CN105008991B - 用于提供液晶显示面板的偏振补偿的多谱激光修复的系统和方法 - Google Patents

Abstract

公开了一种用于修复包括偏振膜的液晶显示面板的系统。所述系统包括激光修复光学系统、测量光学系统和处理器。所述激光修复光学系统包括偏振单元，其用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振。所述测量光学系统包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源和用于检测反射的测量照明的检测器。所述处理器响应于所述反射的测量照明而调整所述偏振单元。

Description

用于提供液晶显示面板的偏振补偿的多谱激光修复的系统和 方法

优先权

本申请要求于2013年3月11日提交的美国实用申请序列号第13/793,190号的优先权，该申请的全部内容和主旨通过引用的方式全文并入。

背景技术

本发明通常涉及包括离散电路阵列的电子设备的激光修复，在离散电路存在缺陷的事件中，电子设备中的任何一个可被隔离。且具体而言，本发明涉及液晶显示面板的修复。

液晶显示器(LCD)面板通常可包括夹在玻璃片结构之间的液晶层，玻璃片结构中的一个包括位于基本透明的电极层中的晶体管元件阵列(其具有信号线和栅极线)。另一玻璃片结构通常包括形成彩色显示像素的大量的彩色滤光片组(例如，红绿色和蓝色)。

已知独立的晶体管元件在制造时可能存在缺陷。所述缺陷可能导致像素甚至在其被打开时保持为暗，或在将电力施加到显示面板而关闭像素时，可能导致像素保持明亮。还已知，暗像素并非重大的问题，因为人眼将可能不会注意到整个面板中无法打开的微小像素。另一方面，明亮像素在其预期变暗时是十分显而易见的。许多程序已被开发用于尝试减少或消除明亮像素缺陷。

例如，美国专利第6,812,992、7,502,094和7,755,380号通常公开了使用激光辐射以减少受损像素的彩色滤光片的透光率。美国专利申请第5,142,386号公开了使用激光辐射以扰乱液晶分子的定向，并且 使受损像素的彩色滤光片变黑。其它技术涉及与待修复的像素相关联的晶体管元件的切割导电部分。

美国专利第7,636,148号公开了使用被涂覆在设备的暴露外表面上的修复膜(透明的有机膜)，其中在应用相关联的激光辐射时，修复膜被特别设计成不透明。美国专利第7,697,108号公开了通过以下方式使受损像素变暗：1)在与缺陷像素对准的外基板中形成凹陷，2)将UV固化树脂沉积于凹陷中，以及3)使用紫外线辐射照射该树脂。

独立的像素(例如，由彩色滤光片定义)不会彼此接触，但是通常各自均被黑矩阵材料包围。美国专利申请第2009/0141231号公开了通过以下方式使受损像素变暗：将激光辐射应用到黑矩阵的部分以使黑矩阵颗粒分散在色素层与上部基板之间，从而遮挡像素。引用还公开了使用UV辐射来破坏相关联的对准层，以使液晶分子变得不对准。

还已知，将激光辐射应用到像素内的膜可导致气泡形成，所述气泡可迁移到折衷邻近像素的功能的液晶面板的其它区域。例如，美国专利申请公开第2006/0087321号公开了使用激光辐射来中断受损像素的对准膜，并且进一步公开了控制激光的重复率以备由辐射形成的任何气泡正好被另一激光光束靶向。引用公开了当第二激光能量命中包括这种气泡的像素时，激光照明能量几乎被对准膜吸收，导致它们被蒸发。蒸发的成分被公开成在气泡内漂移，并最终沉淀成暗膜，从而减少通过的光量。

许多液晶显示器包括位于显示设备的至少外表面上的偏振膜或片。偏振膜或片提供了期望的显示查看功能，并且可包括在膜或片的不同部分处的各种偏振定向。在采用位于设备的外表面上的偏振膜或片的设备中，像素修复过程更为复杂，因为不同的偏振定向将会导致不同量的偏振激光能量被应用到缺陷像素。

虽然许多程序已被开发用于使液晶显示器中的缺陷像素变暗，但 是仍需要克服常规方法的以下缺点的此类系统和方法：诸如例如，在液晶分子被扰乱时难以管理截留的气泡，以及当在液晶显示器中采用偏振膜时难以执行处理步骤。

发明内容

根据实施方案，本发明提供了一种用于修复包括顶部偏振膜的液晶显示面板的LCD修复系统。LCD修复系统包括激光修复光学系统、测量光学系统和处理器。激光修复光学系统包括偏振单元，其用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振。测量光学系统包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源和用于检测反射的测量照明的检测器。处理器响应于反射的测量照明调整偏振单元。

根据另一实施方案，本发明提供一种用于修复包括偏振膜的液晶显示面板的LCD修复系统，其中LCD修复系统包括激光修复光学系统、处理器和测量光学系统。激光修复光学系统包括偏振单元，其用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振。处理器确定激光修复光束的最优偏振以在工件处提供期望的激光能量。测量光学系统包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源和用于检测反射的测量照明的检测器。处理器响应于激光修复光束的最优偏振而确定对偏振单元的调整，以在工件处提供期望的能量和所述反射的测量照明。

根据另一实施方案，本发明提供了一种修复LCD显示器的方法。该方法包括以下步骤：提供激光修复光学系统，其包括用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振的偏振单元；确定激光修复光束的最优偏振，以在工件处提供期望的激光能量；提供测量光学系统，其包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源；检测反射的测量照明；以及响应于最优偏振而确定对偏振单元的调整，以在工件处提供期望的能量和反射的测量照明。

附图说明

可参考附图进一步理解以下描述，其中：

图1示出根据本发明的实施方案的其中可采用修复系统和过程的液晶显示器的说明性图解局部横截面视图；

图2示出液晶显示面板的说明性图解平面视图，示出三个彩色滤光片、有缺陷地保持暗的一个像素和有缺陷地保持明亮的一个像素；

图3A至图3C示出在激光修复光束被采用来使所选择的像素变暗的三个时间点处的液晶显示面板的部分的说明性图解平面视图，以及图3D和图3E示出当黑矩阵的部分被采用来使所选择的彩色滤光片变暗时的液晶显示面板的部分的说明性图解视图；

图4示出根据本发明的实施方案的拱架系统的说明性图解示意图；

图5示出根据本发明的实施方案的光学修复头的说明性图解示意图；

图6示出根据本发明的实施方案的的采用固定偏振器的系统的说明性图解示意图；

图7示出根据本发明的实施方案的系统的光学总成的说明性图解示意图；

图8示出根据本发明的实施方案的采用可变偏振器的系统的说明性图解示意图；

图9示出其中在非同轴环境中采用检测器的本发明的系统的说明性图解示意图；

图10示出其中在同轴环境中采用检测器的本发明的进一步实施方案的系统的说明性图解示意图；

图11示出根据本发明的实施方案的偏振轴测量过程的说明性图解流程图；

图12示出根据包括偏振层的本发明的实施方案的用于修复的液晶显示器的说明性图解平面视图；

图13示出根据本发明的实施方案的用于识别测量位置的过程的说明性图解流程图；

图14示出根据本发明的测量过程的测量反射的说明性图解平面视图；

图15示出根据本发明的实施方案的测量过程的说明性图解流程图；

图16示出根据非校准能量实施方案的修复过程的说明性图解流程图；

图17示出根据实施方案的说明性图解相对于偏振的输出能量的校准过程；

图18示出在经校准能量实施方案中的说明性图解修复过程；以及

图19示出根据本发明的实施方案的系统的控制系统的说明性图解示意图。

附图仅被示出用于说明目的。

具体实施方式

液晶显示器(LCD)为具有不同的功能层的夹心结构，其通常包括顶部偏振器、彩色滤光片阵列、液晶、底部偏振器和照明器。偏振器中的每一个具有与通过相应的偏振器传输的光的偏振轴对应的偏 振轴。控制液晶以在顶部偏振器与底部偏振器之间旋转光的偏振轴，且因此控制光通过LCD的传输。

如图1中示出，LCD可包括液晶层12；多个彩色滤光片14a、14b、14c和14d；透明的电极层，其包括独立的晶体管元件16a、16b、16c和16d；顶部偏振膜18；底部偏振膜20和照明面板22。彩色滤光片被提供为每组三个，例如，其中彩色滤光片14a和14d为红色，彩色滤光片14b为绿色，且彩色滤光片14c为蓝色。如在图2中进一步示出，可在黑塑性材料的矩阵24内提供彩色滤光片的阵列，以最小化不期望的光的传输。如此处使用，术语像素可指代与电极层的一个或多个晶体管元件和/或一个或多个彩色滤光片相关联的像素，其中显示器为彩色显示器。

如在图2中示出，显示器可包括具有缺陷的像素。例如，与彩色滤光片14x相关联的像素被示出为发射不期望的光(明亮像素缺陷)，以及与彩色滤光片14y相关联的像素被示出为不发射期望光(暗像素缺陷)。

例如，将通过使展现明亮像素缺陷的像素变暗而修复明亮像素缺陷。修复可能需要照射LCD的一部分以改变材料特性，从而减少通过明亮像素缺陷区域的照明的量。如上讨论，已知各种基于激光的修复技术，例如，切割导电元件来修复或禁用像素功能以及通过激光辐射直接或间接使彩色滤光片材料变暗。

如示出，例如，在图3A至图3C中，可通过将激光辐射以预定扫描模式直接应用到彩色滤光片14x而使与明亮像素缺陷相关联的彩色滤光片14x变暗。在另一实施方案中，可通过以下方式使彩色滤光片变暗：应用激光辐射以修改包围彩色滤光片14x的黑矩阵材料24，如图3D中示出，且随后(使用经扫描的激光)将被扰乱的黑矩阵材料分散在彩色滤光片上，如图3E中示出。对激光修复程序的替代物可包括机械操作，诸如对明亮缺陷涂墨。

如在图4中示出，拱架30将光学修复头34部分地承载在工件(LCD 44)上方，如在A处示出，并且将修复头定位在需要修复的缺陷像素上方。其它众所周知的定位系统(诸如堆叠和分裂阶段)可替代地用于将光学修复头定位在缺陷像素上方。相对运动的范围可在几百毫米到大于1米。可期望，相对运动的范围将继续增加以适应更大的面板和可用的母玻璃基板的尺寸。例如，当前的母玻璃的尺寸范围从第一代300mm×400mm到第10代2850mm×3050mm。光学头的功能极大地取决于LCD面板上的运动的范围，虽然大基板的许多修复受益于快速修复和增加的吞吐量。

如图5中示出，激光修复光学系统包括激光系统46、旋转式半波片32、分束器38、40和物镜48。测量光学系统包括照明器42、分束器38、40、物镜48、检测器36和视频设备50。光学路径在分束器38与工件之间一致，并且两个光学路径被引向工件支撑结构，该工件支撑结构承载将使用激光系统46的输出来修复的LCD面板44。照明器42提供从工件的一部分反射的照明，并且检测器36从反射中确定工件上的偏振层的所述部分的偏振。光学子系统包括至少一个高放大率成像系统50，以用于查看像素结构。

激光子系统包括用于通过照射LCD而处理缺陷元件的激光系统。成像系统视场包括彩色滤光片阵列和某个非彩色滤光片区域的至少一部分。优选地，成像系统包括颜色校正的成像物镜(诸如显微镜物镜)，以向图像传感器(诸如，摄像机)提供图像并输出图像信号、待处理的原始图像文件或经处理的图像文件。成像系统还包括图像处理能力(诸如模式匹配或像素取平均)，并且可输出经处理的图像或计算出的图像值。成像系统还可包括其它众所周知的成像元件(诸如，中继透镜或管透镜)，以向具有预定放大率和分辨率的摄像机提供聚焦图像。优选地，成像系统还包括同轴的照明器，以照亮顶部的视场。可使用其它类型的照明，诸如离轴顶部照明或从LCD的底部向上传输的照明。

激光系统46包括产生合适的修复光束的一个或多个激光源。一般而言，在多谱实施方案中，多个波长用于执行不同的修复任务，诸如使阵列中的不同颜色的子像素变暗。例如，绿色的激光输出(例如，515nm)可用于照射红色滤光片和/或切割电数据线，以及红色的激光输出(例如，1030nnm)可用于照射绿色和蓝色滤光片。在一些实施方案中，可在某些应用中采用UV输出(例如，343nm)。为了方便起见，激光输出被称为修复光束，但是将理解，这可为单个波长激光光束、多个波长处的多个激光光束和具有不同功率和脉冲特性的激光光束，例如，红外激光、紫外激光和超短波脉冲激光，只要激光输出传输通过物镜透镜以照射LCD。激光输出可由被控制来改变输出特性的单个激光或具有被组合成修复光束的不同输出特性的多个激光产生。

激光修复光束被指引撞击成像系统的视场内的工件。优选地，为了将修复光束指引到工件，可控制地偏转修复光束以在偏转场内的工件上提供随机访问。例如，在至少一个实施方案中，可使用不同类型的光学偏转器，如在图6中示出，偏转器是二轴声光光束偏转器(AOBD)，其包括X轴AOBD偏转器56和Y轴AOBD偏转器58。光束偏转的各个方面在美国专利申请公开案第2011/0210105号中描述，该申请的全部内容据此以引用的方式全文并入。AOBD提供快光束定位和激光脉冲能量控制；在一些情况下，偏转以逐个脉冲为基础。

然后，激光修复光束在到达LCD显示器44之前传递通过中继光学系统60。偏转场内的偏转扫描模式62可在单次扫描或在多次扫描中照射一个或多个子像素的区域。具体模式可与被照射的特定材料相关联，并且可以是(例如)激光、抖动或扩散模式。照射方案(regimen)包括受控的激光输出特性和偏转模式，所述偏转模式可从(例如)识别所获取的图像中的偏转而确定。

激光参数和偏转模式的组合可被电存储，并被检索以基于所获取的图像使用。可使用其它类型的偏转器，包括检流计扫描仪、高速转 向反射镜等。这些基于反射镜的偏转器具有偏转角度独立于波长和较大的扫描角度的优点，然而，声光偏转器在不具有附加调制器的情况下在扫描场内提供更快速的随机访问和能量控制。在进一步的应用中，其它类型的偏转器可包括声光偏转器。

当采用包括(例如)447nm(针对三倍频1343(蓝色))和671nm波长的多谱输出，每个波长可使用不同组的光学扫描仪来偏转或可使用单组多轴偏转器来偏转，所述单个多轴偏转器被设计成在多个激光波长处操作。在所述组中的每个偏转器可以是AOBD，AOBD针对每个波长具有不同中心频率，使得每个波长的中心偏转角度在预定容差内，诸如4mrad或小于最优衍射效率的至少70％和大约37mrad的衍射角度扫描。AOBD的优点是可获得光束能量(与AOM相同)的非常精细的能量控制以及偏转。进一步地，精细的能量控制对于能够设定非常低级别、非破坏性的测量光束以及设置处理能量是至关重要的。合适的TeO₂设备可从(例如)英国的萨默塞特Gooch&HousegoPLC(以前是液晶技术有限公司)购得。

激光系统包括至少一个光学元件，以修改修复光束的偏振状态。偏振被修改以增加通过顶部偏振器到工件的耦合。在一些情况下，取决于线性偏振的修复光束和顶部偏振器的相对定向，圆形偏振器修改修复光束以增加耦合。

如在图6中示出，例如，在实施方案中，光源42可在到达工件54之前向圆形偏振器52提供照明。因为在这种情况下，经修改的偏振被设计为圆形，所以经修改的光束因此对LCD顶部偏振器的定向不敏感，以及圆形偏振应将均匀的能量传输到彩色滤光片，而不考虑顶部偏振器轴中的定向误差。

在实践中，光束可能不被完全偏振，且圆形偏振可以是不纯的(例如，椭圆的)，这导致随顶部偏振的定向而变化的能量耦合。例如，耦合可变化多达10％，即使在光束路径中存在圆形偏振器。进一步地， 圆形偏振可能不会完全优化能量到位于顶部偏振器下面的LCD结构的耦合。即使圆形偏振是理想的，且在顶部偏振器的变化定向的情况下，能量传输是均匀的，但是大约一半能量将在顶部偏振器中被吸收，从而降低了待处理的底层结构处的处理能量。此外，在顶部偏振器中吸收的能量可能会造成损坏。这些影响可将处理能量窗口限于不期望的级别。

当线性偏振的修复光束轮流对准到顶部偏振器时(如在图8中示出)，能量耦合可增加，其中来自光源42的激光输出在到达工件54之前被偏振旋转器64调整。当顶部偏振器轴的对准足够精确时，处理光束线性偏振可被相应地对准以供处理。可使用可在激光路径中旋转的半波片完成偏振旋转。对于多谱系统，每个激光光束可独立地随特定于波长的半波片旋转，或共享光学路径的不同光束可使用消色差的波片旋转。在每一种情况下，零阶波片优先于多阶波片。替代地使用其它已知的偏振旋转技术，线性偏振可被修改成与顶部偏振器轴对准。

已知线性偏振可以半波片的角度的两倍来旋转。因此，偏振旋转360度可使用机械旋转180度来实现。在一些情况下，偏振范围可以是180度(机械旋转90度)。技术人员将明白，可使用替代的偏振旋转器，诸如图像旋转器、普克尔斯盒等。各种类型的已知控制电子设备可被用来驱动制动器并机械地旋转偏振或驱动用于固态偏振旋转的其它类型的光学或电光偏振旋转器。

对顶部偏振器的偏振轴的定向控制不佳，并且轴定向可能甚至在工件上各不相同。所产生的定向误差可能为几十度。与预定标称定向的静态对准或对准因此可导致实质上的定向误差，且因此，导致限制激光修复过程的有效性的能量耦合误差。鉴于这些限制，在标称的线性偏振器定向中，应明白，与顶部偏振器的实际偏振轴对准的线性偏振的修复光束可提高一个或多个修复位置的耦合。

为了局部地优化偏振对准，顶部滤波器偏振轴的测量被用作参考，以最小化偏振对准误差并最大化更有效的修复程序的能量耦合。此外，快速测量优先提供高的吞吐量。在如图9中示出的至少一个实施方案中，光学修复头包括用于检测从(图8的)工件54反射回的照明的检测器66，并且对偏振旋转器64的调整被自动控制。

再者，参考图9，所反射的光可传播到与入射激光处理光束轴同轴的检测器，且回程反射路径随后(例如)与分束器38分离，并被指向检测器36。在图10中示意性描绘的另一实例中，检测器36接收与处理光束的轴成角度的非同轴的反射光。这种布置可用于消除来自激光处理光束轴的光学路径的一个或多个分束器。最大化从LCD的反射与修复光束偏振轴和顶部滤波器偏振轴的对准对应。据信，这主要由于顶部滤波器中的最小化的吸收而导致的。

参考图11，偏振测量过程开始(步骤70)于加载工件(步骤72)，并且测量激光源被设置成非破坏性的(步骤74)。光束被引向工件上的测量位置(步骤76)，测量光束的偏振定向被设置在定向的范围内(步骤78)，并且通过相对定向的范围来测量来自工件的反射(步骤80)。最大化的反射从所获取的数据和该定向集确定(步骤82)，并且用于测量位置处或附近的后续修复程序。测量过程随后结束(步骤84)。测量源可以是被设置为非破坏性的激光修复光束源，但是测量源可以是附加的专用光源。

在光束偏转器的视场内，不同的材料位于顶部偏振器下面，如在图12中的86处示出。除了上文参考图2讨论的彩色滤光片之外，图12还图解地示出具有偏振88的线的偏振膜。对于偏振轴的测量，可在关注区域中选择具有相对高的反射比的材料作为反射器，以用于测量。换言之，区域90可为被分布在设备上的许多反射器区域中的一个。如在90处示出，黑矩阵24的区域被选择用于偏振测量。

参考图13，过程开始(步骤110)于打开照明(步骤102)，获 取LCD的图像(步骤104)，并且在偏转器的视场内识别用于测量的优选材料的位置(步骤106)。例如，该位置可使用图像处理技术来确定，或可由操作员手动或半自动执行。在识别测量位置之后，关闭照明(步骤108)以进行后续测量，并且过程结束(步骤110)。

如在图14中图解地示出，对测量区域120的照射可产生不期望的反射124，其降低期望的反射122的测量精确性。掩模126可因此被采用来隔离关注区域。参考图15，该测量过程开始(步骤130)如下：打开非破坏性的偏振测试光束(步骤132)；设置偏振旋转(步骤134)；获取图像(步骤136)；以及遮蔽关注区域(步骤138)。遮蔽关注区域的步骤可能涉及基于期望的测量反射和待排除的不想要的反射来包围测量位置。例如，像素强度可仅被整合在关注区域上，而非整个图像帧，并且多个测量可被用作样本平均数来提高测量精确性。具体而言，在测量光束强度(步骤140)之后，过程确定是否应对更多数据取平均(步骤142)，并且如果是，则过程返回到步骤136，如示出。

在图像处理期间执行这种类型的空间滤波，其中外来的反射被自动遮蔽。当没有更多的数据被确定需要用于取平均时(步骤142)，过程存储强度数据(步骤144)，并且返回到步骤134，除非测量角度是待测量的最后一个测量角度(步骤146)，在这种情况下，过程结束(步骤148)。在检测以确保检测器未饱和之前可调整激光输出能量和/或检测器增益，并且通常背景照明将被最小化以用于精确测量。例如，可在测量之前关闭场照明器。

检测器可以是摄像机，但是也可在适当的位置处使用对从工件反射回的反射激光辐射敏感的其它类型的检测器，或者除了摄像机之外，例如，附加的检测器也可提高对反射光的测量敏感度。检测器摄像机还可用于对准工件，或第二专用摄像机可用于提高的吞吐量或测量精确度。

参考图16，在非校准能量实施方案中，过程开始(步骤150)于测量工件偏振轴(步骤152)。然后设置光束偏振定向(步骤154)，并且将能量递送到工件(步骤156)。基于反射来确定/测量顶部偏振器的定向，并且随后将修复光束调整为与顶部偏振器对准。然后，将修复光束递送到工件(步骤156)，并且过程结束(步骤158)。可在每个修复位置处执行偏振测量和对准，以克服顶部滤波器偏振轴的可变性并且在每个修复位置提供最优的能量耦合。

当测量的偏振被旋转时，被引向工件表面的输出的能量应是稳定的，例如，设备应被警告且热稳固。然而，输出可由于光束路径元件(诸如分束器和折叠式反射镜)的偏振敏感度而变化。当偏振被旋转时，该输出误差将导致测量误差和修复能量设置误差。参考图17，校准程序可考虑输出能量和偏振。过程开始(步骤160)于设置标称激光参数(步骤162)，并且设置偏振范围和分辨率(步骤164)。然后，通过偏振旋转的范围来测量激光输出，并且测量变化(步骤166)，以及计算出能量校正值(步骤168)以产生输出校准表(步骤170)。随后，过程结束(步骤172)。可在工件表面使用功率计和能量计测量激光输出。检测器可紧靠工件的平面处或附近的基板，如(例如)在美国专利第6,501,061中公开，该专利的公开内容据此以引用的方式全文并入。

参考图18，可在补偿修复过程中采用经校准的能量值，该过程开始(步骤180)于相对于偏振校准递送的输出能量(步骤182)，如上文参考图16讨论。然后，测量工件偏振轴(步骤184)，然后设置光束偏振(步骤186)，并且随后将经校准的能量递送到工件(步骤188)。过程随后结束(步骤190)。因此，将校准应用到测量光束，以为偏振轴测量提供经校准的能量。相应地，设置修复程序的偏振定向，并且将经校准的能量递送到工件。以此方式，传输被最大化，因为重要的是，不太多的能量被吸收到偏振器。此外，一致的(以及正确的)能量被传输并递送到彩色滤光片以用于激光修复，因为过程窗口通常是狭窄的，并且非常谨慎地确定使彩色滤光片变暗的实际最优 能量，以避免对LCD造成不期望的损坏。对于校准和测量步骤，优选的是，激光将稳定一段预定时间。

如在图19中示出，控制系统可包括计算机(诸如个人计算机200)，其耦合到USB供电集线器202，这进而耦合到Isomet iHHS控制器204、激光系统206(经由RS 232转换器)、用于671nm修复光束208的快门、用于447nm修复光束210的快门、偏振旋转器214和功率计216，诸如由加利福尼亚圣克拉拉的Coherent出售的Coherent Powermax UV/VIS功率计。

本领域的技术人员将明白，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可对上述所公开的实施方案做出许多修改和变化。

Claims (19)

1.一种用于修复包括偏振膜的液晶显示面板的LCD修复系统，所述系统包括：

激光修复光学系统，其包括用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振的偏振单元；

测量光学系统，其包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源和用于检测反射的测量照明以及根据所检测到的测量照明确定所述偏振膜的偏振的检测器；和

处理器，其用于足以将所述激光修复光束的偏振对准于所述偏振膜的偏振而确定对所述偏振单元的调整。

2.根据权利要求1所述的LCD修复系统，其中所述LCD修复系统还包括用于在多个波长处提供激光输出的激光源。

3.根据权利要求1所述的LCD修复系统，其中所述激光输出路径和所述测量照明路径对于所述激光输出路径和所述测量照明路径中的至少一部分而言是同轴的。

4.根据权利要求1所述的LCD修复系统，其中所述偏振单元为可旋转的1/2半波片。

5.根据权利要求1所述的LCD修复系统，其中所述激光输出路径包括X轴AOBD和Y轴AOBD。

6.根据权利要求1所述的LCD修复系统，其中所述处理器包括能量校准表，其具有针对不同偏振的能量校正值。

7.根据权利要求1所述的LCD修复系统，其中所述LCD修复系统包括校准装置，其用于确定所述激光修复光束的期望偏振以在所述工件处提供期望的激光能量。

8.一种用于修复包括偏振膜的液晶显示面板的LCD修复系统，所述系统包括：

激光修复光学系统，其包括用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振的偏振单元；

处理器，其用于确定所述激光修复光束的期望偏振以在所述工件处提供期望的激光能量；

测量光学系统，其包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源和用于检测反射的测量照明以及根据所检测到的测量照明确定所述偏振膜的偏振的检测器；且

其中所述处理器确定对所述偏振单元的调整以达成所述期望偏振以及所述偏振膜的被确定的偏振。

9.根据权利要求8所述的LCD修复系统，其中所述LCD修复系统还包括用于在多个波长处提供激光输出的激光源。

10.根据权利要求8所述的LCD修复系统，其中所述激光输出路径和所述测量照明路径对于所述激光输出路径和所述测量照明路径中的至少一部分而言是同轴的。

11.根据权利要求8所述的LCD修复系统，其中所述偏振单元为可旋转的1/2半波片。

12.根据权利要求8所述的LCD修复系统，其中所述激光输出路径包括X轴AOBD和Y轴AOBD。

13.根据权利要求8所述的LCD修复系统，其中所述处理器包括能量校准表，其具有针对不同偏振的能量校正值。

14.一种用于修复包括偏振膜的LCD显示器的方法，所述方法包括以下步骤：

提供激光修复光学系统，其包括用于修改沿被引向工件的激光输出路径的激光修复光束的偏振的偏振单元；

确定所述激光修复光束的期望偏振以在所述工件处提供期望的激光能量；

提供测量光学系统，其包括用于沿测量照明路径提供测量照明的照明源；

检测反射的测量照明并且根据所检测的反射的测量照明以确定所述偏振膜的偏振；以及

确定对所述偏振单元的调整以达成所述期望偏振以及所述偏振膜的被确定的偏振。

15.根据权利要求14所述的用于修复LCD显示器的方法，其中所述方法还包括在多个波长处提供激光输出的步骤。

16.根据权利要求14所述的用于修复LCD显示器的方法，其中所述激光输出路径和所述测量照明路径对于所述激光输出路径和所述测量照明路径中的至少一部分而言是同轴的。

17.根据权利要求14所述的用于修复LCD显示器的方法，其中所述偏振单元为可旋转的1/2半波片。

18.根据权利要求14所述的用于修复LCD显示器的方法，其中所述激光输出路径包括X轴AOBD和Y轴AOBD。

19.根据权利要求14所述的用于修复LCD显示器的方法，其中为了达成所述期望偏振以及所述偏振膜的被确定的偏振而确定对所述偏振单元的调整，在所述工件处提供期望的能量和检测所述反射的测量照明的所述步骤涉及：访问具有针对不同偏振的能量校正值的能量校准表。