CN105009691A - 提供等离子体流的装置 - Google Patents

Abstract

一种在环境大气压力下形成气态等离子体的装置(100)，所述等离子体包括用于治疗区治疗的活性物质。所述装置包括用于形成气态等离子体的等离子体单元(112)。所述等离子体单元包括用于从源(118)接收气体的入口(116)和用于排出其中所产生的活性物质的出口(119)。优选由聚酰亚胺制成的介电基材(22)围封在从所述入口输送至所述出口的气体的流动路径周围且电极(26)形成于所述介电基材上用于沿所述流动路径给气体通电以形成活性物质。保护衬里(32)位于介电基材(22)的内表面上用于阻止所述活性物质与介电基材(22)的材料反应。包括形成于介电基材上的电极的接地电极(140)基本上包围且至少部分上覆所述等离子体单元。

Description

提供等离子体流的装置

技术领域

本发明涉及提供常压等离子体流的装置。

发明背景

产生非热气体等离子体的系统已为人所知且被用于许多领域，如工业、牙科、医学、美容和兽医领域，供治疗人类或动物身体。非热气体等离子体可用于促进血液凝固、对表面进行清洁、灭菌并移除污染、消毒、组织重连和组织疾病治疗而不导致显著热组织损伤。为了使患者可耐受，常压等离子体流，包括离子和未离子化气体应维持在可接受温度，优选低于约40℃。

在这种等离子体装置中，尤其希望节省能量并增大等离子体中递送至治疗区的活性物质(例如，OH基)的量，同时节省气体消耗。

发明概要

本发明提供形成环境大气压力气态等离子体的装置，所述等离子体包括用于治疗区治疗的活性物质，所述装置包括：至少一个等离子体单元，用于形成供治疗所述治疗区用的所述气态等离子体，所述至少一个等离子体单元包括：用于从源接收气体的入口和用于排放单元中所产生活性物质的出口；介电基材，围封在从入口向出口输送的气体的流动路径周围；电极，形成于所述介电基材上或中用于沿所述流动路径给气体通电以形成活性物质；和保护性涂层，由形成于所述介电基材的内表面上的介电材料制成，用于保护所述介电基材免于与所述活性物质反应，所述装置还包括：接地电极，其包括介电基材和形成于所述介电基材上或中的电极，其中所述接地电极基本上包围且至少部分上覆所述至少一个等离子体单元。

本发明的装置之所以有利是因为由所述至少一个等离子体单元所产生的场与所述接地电极相互作用，以减小给所述非热等离子体供电所需的能量。

所述至少一个等离子体单元和/或所述接地电极的介电基材由聚酰亚胺制成。聚酰亚胺具有的优点是其轻质、柔性、耐热且耐化学品，具有高介电强度且能够用作印刷电组件的基材。

优选地，所述保护性涂层由选自与活性物质通常不反应的PTFE、FEP或硅酮橡胶之一的材料制成。所述保护性涂层可由与单元中所产生活性物质通常不反应的材料制成。

在一个优选实施方案中，所述至少一个等离子体单元和/或所述接地电极的电极是通过在各自介电基材上图案化导电材料形成。电极优选可被印刷或可由转移至各自介电基材上的纤维基质形成。

优选地，所述至少一个等离子体单元的介电基材是柔性的且被成形以界定所述流动路径。在优选实施方案中，所述至少一个等离子体单元的介电基材通过围封所述流动路径的柔性管形成。

保护性护套优选形成在所述至少一个等离子体单元的介电基材和电极周围以保护所述电极。

在一个优选实施方案中，所述装置包括具有多个等离子体单元的等离子体单元阵列。

在另一方面，本发明涉及用于在前述权利要求中任一项所要求的装置的等离子体单元。

根据本发明的装置可通过将电极形成于由聚酰亚胺制成的介电基材上、构造所述介电基材以形成从单元入口向单元出口的气体流动路径，和将保护性介电涂层形成于所述介电基材的内表面上用于保护所述基材免于与活性物质反应制成。

所述电极可以被图案化至所述介电基材上。

图案化电极可通过印刷沉积于介电基材上或由传递至所述介电基材上的纤维基质形成。

所述介电基材是柔性的且在将电极形成于基材上后，所述基材被成形以围封入口与出口之间的流动路径。

介电基材可被成形以符合在装置内侧的前部的形状。

所述保护性涂层可由与单元中所产生活性物质通常不反应的材料制成。

所述方法可包括将由介电材料制成的保护性护套形成在介电基材和图案化电极周围。

附图简述

为了更清晰理解本发明，现将参考附图更详细描述仅以举例方式给出的其几个实施方案，其中：

图1示出用于形成等离子体的装置；

图2更详细示出所述装置的等离子体单元；

图3在图3a按透视示出等离子体单元，在图3b按纵切面示出等离子体单元，在图3c按横切面示出，且在图3d示出单元的电极；

图4在图4a按透视示出等离子体单元，在图4b按纵切面示出等离子体单元，在图4c按横切面示出，且在图4按平面示出等离子体单元；

图5示出部分切除的等离子体单元；

图6示出具有等离子体单元阵列的装置；

图7示出具有替代布局的装置；且

图8示出图7的喷嘴部分的详细视图。

具体实施方式

参考图1，其示出用于提供供治疗区治疗用的等离子体流的装置10，所述治疗区可以是人类或动物身体的一部分，如牙齿。所述装置包括等离子体单元12，其用于在环境大气压力下形成气态等离子体，其包括经喷嘴14排出以治疗所述治疗区的活性物质。压力需加以控制以维持严格的环境大气压力，但在图1的实例中通常应避免显著正或负压。

等离子体单元12包括用于从源18接收气体的入口16和用于排出单元中所产生活性物质的出口20。介电基材22围封在从入口向出口输送的气体的流动路径24周围。电极26被形成于介电基材的外表面上并通过电连接器30连接至电源28的源极用于沿流动路径给气体通电以形成活性物质。可将电极26嵌入介电基材22中或夹在基材之间。电源的源极被设计以使用适宜给单元中的气体通电的高电压和频率，例如2.5kV RMS，100MHz驱动电极，然而，所述电压不应超过介电基材的介电强度以避免形成穿过基材的导电通路。所述源极还应被构造成不过载电极构造，导致图案化电极构造的迹线熔化和最终短路。外壳29容置装置的组件。

图2示出穿过等离子体单元取得的放大区段II。这个实例中的电极26呈现螺旋形式且被转移至通常圆柱体介电基材22的外表面上。电极具有规则图案以在等离子体单元中产生通常均匀的电场。保护性衬里32位于介电基材的内表面上用于阻止单元12中所产生活性物质与介电基材22反应。如果允许，这种反应可降解介电基材并降低其电绝缘性质，或介电强度，且导致电极与单元中的气体之间电传导。这种传导可导致加热等离子体、消耗电力的电弧且可产生非所需活性物质。保护性护套34包围电极和介电基材且保护内部单元组件免于物理损坏。这个实例中的护套34由介电材料制成，其保护等离子体单元外部的区域免于暴露于高电压。等离子体单元外部的区域含有空气，且如果不由护套保护，那么高电压可通过给空气中的氧气通电而产生臭氧。

保护性衬里32所提供的保护意味着介电基材22的材料选择范围大于不存在保护性衬里32的情况。在不存在保护性衬里的情况中，除了其所需的电学性质外，还要求基材22与单元中所产生的活性物质不反应。活性物质取决于产生等离子体的源气体且可以是氩气或氮气。因此，基材22可由聚酰亚胺制成，其具有合适电学性质但与活性物质通常不反应。保护性衬里32可由诸如与活性物质通常不反应的PTFE、FEP或硅酮橡胶的材料制成。单元的复合结构提供具有所需电学性质但在使用期间将不显著降解的布局。

介电基材22可由任何合适介电介质制成且优选为薄，具有小于5mm，优选小于2mm且更优选小于1mm的厚度。因跨过单元中的排出气体产生的电场会由于增大厚度而减小，所以薄基材允许用减小的能量消耗产生较高强度的场。然而，将注意到许多介电介质具有不足以(尤其是当为薄时)在暴露于充分高以在腔中产生常压等离子体的电场时阻止断裂的强度。因此，所选择的介电基材22的介电强度应足以阻止从电极向单元中的气体发生显著电传导。介电材料可以是聚酰胺，其具有良好电学性质且是柔性材料，意味着其可被构造成许多不同形状中的任一种，下文将更详细描述。

聚酰亚胺是酰亚胺单体的聚合物。聚酰亚胺轻质、柔性、耐热且耐化学品，具有高介电强度且能够用作印刷电组件的基材。用于本发明的合适聚酰亚胺和其制备描述于例如US 3 179 634中。制备聚酰亚胺的熟知程序是两步聚(酰胺酸)方法，其涉及使二酐与二胺在环境条件下在双极性非质子溶剂(如N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)或N-甲基聚吡咯烷酮(NMP))中反应以得到相应聚(酰胺)酸。随后使这种酸成环为最终聚酰亚胺。这种聚酰亚胺在市面有售，尤其是在商标名KAPTON下出售的聚酰亚胺。相信在KAPTON产品中最广泛使用的聚酰亚胺使用了单体均苯四甲酸二酐和4,4'-二氨基二苯醚。

一些市售聚酰亚胺产品是与其它塑料的层压制品。这些层压制品公开在US 3 616 177和US 2005/0013988A1中。后一文件明确涉及包括聚酰亚胺核心层和高温氟聚合物结合层的介电基材。

还已知使聚酰亚胺与石墨或玻璃纤维配混以增强其挠曲强度并与金属配混以增强其导热性。还已知提供耐电晕放电的聚酰亚胺等级。例如，这些产品以KAPTON CR和KAPTON FCR出售。聚酰亚胺的耐电晕放电形式是从例如US 3 389 111获悉。本文公开的组合物含有某些有机金属化合物，特定来说选自元素周期表IVb和Vb族的元素和铁的芳族、脂肪族或芳脂族化合物，其中金属通过碳结合至分子的有机部分。

另一合适聚酰亚胺是APICAL聚酰亚胺薄膜，其是Kaneka TexasCorporation所制造的AF型芳族聚酰亚胺。这种聚酰亚胺具有视所选择的特定膜在118至197kV/mm范围内的介电强度。

电极26可由铜制成并通过用于制作印刷电路板的技术，如沉积或蚀刻，印刷至介电基材22上。然而，电极图案被构造以在等离子体单元中产生高电场，而在PCB中，高电场一般不适宜。另外在PCB中，布线形成于基材的一侧并用作电导体，主要用于通过互连通孔在位于基材另一侧上的组件之间运载电信号。在本发明中，电极图案不运载信号且被设计成配合例如1kV(或大得多)的高电势使用。

保护性护套34构成电极图案和基材一侧与装置环境条件之间的物理屏障且还提供结构支撑，从而维持单元成通常为圆柱体或其它所需构造。因此，保护性护套34可由热塑性材料如聚醚嵌段酰胺制成。保护性护套34优选还是介电材料，提供电极与等离子体元件外部之间的电绝缘。或者，介电层可上覆介电基材22和电极26且一个或多个其它层可上覆介电层22。

可在层压等离子体单元中提供其它层，如一个或多个粘性层、一个或多个额外电极图案或一个或多个介电层。

参考图3，其更详细示出了等离子体单元40，其中每个电极通过印刷，如通过沉积或蚀刻而被转移至介电基材。类似参考数字将用于指代上文讨论的类似部件且为求简明不再加以解释。单元40包括第一电极42和第二电极44，两者均通过PCB制作中已知的印刷技术印刷于介电基材46上。第二介电层48覆盖图案化电极且保护并电绝缘所述单元。气体导管49将气体从气体源输送至等离子体单元。为求描绘简明，图3未示出保护性衬里32。

在制造等离子体单元的优选方法中，将电极42、电极44印刷于通常平坦的柔性介电基材(如聚酰亚胺)上，以使在印刷后可将基材成形为所需构造，在这个实例中其是圆柱体，具有形成单元出口20的渐缩前部。将通常是矩形平坦基材成形为圆柱体且随后将基材的纵向侧面接合并固定以确保基材成圆柱体构造。就这方面来说，在平坦基材上印刷电极相比于在圆柱体基材上印刷更为容易实现且较为廉价，且存在可用于在平坦基材上印刷的标准PCB制造设备。然而，理所当然，本发明不排除在圆柱体基材上印刷或按其它方式图案化电极。

柔性电子电路，或所谓的挠性电路在其它技术领域中已知且被用于例如照相机和蜂窝电话。在这些领域中，将电子组件安装于柔性塑料基材上，如聚酰亚胺、PEEK或透明导电聚酯薄膜。此外，挠性电路可以是在聚酯上丝网印刷的银电路。这些柔性印刷电路(FPC)一般通过光刻法制造。制造柔性箔电路的替代方式是将极薄(例如0.07mm)铜条层压在两个PET层之间。这些一般为0.05mm厚的PET层用热固性粘性材料涂覆，且将在层压过程中加以活化。这些技术可用于制造本发明等离子体单元。然而将注意到本发明等离子体单元的电极布局被设计为运载高电压(例如1至3kV)和高频率(例如高于100kHz)，而已知柔性电路板被设计以在低频率下运载低电势。

介电基材的柔性意味着其可成形为符合装置内侧的前部。所述前部可以是例如石英管或喷嘴附接的一部分。这种基材柔性提供更大范围供在装置内安置等离子体单元，从而更高效使用空间且促进装置尺寸减小或如果偏好，容许增大装置内其它组件(如电源)的尺寸。

在图3所示的实例中，两个电极被示出且通过电连接器52、电连接器54连接至电源的源极。连接器和电极图案可在图3d中最清楚见到，其中单元的其它组件已被移除。图案被构造以增强单元中的活性物质产生且可由诸如线圈、曲折或曲线轨迹的任何合适形状组成。印刷图案支持制造复杂且合适图案而无需高费用且不存在迹线之间短路的风险。优选地图案覆盖尽可能多的单元表面以将通常均匀的电场施加于单元中的气体。可形成不存在陡峭转角或锋利点的图案，因为将明白这些区域可吸引相对高数量的电荷载子，这转而可产生不均匀电场。

通常的圆柱体等离子体单元40可具有3至10mm的外径和0.5至2mm的离开喷嘴直径。介电基材层46、介电基材层48可以为0.1至1mm厚。电极条可为约0.01mm至0.1mm宽和厚。保护性层可为约1mm厚。

虽然图3示出通常的圆柱体等离子体单元，但可由柔性组件制成其它形状，例如沿扭曲路径输送气体的单元。这种布局增大了气体在单元中的停留时间并促进等离子体形成。图4示出另一种等离子体单元，其具有较平整形状。

参考图4，示出等离子体单元60，其包括印刷在介电基材66上的电极62、电极64。图4中的类似参考数字将用于指代上文讨论的类似部件且为求简明不再加以解释。第二介电层68覆盖电极图案，以使电极嵌入介电材料内。在这个实例中，介电基材66形成通常平坦的构造。就这方面来说，基材在入口16与出口20之间沿流动路径延伸的第一尺寸D1和相对第一尺寸通常横向的第二尺寸D2上具有较与所述第一和第二尺寸通常正交的第三尺寸D3基本上更大的范围。如图所示第一尺寸通常延伸通过腔，第二尺寸延伸跨过腔且第三尺寸沿腔的厚度延伸。

平坦单元的益处有三方面。第一，使气体在沿第一尺寸通过腔时暴露于电场维持相对长时间。第二，因第二尺寸的相对大宽度，使得对于沿第一尺寸的每个单位长度，有相对大量的气体暴露于电场。第三，腔的相对小厚度确保任何气体通过腔的最大距离仅仅是离所述或每个电极的短距离，同时仍允许腔存在合理气体流动。还应注意等离子体腔的内表面积相比于气体体积来说为大且因此有利于将热运输离开气体。在图1所示的实例中，腔的宽度为约10mm且长度为约50mm。腔的高度优选小于5mm且更优选小于约2mm。

在这个实例中，电极按通常“S”形构造被转移至基材66的各个平坦侧面。电极覆盖各个平坦侧面的仅仅一部分，所述部分与其边缘分隔以减小产生的电场在边缘周围交叉而不通过单元中的气体腔的程度。

电极图案可以不连续但可替代地分段或按离散图案提供，所述分段或离散图案可相互隔开。电极优选视单元的特定特性，例如，通过单元的气体流速、单元中所产生活性物质的半衰期和所需的治疗类型进行构造。

图5示出本发明的另一实施方案。示出等离子体单元80，其包括在这个情况中由聚酰亚胺形成的通常的管形，或圆柱体介电基材82。可由PTFE形成的保护性层84覆盖介电基材的内表面以阻止基材在使用期间降解。将电极86图案化于介电基材上。电极由纤维基质制成，在这个实例中所述纤维基质是钢编织层。在这个图中电极图案是纤维网格，但将明白可形成任何合适图案。涉及改变电压和频率的简单实验将揭示何种图案工作良好且在等离子体单元中建立良好电场。可通过首先将钢、铜或其它导电材料层转移至介电基材且随后使用激光移除材料以产生所需图案的方式形成电极图案。或者，可在挤压过程中将纤维基质转移至基材。保护性护套88覆盖电极图案和介电基材。护套提供机械支撑和电绝缘。可使用聚酰亚胺形成护套。

制造用于医疗领域的合适管形结构，其中所述管被用作导管。被转移至聚酰亚胺层的钢编织层给管提供结构回弹性且不设计为运载电力。聚酰亚胺基材提供柔性材料以允许在插入体内时结尾。将明白这些管的尺寸必须为小(约1至3mm)以适配在身体管道内且出于上文详细描述的原因这一尺寸还适用于用作等离子体单元。

按举例的方式参考图2，本文描述的等离子体单元可通过在介电基材22上图案化电极26、将介电基材22构造成例如圆柱体以形成从单元入口16向单元出口20的气体流动路径，且将保护性衬里32形成于介电基材的内表面上用于阻止活性物质与介电基材反应的方式制造。可根据需要选择步骤的顺序。

在图3和图4所示的实例中，通过制造印刷电路板中已知的印刷技术将图案化电极沉积在介电基材上。例如，在减材过程中，可将铜层结合在整个基材上，(建立“空白PCB”)，随后在施用临时掩膜后移除不想要的铜(例如通过蚀刻)，仅留下所需铜迹线。或者，在加材过程中，可通过将迹线沉积至裸基材(或具有极薄铜层的基材)，通常通过含多个电镀步骤的复杂过程制造导电路径。

电路板的绝大部分在使用中保持平整。然而，在制造等离子体单元的优选方法中，介电基材由图案化电极所在的薄膜柔性介电材料制成。随后可将基材成形以围封入口与出口之间的流动路径，例如成为圆柱体，或采用在出口与入口之间不遵循笔直路径的形式。或者，可将电路插入石英或其它介电材料管中，在此处其将遵照管的形状。如此一来，可通过相对廉价地将导电管道印刷于平坦基材上且随后成形为所需形状的方式制造等离子体单元。可将保护性衬里形成于平坦基材的一个表面上，同时将电极图案印刷于相反表面上。

参考图5，图案化电极由纤维基质形成，纤维基质在挤压管形基材期间或在其制造后被转移至介电基材上。因选择用于基材的材料是柔性的，所以随后可将等离子体单元形成任何所需形状。

在本实施方案中，基材介电材料的选择优选应考虑其热导率且就这方面来说，聚酰亚胺具有约0.5W/m.K的相对良好的热导率。从等离子体腔排出的气体混合物的温度优选低于60℃，且更优选低于40℃。

电极可被通常均匀地图案化至介电基材上或可被图案化以制造具有与另一个区不同的导电轨迹浓度的一个区。例如，可能需要产生相比于向单元入口较强的向单元出口电场，以在气体到达治疗区时将较大能量供应给气体。或者，电极图案可由沿流动路径相互隔开的多个串联离散图案组成。

具有本文所描述等离子体单元的实施方法的装置适用于紧凑形式且在优选布局中所述装置被构造成供手持并操作，例如，类似于可供手持并操作的电动牙刷。手持式装置必须充分小且轻以使不致使用笨拙且可以相对精确引导以将所产生的活性物质施用至治疗区，如口中的特定牙齿。就这方面来说，装置可被构造以具有小于1kg的质量、小于200mm的长度和50mm的宽度。

图6示出另一装置。因如本文所描述的等离子体单元可以相对小(例如50mm长×5mm宽)，所以可将包括多个等离子体单元的等离子体单元阵列88提供在单个装置中，其本身可适合手持并操作。在图6中，装置90包括三个等离子体单元92、94、96，其中每个与气体源18流动连通用于将待通电气体接收至单元中且与喷嘴14(或每个喷嘴)流动连通用于将等离子体从单元递送至治疗区。气体通道98从气体源延伸并分三支将气体递送至每个单元。其它通道100从单元出口延伸并汇聚以将活性物质递送至喷嘴。每个单元的电极通过电导体102连接至单元28的源极。

示出等离子体单元阵列能够将相比于图1所示装置的单个等离子体单元更大量的活性物质递送至治疗区。然而，不同于简单并入较大等离子体单元的装置，等离子体单元阵列允许气体更靠近单元的电极且因此更容易与所产生的电场相互作用。在较大单元中，气体与电极之间的最大距离较大且因此需在电极处创建较大电势以将相当能量递送给气体。

虽然在这个实例中，等离子体单元阵列包括三个等离子体单元，但可并入任何数目的单元。另外，将三个等离子体单元按并联关系布置，而单元中的一个或多个可串联提供，然而，仅当活性物质的半衰期充分长以使串联中的第一个所产生的等离子体对于施用至治疗区存活足够长时才适用串联关系。

图7示出具有替代布局的又一装置100。按类似于图1装置10的方式，装置100包括等离子体单元112，用于形成计划经由喷嘴114(经喷嘴出口120)排出的气态等离子体。等离子体单元112包括用于从源118接收气体的入口116和用于将单元中所产生的活性物质排出至位于喷嘴出口120上游(在使用时)的等离子体腔121的出口119。

等离子体单元112具有与图2所示等离子体单元基本相同的构造。然而，将理解等离子体单元112可具有与上文所描述的任何等离子体单元构造一致的任何构造。具体来说，电极26可采取不同于参考图2所描述的螺旋构造的任何其它构造，且可嵌入介电基材22内或夹于之间。等离子体单元112的电极26被连接至由锂电池128供电的高电压变压器129的高电压侧。如此一来，在使用时沿流动路径从等离子体单元112的入口116传播至出口119的气体被通电以形成活性物质。

外壳150容置装置100的组件且装置还包括压力调节器131和操作按钮132。操作按钮132可操作以打开等离子体单元112的气体供应，并给高电压变压器129通电。或者，可针对这个目的提供不同开关。

装置100的喷嘴114可与等离子体单元112的保护性护套36整合。然而，在图7所示的实例中，喷嘴114从等离子体单元112分离。等离子体单元112被固定于喷嘴114内，毗邻外壳150的壁。

装置100还包括接地电极140。接地电极140基本上呈圆柱体形状且被固定于喷嘴114的外表面，毗邻外壳150的壁。如图7所示，接地电极140与等离子体单元112同心且上覆于等离子体单元以使接地电极140的最外端143较等离子体单元112的排出端119更靠近喷嘴出口120。类似地，接地电极140的最内端144较等离子体单元112的入口端116更靠近喷嘴出口120。这种布局有助于将等离子体沿喷嘴114推向喷嘴出口120。在一个优选实施方案中，接地电极140可以相对于等离子体单元112轴向滑动以允许调整等离子体单元112的容量从而最优化等离子体形成，将较高效功率耦合提供给电源并改变最高场强的区域。

如图8所示，接地电极140包括形成于介电基材142上的电极141(图8)。介电基材142可由任何合适材料制成但优选由聚酰亚胺制成。替代地电极141可夹在聚酰亚胺基材层之间或嵌入其内。替代或另外，可提供替代外层材料用于接地电极140。例如，除了或替代最外聚酰亚胺层，接地电极140的外表面可具有聚醚嵌段酰胺(或其它合适材料)保护性护套。电极142被连接至高电压变压器129的接地侧。

接地电极140相对于等离子体单元112的图示布局具有使装置100相比于不存在接地电极140的情况更高效的作用。这是因为由接地电极140(当通电时)产生的电场屏蔽了由等离子体单元112(当通电时)产生的电场。这具有需要较少能量在离开单元112的等离子体中产生所需量活性物质的作用，从而使装置100更高效。接地电极140的作用是增大场强并用于控制负面影响等离子体射流的导电物体的近场效应。接地电极140凭借封装等离子体单元112的基材142和基材22的介电值提供对接地的控制，进而控制电容量。

由喷嘴114、等离子体单元112和接地电极140组成的整个喷嘴布局可以是可从装置100移除的单片总成。优选地，喷嘴总成可是一次性的以使可容易移除并更换。出于卫生的原因，这是有利的。在这种情况中，经由插塞制造必要电连接，当装配新喷嘴总成时，所述插塞可连接至内和外电极。

Claims (12)

1.一种在环境大气压力下形成气态等离子体的装置，所述气态等离子体包括用于治疗区治疗的活性物质，所述装置包括：

至少一个等离子体单元，用于形成供治疗所述治疗区用的所述气态等离子体，所述至少一个等离子体单元包括：

用于从源接收气体的入口和用于排出在所述单元中所产生的活性物质的出口；

围封在从所述入口输送至所述出口的气体的流动路径周围的介电基材；

电极，其形成在所述介电基材上或中用于沿所述流动路径给气体通电以形成活性物质；和

保护性涂层，其由形成于所述介电基材的内表面上的介电材料制成，用于保护所述介电基材免于与所述活性物质反应，

所述装置还包括：

接地电极，其包括介电基材和形成于所述介电基材上或中的电极，其中所述接地电极基本上包围且至少部分上覆于所述至少一个等离子体单元。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个等离子体单元和/或所述接地电极的所述介电基材由聚酰亚胺制成。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的装置，其中所述保护性涂层由选自与所述活性物质通常不反应的PTFE、FEP或硅酮橡胶之一的材料制成。

4.根据任一上述权利要求所述的装置，其中所述至少一个等离子体单元和/或所述接地电极的所述电极通过在所述各自介电基材上图案化导电材料形成。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述电极被印刷。

6.根据权利要求4所述的装置，其中所述图案化电极由转移至所述各自介电基材上的纤维基质形成。

7.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其中所述至少一个等离子体单元的所述介电基材是柔性的且被成形以界定所述流动路径。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述至少一个等离子体单元的所述介电基材由围封所述流动路径的柔性管形成。

9.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其包括形成在所述至少一个等离子体单元的所述介电基材和所述电极周围的保护性护套。

10.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其包括具有多个所述等离子体单元的等离子体单元阵列。

11.一种用于如上述权利要求中任一项所述的装置的等离子体单元。

12.一种在环境大气压力下形成气态等离子体的装置，所述等离子体包括用于治疗区治疗的活性物质，所述装置基本上如本文参考附图所描述。