CN105277122A - 图像测量设备及显示测量结果的方法 - Google Patents

图像测量设备及显示测量结果的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105277122A
CN105277122A CN201510424687.6A CN201510424687A CN105277122A CN 105277122 A CN105277122 A CN 105277122A CN 201510424687 A CN201510424687 A CN 201510424687A CN 105277122 A CN105277122 A CN 105277122A
Authority
CN
China
Prior art keywords
image
measurement result
display
measuring
display frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510424687.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105277122B (zh
Inventor
张玉武
高田彰
花村尚史
前田拓甫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Publication of CN105277122A publication Critical patent/CN105277122A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105277122B publication Critical patent/CN105277122B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/36Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
    • G02B21/365Control or image processing arrangements for digital or video microscopes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G01N2021/8893Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques providing a video image and a processed signal for helping visual decision

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及图像测量设备及显示测量结果的方法,其中,该图像测量设备被配置为使得通过照相机拍摄放置在载物台上的测量对象的图像、将所拍摄的图像显示在拍摄图像显示画面上、以及与所拍摄的所述测量对象的图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中。所述图像测量设备包括:选择部,其被配置为选择包括所述概要列表上的判断结果的测量结果;以及突出显示部,其被配置为对所述拍摄图像显示画面上的与所选择的测量结果相对应的测量位置提供突出显示。

Description

图像测量设备及显示测量结果的方法
技术领域
本发明涉及一种图像测量设备,并且特别涉及图像测量装置或安装了摄像单元的定量显微镜等中优选使用的图像测量设备。该图像测量设备被配置为:通过照相机来拍摄放置在载物台上的测量对象的图像,在拍摄图像显示画面上显示所拍摄图像,并且与所拍摄的测量对象的图像分开地在概要列表中显示基于测量结果的判断结果。
背景技术
诸如在日本专利公开H03-57403号和日本特开2003-139520中所描述的图像测量装置等的典型图像测量装置具有能够记录一次进行的测量过程以及在对具有相同形状的测量对象(也称为工件)进行测量的情况下能够自动地再现所记录的测量过程的部件程序。另外,如日本特开2001-319219中所述,图像测量设备具有公差比较功能,在该公差比较功能中,在已经测量了测量对象之后,将测量值与设计值进行比较,以判断该测量值是否在预定的公差以内。通常,在图像测量装置通过使用部件程序来进行具有相同形状的多个工件的连续测量的情况下,操作者针对各工件执行部件程序并且检验所输出的公差判断结果,以判断工件的质量。
例如,如图1所示,通过在测量结果显示区域中展现测量值和设计值的标记来进行公差比较的判断结果(“OK”(成功)或者“NG”(失败))的显示。然而,由于利用该显示难以获知公差判断结果,因此如日本特开2001-59708中所述,提供了与测量对象的图像分开地在列表中给出判断结果的概要显示。
如图1所示,公差比较的判断结果一般与测量结果一起显示。因此,在改变载物台位置时进行测量的情况下,即使在紧接进行测量之后或者在一个画面内的测量期间判断结果在公差之外并且返回“NG”时,或者由于无法检测边缘、不存在工件、附着碎片、照射水平不充足等导致发生测量失败时,也可以检验原因并且可以重复进行测量。
然而,在需要移动载物台以进行画面之外的测量的情况下或者在存在多个测量位置的情况下,如果测量结束之后发生NG或测量失败,则难以识别测量位置,并且在某些情况下,必须从最初测量开始重复进行测量,以识别测量位置。
发明内容
为解决上述传统问题而构思了本发明,因此将本发明配置为即使在测量结束之后生成了NG的判断结果的情况下或测量失败的情况下,也识别测量位置并容易地对该测量位置进行定位,并且本发明提高了识别NG判断结果的原因以及再次测量时的可操作性。
本发明通过如下的图像测量设备解决上述问题,其中该图像测量设备被配置为通过照相机来拍摄放置在载物台上的测量对象的图像,将拍摄图像显示在拍摄图像显示画面上,并且与测量对象的拍摄图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中,所述图像测量设备包括:选择部,其被配置为选择包括所述概要列表上的判断结果的测量结果;以及突出显示部,其被配置为对拍摄图像显示画面上的与所选择的测量结果相对应的测量位置提供突出显示。
这里,在具有所述突出显示的测量位置处显示测量结果的详细内容。
另外,在显示测量结果的详细内容期间,能够重复进行测量。
并且,在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,显示导航信息以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
可选地,在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,使所述载物台和所述照相机彼此相对移动以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
本发明提供一种在图像测量设备的显示画面上显示测量结果的方法,其中,所述图像测量设备被配置为通过照相机拍摄放置在载物台上的测量对象的图像、将拍摄图像显示在拍摄图像显示画面上、并且与测量对象的拍摄图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中,所述方法包括以下步骤:选择包括所述概要列表上的判断结果的测量结果;以及对拍摄图像显示画面上的与所选择的测量结果相对应的测量位置提供突出显示。
可选地,上述方法还包括以下步骤:在具有所述突出显示的测量位置处显示测量结果的详细内容。
可选地,上述方法还包括以下步骤:在显示测量结果的详细内容期间,重复进行测量。
可选地,上述方法还包括以下步骤:在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,显示导航信息以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
可选地,上述方法还包括以下步骤:在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,使所述载物台和所述照相机彼此相对移动以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
根据本发明,即使在测量结束之后生成了NG的判断结果的情况下或测量失败的情况下,也可以对测量位置进行识别并容易地对该测量位置进行定位。因此,可以提高识别NG判断结果的原因以及再次测量时的可操作性,并且可以提高图像测量设备的可操作性。另外,可以减少操作者的管理成本。
附图说明
在以下的详细说明中,通过本发明的典型实施例的非限制性示例的方式参考所述的多个附图来进一步说明本发明,其中在附图的几个视图中,相同的附图标记表示相似的部件,并且其中:
图1示出图像测量装置中公差判断结果的传统显示;
图2是应用本发明的图像测量装置的示例整体结构的立体图;
图3是示出图像测量装置中的计算机系统的结构的框图;
图4是图像测量装置中根据本发明第一实施例的处理流程的流程图;
图5示出根据第一实施例的显示画面上的示例显示;
图6示出在图像测量装置中总的判断结果的显示的第一变形例;
图7是根据本发明第二实施例的处理流程的流程图;
图8示出根据第二实施例的显示画面上的示例显示;
图9是根据本发明第三实施例的处理流程的流程图;
图10示出根据第三实施例的显示画面上的示例显示;
图11A和11B示出总的判断结果的显示的第二变形例;
图12A和12B示出总的判断结果的显示的第三变形例;
图13A和13B示出总的判断结果的显示的第四变形例;
具体实施方式
这里所示的细节是举例,并且仅用于例示性地论述本发明的实施例的目的,并且是为了提供被认为是本发明的原理和概念方面的最有用和最容易理解的说明而呈现的。在这方面,没有尝试以比本发明的基本理解所需的细节更详细的方式示出本发明的结构细节,其中利用附图所进行的说明使得在实践中如何能够实现本发明的各种形式对于本领域技术人员而言是明显的。
以下,参考附图来详细说明本发明的实施例。并且,本发明不限于在以下实施例和示例中所说明的内容。以下实施例和示例的构成要素还可以包括本领域技术人员容易想到的内容、实质上相同的内容、以及包含等效范围的内容。此外,以下实施例和示例所公开的构成要素还可以适当结合、或者适当的选择性应用。
图2示出应用了本发明的手动操作型的图像测量装置的整体结构。该图像测量装置包括:非接触图像测量型的测量装置主体1;执行对测量装置主体1的载物台移动操作的辅助处理以及执行必要的测量数据处理的计算机系统2;将需要的测量命令和测量参数提供至测量装置主体1的命令输入部3;键盘32;鼠标33;以及将稳定的电力供给至各种组件的电源单元4。
测量装置主体1包括架台11和安装在架台11上的载物台13。工件12(测量对象)可以放置在载物台13上。X轴驱动轴14和Y轴驱动轴15分别在X轴方向和Y轴方向上驱动载物台13。向上方延伸的框架17固定在架台11的后端部。在框架17上支撑照相机单元18。通过Z轴驱动轴19可以使照相机单元18沿着框架17上所形成的导轨在Z轴方向上移动。在照相机单元18的内部安装照相机(例如,CCD照相机)20,以从上方拍摄载物台13的图像。在照相机20的下端附近设置对工件12进行照明的环状照明装置21。
计算机系统2被配置为包括计算机主体31、键盘32、鼠标33以及显示部(例如液晶显示部或者CRT显示屏)34。可以将以计算机主体31为中心放置的该系统例如配置为如图3所示。通过AD转换部35将利用照相机20所拍摄的工件12的图像的图像信号转换成数字图像数据,并且将该数字图像数据存储在图像存储器36中。通过显示控制部37的操作,将存储在图像存储器36中的数字图像数据显示在显示部34上。将使用键盘32和鼠标33所输入的操作者的命令经由接口(I/F)38发送至CPU39。CPU39根据操作者的命令或者存储在程序存储器40中的部件程序来执行测量处理。工作存储器41提供用于CPU39的各种处理的工作区域。
为了检测照相机20相对于载物台13的X、Y和Z轴方向各自的位置,还设置了X轴编码器42、Y轴编码器43和Z轴编码器44。将来自这些编码器42-44的输出取出至CPU39。基于CPU39所生成的指令值,照明控制部45生成模拟量的指令电压并驱动照明装置21。
以下,详细说明本发明的各实施例。
图4示出根据本发明第一实施例的处理流程,而图5示出根据本发明第一实施例的显示部34上的示例显示。在第一实施例中,在从列表中选择判断结果的情况下,对拍摄图像显示画面上的相应测量位置提供突出显示。
在第一实施例中,首先,在步骤100,将测量对象(工件12)放置在测量装置主体1的载物台13上。
接着,在步骤110,通过安装至测量装置主体1的照相机20拍摄工件12的图像。
接着,在步骤120,如图5的左上侧所示,在显示来自照相机20的拍摄图像(工作12的放大图像)的拍摄图像显示画面34A上选择所期望的要素和边缘检测工具,并进行测量。
每当进行测量时,记录包括公差判断结果的测量结果的信息(步骤130),并且生成操作者在任何时候都能理解的公差判断结果列表34B(步骤140)。
在步骤150中判断为测量已经结束之前,处理在步骤160中移至下一测量位置,并且重复步骤120-140。
可以利用不同颜色来显示公差判断结果,例如OK为绿色并且失败(NG)为红色。
在步骤150中判断为测量已经结束之后,在操作者在步骤170中选择了包括已经生成的公差判断结果列表34B中所显示的期望的判断结果的测量结果(图5中最上面的ID1)的情况下,在步骤180,对拍摄图像显示画面34A上所显示的相应测量结果(图5的线-1)提供诸如高亮等的突出显示。
因此,即使多个测量结果显示在一个画面上(图5示出ID1以外的ID2:圆-1,ID3:线-2,ID4:距离-1以及ID5:圆-2共5个)并且难以选择拍摄图像显示画面34A内指定的测量结果(这里为ID1)的情况下,通过选择被转换成列表的包括公差判断结果的测量结果,操作者也可以容易地发现拍摄图像显示画面34A上与列表34B中的测量结果相对应的测量位置,并且可以防止发生操作者错误地选择测量结果。
在本实施例中,列表34B包括提供针对各测量位置的公差判断结果的详细内容的单个判断结果显示区域34B1;以及提供针对作为单位的工件12的总的判断结果的总的判断结果显示区域34B2。另外,本实施例被配置为不仅显示单个判断结果而且显示总的判断结果(附图中的“NG”),因此操作者可以很容易地发现总的判断结果。
在本实施例中,总的判断结果显示区域34B2的括号中还显示NG的数量,因此操作者还可以发现NG的程度。
并且,如图6所示的第一变形例中,将测量结果的总数(本示例中为5个)设置为分母并且将NG的数量表示为分子,从而使得能够知道NG的数量相对于测量结果的总数的比例。
并且,在本实施例中,除了显示来自照相机20的拍摄图像34A和列表34B之外,还显示表示整个测量对象的测量对象整体图34C。因此,可以容易地发现所拍摄图像(34A)相对于整个测量对象的位置。也可以省略测量对象整体图34C。
接着,给出使选择测量结果时的再次测量容易进行的本发明的第二实施例的详细说明。图7示出根据第二实施例的处理流程,而图8示出显示部34上的示例显示。
在如图4那样进行步骤100-150并且测量结束之后,在步骤270中操作者点击拍摄图像显示画面34A上所显示的测量结果(图8中的线-1)的情况下,在步骤280中如图8所示显示测量结果的详细内容(在本示例中,X和Y坐标、投影角度、直线度)。在显示测量结果期间,通过点击详细显示来重复测量(步骤290)。在重复测量的情况下,使得能够进行测量期间所使用的检测工具的检测位置的编辑(测量开始时再输入手动输入的设计值)以及用于公差判断结果的设计值、上限值或下限值的编辑,从而使得能够更新测量结果。
根据本实施例,可以通过简单地点击拍摄图像显示画面34A上所显示的测量结果来重复测量,并且可以提高工作效率。
并且,代替拍摄图像显示画面34A上所显示的测量结果,操作者还可以选择列表34B的单个判断结果显示区域34B1中所显示的测量结果和判断结果并且重复测量。
接着,提供针对本发明第三实施例的详细说明,在第三实施例中,将测量结果和载物台位置关联,使得在测量位置不位于当前显示的拍摄图像显示画面34A中的情况下能够进行载物台移动导航。图9示出根据第三实施例的处理流程,而图10示出显示部34上的示例显示。
在与第一实施例相同的步骤170结束之后,处理进入步骤372并且判断指定的(选择的)测量结果(本示例中的ID5)是否位于拍摄图像显示画面34A的当前显示画面内。在判断结果是否定的情况下,处理进入步骤374并且在画面上显示载物台移动导航画面(这里为向ID5的X轴方向和Y轴方向的移动距离),从而促使载物台移动(步骤376)。并且,可以更新剩余距离的信息以与载物台移动相匹配。
如图10所示,导航不仅能够利用数值来显示剩余距离,而且例如还能够展现瞄准线的交点以使得交点移动到拍摄图像显示画面34A的中心,或者能够利用箭头等来直接地显示移动方向。另外,在诸如CNC等的自动控制型图像测量装置的情况下,可以自动进行步骤376的载物台移动。
在步骤372判断为由于指定的(选择的)测量结果未显示在当前显示画面上而利用载物台移动使得指定的(选择的)测量结果现在显示在当前显示画面内、或者判断为指定的(选择的)测量结果已经显示在当前显示画面内的情况下,处理进入步骤380并且对画面上所显示的测量结果进行诸如高亮等的突出显示。
根据本实施例,通过指定(选择)列表上的包括判断结果的测量结果,进行向相应的测量位置的移动导航,因此可以提高工作效率。
并且,在本实施例中,通过使用颜色区别、字符“OK”和“NG”、以及NG的数量中的任一种来在总的判断结果显示区域34B2中显示总的判断结果。然而,如图11A(OK的情况)和图11B(NG的情况)所示的第二变形例中,在总的判断结果显示区域34B2内,如所示出的示例那样,通过使用左右移动的垂直线所形成的指针34D以米状显示测量值相对于公差范围MIN~MAX的位置。因而,操作者可以直观地理解公差判断结果的详细内容,即测量结果是近似于设计值还是在公差范围的边缘、测量结果是大于还是小于设计值等。
并且,测量结果还可以与表示当前测量结果相对于先前测量结果的值的增减方向的箭头标记34E一起显示。作为结果,操作者可以实时检验测量结果的变化。相反,在通过传统图像测量系统进行具有相同形状的工件的连续测量的情况下,为了检验测量结果的变化,需要通过使用图像测量系统中所安装的统计/分析功能或者具有统计/分析功能的外部程序来单独进行各测量结果的解析,这使得操作者难以实时检验测量结果的变化。因此,操作者难以检验工件的形状中的偏差和变化。例如,即使处理工件的工具存在磨损等并且工件的处理精度随时间而劣化,进行测量的操作者也难以注意到这样的劣化,并且在公差测量结果返回“NG”之前无法检测到该劣化。
可选地,在如图12A(OK的情况)和图12B(NG的情况)所示的第三变形例中,还可以在总的判断结果显示区域34B2的背景中显示表示测量结果的变化的趋势图34F。在这种情况下,如图12A和图12B所示,在与最大值MAX界限34G和最小值MIN界限34H一起显示的情况下,操作者不仅可以容易获知趋势,而且还可以容易获知相对于上限值和下限值的关系。也可以单独使用趋势图34F。
另外,在如图13A(OK的情况)和图13B(NG的情况)所示的第四变形例中,还可以将OK的数量、NG的数量以及测量误差的数量一起显示在总的判断结果显示区域34B2中。另外,在仅当所有的单个判断结果都是OK时总的判断结果才返回OK的情况下,可以如图13A所示在OK结果的情况下省略右侧显示以增强可视性。还可以省略误差显示。另外,在忽略误差的情况下,没有必要显示误差的数量。
在上述实施例中,在列表34B中显示公差判断结果;然而,列表中显示的判断结果不限于此。列表34B的显示位置也不限于上述实施例中的显示位置,并且例如作为替代可以在拍摄图像显示画面34A的一角中显示列表34B。
本发明不限于应用至图像测量装置,而且例如还可以应用到安装了摄像单元的定量显微镜。
注意,已提供的上述示例仅用于说明的目的,并且决没有被构造成对本发明进行限制。尽管已参考典型实施例说明了本发明,但应当理解,这里已使用的词语是用于描述和说明的词语,而不是用于进行限制的词语。在没有背离本发明的各方面的精神和范围的情况下,可以在如当前陈述和修改的权利要求书的界限内进行改变。尽管这里已参考特定结构、材料和实施例说明了本发明,但本发明并不意图局限于这里所公开的细节;相反,本发明扩展至诸如处于所附权利要求书的范围内等的在功能上等同的所有结构、方法和用途。
本发明不限于上述实施例,并且可以在没有背离本发明的范围的情况下进行各种改变和修改。
相关申请的交叉引用
本申请要求2014年7月18日提交的日本申请2014-148285的优先权,在此通过引用明确包含其全部内容。

Claims (10)

1.一种图像测量设备,其被配置为通过照相机来拍摄放置在载物台上的测量对象的图像,将拍摄图像显示在拍摄图像显示画面上,并且与测量对象的拍摄图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中,所述图像测量设备包括:
选择部,其被配置为选择包括所述概要列表上的判断结果的测量结果;以及
突出显示部,其被配置为对拍摄图像显示画面上的与所选择的测量结果相对应的测量位置提供突出显示。
2.根据权利要求1所述的图像测量设备,其中,在具有所述突出显示的测量位置处显示测量结果的详细内容。
3.根据权利要求2所述的图像测量设备,其中,在显示测量结果的详细内容期间,能够重复进行测量。
4.根据权利要求1所述的图像测量设备,其中,在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,显示导航信息以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
5.根据权利要求1所述的图像测量设备,其中,在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,使所述载物台和所述照相机彼此相对移动以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
6.一种在图像测量设备的显示画面上显示测量结果的方法,其中,所述图像测量设备被配置为通过照相机拍摄放置在载物台上的测量对象的图像、将拍摄图像显示在拍摄图像显示画面上、并且与测量对象的拍摄图像分开地将基于测量结果的判断结果显示在概要列表中,所述方法包括以下步骤:
选择包括所述概要列表上的判断结果的测量结果;以及
对拍摄图像显示画面上的与所选择的测量结果相对应的测量位置提供突出显示。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,还包括以下步骤:在具有所述突出显示的测量位置处显示测量结果的详细内容。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,还包括以下步骤:在显示测量结果的详细内容期间,重复进行测量。
9.根据权利要求6所述的方法,其中,还包括以下步骤:在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,显示导航信息以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
10.根据权利要求6所述的方法,其中,还包括以下步骤:在与所选择的测量结果相对应的测量位置没有位于当前显示的拍摄图像显示画面内的情况下,使所述载物台和所述照相机彼此相对移动以使该测量位置显示在拍摄图像显示画面内。
CN201510424687.6A 2014-07-18 2015-07-17 图像测量设备及显示测量结果的方法 Expired - Fee Related CN105277122B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-148285 2014-07-18
JP2014148285A JP6579682B2 (ja) 2014-07-18 2014-07-18 画像測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105277122A true CN105277122A (zh) 2016-01-27
CN105277122B CN105277122B (zh) 2020-04-03

Family

ID=55074981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510424687.6A Expired - Fee Related CN105277122B (zh) 2014-07-18 2015-07-17 图像测量设备及显示测量结果的方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20160019687A1 (zh)
JP (1) JP6579682B2 (zh)
CN (1) CN105277122B (zh)
DE (1) DE102015213307A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114485572A (zh) * 2022-02-25 2022-05-13 黎仁梯 一种降误差的无人机测绘系统

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017116297A (ja) 2015-12-21 2017-06-29 株式会社ミツトヨ 画像測定方法及び画像測定機
JP6767843B2 (ja) * 2016-11-02 2020-10-14 株式会社キーエンス 画像測定装置
WO2021149745A1 (ja) * 2020-01-23 2021-07-29 株式会社バルカー フランジ間測定方法、システム、プログラム、記録媒体および測定サーバー

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060078188A1 (en) * 2004-09-29 2006-04-13 Masaki Kurihara Method and its apparatus for classifying defects
US20060109486A1 (en) * 2004-11-19 2006-05-25 Holon Co., Ltd. Method of deciding measurement value
US20130125044A1 (en) * 2011-11-15 2013-05-16 Mitutoyo Corporation Machine Vision System Program Editing Environment Including Synchronized User Interface Features
US20140028718A1 (en) * 2010-10-08 2014-01-30 Blackberry Limited System and Method for Displaying Object Location in Augmented Reality

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0357403A (ja) 1989-07-14 1991-03-12 Iin Hoi Mui Paul 照明を施した傘
US6256595B1 (en) * 1998-03-04 2001-07-03 Amada Company, Limited Apparatus and method for manually selecting, displaying, and repositioning dimensions of a part model
JP4035242B2 (ja) * 1998-11-30 2008-01-16 株式会社日立製作所 回路パターンの検査方法及び検査装置
JP3593302B2 (ja) 1999-06-15 2004-11-24 株式会社ミツトヨ 画像測定装置及び方法
JP3596753B2 (ja) * 2000-05-10 2004-12-02 株式会社ミツトヨ 画像測定装置用パートプログラム生成装置及び方法
JP4014379B2 (ja) * 2001-02-21 2007-11-28 株式会社日立製作所 欠陥レビュー装置及び方法
JP2002350123A (ja) * 2001-05-24 2002-12-04 Olympus Optical Co Ltd 測定支援方法、測定システム、及び測定支援プログラム
JP3853638B2 (ja) 2001-11-06 2006-12-06 株式会社ミツトヨ 画像測定装置、画像測定方法及び画像測定用プログラム
JP4024117B2 (ja) * 2002-09-17 2007-12-19 株式会社ミツトヨ 測定支援装置
JP2005030780A (ja) * 2003-07-07 2005-02-03 Hitachi Sci Syst Ltd 半導体検査装置
DE102007007574B3 (de) * 2007-02-15 2008-04-03 Kuka Roboter Gmbh Verfahren zum Ermitteln von Messstellen
DE102010008478A1 (de) * 2010-02-18 2010-11-11 Harald Weisz EDV-System zum automatischen oder halbautomatischen Konstruieren und Konstruktionsverfahren
US8902219B1 (en) * 2010-09-22 2014-12-02 Trimble Navigation Limited Maintaining connection to embedded content using graphical elements
US8635021B2 (en) * 2012-05-04 2014-01-21 Google Inc. Indicators for off-screen content
JP6435337B2 (ja) * 2014-01-24 2018-12-05 ダッソー システムズ ソリッドワークス コーポレイション コンピュータ支援設計モデルの破断表現の作成

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060078188A1 (en) * 2004-09-29 2006-04-13 Masaki Kurihara Method and its apparatus for classifying defects
US20060109486A1 (en) * 2004-11-19 2006-05-25 Holon Co., Ltd. Method of deciding measurement value
US20140028718A1 (en) * 2010-10-08 2014-01-30 Blackberry Limited System and Method for Displaying Object Location in Augmented Reality
US20130125044A1 (en) * 2011-11-15 2013-05-16 Mitutoyo Corporation Machine Vision System Program Editing Environment Including Synchronized User Interface Features

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114485572A (zh) * 2022-02-25 2022-05-13 黎仁梯 一种降误差的无人机测绘系统

Also Published As

Publication number Publication date
US20160019687A1 (en) 2016-01-21
CN105277122B (zh) 2020-04-03
JP6579682B2 (ja) 2019-09-25
DE102015213307A1 (de) 2016-03-24
JP2016024045A (ja) 2016-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102071735B1 (ko) 반도체 소자의 자동화 검사용 레시피 생성을 위한 방법, 컴퓨터 시스템 및 장치
US6816609B1 (en) Vision measuring machine, method, and medium
CN105277122A (zh) 图像测量设备及显示测量结果的方法
US8503758B2 (en) Image measurement device, method for image measurement, and computer readable medium storing a program for image measurement
US20070076944A1 (en) Magnified machine vision user interface
CN103106076B (zh) 机器视觉检查系统和在该系统上编辑部件程序的方法
US7129727B2 (en) Defect inspecting apparatus
CN105277175A (zh) 图像测量设备及显示测量结果的方法
CN113310997A (zh) Pcb板缺陷确认方法、装置、自动光学检测设备及储存介质
CN104737280A (zh) 带电粒子束装置
JP2002514774A (ja) 座標測定装置およびその制御法
US6937920B2 (en) Metal sheet part bending order and bending die proposing device and proposing method
JP2007198968A (ja) 画像分類方法及び画像分類装置
JP3853658B2 (ja) 画像測定装置及び画像測定用プログラム
US20080069428A1 (en) Single mode digital video gauging system having mechanical drawing annotations and method for same
JP2006300935A (ja) Xyzステージの側方片寄りを決定するための方法
JP6687229B2 (ja) 画像測定装置
JP6754463B2 (ja) 画像測定装置
JPH1167136A (ja) 荷電粒子装置及び荷電粒子装置ネットワークシステム
JPH11203485A (ja) 画像測定装置
KR101303866B1 (ko) 기판 처리 장치의 모니터링 방법
US11719534B2 (en) Computerized creation of measurement plans and plan-based control of measurement devices
JP2006078314A (ja) 波形表示装置
TWI391622B (zh) 影像量測系統及方法
JPH11237221A (ja) 画像測定方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20200403