JP3185906U - 電子機器用検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査ヘッドと、駆動電子機器とを有する。検査ヘッドは、光電モジュレータ207と、光電モジュレータ207に印加されるバイアス電圧パターンを生成するバイアス電圧源と、光電モジュレータ207を照射するための光パルスを生成するための光源となる照明器210と、非テレセントリックレンズ201と、照射された光電モジュレータ画像を得るためのカメラ208とを有する。駆動電子機器は、被験の電子機器に電圧信号を印加するように構成され、照射されている光パルスは、光電モジュレータを照射する前は非テレセントリックレンズ201を通過しない。
【選択図】図2
Description
102 偏光板
104a 照明器アレイ
107 モジュレータ
108 カメラ
110 照明器
201 撮像レンズ
201 非テレセントリックレンズ
202 瞳
207 モジュレータ
208 カメラ
210 照明器
211 アポダイザ・拡散器・集光レンズ
212 集光レンズ
213 ビームスプリッタ
300 電圧撮像光システム
311 拡散器・集光レンズ
315 折畳ミラー
407 モジュレータ
413 ビームスプリッタ
500 電圧撮像光システム
510 長波長照明器
513 ビームスプリッタ
519 ライトシート
610 照射システム
623 短波長ライトシート
701 レンズ
702 瞳
721 反射集光器
800 電圧撮像光システム
801/808 カメラ
802 瞳
807 モジュレータ
900 電圧撮像光システム
901/908 カメラ
910 光照射システム
919 長波長ライトシート
1000 電圧撮像光システム
1001 レンズ
1002 レンズ瞳
1007 モジュレータ
1025 主光線
1027 照射光線
1029 主光線角度
1031 照射角度
1035 モジュレータグラスブロックサイド
1037 金属マウント
1107 モジュレータ
1127 照射光線
1135 モジュレータ側面
1137 金属マウント
1139 影領域
1201a レンズ
1201b レンズ
1207 モジュレータ
1214 ミラー
1215 ダイクロックビームスプリッタ
1317 メカニカルシャッター
1407a モジュレータ
1407b モジュレータ
1408 センサ
1415 標準ビームスプリッタ
1507a モジュレータ
1507b モジュレータ/ レンズ
Claims (30)
- 被験の電子機器を電気的に検査する検査装置であって、
検査ヘッドと、駆動電子機器とを有し、
該検査ヘッドは、光電モジュレータと、該光電モジュレータに印加されるバイアス電圧パターンを生成するバイアス電圧源と、該光電モジュレータを照射するための光パルスを生成するための光源と、非テレセントリックレンズアセンブリと、照射された該光電モジュレータ画像を得るためのカメラとを有し、
該駆動電子機器は、被験の電子機器に電圧信号を印加するように構成され、
照射されている該光パルスは、光電モジュレータを照射する前は非テレセントリックレンズアセンブリを通過しないことを特徴とする電子機器用検査装置。 - 折り畳みミラーを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- ビームスプリッタを更に備え、
該光源は、光発光ダイオード又は互いに波長が異なる複数の光発光ダイオードを有し、該光源はビームスプリッタと同一側に設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。 - ビームスプリッタをさらに備え、
該光源は、光発光ダイオード又は互いに波長が異なる複数の光発光ダイオードを有し、該光源はビームスプリッタとは反対側に設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。 - 該光源は、単一のまたはいくつかの波長の光を発生するように構成されたシート状の光照射体を有することを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 該非テレセントリックレンズアセンブリの入射瞳に該光源を結像させるための屈折性の集光レンズを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 楕円形状の屈折性の内面を有する集光レンズを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 屈折性のフレネル面を有する集光レンズを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 非球面形状の屈折性の内面を有する集光レンズを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 屈折性の集光レンズを更に備え、該光源は該集光レンズの内側の楕円面の第1軌跡に設けられて、該非テレセントリックレンズアセンブリの瞳と一致する第2軌跡に結像されることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 照射中の該光パルスの光路に設けられている拡散器、アポダイザ、又は集光レンズの少なくともいずれか一つを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 該光源は、光発光ダイオードを有することを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 該光源は、互いに異なる波長で動作する2個の光発光ダイオードを有する
ことを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。 - 照射中の光パルスを光電モジュレータに向かわせるためのビームスプリッタを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- レンズ瞳を更に備え、該光源が該レンズ瞳に結像されるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 該光源はシート状の光照射器を有し、該シート状の光照射器の後ろ側にはルーバが設けられ、該ルーバは、該光電モジュレータの直接の照射を避けるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- ミラースキャナを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- フレキシブルなビームスプリッタを更に備え、該ビームスプリッタの表面形状は、該光電モジュレータを照射している光の照射特性を最適化するために調節可能であることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 該光電モジュレータは、該非テレセントリックレンズアセンブリと該カメラに対して固定されていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- それぞれの場所の倍率を計算するための処理ユニットが更に設けられ、処理に際しては、照射された光電モジュレータの取得されている画像を用いることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- それぞれの場所の倍率を計算するための処理ユニットが更に設けられ、処理に際しては、線形変数差動変圧器(LVDT)の値を用いまた非テレセントリックの誤差を修正することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 線形変数差動変圧器(LVDT)の値計測モジュールを更に備え、非テレセントリックの誤差を最小化するために該光電モジュレータの鉛直方向の位置の調節を決定することを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 非テレセントリックの誤差を減少させるために、該非テレセントリックレンズアセンブリは、焦点距離が長いことを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 該非テレセントリックレンズアセンブリは、部分的にはテレセントリックであることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 該非テレセントリックレンズアセンブリは、複数の非テレセントリックレンズの列で構成され、該カメラは複数のカメラユニット列で構成され、該カメラユニット列における個々のカメラは、該非テレセントリックレンズ列の単一の非テレセントリックレンズに光学的に接続されていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 第2の非テレセントリックレンズアセンブリと、レンズスイッチ機構とが更に設けられ、該第2の非テレセントリックレンズアセンブリは、該非テレセントリックレンズアセンブリとは異なる倍率を有し、該レンズスイッチ機構は、該検査ヘッドの光路において、該非テレセントリックレンズアセンブリを該第2の非テレセントリックレンズアセンブリと交換するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 第2の非テレセントリックレンズアセンブリと、光路スイッチ機構とが更に設けられ、該第2の非テレセントリックレンズアセンブリは、該非テレセントリックレンズアセンブリとは異なる倍率を有し、該光路スイッチ機構は、該非テレセントリックレンズアセンブリか又は該第2の非テレセントリックレンズアセンブリのいずれかを含めるために、該検査ヘッドの光路を変更するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 第2の光電モジュレータとスイッチ機構とを更に備え、該第2の光電モジュレータは、該光電モジュレータとは異なる大きさであり、該スイッチ機構は該検査ヘッドの光路において、該光電モジュレータを第2の光電モジュレータに交換するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 折り畳みミラーが更に設けられ、該折り畳みミラーの表面形状は、該光電モジュレータを照射している光の照射特性を最適化するために調節可能であることを特徴とする請求項1記載の電子機器用検査装置。
- 光電モジュレータとモジュレータ架台とを備え、該モジュレータ架台は、該光電モジュレータの複数の縁部において照射されている光との干渉を防止するために該光電モジュレータに対して外方に傾斜していることを特徴とする光電モジュレータアセンブリ。
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