CN105269963B - 喷墨头、喷墨记录装置以及减振部件的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷墨头、喷墨记录装置以及减振部件的制造方法。喷墨头具有：压力室，所述压力室排列有2列以上；公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压。

Description

喷墨头、喷墨记录装置以及减振部件的制造方法

技术领域

本发明涉及一种喷墨头、喷墨记录装置以及减振部件的制造方法，详细而言，涉及一种能够降低由串扰引起的压力室的列之间的影响的喷墨头、喷墨记录装置以及减振部件的制造方法。

背景技术

喷墨头有时由于在驱动下产生的压力波而使射出性能变得不均匀。这是由于，通过驱动而在压力室内产生的压力波向通过公用墨水室而连通的其他压力室传播，产生在该压力波所传播的压力室的射出特性中发生变动的所谓串扰(crosstalk)。

以往，作为降低由串扰引起的压力室之间的影响的技术，提出有以下技术：利用体积弹性率在40GPa以下的材质来形成与连接压力室的墨水入口和墨水出口的直线的延长线交叉的壁面部件的技术(专利文献1)；形成面向公用墨水室进行弹性变形的减振壁的技术(专利文献2)；在公用墨水室内作为其他部件而配置具有填充了空气的减振室的减振部件的技术(专利文献3)等。

专利文献1：日本特开2007-168185号公报

专利文献2：日本特开2012-106513号公报

专利文献3：日本特开2007-118312号公报

近年来，要求喷墨头具有能够以更高速进行高精细的图像记录的性能。为此，提出有通过将排列有多个压力室的压力室的列进行多列并排设置而能够进行高密度的图像记录的喷墨头。

但是，经本发明人确认后可知，当驱动具有多个压力室的列的喷墨头时，与仅具有一列压力室的列的喷墨头相比，串扰的影响增大，射出特性的变动的问题显著显现。

即，在其结构为压力室由多列构成、且列之间的压力室的墨水入口通过公用墨水室而连通的喷墨头中，因驱动了一个压力室的列而在压力室内产生的压力波，经由公用墨水室向其他列的压力室传播，对其他列的压力室的射出特性产生影响。

于是，为了抑制声音串扰，在专利文献1、2中记载的技术中，公用墨水室的壁面使用具有使压力波衰减的功能的部件。但是，例如，当为了抑制声音串扰而使公用墨水室的壁面接近在公用墨水室内开口的墨水入口时，公用墨水室会相应变狭小，存在不再能确保储存所需量的墨水的容积的问题。

另一方面，由于专利文献3中记载的技术为在公用墨水室内作为其他部件而配置减振部件的结构，因此，具有能够自由配置减振部件并且也能够确保公用墨水室的容积的优点。但是，对于在减振室中填充了空气的减振部件而言，在大多数情况下减振面使用挠性膜。因此，在由于喷墨头的驱动而产生的热(例如，在使用像凝胶UV墨水或陶瓷墨水等那样为了排出而需要利用加热器等成为高温的墨水的情况下，为该高温墨水的热)的影响下，减振室的空气膨胀而使减振面向压力室方向突出。突出的减振面使通向压力室的墨水流路变变窄，恐怕会妨碍顺畅的墨水供给。

在该专利文献3中具有将减振部件内的气压设为大气压以上的记载。并且记载了下述内容：在使用环境下空气的温度越高，减振室的容积因空气的膨胀而越大，并且，减振部件内的气压上升而大于大气压，衰减特性得以提高。因此，专利文献3完全没有考虑墨水流路会因减振部件的膨胀而变窄的问题。

为了防止因减振室的空气膨胀而使墨水流路变窄，也可以考虑对构成减振面的膜的厚度进行加厚来抑制膨胀时的突出量。但是，若加厚膜的厚度，则导致压力波衰减效率的降低，存在有损减振效果的问题。

发明内容

于是，本发明以提供一种搭载有下述减振部件的喷墨头作为课题，所述减振部件在发挥减振效果的同时，不会导致减振面向压力室方向突出而使墨水流路变窄。

另外，本发明以提供一种具备搭载有下述减振部件的喷墨头的喷墨记录装置作为课题，所述减振部件在发挥减振效果的同时，不会导致减振面向压力室方向突出而使墨水流路变窄。

进而，本发明以提供一种容易制造下述减振部件的减振部件的制造方法作为课题，所述减振部件在发挥减振效果的同时，不会导致减振面向压力室方向突出而使墨水流路变窄。

本发明的其他课题通过以下的记载而明确。

上述课题由以下各发明来解决。

1.

一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压。

2.

如上述1所述的喷墨头，其特征在于，

配置在所述墨水入口和所述挠性膜之间的分离距离比该墨水入口和输送方向上的相邻的所述压力室的某列中的所述墨水入口之间的距离小的位置处。

3.

如上述2所述的喷墨头，其特征在于，

以所述墨水入口和所述挠性膜之间的分离距离比该墨水入口和输送方向上的相邻的所述压力室的列的所述墨水入口之间的距离小的方式配置的所述墨水入口的个数比例，为所有的所述墨水入口的个数的90％以上。

4.

如上述1～3中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述挠性膜的厚度为10μm以上150μm以下。

5.

如上述1～4中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力被减压为在常温下为50kPa以上且不足大气压。

6.

如上述1～5中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

当从与存在所述墨水入口的面垂直的方向投影所述减振部件时，该减振部件包括所有的压力室的所述墨水入口。

7.

如上述1～6中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振部件的所述挠性膜在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时，形成平坦面或凹陷的面。

8.

如上述1～7中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振部件的所述挠性膜在常温下形成平坦面或凹陷的面。

9.

如上述1～8中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振框架的至少一部分由金属形成。

10.

一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，所述减振部件配置成在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时所述挠性膜和所述墨水入口的分离距离为70μm以上。

11.

如上述10所述的喷墨头，其特征在于，

与配置成所述挠性膜和所述墨水入口之间的分离距离为70μm以上的所述减振部件对应的所述墨水入口的个数比例，为所有的所述墨水入口的个数的90％以上。

12.

如上述10或11所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振部件的所述挠性膜在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时，形成平坦面或凹陷的面。

13.

如上述10～12中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振部件的所述挠性膜在处于常温时形成平坦面或凹陷的面。

14.

如上述10～13中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述挠性膜的厚度为50μm以上150μm以下。

15.

一种喷墨记录装置，其特征在于，

具备上述1～14中任一项所述的喷墨头。

16.

一种减振部件的制造方法，所述减振部件是喷墨头中的减振部件，所述喷墨头具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由通向所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

所述公用墨水室内的所述减振部件，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，

所述减振部件的制造方法的特征在于，

具有使由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压的负压形成工序。

17.

如上述16所述的减振部件的制造方法，其特征在于，

在所述负压形成工序中，通过在被减压到了规定压力的减压腔室内使所述挠性膜与所述减振框架贴合，从而使由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压。

18.

如上述16所述的减振部件的制造方法，其特征在于，

在所述负压形成工序中，在使所述挠性膜经由粘接剂层与所述减振框架贴合之后，将中空的管部件插入到所述粘接剂层，通过所述管部件吸入由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的气体，从而使该内部的压力为负压。

根据本发明，可以提供一种搭载有下述减振部件的喷墨头，所述减振部件在发挥减振效果的同时不会导致减振面向压力室方向突出而使墨水流路变窄。

另外，根据本发明，可以提供一种具备搭载有下述减振部件的喷墨头的喷墨记录装置，所述减振部件在发挥减振效果的同时不会导致减振面向压力室方向突出而使墨水流路变窄。

进而，根据本发明，可以提供一种能够容易地制造下述减振部件的减振部件的制造方法，所述减振部件在发挥减振效果的同时不会导致减振面向压力室方向突出而使墨水流路变窄。

附图说明

图1是表示本发明的喷墨头的第一实施方式的一例的分解立体图。

图2是沿图1中的(ii)-(ii)线剖开的喷墨头的剖视图。

图3是减振部件的剖视图。

图4是说明相邻的压力室的列中的墨水入口之间的距离的图。

图5是表示突出设置有脚部的减振部件的一形态的立体图。

图6是说明减振部件的制造方法的一例的图。

图7是表示本发明的喷墨头的第二实施方式的一例的剖视图。

图8是表示本发明的喷墨记录装置的一例的立体图。

图9是表示喷墨头单元的一例的立体图。

附图标记说明

1：喷墨头

11：喷嘴板

111：喷嘴

12：喷墨头芯片

120：压力室的列

121：压力室

121a：墨水出口

122：隔壁

13：基板

13a：面

131：通孔

131a：墨水入口

14：墨水歧管(ink manifold)

141：公用墨水室

141a：墨水流路

142：后部内壁面

15：减振部件

151：减振框架

151a：开口面

152：挠性膜

153：减振室

154：脚部

2：喷墨头

21：喷墨头基板

211：喷嘴板

211a：喷嘴

212：中间板

212a：连通路

213：压力室板

213a：压力室

214：振动板

214a：开口部

215：促动器

22：配线基板

221：墨水供给路

221a：墨水入口

23：粘接树脂层

231：通孔

24：墨水歧管

241：公用墨水室

25：减振部件

251：减振框架

252：挠性膜

253：减振室

26：外部配线部件

3：喷墨记录装置

31：压板

32：输送辊

41、42、43、44：行式头

5：喷墨单元

51：保持部

100：减压腔室

具体实施方式

以下，使用附图详细说明本发明的实施方式。

(喷墨头的第一实施方式)

图1是表示本发明的喷墨头的第一实施方式的一例的分解立体图，图2是沿图1中的(ii)-(ii)线剖开的喷墨头的剖视图，图3是减振部件的剖视图。

喷墨头1从图1中的下方开始依次具有喷嘴板11、喷墨头芯片12、基板13、墨水歧管14，通过相互接合这些部件而构成喷墨头1。在由墨水歧管14的内部空间形成的公用墨水室141的内部配置有减振部件15。

本实施方式所示的喷墨头芯片12呈六面体形状，且排列有多个压力室121。各压力室121以跨喷墨头芯片12的喷嘴板11侧的面和基板13侧的面呈直线状贯通的方式形成。通过沿图1中的X方向并排设置多个压力室121而形成1列压力室的列120。并且，通过沿与X方向交叉的Y方向并排设置多个该压力室的列120而形成多个压力室的列120。

在图1中，例示了由七个压力室121形成沿X方向延伸的1列压力室的列120、且在Y方向上并排设置有4列该压力室的列120的喷墨头芯片12。但是，在本发明中不限定1列压力室121的个数。

需要说明的是，压力室的列是指，当喷墨头1和被记录材料沿一个方向相对移动时，形成以规定的宽度记录在被记录材料上的图像的记录宽度的压力室121的集合。

例如在喷墨头1相对于被记录材料固定配置、一边沿一个方向输送被记录材料一边进行图像记录的情况下，记录宽度是在输送该被记录材料时形成的图像的宽度。作为喷墨头1中的压力室的列120的排列方向的X方向，不限于与将在该被记录材料上形成的图像的记录宽度的宽度方向平行的方向，也可以是相对于记录宽度倾斜交叉的方向。

另外，喷墨头1和被记录材料的相对移动除了固定配置喷墨头1而输送被记录材料的形态之外，例如也可以是使喷墨头1沿被记录材料的宽度方向扫描移动来进行图像记录且每次扫描移动时使被记录材料在与喷墨头1的扫描移动方向交叉的方向上移动的形态；固定配置被记录材料而使喷墨头1沿被记录材料的宽度方向扫描移动来进行图像记录且每次扫描移动时使喷墨头1在与扫描移动方向交叉的方向上移动的形态等。

根据本发明，能够防止压力室的列的个数在2列以上时产生的串扰的影响，所述串扰是指在一个压力室的列中产生的压力波给相邻的压力室的列带来影响。另外，当使用具有3列以上的压力室的列的喷墨头时，由于在一个压力室的列中产生的压力波给其相邻的两个压力室的列带来影响，因此串扰的影响有时更加显著。在上述情况下也可以适当地使用本发明。

在该喷墨头芯片12中，由被极化处理后的压电元件来形成对各压力室的列120中相邻的压力室121、121之间进行分隔的隔壁122的至少一部分。在各隔壁122的两面形成有驱动电极(未图示)。通过对隔壁122的两面的驱动电极施加规定电压的驱动信号而使隔壁122产生剪切变形。由此，被一对隔壁122、122夹着的压力室121的容积以膨胀、收缩的方式发生变化，从而对被供给到压力室121内的墨水施加用于排出的压力。

在喷嘴板11中形成有多个喷嘴111。各喷嘴111与压力室121的墨水出口121a连通。借助隔壁122的变形而被施加了用于排出的压力的压力室121内的墨水穿过墨水出口121a而从喷嘴111排出。需要说明的是，墨水出口121a是图2中的喷墨头芯片12的压力室121下侧的开口部。

基板13是面积比与喷墨头芯片12接合的接合面大的平板状的薄板，例如由玻璃、陶瓷、硅、合成树脂等形成。在基板13的喷墨头芯片12侧的面上，形成有与该喷墨头芯片12的各驱动电极电连接的未图示的配线。基板13的从喷墨头芯片12伸出的区域，作为对该配线和驱动回路(未图示)之间进行电连接的FPC等外部配线部件(未图示)的连接部发挥作用。

另外，在基板13的与喷墨头芯片12相接合的区域内，与喷墨头芯片12的压力室121对应地形成有通孔131。在本实施方式所示的基板13中，沿图1中的X方向并排设置7个通孔131而形成1列，该列沿Y方向形成有4列。

压力室121的内部和与其对应的通孔131连通。通孔131的喷墨头芯片12侧的开口部具有与压力室121的开口部大致相等的面积，并以与该压力室121的开口部相同形状的方式形成。

墨水歧管14形成为一面开口的箱型，并以堵塞该开口的方式与基板13相接合。由此，在墨水歧管14的内部形成有向排出墨水的所有的压力室121共同供给墨水的公用墨水室141。在公用墨水室141内储存从墨水流入口(未图示)供给的墨水。

在本发明中使用的墨水没有特定限定，但优选使用例如像凝胶UV墨水、陶瓷墨水等那样需要利用加热器等加温装置将墨水加温至规定温度、使墨水的粘度降低至适于排出的粘度的墨水。这是因为，这样的墨水由于在使用时升温而达到高温，因此存在后述的减振部件内的气体容易产生膨胀而导致通向墨水入口131a的墨水流路变窄的问题，故通过本发明能够获得显著的效果。

基板13的各通孔131朝向公用墨水室141开口，在公用墨水室141与压力室121之间，构成使公用墨水室141内的墨水流入压力室121内的独立的墨水流路。因此，各通孔131的公用墨水室141侧的开口部构成与之对应的压力室121的墨水入口131a。

减振部件15在公用墨水室141的内部以靠近基板13的方式配置。如图3所示，该减振部件15具有减振框架151和作为减振面发挥作用的挠性膜152。需要说明的是，在以下说明中，喷墨头1示出了在公用墨水室141的内部配置一个减振部件15的结构，但减振部件15的个数不限于一个，也可以是配置多个减振部件15的结构。例如也可以是与墨水入口131a相对应地配置多个减振部件的结构。

减振框架151利用具有刚性的部件而形成为将形成挠性膜152一侧的面开口的薄箱型。将形成挠性膜152的面是至少与墨水入口131a对置的面即可。在图2、图3中，例示了六面体的面中的仅与墨水入口131a对置的一个面开口、并在该面形成有挠性膜152的减振框架151。但是，减振部件15也可以具有两个以上的形成有挠性膜的面。

优选减振框架151的至少一部分由金属形成。金属既可以用于减振框架151的一部分壁面，也可以形成所有的壁面。通常，由于金属的导热系数比墨水(液体)高，因此，能够使公用墨水室141内的墨水的温度分布快速均匀化。

作为金属，可以优选使用例如铝、铜、不锈钢等导热系数良好的金属。这种金属优选在减振框架151的表面露出以便与公用墨水室141内的墨水直接接触。

挠性膜152以堵塞减振框架151的开口的面的方式被粘贴。并且，由利用这些减振框架151和挠性膜152隔出的内部空间构成减振室153。在减振室153中封入有例如空气等气体。在本发明中，减振部件15以减振室153的内部压力被设定为负压、或处于排出墨水的使用温度时挠性膜152和墨水入口131a的最短分离距离为70μm以上的方式配置。由此，在发挥减振效果的同时，不会导致减振面向压力室121的方向突出而使墨水流路变窄。

首先，对将减振室153的内部压力设为负压的情况进行详细阐述。

减振室153的内部压力为负压是指，在常温(25℃)下与大气压相比较，减振室153的内部压力为负压。

这样，由于减振部件15内的减振室153被设定为负压，因此，当公用墨水室141内的墨水升温至使用温度而使减振室153内的气体膨胀了时，能够防止挠性膜152向墨水入口131a侧突出。因此，即使在驱动喷墨头1时，如图2所示，也能够在减振部件15的挠性膜152和基板13之间确保用于使墨水流入各墨水入口131a的墨水流路141b。减振部件15不会阻碍墨水向各压力室121的流入。即，减振部件15在使用高温墨水时也可以在发挥减振效果的同时不会导致减振面的挠性膜152向压力室121的方向突出而使墨水流路变窄。

减振部件15内的减振室153的具体压力并没有特别限定，只要在内部封入有气体的状态下如上所述成为负压即可。需要说明的是，若减振室153被减压为在常温(25℃)且1个气压的条件下为50kPa以上且不足大气压，则减振部件15能够发挥减振效果，并且挠性膜152不会使墨水流路变窄，从良好地获得上述效果的观点出发是优选的。另外，上述中的大气压是指，在常温(25℃)且1个气压的条件下测定时成为1个气压的气压。

需要说明的是，作为减振部件15内的减振室153的具体压力的测定方法，可以使用各种方法，例如可以举出以下的方法。

在压力计的前端安装注射针那样的细管，将该管以内部气体不漏出的方式插入到减振部件15的挠性膜152，使该管的内部与减振室153的内部连通。然后，直接测定此时通过管的内部而作用于压力计的气体的压力。根据该方法，即使大气压和减振室153的内部压力之间的差压较小，也能够借助压力计精细地测定内部压力。需要说明的是，当将上述细管插入到减振部件15的挠性膜152时，有时导致挠性膜152裂开而使内部的气体漏出。此时，预先用粘接剂等树脂以包围插入部位的周围的方式在挠性膜152上提供插入部位之后再插入上述细管，由此能够抑制挠性膜152的裂开。

接着，对以在处于排出墨水的使用温度时挠性膜152和墨水入口之间的最短的分离距离为70μm以上的方式配置减振部件153的情况进行详细阐述。

以从公用墨水室141向墨水入口131a良好地供给墨水的观点来看，以在排出墨水的使用温度下至少一个墨水入口131a和减振部件15的挠性膜152之间的最短的分离距离D(参照图2)在70μm以上的方式配置减振部件。根据上述结构，当公用墨水室141内的墨水升温至使用温度而使减振室153内的气体膨胀了时，即使挠性膜152向墨水入口131a侧突出，也能够使至少一个墨水入口131a和减振部件15的挠性膜152之间的最短的分离距离D(参照图2)在70μm以上。因此，即使在驱动喷墨头1时，如图2所示，也能够在减振部件15的挠性膜152和基板13之间确保用于使墨水流入各墨水入口131a的墨水流路141b。因此，即使在使用高温墨水时，减振部件15也不会阻碍墨水向各压力室121的流入。

另外，排出墨水的使用温度是指，从喷嘴111射出墨水时的公用墨水室141内的墨水的温度，是比常温(25℃)高的温度。作为使公用墨水室141内的墨水成为使用温度的装置，虽未图示，但可以举出以下装置中的任一个装置或将两个以上的装置进行组合：例如，在歧管14的表面或公用墨水室141内设置加热器，对公用墨水室141内的墨水进行直接加温的装置；利用加热器对墨水罐内的墨水进行加温，将加温后的墨水罐内的墨水供给到公用墨水室141的装置；在向喷墨头1供给墨水的供给管中设置加热器，将在墨水的供给过程中被加温后的墨水供给到公用墨水室141的装置。

即使没有如上述那样设置对墨水进行加温的装置，由于喷墨头1在压电元件的驱动下发热不少，墨水也会在该热的作用下升温。故也存在公用墨水室141内的墨水因该压电元件的发热而成为使用温度的情况。

挠性膜152可以使用合成树脂制膜等。作为合成树脂，可举出例如PI(聚酰亚胺)、LCP(液晶聚合物)、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PE(聚乙烯)、PP(聚丙烯)等。挠性膜152的厚度虽没有特别限定，但从有效发挥基于挠性膜152的减振效果的观点出发，优选50μm以上且150μm以下。

减振部件15以贴有挠性膜152的面与基板13面对的方式配置在公用墨水室141内。由此，减振部件15的挠性膜152与在基板13开口的通孔131的墨水入口131a相对置。

该减振部件15的平面形状虽然形成为矩形，但可以为圆形状、椭圆形状、多边形状等任意形状。减振部件15的大小比墨水歧管14的开口面积小。因此，如图2所示，在减振部件15的周围和公用墨水室141的内壁面之间形成有通向墨水入口131a的墨水流路141a。

需要说明的是，在减振室153的内部压力被设定为负压的情况、以及在排出墨水的使用温度下以挠性膜152和墨水入口131a之间的最短的分离距离D为70μm以上的方式配置减振部件153的情况中的任一情况下，都能够在减振部件15的挠性膜152和基板13之间确保用于使墨水流入各墨水入口131a的墨水流路141b，并良好地防止减振部件15阻碍墨水向各压力室121的流入，从该观点出发，优选在处于排出公用墨水室141内的墨水的使用温度时，减振部件15的挠性膜152形成平坦面或向与墨水入口131a相反的方向凹陷的面。另外，从更良好地防止减振部件15阻碍墨水向各压力室121的流入的观点出发，更优选在常温(25℃)下形成平坦面或向与墨水入口131a相反的方向凹陷的面。

更优选的是，减振部件15在公用墨水室141内，配置在如下位置处：至少一个墨水入口131a和减振部件15的挠性膜152之间的分离距离D比该墨水入口131a和包括与该墨水入口131a连通的压力室121在内的压力室的列120的相邻的压力室的列120中的墨水入口131a之间的距离小的位置处。相邻的压力室的列是指，在图1的Y方向上相邻的压力室的列。

另外，该分离距离D是从墨水入口131a朝向减振部件152的挠性膜152的垂直距离。对于该分离距离D而言，优选的是，当将在输送方向上相邻的压力室的列120中的墨水入口131a之间的距离分别设为d1、d2、d3(参照图4)时，D<d1、D<d2、且D<d3。

即，优选的是，减振部件15以分离距离D与相邻的压力室的列120的墨水入口131a、131a之间的距离d1、d2、d3的任一个相比都比该距离d1、d2、d3小的方式配置在公用墨水室141内。此时，当从墨水入口131a观察减振部件15时，与到相邻的压力室的列120的墨水入口131a的距离相比，到减振部件15的挠性膜152的距离更近。

需要说明的是，上述距离d1、d2、d3是一个压力室的列120内的墨水入口(将其设为墨水入口A。)和其相邻的压力室的列120内与墨水入口A最接近的墨水入口(将其设为墨水入口B。)之间的最短距离。一般而言，上述距离d1、d2、d3如图4所示，为在相邻的压力室的列120、120的墨水入口A、B之间形成的列间间隙的宽度。距离d1、d2、d3可以不是相同的数值。

通过如上所述将减振部件15配置在公用墨水室141内，能够使从压力室121穿过墨水入口131a传播到了公用墨水室141内的压力波中的、朝向减振部件15直线前进的成分立刻与挠性膜152碰撞而发挥减振效果。借助被封入在减振室153中的气体的压缩，挠性膜152挠曲变形而吸收与挠性膜152碰撞了的压力波。此时，由于由分离距离D限定的从墨水入口131a到挠性膜152的直线距离比到相邻的压力室的列120的墨水入口131a的距离近，因此，从墨水入口131a传播到了公用墨水室141内的压力波在到达相邻的压力室的列120的墨水入口131a之前被挠性膜152吸收。

因此，减振部件15对从墨水入口131a传播到了公用墨水室141内的压力波在其到达相邻的压力室的列120的墨水入口131a之前进行吸收而使其降低，能够降低给经由公用墨水室141连通的相邻的压力室的列120的压力室121带来的串扰的影响。

本实施方式所示的喷墨头1如图2中虚线所示的直线L那样，墨水入口131a、墨水出口121a以及喷嘴111配置在一条直线上，该直线L与减振部件15交叉。根据该结构，由于在压力室121内产生并朝向墨水入口131a的压力波的成分能够被减振部件15直接吸收，因此，压力波的吸收效果最高，能够显著地获得降低串扰的影响的效果，故而优选。

对于以相距墨水入口131a规定的分离距离D的方式配置减振部件15的装置并没有特别限定。例如如图5所示，举出了预先在减振部件15的挠性膜152侧的面上突出设置适当个数的脚部154的例子。若使该脚部154与基板13抵接，则能够容易地利用脚部154的突出高度来限定分离距离D。脚部既可以设置在减振框架151的侧面，也可以突出设置在基板13侧。

此外，虽未图示，但也可以在减振部件15和公用墨水室141的内壁面之间架设支柱，并以相距基板13规定的分离距离D的方式支承减振部件15。

另外，本实施方式所示的减振部件15的大小形成为能够利用挠性膜152覆盖形成于基板13的所有的通孔131的墨水入口131a。即，如图1所示，当从与存在墨水入口131a的基板13的面13a垂直的方向向该面13a投影减振部件15时，减振部件15包括所有的墨水入口131a。由此，能够利用减振部件15使来自所有的压力室121的压力波衰减。另外，能够降低压力波的吸收性能针对每个压力室121产生偏差。因此，能够在各压力室121之间使串扰的影响、温度分布的影响的降低效果均匀化，故而为优选形态。

此时的减振部件15在假定挠性膜152为平坦面的情况下，当该挠性膜15与基板13的面13a平行时，能够相对于所有的压力室121均等地发挥减振效果，故而更为优选。

但是，在本发明中，若将减振部件15配置在如下位置处：至少一个墨水入口131a和挠性膜152之间的分离距离D比该墨水入口131a和包括与该墨水入口131a连通的压力室121在内的压力室的列120的相邻的压力室的列120中的墨水入口131a之间的距离小的位置处，则能够获得借助减振效果使来自该墨水入口131a的压力波衰减、从而降低给邻接的压力室121带来的串扰的影响的效果。

当然，使压力波利用减振部件15在到达相邻的墨水入口131a之前便衰减的墨水入口131a的个数越多，则越优选。即，从降低串扰的影响的观点出发，优选以下述方式配置减振部件15，即，以墨水入口131a和减振部件15的挠性膜152之间的分离距离D比与相邻的压力室的列120中的墨水入口131a之间的距离小的方式配置的墨水入口131a的个数比例在所有的墨水入口131a的个数的90％以上。

需要说明的是，当减振部件15的挠性膜152即使在排出墨水的使用温度的环境下仍形成为凹陷的弯曲面时，优选由挠性膜152的最凹陷的部位和相距该部位最近的墨水入口131a之间的距离来限定墨水入口131a和挠性膜152之间的分离距离D。由此，无论是哪一墨水入口131a，到挠性膜152的距离都比和与之邻接的压力室的列120的墨水入口131a之间的距离近，从而能够更显著地获得降低邻接的压力室的列120、120之间的串扰的影响的效果。

(减振部件的制造方法)

接着，对制造内部压力成为负压的减振部件15的方法的一例进行说明。

减振部件15经由使由减振框架151和挠性膜152隔出的内部的减振室153的压力为负压的负压形成工序被制造。

作为该负压形成工序的一例，列举如下工序：如图6所示，在以内部成为规定压力(作为目的的减振室153的压力)的方式被减压后的减压腔室100内，使减振框架151和平坦状的挠性膜152贴合。

即，在被减压成了规定压力的减压腔室100内，使挠性膜152与减振框架151的开口面151a贴合以堵塞该开口面151a。由此，在由减振框架151和挠性膜152隔出的内部的减振室153内封入减压腔室100内的被减压后的气体，可以得到内部压力成为负压的减振部件15。

挠性膜152可以使用粘接剂或双面胶带进行贴合。在利用粘接剂进行粘接的情况下，在减压状态的减压腔室100内使粘接剂硬化。另外，在使用双面胶带进行粘贴的情况下，在贴合后从减压腔室100取出即可。

在从减压腔室100被取出到了大气压下的减振部件15因减振室153的压力为负压而形成挠性膜152凹陷的弯曲面。该减振部件15在配置于喷墨头1的公用墨水室141内后，当公用墨水室141内的墨水升温至使用温度时，减振室153的气体膨胀。膨胀后的挠性膜152与减振室153的负压程度和挠性膜152的挠性程度相应地突出，并形成平坦面或凹陷的弯曲面。

根据该方法，可以简单地制造减振室153被设定为规定负压的减振部件15。由于负压由减压腔室100内的压力限定，因此，即便在大量生产减振部件15的情况下，也可以生产减振室153的压力不存在偏差的均质的减振部件15。

需要说明的是，负压形成工序也可以在大气压下进行而并非如上所述使用减压腔室100。

例如，虽未图示，但在减振框架151的开口面151a的周缘部涂敷粘接剂而形成粘接剂层后，使挠性膜152贴合。接着，在粘接剂层硬化之前，将注射针等中空状的微细的管部件插入到减振框架151与挠性膜152之间的粘接剂层。此后，使用注射器、吸引泵等适当的减压装置，通过管部件吸入由减振框架151和挠性膜152隔出的内部的气体。由此，可以使减振室153为负压。若在吸入规定量的气体后拔出管部件，则硬化前的粘接剂层流动而堵塞由管部件形成的孔，从而在减振室153内封入负压的气体。

根据该方法，不需要减压腔室等庞大的装置，因此，可以更简易地进行制造。

(喷墨头的第二实施方式)

图7是表示本发明的喷墨头的第二实施方式的一例的剖视图。

在该喷墨头2中，喷墨头基板21和配线基板22利用粘接树脂层23层叠而构成一体。在配线基板22的上表面，接合有与上述墨水歧管14相同的箱型形状的墨水歧管24。在该墨水歧管24与配线基板22之间，形成有在内部储存墨水的公用墨水室241。而且，在该公用墨水室241内配置有减振部件25。

喷墨头基板21从图中下层侧起具有：由Si(硅)基板形成的喷嘴板211、由玻璃基板形成的中间板212、由Si(硅)基板形成的压力室板213、以及由SiO₂薄膜形成的振动板214。在喷嘴板211上，喷嘴211a在下表面开口。

在压力室板213中形成有收容墨水的压力室213a。压力室213a的上壁由振动板214构成，下壁由中间板212构成。在中间板212中贯通形成有将压力室213a的内部与喷嘴211a连通的连通路212a。

在振动板214的上表面，与各压力室213a一一对应地层叠有促动器215。促动器215具有未图示的由薄膜PZT等压电元件构成的促动器本体。促动器本体由作为驱动电极的上部电极和下部电极夹持，其下部电极侧配置在振动板214的上表面。

配线基板22是形成有用于对各促动器215施加规定电压的驱动信号的配线的基板。FPC等外部配线部件26利用ACF(异方性导电膜)与配线基板22的端部电连接。

粘接树脂层23例如由热固性的感光性粘接树脂片形成。粘接树脂层23被夹设在喷墨头基板21与配线基板22之间，从而将两基板21、22层叠而构成一体。通过该粘接树脂层23，在两基板21、22之间设置有与该粘接树脂层23的厚度相应的间隔。粘接树脂层23通过曝光、显影而除去与促动器215及其周围相当的区域。各促动器215分别被收容在该粘接树脂层23被除去了的空间内。

在粘接树脂层23中，上下贯通的通孔231与各压力室213a的个数对应地形成。各通孔231的一端(上端)与形成于配线基板22的墨水供给路221连通，另一端(下端)穿过形成于振动板214的开口部214a与压力室213a的内部连通。墨水供给路221在配线基板22的上表面开口。该开口部与公用墨水室241内面对，作为将公用墨水室241内的墨水供给到各压力室213a内的墨水入口221a发挥作用。

该喷墨头2从公用墨水室241经由墨水入口221a将墨水供给到压力室213a内。而且，在从外部配线部件26对促动器215施加驱动信号时，振动板214因促动器215的变形动作而振动，压力室213a内被施加用于排出的压力变化，该压力室213a内的墨水经过连通路212a从喷嘴211a被排出。

该喷墨头2通过并排设置多个压力室213a而形成压力室213a的列，并且通过排列多个该压力室213a的列而具有多列、优选为3列以上的压力室213a。因此，与各列的压力室213a对应的墨水入口221a面临公用墨水室241内。

减振部件25与上述第一实施方式中的减振部件15同样地，具有减振框架251和挠性膜252，通过由上述减振框架251和挠性膜252隔出的内部而形成有减振室253。该减振室253内的压力被设定为负压。减振部件25的其他的具体结构与上述减振部件15相同，因此，关于其详细结构，引用第一实施方式中的减振部件15的说明而省略在此的说明。

而且，该减振部件25与上述减振部件15同样地，可以配置在如下的位置处：至少一个墨水入口221a与挠性膜252之间的分离距离，比该墨水入口131a和包括与该墨水入口131a连通的压力室121在内的压力室的列120的相邻的压力室的列120中的墨水入口131a之间的距离小的位置处。

另外，减振部件25与上述减振部件15同样地也可以配置成，在处于将公用墨水室241内的墨水排出的使用温度时，挠性膜252与墨水入口221a的分离距离为70μm以上。

在该喷墨头2中也同样地，在使促动器215动作时在压力室213a内产生压力波，其一部分从墨水入口221a传播到公用墨水室241内。但是，传播到了该公用墨水室241内的压力波在到达相邻的列的墨水入口221a之前，可以被减振部件25吸收，因此，能够降低该压力波给相邻的列的压力室213a带来影响的串扰的影响。此时，由于减振部件25内的减振室253的压力为负压，因此，与第一实施方式中的喷墨头1同样地可以得到如下效果：即便在使用高温墨水时也可以发挥减振效果且不会导致挠性膜252向压力室213a的方向突出而使墨水流路变窄。

(喷墨记录装置)

本发明的喷墨记录装置具有通过以上的第一实施方式或第二实施方式已说明的喷墨头1或2。

以下，参照图8说明喷墨记录装置的优选的一例。需要说明的是，以下所示的喷墨记录装置例示使用行式头仅通过记录介质的一个方向的输送来进行描绘的单程描绘方式的实施方式。但是，本发明的喷墨头1、2可以应用于适当的描绘方式的喷墨记录装置，也可以采用例如使用了扫描方式、鼓(drum)方式的描绘方式。

另外，在以下的说明中，将记录介质K的输送方向设为前后方向、将记录介质K的输送面中与该输送方向正交的方向设为左右方向、将与前后方向以及左右方向垂直的方向设为上下方向进行说明。

喷墨记录装置3具有：压板31、输送辊32以及行式头41、42、43、44。

压板31在上表面支承作为被记录材料的长条状的记录介质K，在输送辊32被驱动时，沿输送方向(前后方向)输送记录介质K。

行式头41、42、43、44从记录介质K的输送方向的上游侧到下游侧沿与输送方向正交的宽度方向(左右方向)并列设置。而且，在各行式头41、42、43、44的内部分别设置有至少一个后述的喷墨单元5，例如将青色(C)、品红色(M)、黄色(Y)、黑色(K)的墨水朝向记录介质K排出。

图9表示喷墨头单元5的一例。

喷墨头单元5在保持部51上搭载有多个(在图9中为6个)上述喷墨头1或2。保持部51以喷墨头1或2的底面(喷嘴面)从保持部51的开口部露出的方式能够装卸地保持喷墨头1或2。而且，保持部51将喷墨头1或2保持成整体上呈锯齿格子状。

该喷墨头单元5在各行式头41、42、43、44的内部分别设置有至少一个，从而能够以遍及喷墨头单元5的宽度方向(左右方向)的记录宽度进行描绘。

通过如上所述的行式头41、42、43、44进行单程描绘的喷墨记录装置3，通常通过高速驱动进行高速描绘，因此，串扰的影响大，压力室的列之间的串扰的影响易于出问题。因此，通过应用本发明的喷墨头1或2，可以提供一种具备搭载有减振部件的喷墨头的喷墨记录装置，该减振部件可以发挥减振效果并且在使用时不会导致减振面向压力室方向突出而使墨水流路变窄。

Claims (22)

1.一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压，

配置在所述墨水入口和所述挠性膜之间的分离距离比该墨水入口和包括与该墨水入口连通的所述压力室在内的列的相邻的所述压力室的列中的所述墨水入口之间的距离小的位置处。

2.如权利要求1所述的喷墨头，其特征在于，

配置在所述墨水入口和所述挠性膜之间的分离距离比该墨水入口和包括与该墨水入口连通的所述压力室在内的列的相邻的所述压力室的列中的所述墨水入口之间的距离小的位置处的所述墨水入口的个数比例，为所有的所述墨水入口的个数的90％以上。

3.一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压，

由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力被减压为在常温下为50kPa以上且不足大气压。

4.一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压，

所述减振部件的所述挠性膜在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时，形成平坦面或凹陷的面。

5.一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压，

所述减振部件的所述挠性膜在常温下形成平坦面或凹陷的面。

6.如权利要求3～5中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

配置在所述墨水入口和所述挠性膜之间的分离距离比该墨水入口和包括与该墨水入口连通的所述压力室在内的列的相邻的所述压力室的列中的所述墨水入口之间的距离小的位置处。

7.如权利要求6所述的喷墨头，其特征在于，

配置在所述墨水入口和所述挠性膜之间的分离距离比该墨水入口和包括与该墨水入口连通的所述压力室在内的列的相邻的所述压力室的列中的所述墨水入口之间的距离小的位置处的所述墨水入口的个数比例，为所有的所述墨水入口的个数的90％以上。

8.如权利要求1～5中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述挠性膜的厚度为10μm以上150μm以下。

9.如权利要求4或5所述的喷墨头，其特征在于，

由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力被减压为在常温下为50kPa以上且不足大气压。

10.如权利要求1～5中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

当从与存在所述墨水入口的面垂直的方向投影所述减振部件时，该减振部件包括所有的压力室的所述墨水入口。

11.如权利要求5所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振部件的所述挠性膜在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时，形成平坦面或凹陷的面。

12.如权利要求1～5、11中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振框架的至少一部分由金属形成。

13.一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，所述减振部件配置成在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时所述挠性膜和所述墨水入口的分离距离为70μm以上，

与配置成所述挠性膜和所述墨水入口之间的分离距离为70μm以上的所述减振部件对应的所述墨水入口的个数比例，为所有的所述墨水入口的个数的90％以上。

14.一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，所述减振部件配置成在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时所述挠性膜和所述墨水入口的分离距离为70μm以上，

所述减振部件的所述挠性膜在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时，形成平坦面或凹陷的面。

15.一种喷墨头，其特征在于，具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

减振部件，所述减振部件配置在所述公用墨水室内，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，所述减振部件配置成在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时所述挠性膜和所述墨水入口的分离距离为70μm以上，

所述减振部件的所述挠性膜在处于常温时形成平坦面或凹陷的面。

16.如权利要求14或15所述的喷墨头，其特征在于，

与配置成所述挠性膜和所述墨水入口之间的分离距离为70μm以上的所述减振部件对应的所述墨水入口的个数比例，为所有的所述墨水入口的个数的90％以上。

17.如权利要求15所述的喷墨头，其特征在于，

所述减振部件的所述挠性膜在处于排出所述公用墨水室内的墨水的使用温度时，形成平坦面或凹陷的面。

18.如权利要求13～15、17中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述挠性膜的厚度为50μm以上150μm以下。

19.一种喷墨记录装置，其特征在于，

具备权利要求1～18中任一项所述的喷墨头。

20.一种减振部件的制造方法，所述减振部件是喷墨头中的减振部件，所述喷墨头具有：

压力室，所述压力室排列有2列以上；

公用墨水室，所述公用墨水室经由通向所述压力室的墨水入口与所述压力室连通；以及

所述公用墨水室内的所述减振部件，

所述减振部件具有减振框架和挠性膜，所述减振框架的至少与所述墨水入口对置的面由所述挠性膜形成，

所述减振部件的制造方法的特征在于，

具有使由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压的负压形成工序。

21.如权利要求20所述的减振部件的制造方法，其特征在于，

在所述负压形成工序中，通过在被减压到了规定压力的减压腔室内使所述挠性膜与所述减振框架贴合，从而使由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的压力为负压。

22.如权利要求20所述的减振部件的制造方法，其特征在于，

在所述负压形成工序中，在使所述挠性膜经由粘接剂层与所述减振框架贴合之后，将中空的管部件插入到所述粘接剂层，通过所述管部件吸入由所述减振框架和所述挠性膜隔出的内部的气体，从而使该内部的压力为负压。