CN105074043B - 取向性电磁钢板的氮化处理设备和氮化处理方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在得到无偏差的优良磁特性方面极为有用的取向性电磁钢板的氮化处理设备，其可以在配置于氮化处理区的正极电极和阴极电极之间发生辉光放电，向带钢照射产生的等离子体，从而实施适当的氮化处理。

Description

取向性电磁钢板的氮化处理设备和氮化处理方法
技术领域
本发明涉及适合于对取向性电磁钢板实施氮化处理的取向性电磁钢板的氮化处理设备和氮化处理方法。
背景技术
取向性电磁钢板是作为变压器、发电机的铁芯材料使用的软磁性材料，要求其磁化特性优良，特别是要求铁损低。该钢板具有作为铁的易磁化轴的<001>取向在钢板的轧制方向上高度聚集的织构。这种织构通过取向性电磁钢板的制造工序中的所谓二次再结晶而形成，即，在二次再结晶退火时使被称作高斯(Goss)取向的(110)[001]取向的晶粒优先较大地生长。
一直以来，这种取向性电磁钢板通过下述方法制造：将含有4.5质量％以下的Si和MnS、MnSe、AlN等抑制剂成分的钢坯加热至1300℃以上，使抑制剂成分暂时固溶，然后进行热轧，并根据需要在实施热轧板退火，之后通过一次冷轧或隔着中间退火的两次以上的冷轧形成最终板厚，接着在湿润氢气气氛中实施一次再结晶退火，进行一次再结晶和脱碳，进一步在涂布以氧化镁(MgO)为主剂的退火分离剂后，为了二次再结晶和抑制剂成分的纯化而在1200℃下进行5小时左右的最终退火(例如，专利文献1、专利文献2、专利文献3)。
然而，钢坯的高温加热不仅在实现加热方面设备成本高，而且由于热轧时生成的氧化皮量增大，因此成品率下降，并进一步存在设备维护繁杂等问题，以及无法应对近年来降低制造成本要求的问题。
因此，对于在钢坯中不含抑制剂成分而表现出二次再结晶的技术已进行了各种开发。例如，已经提出了即使在钢坯中不含抑制剂成分时，也可以通过在一次再结晶退火后、二次再结晶完成前增加钢基中的S量而稳定地表现出二次再结晶的技术(“增硫法”)(专利文献4)。
另外，还提出了通过在脱碳退火之前或之后实施气体氮化，即使在钢坯中不含抑制剂成分时也可以在一次再结晶退火后、二次再结晶完成前强化抑制剂并稳定地表现出二次再结晶的技术(专利文献5)；在氮化区前设置用于对钢板表面的氧化层起到还原作用的还原带的技术(专利文献6)。
进而，为了在这种气体氮化工序中对带钢整体进行均匀地氮化，提出了在钢板中央部和钢板两端部分割并调整由喷嘴或喷雾器供给的氮化气体的方法(专利文献7)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利第1965559号说明书
专利文献2：日本特公昭40－15644号公报
专利文献3：日本特公昭51－13469号公报
专利文献4：日本专利4321120号公报
专利文献5：日本专利2771634号公报
专利文献6：日本特开平03－122227号公报
专利文献7：日本专利3940205号公报
发明内容
发明所要解决的问题
然而，对于上述专利文献4所公开的技术而言，由于卷材加热时的温度、气氛不均匀，卷材内的增硫量变化，在二次再结晶行为中产生差异，结果有时磁特性产生偏差。
另外，对于专利文献5～7公开的技术而言，是向钢板吹送氮化性气体进行氮化的方法，因此由于炉内温度在时间、位置上的不均匀以及因为热而导致的配管中氮化性气体的分解量的差异等，有时氮化增量根据带钢部位而不同，结果，有时二次再结晶变得不均匀而导致磁特性变差。
本发明是鉴于上述现状而开发的，其目的在于提供在制造取向性电磁钢板时，即使在钢坯中不含抑制剂成分的情况下，通过在二次再结晶前实施适当的氮化处理，使抑制剂形成元素在带钢的整个长度和整个宽度上均匀地分散，从而在得到无偏差的优良磁特性方面极为有用的取向性电磁钢板的氮化处理设备，以及使用该氮化处理设备的氮化处理方法。
用于解决问题的方法
发明人们为了解决上述问题而反复进行了深入研究。
结果得到了如下见解，即，在对带钢(钢板)连续地进行氮化处理时，通过利用辉光放电实施氮化，能够进行氮化量的高精度控制，同时还消除了其偏差，并进一步实现了处理时间的缩短，可以在整个带钢内稳定地得到优良的磁特性。
另外，发明人们还反复地对利用辉光放电的更实际的氮化处理做了进一步的研究。
结果明确了并非在通常的等离子体氮化处理中进行的那样使被处理材料作为直接阴极，而是将阴极配置在被处理材料附近，在该阴极与设置在其外侧的正极之间施加电压从而发生辉光放电，在由此产生等离子体的状态下使带钢通板并实施氮化处理，从而有效抑制了直接对带钢施加电压而产生等离子体时所产生的电弧等缺陷。
而且发现了为了实施如上所述的利用辉光放电的等离子体氮化作为对带钢的氮化处理所必需的设备的最佳结构，从而完成了本发明。
也就是说，本发明的要点构成如下所述。
1.一种取向性电磁钢板的氮化处理设备，其是在取向性电磁钢板的生产线上，在冷轧后、二次再结晶退火前连续地对连续通板的带钢实施氮化处理的设备，
其具备对带钢实施氮化处理的氮化处理区、对带钢进行冷却的冷却区、和根据需要在该氮化处理区前对带钢进行加热的加热区，该氮化处理区中与带钢对置地设置用于辉光放电的正极电极，同时在该正极电极和带钢之间邻近带钢配置用于辉光放电的阴极电极，在这些正极电极和阴极电极之间发生辉光放电，向带钢照射产生的等离子体，实施氮化处理。
2.根上述1所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，将所述氮化处理区保持在减压下。
3.根据上述2所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，将所述加热区和/或所述冷却区保持在减压度低于所述氮化处理区并且比大气压减压的状态下。
4.根据上述1～3中任一项所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，在所述加热区与所述氮化处理区之间设置前段气氛调节区，同时在所述氮化处理区与所述冷却区之间设置后段气氛调节区。
5.根据上述4所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，所述前段气氛调节区和所述后段气氛调节区分别划分为能够单独调节减压度的多个气室。
6.根据上述5所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，在所述前段气氛调节区中，随着接近所述氮化处理区逐渐提高减压度，而在所述后段气氛调节区中，随着接近所述冷却区逐渐降低减压度。
7.根据上述1～6中任一项所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，将所述氮化处理区的内部在带钢的宽度方向上分割为多个区，各分割区内能够单独进行氮化处理控制。
8.一种取向性电磁钢板的氮化处理方法，在取向性电磁钢板的制造工序中，在冷轧后、二次再结晶退火前的阶段使用上述1～7中任一项所述的氮化处理设备，通过辉光放电对带钢实施等离子体氮化处理。
发明效果
根据本发明，能够抑制氮化处理的偏差而在整个带钢内稳定地确保均匀的氮化量，因此可以在带钢的整个长度和整个宽度上稳定地得到优良的磁特性。
另外，在本发明中，没有将作为被处理材料的带钢作为直接阴极，而是在被处理材料附近配置阴极，在该阴极与正极之间发生辉光放电，由此向带钢照射产生的等离子体来实施氮化处理，因此能够有效抑制将带钢作为直接阴极时成为问题的电弧等缺陷的产生。
进而，根据本发明，由于可以使用氮气作为氮源，因此不需要使用以往在气体氮化时所需的氨、进行盐浴氮化时所需的氰系盐等可能会产生环境问题的氮源，因此其在产业上的利用价值极大。
附图说明
图1是表示本发明的氮化处理设备的优选例的概况的图。
图2是表示根据本发明的等离子体氮化处理装置的优选例的图。
图3是表示本发明的氮化处理设备的其他例的概况的图。
具体实施方式
以下，具体说明本发明。
图1表示本发明的氮化处理设备的优选例的概况。图中，符号1为加热区，2为氮化处理区，3为冷却区。并且，4为在形成为上述结构的氮化处理设备内连续通板的带钢(钢板)。需要说明的是，加热区可以根据需要来设置，其并不是必需的。
在本发明中，在上述氮化处理区2中，对带钢4实施利用辉光放电的等离子体氮化处理。
图2表示根据本发明的等离子体氮化处理装置的优选例。图中，符号5为与带钢4对置地设置的用于辉光放电的正极电极，6为夹送辊，7为邻近带钢4配置的阴极电极。需要说明的是，氮化处理区2的内部填充有作为氮供给源的氮气和氢气。
在正极电极5和阴极电极7之间施加电压，发生辉光放电，此时向带钢4照射产生的等离子体，由此对带钢4的表面进行氮化处理。
这样，在本发明中，由于必须使正极电极和阴极电极之间产生的等离子体通过阴极电极到达带钢，因此必须使阴极电极为空孔形状或网眼状。
在进行上述氮化处理时，优选事先使带钢温度升高至400℃以上。
另外，氮化处理区内优选保持在减压下。
而且，虽然加热区和冷却区与氮化处理区相比减压度更低，但优选保持在比大气压减压的状态下，由此，容易通过对流进行热交换，可以提高加热和冷却效率。
在此，在氮化处理区内，优选减压至适合作为辉光放电条件的0.5～10托左右，另外，优选分别将加热区和冷却区减压至减压度比氮化处理区低的30～500托左右。
接着，图3表示隔着氮化处理区2在其前后设置前段气氛调节区8－1和后段气氛调节区8－2的情况。
这时，前段气氛调节区8－1和后段气氛调节区8－2优选分别划分为能够单独调整减压度的多个气室。并且优选为下述结构：在前段气氛调节区8－1中，随着接近氮化处理区2逐渐提高减压度，另一方面，在后段气氛调节区8－2中，随着从氮化处理区2接近冷却区3逐渐降低减压度。
需要说明的是，各区之间和各气室之间的密封可以使用以往公知的气密密封方法，有使用密封辊、或使用密封垫等的方法。
另外，在本发明中，优选形成下述结构：将氮化处理区的内部在带钢的宽度方向上分割为多个区，各分割区内分别独立地进行氮化处理，通过形成这种结构，可以有效地消除因边缘效应而导致的端部过氮化等带钢宽度方向上的氮化不均匀。
需要说明的是，关于加热区，在设置于进行其他必要处理的连续生产线中而使带钢已经被加热时，或者由等离子体氮化处理时的等离子体照射引起的加热已经充分时，其可以省略。
另外，关于冷却区，在进行等离子体氮化处理后以加热后的状态实施其他处理等情况下，其也可以配置在该处理区之后。
进而，本发明的氮化处理设备可以作为仅连续进行氮化处理的独立设备，也可以安装在实施其他处理的加工线上，如果是连续生产线，则考虑效率安装在最佳位置即可。
并且，在本发明中，对于作为被处理材料的带钢没有特别限制，只要是取向性电磁带钢，则以往公知的带钢均适合。
符号说明
1 加热区
2 氮化处理区
3 冷却区
4 带钢(钢板)
5 正极电极
6 夹送辊
7 阴极电极
8－1 前段气氛调节区
8－2 后段气氛调节区

Claims (10)

1.一种取向性电磁钢板的氮化处理设备，其是在取向性电磁钢板的生产线上，在冷轧后、二次再结晶退火前连续地对连续通板的带钢实施氮化处理的设备，
其具备对带钢实施氮化处理的氮化处理区、对带钢进行冷却的冷却区和根据需要在该氮化处理区前对带钢进行加热的加热区，该氮化处理区中与带钢对置地设置用于辉光放电的正极电极，同时在该正极电极和带钢之间邻近带钢配置用于辉光放电的阴极电极，在这些正极电极和阴极电极之间发生辉光放电，向带钢照射产生的等离子体，实施氮化处理，
将所述氮化处理区的内部在带钢的宽度方向上分割为多个区，各分割区内能够独立地进行氮化处理控制。
2.根据权利要求1所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，将所述氮化处理区保持在减压下。
3.根据权利要求2所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，将所述加热区和/或所述冷却区保持在减压度低于所述氮化处理区并且比大气压减压的状态下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，在所述加热区与所述氮化处理区之间设置前段气氛调节区，同时在所述氮化处理区与所述冷却区之间设置后段气氛调节区。
5.根据权利要求4所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，所述前段气氛调节区和所述后段气氛调节区分别划分为能够单独调节减压度的多个气室。
6.根据权利要求5所述的取向性电磁钢板的氮化处理设备，在所述前段气氛调节区中，随着接近所述氮化处理区逐渐提高减压度，而在所述后段气氛调节区中，随着接近所述冷却区逐渐降低减压度。
7.一种取向性电磁钢板的氮化处理方法，在取向性电磁钢板的制造工序中，在冷轧后、二次再结晶退火前的阶段使用权利要求1～3中任一项所述的氮化处理设备，通过辉光放电对带钢实施等离子体氮化处理。
8.一种取向性电磁钢板的氮化处理方法，在取向性电磁钢板的制造工序中，在冷轧后、二次再结晶退火前的阶段使用权利要求4所述的氮化处理设备，通过辉光放电对带钢实施等离子体氮化处理。
9.一种取向性电磁钢板的氮化处理方法，在取向性电磁钢板的制造工序中，在冷轧后、二次再结晶退火前的阶段使用权利要求5所述的氮化处理设备，通过辉光放电对带钢实施等离子体氮化处理。
10.一种取向性电磁钢板的氮化处理方法，在取向性电磁钢板的制造工序中，在冷轧后、二次再结晶退火前的阶段使用权利要求6所述的氮化处理设备，通过辉光放电对带钢实施等离子体氮化处理。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104831026B (zh) * 2015-05-25 2017-12-12 马钢(集团)控股有限公司 一种电工钢可调退火加热装置及其退火加热方法
JP7174943B2 (ja) * 2017-04-26 2022-11-18 国立大学法人 大分大学 窒化処理装置
RU187937U1 (ru) * 2017-10-30 2019-03-25 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Крымский федеральный университет имени В.И. Вернадского" Устройство для ионно-плазменного упрочнения изделий из конструкционных и специальных сталей и сплавов
KR20200120676A (ko) * 2018-03-30 2020-10-21 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 방향성 전기 강판의 제조 설비

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US588314A (en) * 1897-08-17 Nut-lock
US1965559A (en) 1933-08-07 1934-07-03 Cold Metal Process Co Electrical sheet and method and apparatus for its manufacture and test
US3602190A (en) 1968-10-30 1971-08-31 Western Electric Co Multiple vaporizing system
JPS5113469B2 (zh) 1972-10-13 1976-04-28
US4109157A (en) 1975-12-18 1978-08-22 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Apparatus for ion-nitriding
DE2811942C2 (de) 1977-03-23 1986-09-18 Vide et Traitement S.A., Neuilly-en-Thelle Ofen zur ionischen Nitrierbehandlung von metallischen Werkstücken
JPS5684462A (en) * 1979-12-10 1981-07-09 Shunpei Yamazaki Plasma nitriding method
JPH02213460A (ja) * 1989-02-15 1990-08-24 Sumitomo Metal Ind Ltd 表面特性の優れた鋼板の連続製造法と装置
JP2771634B2 (ja) 1989-10-05 1998-07-02 新日本製鐵株式会社 方向性電磁鋼板の脱炭連続焼鈍炉
JPH03122227A (ja) * 1989-10-05 1991-05-24 Nippon Steel Corp 方向性電磁鋼板の脱炭連続焼鈍炉
JPH0733549B2 (ja) * 1990-04-21 1995-04-12 新日本製鐵株式会社 二方向性珪素鋼板の製造方法
JPH04131376A (ja) * 1990-09-21 1992-05-06 Kawasaki Steel Corp 差圧シール装置
JPH04136154A (ja) * 1990-09-28 1992-05-11 Sumitomo Heavy Ind Ltd プラズマ処理装置
JPH04198468A (ja) 1990-11-29 1992-07-17 Nkk Corp 帯板の連続前処理装置
JPH083125B2 (ja) 1991-01-08 1996-01-17 新日本製鐵株式会社 磁束密度の高い方向性電磁鋼板の製造方法
JP2983366B2 (ja) * 1992-01-27 1999-11-29 川崎製鉄株式会社 連続焼鈍炉における浸炭浸窒処理設備
JP3014603B2 (ja) * 1994-11-29 2000-02-28 川崎製鉄株式会社 金属帯の連続プラズマ処理装置
US5643370A (en) * 1995-05-16 1997-07-01 Armco Inc. Grain oriented electrical steel having high volume resistivity and method for producing same
JP3940205B2 (ja) 1997-06-30 2007-07-04 新日本製鐵株式会社 長手・幅方向偏差に小さい方向性電磁鋼板の窒化処理方法とそのための装置
EP0909832A1 (fr) 1997-10-17 1999-04-21 RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT DU GROUPE COCKERILL SAMBRE, en abrégé: RD-CS Procédé pour la mise à composition d'un produit métallique
RU2173733C2 (ru) * 1999-02-12 2001-09-20 ТОО "Симпла" Способ формирования сверхпроводящего пленочного покрытия из нитрида ниобия и проводника на его основе
RU2196394C1 (ru) * 2001-05-18 2003-01-10 Александров Андрей Федорович Способ плазменной обработки материалов, способ генерации плазмы и устройство для плазменной обработки материалов
DE10130308B4 (de) 2001-06-22 2005-05-12 Thyssenkrupp Electrical Steel Ebg Gmbh Kornorientiertes Elektroblech mit einer elektrisch isolierenden Beschichtung
JP2003342739A (ja) 2002-05-23 2003-12-03 Sony Corp プラズマ化学的気相成長装置
KR100615015B1 (ko) 2002-10-16 2006-08-25 샤프 가부시키가이샤 전자 디바이스, 그 제조방법 및 플라즈마처리장치
JP4321120B2 (ja) 2003-05-29 2009-08-26 Ｊｆｅスチール株式会社 磁気特性に優れた方向性電磁鋼板の製造方法
JP5071551B2 (ja) 2010-12-17 2012-11-14 Ｊｆｅスチール株式会社 鋼帯の連続焼鈍方法、溶融亜鉛めっき方法
CN102650014B (zh) * 2011-02-28 2014-08-13 新日铁住金株式会社 方向性电磁钢板的制造方法
JP5942886B2 (ja) 2013-02-18 2016-06-29 Ｊｆｅスチール株式会社 方向性電磁鋼板の窒化処理設備および窒化処理方法
US20140326182A1 (en) 2013-05-03 2014-11-06 Areesys Corporation Continuous Substrate Processing Apparatus
JP6191529B2 (ja) * 2014-03-31 2017-09-06 Ｊｆｅスチール株式会社 方向性電磁鋼板用の一次再結晶焼鈍板および方向性電磁鋼板の製造方法

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