DE2811942C2 - Ofen zur ionischen Nitrierbehandlung von metallischen Werkstücken - Google Patents
Ofen zur ionischen Nitrierbehandlung von metallischen WerkstückenInfo
- Publication number
- DE2811942C2 DE2811942C2 DE2811942A DE2811942A DE2811942C2 DE 2811942 C2 DE2811942 C2 DE 2811942C2 DE 2811942 A DE2811942 A DE 2811942A DE 2811942 A DE2811942 A DE 2811942A DE 2811942 C2 DE2811942 C2 DE 2811942C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- workpieces
- furnace
- cathode
- lock chamber
- nitriding treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
- H01J37/185—Means for transferring objects between different enclosures of different pressure or atmosphere
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B7/00—Heating by electric discharge
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S422/00—Chemical apparatus and process disinfecting, deodorizing, preserving, or sterilizing
- Y10S422/906—Plasma or ion generation means
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Ofen für die thermochemische Behandlung von Metallen, wie beispielsweise
Eisen und Eisenlegierungen, durch Ionen-Beschuß.
Allgemein sind die üblicherweise zu diesem Zweck benutzten Öfen dazu ausgebildet, das zur Behandlung
dienende Gas auf sehr niedrigen Druck zu bringen und zu halten. Sie enthalten im übrigen eise Anode und eine
Kathode, die als Träger für die zu benandelnden Werkstücke dient, wobei diese Elektrode an einen Speise-Stromkreis
für elektrischen Gleichstrom hoher Spannung angeschlossen sind. Beispielsweise Ausgestaltungen
solcher öfen sind aus der US-PS 36 16 383 und der US-PS 29 55 998 bekannt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den konstruktiven
Aufbau eines Vakuumofens anzugeben, der die Nitrierbehandlung mit Ionenbeschuß von Werkstükken
mit unterschiedlicher Form und aus unterschiedlichem Werkstoff kontinuierlich in aufeinanderfolgenden
Teilschritten ermöglicht.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.
In Weiterbildung der Erfindung kann die Einlaß-Schleusenkammer des Ofens selbst den Aufbau eines
Vakuum-Behandlungsofens mit einer Anode und einer Kathode für Ionen-Beschuß aufweisen, derart, damit in
dieser Schleusenkammer die Vorheizung und/oder die Passivierung der Werkstücke vornehmen kann.
Ferner kann die Auslaß-Schleusenkammer geeignete Einrichtungen zur Durchführung von Anschlußbehandlungen
enthalten, beispielsweise ein Abkühlsystem und bzw. oder eine Abschreckwanne.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
F ig. 1 einten schematischeh: Schnitt-eines kontinuierllich
ärbeitehden^Öferis gemäß rder Erfindung für thermochemische Behandlung und
Fig.2 und Fig.3 schematisch in Draufsicht und in
vertikalem Längsschnitt eine Überführungsvorrichtung, die in einem Ofen gemäß F i g. 1 benutzt werden kann.
Gemäß Fig. 1 weist der Ofen für thermochemische Behandlung von metallischen Werkstücken einen rohrförmigen
Hauptteil 11, der auch andere geeignete geometrische Form haben kann, mit horizontaler Achse auf,
der an jedem seiner Enden in eine Schleusenkammer mündet d. h, eine Einlaß-Schleusenkammer 12 und eine
Auslaß-Schleusenkammer 13. Dieser rohrförmige Hauptteil 11 sowie die beiden Schleusenkammern 12
und 13 besitzen einen ähnlichen Aufbau wie Vakuumofen für thermische Behandlung und sind an eine herkömmliche
Apparatur 14 zur Erzeugen von Vakuum mit getrennter Steuerung angeschlossen derart, daß man
insbesondere den Druck in der einen oder anderen Schleusenkammer 12 und 13 verändern kann, ohne den
Druck im Inneren des rohrförmigen Hauptteiles 11 zu verändern.
Im dargestellten Beispiel enthält der rohrförmige Hauptteil 11 ferner eine Reihe von Anoden 15 (schematisch
dargestellt), die längs des oberen Teiles des rohrförmigen Hauptteiles 11 verteilt sind und eine Reihe von
Kathoden 16, die in Form von Platten ausgeführt sind, auf denen die zu behandelnden Werkstücke 17 aufeinanderfolgend
verschoben werden.
Die Anoden 15 sind untereinander mittels einer an den Ausgang eines Impulsgenerators 19 für Hochspannungsimpulse
begrenzter Energie angeschlossenen Leitung 18 verbunden. Es ist im Rahmen der Erfindung
möglich, nur eine einzige Anode vorzusehen, die sich in Längsrichtung vom eliien Ende des Ofens zum anderen
erstreckt
Die Kathoden 16 sind bezüglich ihres Anschlusses mit Hilfe getrennter Stromkreise 20 an den anderen Ausgang
des Generators 19 gelegt und zwar über ein Schaltungssystem 22, das von einem Rechner 23 gesteuert
wird.
Dieser Rechner 23 nimmt in einen Speicher Informationen hinsichtlich der Behandlungsdauer jedes der
Werkstücke 17 auf. die mittels einer Anzeige 24 einstellbar sind, und ist prinzipiell dazu gedacht, die Behandlung
jedes Werkstückes im Verlauf seiner Entwicklung im Inneren des Ofens individuell zu kontrollieren und zu
steuern.
Er gestattet insbesondere den Stromkreis auszuschalten, einerseits für die Kathoden, auf denen sich Werkstücke
17 befinden, deren vorher eingestellte Behandlungszeit abgelaufen ist unabhängig von der Lage dieser
Objekte im Inneren des Ofens und andererseits für diejenigen Kathoden 16, die nicht mit Werkstücken 17 besetzt
sind.
Im Inneren des Hauptteiles 11 werden die Werkstükke 17 aufeinanderfolgend von Kathode zu Kathode mit Hilfe einer Überführungseinrichtung (schematisch durch einen schrittweise angetriebenen Kettenförderer 25 angedeutet) oder durch eine Stoßvorrichtung mit einem von dem Rechner 23 erteilten Takt transportiert.
Im Inneren des Hauptteiles 11 werden die Werkstükke 17 aufeinanderfolgend von Kathode zu Kathode mit Hilfe einer Überführungseinrichtung (schematisch durch einen schrittweise angetriebenen Kettenförderer 25 angedeutet) oder durch eine Stoßvorrichtung mit einem von dem Rechner 23 erteilten Takt transportiert.
In dem in Fig. 1 gezeigten Beispiel enthält der Hauptteil 11 des Ofens vier Kathoden A, B, Cund D. Um
die Arbeitsweise des Ofens zu erläutern sei angenommen, daß die maximale Behandlungsdauer vier Stunden
beträgt. Demzufolge wird man sine Verweilzeit der Werkstücke 17 auf jeder der Kathoden 16 um eine Stunde
wählen. So ist die Überführungs-Häufigkeit eine ^Überführung pro Stunde, unter; Berücksichtigung der
' ™Tätsache, daß die'Überfünrüngszeit Bezüglich der Verweilzeit
vernachlässigbar klein ist.
Diejenigen Kathoden, die keine Werkstücke tragen bzw. Werkstücke, deren Teilbehandlungszeit bereits abgelaufen
ist, werden von der Stromquelle abgeschaltet.
Die Einlaß-Schleusenkammer 12 steht einerseits über
Die Einlaß-Schleusenkammer 12 steht einerseits über
eine versenkbare dichte Tür 27 mit dem Hauptteil 11
und andererseits mit einer herkömmlichen dichten Tür 28 mit der Außenwelt in Verbindung. Diese Schleusenkammer
kann wie dargestellt eine Anode 29 und eine Kathode 29' enthalten, auf der nacheinander die zu behandelnden
Werkstücke aufzusetzen sind, um eine Vorbehandlung dieser Werkstücke, generell eine Passivierung
und/oder ein Vorerhitzen durchzuführen, wobei die Passivierung mit Ionen-Beschuß unter Benutzung
eines Passiviei jngsgases wie Wasserstoff erfolgt Eine
nicht gezeigte Überführungsvorrichtung gestattet es, die sich in der Schleusenkammer 12 befindenden Werkstücke
in einem Takt zu überführen, der demjenigen synchron ist, mit dem die Werkstücke durch den Förderer
25 im Inneren des Hauptteiles 11 transportiert werden. Diese Überführung erfolgt nach einem Reinigen
bzw. Durchspülen der Schleusenkammer 12 und Erzeugen eines Druckes gleich demjenigen im Inneren des
Hauptteiles 11. Im übrigen kann die Betätigung der dichten Tür durch Steuerung über den Rechner 23 in
einer Häufigkeit entsprechend derjenigen der Überführung folgen mit einer ieichten Phasenvorverschiebung
und einer Ieichten Verzögerung beim Schließen.
In ähnlicher Weise steht die Auslaß-Schlsusenkammer
13 einerseits mit dem Hauptteil 11 des Ofens über • eine versenkbare dichte Tür 30 und andererseits über
eine herkömmliche Tür 31 mit der Außenwelt in Verbindung.
Diese Schleusenkammer kann eine Kühlvorrichtung enthalten, wie sie schematisch durch den Block 32 wiedergegeben
ist sowie auch ein nicht dargestelltes Abschreckbecken. Sie kann ferner ein Überführungs- und
Handhabungssystem enthalten, das einer gewünschten Behandlungsweise entspricht. Die Dauer dieser Behandlung
darf im Prinzip nicht über eine Überführungsperiode im Inneren des Ofenkörpers 11 hinausgehen. In
analoger Weise zur Einlaß-Schleusenkammer 12 kann die Tür 30 vom Rechner 23 aus gesteuert sein.
Es sei darauf hingewiesen, daß zur Erzielung einer vollautomatischen Arbeitsweise des gesamten Ofens
auch die Arbeitsgänge des Erzeugens von Unterdruck, das Durchspülen und die im Inneren der Schleusenkammer
hervorgerufenen Behandlungen vom Rechner 23 aus gesteuert werden können.
Nach den F i g. 2 und 3 kann die Transportvorrichtung einen Rollenweg in Form zweier paralleler Schienen
33 enthalten, auf denen V/agen 34 laufen. Diese Wagen werden in herkömmlicher Weise durch Ketten
35 in geschlossener Schlaufe gezogen, wobei diese Ketten an jedem Ende über Kettenräder o. dgl. geführt sind.
Die Wagen sind in elektrisch leitfähigem Metall ausgeführt und vorgesehen, die zu behandelnden Werkstücke
aufzunehmen. Sie weisen auf ihrer Unterseite eine ebene Fläche 36 auf, die auf eine Kathodenplatte 37 zu
liegen kommt um einen elektrischen Kontakt zwischen dem Wagen 34 und der Platte 37 zu schaffen.
Die Platten 37 sind in einer solchen Höhe angeordnet, daß während der Verschiebung des Wagens 34 auf den
Schienen 33 zwischen zwei aufeinanderfolgenden Kathoden der Abstand zwischen der Kathode und der unteren
Fläche 36 des Wagens 34 ausreichend ist um jeglichen Kontakt zü.yermeiden. ,..·,..
' 'Dagegen kann 'dieser Kontakt mit Hilfe von in den Schienen angebrachten Vertiefungen 38 ausreichender Tiefe sichergestellt werden, wenn sicK.der Wagen mit seiner unteren Flädhe 36 über einer kathode 37 befiiudet. ^ ·
' 'Dagegen kann 'dieser Kontakt mit Hilfe von in den Schienen angebrachten Vertiefungen 38 ausreichender Tiefe sichergestellt werden, wenn sicK.der Wagen mit seiner unteren Flädhe 36 über einer kathode 37 befiiudet. ^ ·
Dieses Überführungssystem ist so ausgebildet, daß eine Lichtbogenbildung vermieden wird.
Anstatt dieser Kontakte können auch seitliche Kontäktlamellen
vorgesehen sein.
Der Ofen kann auch durch Zusammensetzen von modulartigen
Elementen aufgebaut werden, die jeweils eine Anode und eine Kathode enthalten.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Vakuumofen mit Ein- und Auslaß-Schleuse zur
ionischen Nitrierbehandlung von metallischen Werkstücken in einer unter einem geringen Druck
stehenden Stickstoff-Atmosphäre, dadurch gekennzeichnet, daß in der Ofer.kammer (11) neben
mindestens einer Anode (15) mehrere Kathoden (16) in einer Reihe angeordnet sind, auf die die
Werkstücke (17) aufeinanderfolgend mit Hilfe einer Überführungsvorrichtung (25) ablegbar sind, wobei
durch eine Schaltungsanordnung (22) für jede einzelne Kathode (16) die elektrische Spannung und die
jeweilige Benandlungsdauer der Werkstücke (17) getrennt steuerbar sind.
2. Vakuumofen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Eingangs-Schleuse (12) zum Passivieren und Vorheizen in Wasserstoff-Atmosphäre
eine Anode (29) und eine Kathode (29') enthält.
3. Vakuunscfen nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Auslaß-Schieuse (13)
eine Kühlvorrichtung (32) enthält
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT692479U IT7906924V0 (it) | 1978-03-18 | 1979-02-14 | Guarnizione composita per giunti omocineti, particolarmente per la copertura dello spazio che separa la parte conduttrice da quella condotta di detti giunti. |
IT05123/79A IT1120274B (it) | 1978-03-18 | 1979-02-14 | Perfezionamenti dei mezzi di fermo del soffietto di protezione per giunti omocinetici a snodo |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7708686A FR2385290A1 (fr) | 1977-03-23 | 1977-03-23 | Four pour traitement thermo-ionique a multicathodes |
FR7727785A FR2403645A2 (fr) | 1977-09-14 | 1977-09-14 | Four pour le traitement thermochimique, en continu, de pieces metalliques, par bombardement ionique |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2811942A1 DE2811942A1 (de) | 1978-10-05 |
DE2811942C2 true DE2811942C2 (de) | 1986-09-18 |
Family
ID=26219926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2811942A Expired DE2811942C2 (de) | 1977-03-23 | 1978-03-18 | Ofen zur ionischen Nitrierbehandlung von metallischen Werkstücken |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4200805A (de) |
JP (1) | JPS6035428B2 (de) |
DE (1) | DE2811942C2 (de) |
ES (1) | ES468158A1 (de) |
GB (1) | GB1601244A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4428614A1 (de) * | 1994-08-12 | 1996-02-22 | Loi Thermprocess Gmbh | Verfahren zum Glühen von Metallteilen |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54105342A (en) * | 1978-02-07 | 1979-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | Glow-discharge heating device |
JPS58164777A (ja) * | 1982-03-24 | 1983-09-29 | Toshiba Corp | 金属化合物被膜の形成方法 |
DE3614398A1 (de) * | 1985-07-01 | 1987-01-08 | Balzers Hochvakuum | Anordnung zum behandeln von werkstuecken mit einer evakuierbaren kammer |
US5316739A (en) * | 1991-08-20 | 1994-05-31 | Bridgestone Corporation | Method and apparatus for surface treatment |
DE59611403D1 (de) | 1995-10-27 | 2007-01-25 | Applied Materials Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats |
DE19540255A1 (de) * | 1995-10-28 | 1997-04-30 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats |
DE10341717A1 (de) | 2003-09-10 | 2005-05-25 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Anordnung für n Verbraucher elektrischer Energie, von denen m Verbraucher gleichzeitig mit Energie versorgt werden |
US9242313B2 (en) * | 2012-07-30 | 2016-01-26 | General Electric Company | Welding furnace and viewport assembly |
JP5942886B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2016-06-29 | Jfeスチール株式会社 | 方向性電磁鋼板の窒化処理設備および窒化処理方法 |
JP5942884B2 (ja) | 2013-02-18 | 2016-06-29 | Jfeスチール株式会社 | 方向性電磁鋼板の窒化処理設備および窒化処理方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL178001B (nl) * | 1953-02-17 | Scm Corp | Werkwijze voor het ontzwavelen van terpentijn-koolwaterstoffracties door sorptie met koolstof. | |
BE557232A (de) * | 1955-04-02 | |||
US3616383A (en) * | 1968-10-25 | 1971-10-26 | Berghaus Elektrophysik Anst | Method of ionitriding objects made of high-alloyed particularly stainless iron and steel |
US4109157A (en) * | 1975-12-18 | 1978-08-22 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Apparatus for ion-nitriding |
-
1978
- 1978-03-18 DE DE2811942A patent/DE2811942C2/de not_active Expired
- 1978-03-20 JP JP53032290A patent/JPS6035428B2/ja not_active Expired
- 1978-03-21 US US05/888,536 patent/US4200805A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-03-21 GB GB11256/78A patent/GB1601244A/en not_active Expired
- 1978-03-22 ES ES468158A patent/ES468158A1/es not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4428614A1 (de) * | 1994-08-12 | 1996-02-22 | Loi Thermprocess Gmbh | Verfahren zum Glühen von Metallteilen |
DE4428614C2 (de) * | 1994-08-12 | 1999-07-01 | Loi Thermprocess Gmbh | Verfahren zum Glühen von Metallteilen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES468158A1 (es) | 1979-09-01 |
GB1601244A (en) | 1981-10-28 |
DE2811942A1 (de) | 1978-10-05 |
JPS6035428B2 (ja) | 1985-08-14 |
US4200805A (en) | 1980-04-29 |
JPS53118235A (en) | 1978-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2811942C2 (de) | Ofen zur ionischen Nitrierbehandlung von metallischen Werkstücken | |
EP0427020B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von zu verlötenden Fügepartnern | |
EP0312694B1 (de) | Vorrichtung nach dem Karussell-Prinzip zum Beschichten von Substraten | |
DE2241634A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von werkstuecken in einer gesteuerten atmosphaere | |
WO1997023665A1 (de) | Verfahren und schaltungsanordnung zur erzeugung von strompulsen zur elektrolytischen metallabscheidung | |
DE3507337A1 (de) | Vorrichtung zur durchfuehrung von prozessen im vakuum | |
DE3505318C2 (de) | ||
DE2623938A1 (de) | Vorrichtung zum auswechseln der elektroden fuer die elektrische raffination von metallen | |
EP0431711A1 (de) | Verfahren und Vorrichtungen zum anodischen oder kathodischen Elektrolackieren von Hohlkörpern, insbesondere von Dosen | |
DE3127390A1 (de) | Galvanisiereinrichtung | |
EP0970266A2 (de) | Vorrichtung zum oberflächenbehandeln durch tauchen | |
DE2841205A1 (de) | Elektrolysezelle mit kompensierten magnetfeldkomponenten | |
DE2220122A1 (de) | Heizgerät mit herausnehmbaren Heizelementen und Hitzeschilden | |
DE2457749A1 (de) | Anzeigetafel | |
DE2100725A1 (de) | Halbkontinuierhches Abscheidungs verfahren | |
DE2134377C3 (de) | Verfahren zum Abscheiden dünner Schichten auf metallische Werkstücke mittels Kathodenzerstäubung | |
EP0446835B1 (de) | Galvanisierungsverfahren | |
DE102009013164A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum elektrolytischen Behandeln von ausgedehntem Gut | |
DE19736351C1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum präzisen Galvanisieren von Werkstücken | |
EP0289865A2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht-Solarzellenanordnung | |
DE10215463C1 (de) | Durchlaufanlage und Verfahren zum elektrolytischen Metallisieren von Werkstück | |
DE2816659A1 (de) | Verfahren zur steigerung der wiederholungsfrequenz der impulse eines lasers | |
EP1006211A1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur Plasma-Oberflächenbehandlung von Substraten | |
DE2944401A1 (de) | Einrichtung zur galvanischen behandlung | |
DE10202431C1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum elektrochemischen Behandeln von Gut mit Pulsstrom |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: F27B 9/04 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |