉末中的颗粒堆积越紧密，颗粒之间的接触面积越大，热压工艺被加速；但是如果热压工艺采用的压力超过130t-160t，真空热压烧结模具承受的压力风险越大，容易造成真空热压烧结模具的破裂。如果热压工艺采用的热压压力不足130t-160t，同样使得钨钛合金粉末难以热压成型。

本发明需要在上述热压温度和热压压力的范围下保温1小时-3小时，结晶以形成钨钛靶材坯料。形成的钨钛靶材坯料比较紧致、晶界明显、没有出现重结晶而导致的晶粒长大现象，晶粒度均匀而且，整个真空热压烧结工艺的耗能少。如果热压保温时间过短，结晶过程不易准确控制；如果热压保温时间超过1h-3h小时，则出现重结晶，即晶粒会长大超出后续钨钛靶材内部晶粒的尺寸，而且保温时间过长，浪费热能。

接着执行图2中的步骤S4：对钨钛靶材坯料进行线切割，以将钨钛靶材坯料至少分割为两个钨钛靶材坯料。

当装填在真空热压烧结炉中的钨钛合金粉末的量较大时，利用真空热压烧结工艺所获取的钨钛靶材坯料尺寸也较大。在这种情况下可对钨钛靶材坯料进行线切割，以将钨钛靶材坯料至少分割为两个钨钛靶材坯料，对每个钨钛靶材坯料进行进一步地机械加工之后即可获得钨钛靶材成品。另外，在这种情况下，在上述步骤S2中分批次地将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具的次数可以根据一次要形成钨钛靶材成品的个数来确定，具体地，分批次地将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具的次数不小于钨钛靶材成品的个数。举例来讲，若一次要形成四个钨钛靶材成品，可以分四次或更多次数的将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中。

由于钨钛合金是高强度、高硬度的合金材料，普通的线切割技术费时、费力。为此，发明人发现了另一种适于切割钨钛靶材坯料的线切割技术，其为慢走丝高速线切割技术。慢走丝高速线切割具有工作平稳、均匀、抖动小、加工质量较好、加工精度高等优点，故利用慢走丝高速线切割而成的钨钛靶材坯料的表面质量较好，进而能够减小钨钛靶材坯料的加工余量，节省了成本；另外，慢走丝高速线切割技术采用纳秒级脉冲电源技术，脉冲电流变化快，实现了高速切削加工，提高了钨钛靶材成品的加工效率。

在一个实施例中，利用慢走丝高速线切割钨钛靶材坯料的工艺参数包括：主电源电压为3V，伺服电压为1V-2V，电源峰值电流为16A-19A，放电脉冲时间为6s-7s，休止脉冲时间为25s-28s，伺服速度为4mm/s-6mm/s。

最后执行图2中的步骤S5：对钨钛靶材坯料进行机械加工，以获取钨钛靶材。

获得钨钛靶材坯料之后，对钨钛靶材坯料进行进一步的机械加工，以获取尺寸、表面质量等符合溅射靶材要求的钨钛靶材。

在一个实施例中，所述机械加工包括磨削。作为一个具体的实施例，可采用带金刚石砂轮的平面磨床进行磨削加工。磨削工艺参数包括：1400转/min，0.05mm/转。

在一个实施例中，进行磨削加工后还进行表面镀镍处理，以使钨钛靶材与背板焊接时焊料能更均匀的分布在两者之间，增加两者的焊接牢靠度。

上述通过实施例的说明，应能使本领域专业技术人员更好地理解本发明，并能够再现和使用本发明。本领域的专业技术人员根据本文中所述的原理可以在不脱离本发明的实质和范围的情况下对上述实施例作各种变更和修改是显而易见的。因此，本发明不应被理解为限制于本文所示的上述实施例，其保护范围应由所附的权利要求书来界定。

Claims (12)

1.一种钨钛靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供钨钛合金粉末；

将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的边缘区域；

对整个钨钛合金粉末进行第二压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的各个区域；

将装填有钨钛合金粉末的真空热压烧结模具放入真空热压烧结炉中，进行真空热压烧结，以获得钨钛靶材坯料；

对钨钛靶材坯料进行机械加工，以获取钨钛靶材。

2.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述第一压实步骤及第二压实步骤的次数至少为一次。

3.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述第一压实步骤及第二压实步骤均是利用装模工具来进行。

4.根据权利要求3所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述第一压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的圆棒或材料为钛的方棒，所述第二压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的压块。

5.根据权利要求4所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，分批次地将所述钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，每次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后均进行所述第一压实步骤及第二压实步骤。

6.根据权利要求5所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，每次装入钨钛合金粉末之后，先利用直径为10mm的圆棒进行第一压实步骤，所述第一压实步骤的次数为5次-8次，压力为30kg-50kg；然后，利用直径为30mm的圆棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；接着，利用尺寸为30*30mm的方棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；进行第一压实之后，利用直径为100mm的压块进行第二压实步骤，第二压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg。

7.根据权利要求5所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，进行所述机械加工之前对钨钛靶材坯料进行线切割，以将钨钛靶材坯料至少分割为两个钨钛靶材坯料。

8.根据权利要求7所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述线切割为慢走丝高速线切割。

9.根据权利要求8所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述慢走丝高速线切割的工艺参数包括：主电源电压为3V，伺服电压为1V-2V，电源峰值电流为16A-19A，放电脉冲时间为6s-7s，休止脉冲时间为25s-28s，伺服速度为4mm/s-6mm/s。

10.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，真空热压烧结的工艺参数包括：首先，升温至1280℃-1330℃，升温速率为10℃/min-15℃/min；接着升温加压直至温度为1500℃-1650℃、压力为50t-70t，升温速率为5℃/min-8℃/min，加压速率为2t/min-4t/min；接着在保温条件下加压至130t-160t，加压速率为2t/min-4t/min；接着保温保压1h-3h。

11.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述机械加工包括磨削。

12.根据权利要求11所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述机械加工还包括磨削加工之后的镀镍处理。

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