TWI694748B - 用以產生大面積電漿之電極元件 - Google Patents

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Abstract

一種用於產生大面積電漿之電極元件。此電極元件包括一第一透明絕緣基板、一第一透明電極圖案、一第二透明電極圖案、與一第二透明絕緣基板。第一透明絕緣基板具有一第一厚度。第一透明電極圖案與第二透明電極圖案係形成於第一透明絕緣基板之一上表面，且第一透明電極圖案與第二透明電極圖案間具有一間隙。第二透明絕緣基板具有一第二厚度，且覆蓋第一透明電極圖案與第二透明電極圖案。其中，第一厚度大於第二厚度，以產生大面積電漿於第二透明絕緣基板上方。

Description

用以產生大面積電漿之電極元件
本發明係關於一種大氣電漿裝置，尤其是關於一種用以產生大面積電漿之電極元件。
近年來，大氣電漿已經逐漸被應用於人體皮膚之活化與處理，作為一種非侵入式的處理方案。
不過，傳統的大氣電漿裝置過於龐大，不利於生醫領域之應用，且容易對患者產生壓力。此外，醫師在進行大面積電漿處理或殺菌時，往往無法即時檢視患部狀態進行調整。
有鑑於此，本發明提供一種用以產生大面積電漿之電極元件，可讓使用者透過此電極元件直接檢視電漿處理位置。
本發明提供一種用於產生大面積電漿之電極元件。此電極元件包括一第一透明絕緣基板、一第一透明電極圖案、一第二透明電極圖案、與一第二透明 絕緣基板。第一透明絕緣基板具有一第一厚度。第一透明電極圖案係形成於第一透明絕緣基板之一上表面。第二透明電極圖案係形成於此上表面，且第一透明電極圖案與第二透明電極圖案間具有一間隙。第二透明絕緣基板具有一第二厚度，且覆蓋第一透明電極圖案與第二透明電極圖案。其中，第一厚度大於第二厚度，以產生大面積電漿於第二透明絕緣基板上方。
相較於傳統技術，本發明之電極元件之結構簡單，有利於使用者手持操作。其次，此電極元件係為透明設計，有利於使用者透過電極元件直接檢視電漿處理位置(如患部)。此外，透明設計亦有助於改善視覺效果，降低患者對於大氣電漿處理的排斥心理。
本發明所採用的具體實施例，將藉由以下之實施例及圖式作進一步之說明。
10‧‧‧大氣電漿設備
20‧‧‧電源供應器
30,40‧‧‧電極元件
22‧‧‧高壓端
24‧‧‧低壓端
32‧‧‧第一透明絕緣基板
34,44‧‧‧第一透明電極圖案
36,46‧‧‧第二透明電極圖案
38‧‧‧第二透明絕緣基板
T1‧‧‧第一厚度
32a‧‧‧上表面
T2‧‧‧第二厚度
341,361,441,461‧‧‧電源連接區
342‧‧‧第一條狀透明電極
362‧‧‧第二條狀透明電極
G1,G2‧‧‧間隙
W1,W2‧‧‧寬度
39‧‧‧粘著層
442‧‧‧第一螺旋透明電極
462‧‧‧第二螺旋透明電極
第一圖係本發明大氣電漿設備一實施例之配置示意圖。
第二圖係本發明電極元件另一實施例之俯視示意圖。
下面將結合示意圖對本發明的具體實施方式進行更詳細的描述。根據下列描述和申請專利範圍，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，圖式均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以 方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
第一圖係本發明大氣電漿設備一實施例之配置示意圖。如圖中所示，此大氣電漿設備10包括一電源供應器20與一電極元件30。
電源供應器20具有一高壓端22(即火線)與一低壓端24(即地線)，用以輸出一高壓脈衝至電極元件30以產生大氣電漿。此電源供應器20可調整輸入電極元件30之電壓，以控制電極元件30所產生之大氣電漿之強弱。在一實施例中，此電源供應器20係一交流電源供應器。不過亦不限於此。其他類型之電源供應器，只要可以產生高壓脈衝輸入電極元件30，均可適用於本案發明。又，在一實施例中，此電極元件30係設置於大氣環境中。不過亦不限於此。在一實施例中，此電極元件30亦可利用惰性氣體作為反應氣體以生成大氣電漿。
電極元件30包括一第一透明絕緣基板32、一第一透明電極圖案34、一第二透明電極圖案36、與一第二透明絕緣基板38。第一透明絕緣基板32具有一第一厚度T1。第一透明電極圖案34與第二透明電極圖案36係形成於第一透明絕緣基板32之一上表面32a。第二透明絕緣基板38具有一第二厚度T2，且覆蓋第一透明電極圖案34與第二透明電極圖案36。
第一透明電極圖案34包括一電源連接區341與複數個第一條狀透明電極342，第二透明電極圖案36包括一電源連接區361與複數個第二條狀透明電極362。電源連接區341與電源連接區361分別連接電源供應 器20之高壓端22與低壓端24。
這些第一條狀透明電極342與這些第二條狀透明電極362係交替排列於第一透明絕緣基板32之上表面32a，且各個第一條狀透明電極342與相鄰之第二條狀透明電極362間具有一間隙G1，以產生電場，進而產生大氣電漿。透過此交替排列之第一條狀透明電極342與這些第二條狀透明電極362，即可決定大氣電漿之產生範圍，並提升大氣電漿之均勻度。在本實施例中，這些交替排列之第一條狀透明電極342與第二條狀透明電極362定義出一個方形的大氣電漿處理範圍。
第一透明電極圖案34與第二透明電極圖案36間之間隙G1係介於0.8-1.2mm。在一實施例中，第一透明電極圖案34與第二透明電極圖案36係由氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)或氧化銦鎵鋅(IGZO)構成。此外，第一透明電極圖案34與第二透明電極圖案36之厚度不可太高，以維持高透光率。在一實施例中，第一透明電極圖案34與第二透明電極圖案36之厚度為200nm。
在本實施例中，第一透明絕緣基板32係一石英玻璃基板，第二透明絕緣基板38也是一石英玻璃基板，二者之構成材料相同。不過，第一透明絕緣基板32之第一厚度T1大於第二透明絕緣基板38之第二厚度T2。利用此二個絕緣基板32,38之厚度差異，即可產生大面積電漿於第二透明絕緣基板38外側(也就是圖中第二透明絕緣基板38之上方)，同時避免在第一透明絕緣基板32外側(也就是圖中第一透明絕緣基板32之下方)產 生大氣電漿。在一實施例中，第一透明絕緣基板32之第一厚度T1為0.7mm，第二透明絕緣基板38之第二厚度T2為0.5mm。
本實施例選用石英玻璃製作第一透明絕緣基板32與第二透明絕緣基板38，以提供較佳之機械強度。不過，本發明不限於此。在一實施例中，第一透明絕緣基板32與第二透明絕緣基板38亦選用其他透明介電材料。在一實施例中，第一透明絕緣基板32與第二透明絕緣基板38亦可使用不同之介電材料，並利用二者所使用之介電材料之介電常數的差異，決定產生大氣電漿的位置(大氣電漿會產生在介電常數較低之一側)。
在本實施例中，第一透明電極圖案34之電源連接區341與第二透明電極圖案36之電源連接區361係位於第一透明絕緣基板32之相對兩側。第一透明絕緣基板32之寬度W1大於第二透明絕緣基板38之寬度W2，使第一透明電極圖案34之電源連接區341與第二透明電極圖案36之電源連接區361裸露於外，以利於連接電源供應器20之高壓端22與低壓端24。不過亦不限於此。電源連接區341與361亦可設置於第一透明絕緣基板32之相鄰兩側，或是設置於同一側。第二透明絕緣基板38之尺寸則可依據電源連接區341與361之設置位置進行調整。
另外，在本實施例之電極元件30中，第一透明絕緣基板32之寬度W1係大於第二透明絕緣基板38之寬度W2，使第一透明電極圖案34之電源連接區341與第二透明電極圖案36之電源連接區361裸露於外，以連接 電源供應器20。不過亦不限於此。在另一實施例中，亦可在第二透明絕緣基板38上形成缺口，使第一透明電極圖案34之電源連接區341與第二透明電極圖案36之電源連接區361裸露於外。
在一實施例中，為了將第二透明絕緣基板38固定於第一透明絕緣基板32上，此電極元件30更包括一粘著層39夾合於第一透明絕緣基板32與第二透明絕緣基板38間，且位於第一透明電極圖案34與第二透明電極圖案36之外圍。在一實施例中，此粘著層39係以透明粘著材料構成，例如環氧樹脂。
第二圖係本發明電極元件另一實施例之俯視示意圖。相較於第一圖中之電極元件30，本實施例之電極元件40包括一第一透明電極圖案44與一第二透明電極圖案46。
第一透明電極圖案44包括一電源連接區441與一第一螺旋透明電極442，第二透明電極圖案46包括一電源連接區461與一第二螺旋透明電極462。電源連接區441與電源連接區461分別用以連接電源供應器20之高壓端22與低壓端24。
第一螺旋透明電極442與一第二螺旋透明電極462係互相纏繞，且二者之間具有一間隙G2。第一螺旋透明電極442與第二螺旋透明電極462係定義出一個圓形的大氣電漿處理範圍。
基本上，在維持適當的間隙G1,G2(例如0.8mm至1.2mm)的條件下，前述第一透明電極圖案34, 44與第二透明電極圖案36,46之形狀與分布可視實際需求進行調整。舉例來說，若需要產生長方形的大氣電漿處理範圍，則可考慮參酌本案第一圖之實施例，調整第一條狀透明電極342與第二條狀透明電極362之尺寸參數，覆蓋一方型範圍。亦可考慮參酌本案第二圖之實施例，利用二個方形螺旋透明電極覆蓋一方型範圍。
相較於傳統技術，本發明之電極元件30,40可利用成熟之液晶面板製程進行製作。其結構簡單，有利於使用者手持操作。其次，此電極元件30,40係為透明設計，有利於使用者透過電極元件30,40直接檢視電漿處理位置(如患部)。此外，透明設計亦有助於改善視覺效果，降低患者對於大氣電漿處理的排斥心理。
上述僅為本發明較佳之實施例而已，並不對本發明進行任何限制。任何所屬技術領域的技術人員，在不脫離本發明的技術手段的範圍內，對本發明揭露的技術手段和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術手段的內容，仍屬於本發明的保護範圍之內。
10‧‧‧大氣電漿設備
20‧‧‧電源供應器
30‧‧‧電極元件
22‧‧‧高壓端
24‧‧‧低壓端
32‧‧‧第一透明絕緣基板
34‧‧‧第一透明電極圖案
36‧‧‧第二透明電極圖案
38‧‧‧第二透明絕緣基板
T1‧‧‧第一厚度
32a‧‧‧上表面
T2‧‧‧第二厚度
341,361‧‧‧電源連接區
342‧‧‧第一條狀透明電極
362‧‧‧第二條狀透明電極
G1‧‧‧間隙
W1,W2‧‧‧寬度
39‧‧‧粘著層

Claims (7)

  1. 一種用於產生大面積電漿之電極元件，包括：一第一透明絕緣基板，具有一第一厚度；一第一透明電極圖案，形成於該第一透明絕緣基板之一上表面；一第二透明電極圖案，形成於該上表面，且該第一透明電極圖案與該第二透明電極圖案間具有一間隙；以及一第二透明絕緣基板，具有一第二厚度，且覆蓋該第一透明電極圖案與該第二透明電極圖案；其中，該第一厚度大於該第二厚度，以產生大面積電漿於該第二透明絕緣基板上方。
  2. 如申請專利範圍第1項之電極元件，其中，該第一透明絕緣基板與該第二透明絕緣基板係石英玻璃基板。
  3. 如申請專利範圍第1項之電極元件，其中，該第一透明電極圖案與該第二透明電極圖案係由氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)或氧化銦鎵鋅(IGZO)構成。
  4. 如申請專利範圍第1項之電極元件，其中，該第一透明電極圖案或該第二透明電極圖案之一厚度小於該第二厚度。
  5. 如申請專利範圍第1項之電極元件，其中，該間隙係介於0.8~1.2mm。
  6. 如申請專利範圍第1項之電極元件，其中， 該第一透明電極圖案包括一第一螺旋透明電極，該第二透明電極圖案包括一第二螺旋透明電極，該第一螺旋透明電極與該第二螺旋透明電極係互相纏繞。
  7. 如申請專利範圍第1項之電極元件，其中，該第一透明電極圖案包括複數個第一條狀透明電極，該第二透明電極圖案包括複數個第二條狀透明電極，該些第一條狀透明電極與該些第二條狀透明電極係交替排列於該上表面。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI736395B (zh) * 2020-08-18 2021-08-11 明志科技大學 藉由電漿智慧窗戶對環境空氣進行殺菌的方法
US11752233B2 (en) 2019-08-28 2023-09-12 Ming Chi University Of Technology Method for sterilizing ambient air using plasma-based smart window

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200739661A (en) * 2005-08-19 2007-10-16 Saint Gobain Coplanar-discharge flat UV lamp and uses
US9226790B2 (en) * 2011-02-01 2016-01-05 M.O.E. Medical Devices Llc Plasma-assisted skin treatment
US20160331989A1 (en) * 2015-05-14 2016-11-17 Kwangwoon University Industry-Academic Collaboration Foundation Plasma Pad
KR101917929B1 (ko) * 2016-11-21 2018-11-12 광운대학교 산학협력단 플라즈마 패드―키트 시스템

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5871589A (ja) * 1981-10-22 1983-04-28 シャープ株式会社 薄膜ｅｌ素子
JPS62194224A (ja) * 1986-02-20 1987-08-26 Sharp Corp ツイステツド・ネマチツク型液晶表示素子
US6771239B1 (en) * 1999-05-17 2004-08-03 Seiko Epson Corporation Method for manufacturing an active matrix substrate
KR100467692B1 (ko) * 2002-04-18 2005-01-24 삼성에스디아이 주식회사 디스플레이 유지 펄스의 폭이 변하는 플라즈마 디스플레이패널의 구동 방법
JP2004062152A (ja) * 2002-06-03 2004-02-26 Sharp Corp 双方向二端子素子を用いた表示装置およびその製造方法
JP4556407B2 (ja) * 2002-10-04 2010-10-06 住友金属鉱山株式会社 酸化物透明電極膜とその製造方法、透明導電性基材、太陽電池および光検出素子
EP1597942A4 (en) * 2003-01-09 2006-11-08 Zhengkai Yin ELECTROLUMINESCENCE WIRE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
US7815922B2 (en) * 2004-05-14 2010-10-19 Becton, Dickinson And Company Articles having bioactive surfaces and solvent-free methods of preparation thereof
CA2605650A1 (en) * 2005-04-25 2006-11-02 Drexel University Methods for non-thermal application of gas plasma to living tissue
US8169589B2 (en) * 2008-03-18 2012-05-01 Symbol Technologies, Inc. Adaptive focusing using liquid crystal zone plates in electro-optical readers
WO2010107722A1 (en) * 2009-03-16 2010-09-23 Drexel University Tubular floating electrode dielectric barrier discharge for applications in sterilization and tissue bonding
EP2352180A1 (en) * 2009-07-13 2011-08-03 Sanyo Electric Co., Ltd. Thin film solar cell and method for manufacturing same
TW201132368A (en) 2010-03-24 2011-10-01 Chen Chang Technology Co Ltd Door and window air-cleaning device
US8920361B2 (en) * 2011-04-05 2014-12-30 The Texas A&M University System Plasma treatment and plasma enhanced chemical vapor deposition onto temperature sensitive biological materials
JP5626899B2 (ja) * 2011-05-17 2014-11-19 株式会社日立製作所 大気圧プラズマ処理装置
KR101830170B1 (ko) * 2011-05-17 2018-02-21 삼성디스플레이 주식회사 산화물 반도체 소자, 산화물 반도체 소자의 제조 방법, 산화물 반도체소자를 포함하는 표시 장치 및 산화물 반도체 소자를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
GB201110282D0 (en) * 2011-06-17 2011-08-03 Linde Ag Device for providing a flow of plasma
TW201341914A (zh) * 2012-04-09 2013-10-16 Wintek Corp 立體顯示裝置及其主動式光學元件
JP6119742B2 (ja) * 2012-04-23 2017-04-26 コニカミノルタ株式会社 透明電極、透明電極の製造方法、電子デバイス、および有機電界発光素子
US9632640B2 (en) * 2012-07-03 2017-04-25 Fujifilm Corporation Transparent laminate, capacitance type input device, and image display device
ITBO20120612A1 (it) * 2012-11-07 2014-05-08 Veneto Nanotech S C P A Procedimento per il trattamento di un substrato in fibre e macchina per attuare tale procedimento.
GB2509063A (en) * 2012-12-18 2014-06-25 Linde Ag Plasma device with earth electrode
US10069099B2 (en) * 2013-06-06 2018-09-04 Konica Minolta, Inc Organic electroluminescence element
JP2016018482A (ja) * 2014-07-10 2016-02-01 日東電工株式会社 電極パターン作製用積層体、その製造方法、タッチパネル用基板および画像表示装置
CN104201188B (zh) * 2014-08-22 2017-07-25 京东方科技集团股份有限公司 Oled像素单元及其制备方法、显示面板和显示装置
CN107250429B (zh) * 2015-02-18 2020-08-14 株式会社尼康 薄膜制造装置和薄膜制造方法
JPWO2017056797A1 (ja) * 2015-09-30 2018-07-19 コニカミノルタ株式会社 透明有機エレクトロルミネッセンス素子
US10209840B2 (en) * 2016-04-20 2019-02-19 Lg Innotek Co., Ltd. Touch window and touch device
CN109564488B (zh) * 2016-08-18 2022-02-01 富士胶片株式会社 导电性薄膜及触摸面板
JP6799140B2 (ja) * 2017-03-06 2020-12-09 富士フイルム株式会社 導電性部材およびタッチパネル
US10459308B2 (en) * 2018-01-29 2019-10-29 Furcifer Inc. Method and system of self-contained and self-powered controller
CN112136366B (zh) * 2018-03-23 2024-04-09 冷等离子技术有限公司 等离子体施加器
TWI694748B (zh) 2019-08-28 2020-05-21 明志科技大學 用以產生大面積電漿之電極元件

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200739661A (en) * 2005-08-19 2007-10-16 Saint Gobain Coplanar-discharge flat UV lamp and uses
US9226790B2 (en) * 2011-02-01 2016-01-05 M.O.E. Medical Devices Llc Plasma-assisted skin treatment
US20160331989A1 (en) * 2015-05-14 2016-11-17 Kwangwoon University Industry-Academic Collaboration Foundation Plasma Pad
KR101917929B1 (ko) * 2016-11-21 2018-11-12 광운대학교 산학협력단 플라즈마 패드―키트 시스템

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11752233B2 (en) 2019-08-28 2023-09-12 Ming Chi University Of Technology Method for sterilizing ambient air using plasma-based smart window
TWI736395B (zh) * 2020-08-18 2021-08-11 明志科技大學 藉由電漿智慧窗戶對環境空氣進行殺菌的方法

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Publication number Publication date
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