CN105151776B - 一种机械手 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种机械手，涉及自动化领域，解决了现有机械手取放板材需要旋转从而占用空间大、产品的良率降低等问题。一种机械手，安装在真空反应设备的第一腔室和第二腔室之间，用于将第一腔室的板材移动至第二腔室；机械手包括；第一支撑结构，第一支撑结构上设置有沿水平面上第一方向的轨道，第一腔室和第二腔室位于轨道相对的两端；手臂，手臂安装在第一支撑结构上，用于承载板材，手臂沿轨道可移动；垂直移动机构，第一支撑结构和手臂安装在垂直移动机构上，垂直移动机构可驱动第一支撑结构和手臂在垂直方向上移动。

Description

一种机械手
技术领域
本发明涉及自动化领域，尤其涉及一种机械手。
背景技术
目前，在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)的生产过程中，所使用的真空反应设备如图1所示，包括一个真空过渡室、一个传送腔室和至少一个反应腔室，其中，传送腔室分别与真空过渡室和各反应腔室相连。其中，在传送腔室中设有机械手，利用该机械手可实现板状产品如基板在真空过渡室和各反应腔室之间的周转。
如图2所示，现有的机械手10包括：第一支撑结构11、第二支撑结构12、第三支撑结构13以及手臂14；其中，第一支撑结构11可在水平面(x轴和y轴所在平面)旋转，第二支撑结构12可沿z轴方向上下移动，第三支撑结构13可沿x轴前后移动、沿y轴方向左右移动。
具体的，在传送腔室内，机械手10通过调节第二支撑结构12、第三支撑结构13可调节手臂14在x轴、y轴以及z轴方向的具体位置，手臂14可在真空过渡室取出基板，再通过第一支撑结构11沿x轴方向旋转180°，以将基板放置在反应腔室。
发明人发现，现有的机械手在取基板、放基板的过程中存在以下问题．一方面，在第一支撑结构11旋转过程中，基板存在从手臂14跌落的风险，产品的良率降低。另一方面，考虑手臂14的长度较大，传送腔室的宽度要大于两个手臂的长度，则要求传送腔室必须具有较大的空间。
发明内容
本发明的实施例提供一种机械手，利用该机械手进行取物、放物的占用空间小，且无需进行旋转，从而可以提高产品良率。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本发明实施例提供了一种机械手，安装在真空反应设备的第一腔室和第二腔室之间，用于将所述第一腔室的板材移动至所述第二腔室；所述机械手包括：
第一支撑结构，所述第一支撑结构上设置有沿水平面上第一方向的轨道，所述第一腔室和所述第二腔室位于所述轨道相对的两端；
手臂，所述手臂安装在所述第一支撑结构上，用于承载所述板材，所述手臂沿所述轨道可移动；
垂直移动机构，所述第一支撑结构和所述手臂安装在所述垂直移动机构上，所述垂直移动机构可驱动所述第一支撑结构和所述手臂在垂直方向上移动。
可选的，还包括：水平移动机构，所述第一支撑结构和所述手臂安装在所述水平移动机构上，所述水平移动机构可驱动所述第一支撑结构和所述手臂在所述水平面上的第二方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。
可选的，所述水平移动机构还可驱动所述第一支撑结构和所述手臂在所述水平面的第一方向移动。
可选的，所述轨道为凹槽，所述手臂上设置有移动部，所述移动部沿所述凹槽可移动。
可选的，所述凹槽不贯穿所述第一支撑结构。
可选的，所述轨道为滑轨，所述手臂上设置有滑轮，所述滑轮沿所述滑轨可移动。
可选的，所述凹槽的侧面为折面，所述移动部的侧面与所述凹槽的侧面相嵌。
可选的，所述手臂与所述第一支撑结构的上表面不接触。
可选的，所述机械手包括两个手臂，所述两个手臂分别设置在两个第一支撑结构上，且所述两个支撑结构间隔一定距离。
可选的，所述机械手的承载面上设置有吸附装置，所述吸附装置将所述板材吸附于所述手臂上。
本发明的实施例提供一种本发明实施例提供的一种机械手，机械手的手臂可以在x方向上滑动，结合z轴方向的上下运动即可以完成在第一腔室取出显示基板，并在第二腔室放置显示基板的动作。相对于现有的机械手的手臂，在第一腔室取出显示基板后通过旋转将显示基板放置在第二基板，不仅降低了显示基板可能被摔坏的风险，提高了产品的良率；且节省了传输空间，有效的节省设计成本，同时能够提高显示基板传输的嫁动率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有的真空反应设备示意图；
图2为现有的机械手示意图；
图3为本发明实施例提供的一种机械手示意图；
图4为本发明实施例的机械手的手臂取放板材的示意图；
图5为本发明实施例提供的另一种机械手示意图；
图6为本发明实施例提供的一种轨道示意图；
图7为本发明实施例提供的一种手臂示意图；
图8为本发明实施例提供的另一种机械手示意图。
附图标记：
10-机械手；11-第一支撑结构；12-第二支撑结构；13-第三支撑结构；14-手臂；15-垂直移动机构；16-水平移动机构；20-显示基板111-轨道；141-移动部。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种机械手，安装在真空反应设备的第一腔室和第二腔室之间，用于将第一腔室的板材移动至第二腔室；如图3所示，机械手10包括：第一支撑结构11，第一支撑结构11上设置有沿水平面上第一方向101的轨道111，第一腔室和第二腔室位于轨道111相对的两端；
手臂14，手臂14安装在第一支撑结构44上，用于承载板材，手臂14沿轨道111可移动；
垂直移动机构16，第一支撑结构11和手臂12安装在垂直移动机构15上，垂直移动机构15可驱动第一支撑结构11和手臂14在垂直方向(z轴方向)上移动。
需要说明的是，第一支撑结构上设置有沿水平面上第一方向的轨道，第一腔室和第二腔室位于轨道相对的两端。图3中第一方向101即为x轴方向，第一腔室和第二腔室位于轨道相对的两端，即第一腔室和第二腔室位于机械手x轴方向的相对两端。又由于机械手安装在真空反应设备的第一腔室和第二腔室之间，则第一腔室可以是如图1所示的真空过渡室，第二腔室可以是反应腔室，机械手可以是位于传送腔室。垂直移动机构可驱动第一支撑结构和手臂在z轴方向即图3所示的102方向上移动。
需要说明的是，本发明实施例中以板材为显示基板为例进行说明。显示基板通过类似机械手的手臂支撑安放在第一腔室以及第二腔室中。机械手的手臂通过垂直移动机构使得手臂沿z轴向下位于第一腔室中待取出的板材的下面，机械手的手臂沿轨道移动至第一腔室中，再通过垂直移动机构使得手臂沿z轴向上，即可以将第一腔室中的板材承载在手臂上。再沿轨道移动使得手臂上的板材位于第二过渡腔室，使得机械手的手臂位于第二腔室中板材的支撑结构的上面，通过垂直移动机构使得手臂沿z轴向下，将板材放置在第二腔室中的支撑结构的上，从而机械手完成将第一腔室的板材移动至第二腔室。
如图4所示，现有的机械手的手臂取出显示基板时，如图4(a)所示，在第一腔室中，显示基板20在手臂14上，然后，通过旋转实现显示基板10的转移，显示基板20从机械手一侧到相对一侧需要的空间长度为D2。本发明实施例提供的机械手，取出显示基板时，如图4(c)所示，在第一腔室中，显示基板20在手臂14上，然后，如图4(d)所示，手臂14沿轨道111滑动，将显示基板20移动至第二腔室，显示基板20从机械手一侧到相对一侧需要的空间长度为D1，D1＜D2。即相对于如图2所示的现有机械手的手臂通过旋转实现显示基板的转移，本发明实施例提供的机械手的可以在很大程度上节省传输空间，有效的节省设计成本，同时能够提高显示基板传输的嫁动率。且降低了显示基板在旋转过程中被摔下的风险，提高了产品了良率。
本发明实施例提供的一种机械手，机械手的手臂可以在x方向上滑动，结合z轴方向的上下运动即可以完成在第一腔室取出显示基板，并在第二腔室放置显示基板的动作。相对于现有的机械手的手臂，在第一腔室取出显示基板后通过旋转将显示基板放置在第二基板，不仅降低了显示基板可能被摔坏的风险，提高了产品的良率；且节省了传输空间，有效的节省设计成本，同时能够提高显示基板传输的嫁动率。另一方面，本发明实施例中的机械手相对于现有的机械手无需设置选择装置，则其结构简单，方便维修。
优选的，如图5所示，机械手10还包括：水平移动机构16，第一支撑结构11和手臂14安装在水平移动机构上16，水平移动机构16可驱动第一支撑结构11和手臂14在水平面上的第二方向即y轴方向(图5所示的103方向)移动，其中，第一方向与第二方向垂直即x轴方向与y轴方向垂直。如图5所示，水平移动机构可以在y轴方向，则机械手的手臂沿轨道在x轴方向移动，在垂直移动机构的驱动下可沿z轴方向移动，在水平移动机构的驱动下可沿y轴方向移动。从而机械手可以实现水平面以及垂直面上的移动。
进一步优选的，如图5所示，水平移动机构16还可驱动第一支撑结构11和手臂14在水平面的第一方向移动即在x轴方向移动。由于轨道设置在第一支撑结构上，则手臂沿第x轴方向的滑动距离有限，水平移动机构还可以驱动手臂沿第x轴方向，从而机械手的手臂可以到达x轴方向上更远的位置，提升了机械手使用的灵活性。
优选的，如图3、图5所示，轨道111为凹槽。如图7所示，手臂14上设置有移动部141，移动部141沿凹槽111可移动。优选的，如图3、图5所示，凹槽不贯穿第一支撑结构。以防止移动部完全从凹槽滑出。
优选的，如图6所示，凹槽111的侧面为折面。移动部141的侧面与凹槽的侧面相嵌。其中，图6所示的凹槽侧面向内弯折，则图7所示的移动部141的侧面向相同的方向弯折，从而移动部141的侧面与凹槽111的侧面相嵌，从而，移动部可以嵌入在凹槽中。
或者，轨道为滑轨，手臂上设置有滑轮，滑轮沿滑轨可移动。进一步的，滑轨设置在第一支撑结构的上表面。手臂与第一支撑结构的上表面不接触。
由于在第一腔室和第二腔室中，固定板材的支撑结构一般与手臂相同，则手臂与第一支撑结构的上表面不接触，则第一腔室和第二腔室中固定板材的支撑结构可以深入两个手臂之间，方便板材可以防止在理想的位置。
需要说明的是，手臂沿轨道移动，手臂与轨道的结构也不局限于上述两种方式，例如轨道还可以是磁性轨道，手臂可以是设置磁性吸附的装置，从而可以沿磁性轨道移动。
优选的，如图8所示，机械手10包括两个手臂14，两个手臂14分别设置在两个第一支撑结构11上，且两个支撑结构11间隔一定距离。即第一腔室和第二腔室中固定板材的支撑结构还可以是位于两个第一支撑结构之间，方便板材的取放。
优选的，机械手的承载面上设置有吸附装置，吸附装置将板材吸附于手臂上。即手臂的承载面上设置有吸附装置，吸附装置将板材吸附在手臂上，进一步避免板材从手臂上跌落，减小损失。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种机械手，安装在真空反应设备的第一腔室和第二腔室之间，用于将所述第一腔室的板材移动至所述第二腔室；其特征在于，所述机械手包括：
第一支撑结构，所述第一支撑结构上设置有沿水平面上第一方向的轨道，所述第一腔室和所述第二腔室位于所述轨道相对的两端；
手臂，所述手臂安装在所述第一支撑结构上，用于承载所述板材，所述手臂沿所述轨道可移动；
垂直移动机构，所述第一支撑结构和所述手臂安装在所述垂直移动机构上，所述垂直移动机构可驱动所述第一支撑结构和所述手臂在垂直方向上移动；
还包括：水平移动机构，所述第一支撑结构和所述手臂安装在所述水平移动机构上，所述水平移动机构可驱动所述第一支撑结构和所述手臂在所述水平面上的第二方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直；
机械手手臂通过所述垂直移动机构使所述手臂沿所述垂直方向向下位于所述第一腔室中待取出的板材的下面，所述手臂沿所述轨道移动至所述第一腔室中，通过所述垂直移动机构使所述手臂沿所述垂直方向向上，将所述第一腔室中的板材承载在所述手臂上；沿所述轨道移动使所述手臂上的板材位于所述第二腔室，使所述手臂位于所述第二腔室中板材的支撑结构的上面，通过所述垂直移动机构使所述手臂沿所述垂直方向向下，将所述板材放置在所述第二腔室中的支撑结构上。
2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述水平移动机构还可驱动所述第一支撑结构和所述手臂在所述水平面的第一方向移动。
3.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述轨道为凹槽，所述手臂上设置有移动部，所述移动部沿所述凹槽可移动。
4.根据权利要求3所述的机械手，其特征在于，所述凹槽不贯穿所述第一支撑结构。
5.根据权利要求3或4所述的机械手，其特征在于，所述凹槽的侧面为折面，所述移动部的侧面与所述凹槽的侧面相嵌。
6.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述轨道为滑轨，所述手臂上设置有滑轮，所述滑轮沿所述滑轨可移动。
7.根据权利要求6所述的机械手，其特征在于，所述手臂与所述第一支撑结构的上表面不接触。
8.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械手包括两个手臂，所述两个手臂分别设置在两个第一支撑结构上，且所述两个支撑结构间隔一定距离。
9.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械手的承载面上设置有吸附装置，所述吸附装置将所述板材吸附于所述手臂上。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105600404B (zh) * 2016-03-29 2018-06-29 苏州倍特罗智能科技有限公司 一种自动化托盘收料仓
CN109879052A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种单放纠偏机器人及其纠偏方法
CN111196499A (zh) * 2018-11-16 2020-05-26 合肥欣奕华智能机器有限公司 一种搬运装置及基板的搬运方法
CN114643595B (zh) * 2022-02-23 2024-04-16 上海篆祁机械设备有限公司 一种异形件机械零部件用机械手
CN114670249B (zh) * 2022-05-06 2023-10-20 北京锦尚盈华装饰设计有限公司 一种机械手的定位调整装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001253536A (ja) * 2000-03-09 2001-09-18 Hirata Corp 基板移載ロボット装置
US6718229B1 (en) * 2000-11-03 2004-04-06 Smc Kabushiki Kaisha Linear actuator palletizing system and method
KR20070008192A (ko) * 2005-07-13 2007-01-17 삼성전자주식회사 평판 표시 장치 제조용 반송 시스템
CN102001525B (zh) * 2010-09-30 2012-07-04 东莞宏威数码机械有限公司 锁定式升降平移传输设备
CN102129963B (zh) * 2010-11-25 2013-03-13 深圳市华星光电技术有限公司 双臂式机械手臂及其搬运板件的方法
JP2014086653A (ja) * 2012-10-26 2014-05-12 Sharp Corp 基板搬送装置
KR101410246B1 (ko) * 2013-03-18 2014-06-20 주식회사 로보스타 패널 반송용 트리플 암 로봇

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