KR20130005847U

KR20130005847U - 비 텔레센트릭 전압 이미징 광학 시스템(ntvios)

Info

Publication number: KR20130005847U
Application number: KR2020130001944U
Authority: KR
Inventors: 토마스 에이치. 베일리; 로이드 존스
Original assignee: 포톤 다이나믹스, 인코포레이티드
Priority date: 2012-03-27
Filing date: 2013-03-15
Publication date: 2013-10-08
Also published as: KR200477847Y1; TWM467880U; CN203588644U; CN103366656A; JP3185906U

Abstract

피시험 전자 장치의 전기적 검사를 위한 장치가 개시되며, 여기서 조명 광은 변조기에 도달하기 전에 이미징 렌즈를 통과하지 않는다. 상기 시스템은 광 노이즈를 제거하기 위해 종래의 전압 이미징 광학 시스템의 편광 제어 구성요소를 필요로 하지 않고, 채용하지도 않는다. 기재된 광학 시스템의 이러한 특징은 전체 검사 장치의 질량, 비용, 및 복잡도를 실질적으로 감소시킨다. 덧붙여, 기재된 시스템에서 사용되는 비-텔레센트릭 렌즈의 질량, 비용 및 복잡도가 종래의 검사 시스템에서의 것보다 훨씬 더 낮다. 시스템은 전자-광학적 변조기, 전자-광학적 변조기로 인가되는 바이어스 전압 패턴을 발생시키는 바이어스 전압 소스, 전자-광학적 변조기를 조명하기 위한 광 펄스를 발생시키기 위한 광원, 비-텔레센트릭 렌즈 및 조명된 전자-광학적 변조기의 이미지를 획득하기 위한 카메라를 포함하는 검사 헤드를 포함한다.

Description

비 텔레센트릭 전압 이미징 광학 시스템(NTVIOS){NON TELECENTRIC VOLTAGE IMAGING OPTICAL SYSTEM (NTVIOS)}

관련 특허 출원의 상호 참조

이 정규 특허 출원은 2012년3월27일자 미국 가 특허 출원 61/616,335호를 기초로 우선권 주장하며, 상기 미국 가 특허 출원은 본원에서 참조로서 포함된다.

일반적으로 본 고안은 전자 장치, 가령, LCD 및 OLED 패널의 검사를 위한 시스템 및 방법에 관한 것이며, 더 구체적으로, 저질량, 저비용, 모듈식, 및 배율 조절 가능한 전압 이미징 광학 시스템(VIOS) 및 이에 대응하는 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이(LCD) 패널은 전기장 종속적 광 변조 속성을 보이는 액정을 포함한다. 이들은 이미지 및 그 밖의 다른 정보를, 팩스 기계, 랩톱 컴퓨터 스크린에서부터 대형 스크린, 고선명 TV까지 다양한 장치에 디스플레이하도록 가장 자주 사용된다. 능동 매트릭스 LCD 패널은 몇 개의 기능 층(편광 필름, 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하는 유리 기판, 저장 커패시터, 픽셀 전극 및 인터커넥트 배선, 블랙 매트릭스(black matrix)를 포함하는 컬러 필터 유리 기판, 컬러 필터 어레이 및 투명 공통 전극, 및 폴리이미드로 만들어진 배향 필름, 및 적절한 LCD 셀 두께를 유지하기 위한 플라스틱/유리 스페이서를 포함하는 실제 액정 물질)으로 구성된 복합 계층 구조이다.

수율을 최대화하기 위해, LCD와 OLED 패널은 청정실 환경의 고도로 제어되는 조건 하에서 제조된다. 그럼에도, 상당한 개수의 LCD 및 OLED 디스플레이가 제조상 결함 때문에 폐기되어야 한다.

LCD 패널 생산 수율을 개선하기 위해, LCD 패널의 전체 제조 공정 동안 복수의 검수(inspection and repair) 단계가 이행된다. 이들 중, 가장 중요한 검사 단계들 중 하나가 어레이 시험(array testing), 즉, TFT 어레이 제조 공정의 끝부분에서 수행되는 전기적 검사 단계이다.

시장에서 LCD와 OLED 디스플레이 제조업체가 현재 이용할 수 있는 몇 가지 종래의 어레이 시험 기법이 있으며, 이들 중 가장 일반적인 것은 전자-광학적 트랜스듀서를 이용하는 전기적 검사이다. 이러한 유형의 한 가지 예시적 검사 장치는 Orbotech의 계열사인 Photon Dynamics의 상용화된 어레이 체커(Array Checker)이다. 특히, 상기 어레이 체커 검사 시스템은 개별 TFT 어레이 픽셀 상에서 전압을 측정하도록 구성된 반사성 액정 기반 전기 광학적 트랜스듀서(변조기)를 이용하는 "VOLTAGE IMAGING®"이라 불리는 방법을 이용한다. 어레이 체커에 의한 TFT 어레이의 검사 시, 구동 전압 패턴이 피시험 TFT 패널로 인가되고, 상기 전자-광학적 변조기를 피시험 TFT 어레이와 매우 근접하게(통상 약 50미크론) 위치설정하고 고전압 사각파 전압 패턴에 의해 영향 받게함으로써, 최종 패널 픽셀 전압이 측정되거나 "이미징"된다. 예를 들어, 변조기에 인가되는 전압 사각파 패턴의 진폭이 300V일 수 있고, 주파수는 60㎐이다. 인가된 구동 전압으로 피시험 TFT 어레이의 픽셀에 근접하기 때문에 검사 시스템의 전자-광학적 변조기 양단에 형성되는 전기 전위에 의해 변조기 내 액정이 그들의 전기장 종속적 공간 배향을 바꾸게 되어서, 변조기 양단에서 그들의 광투과율을 국부적으로 변경하도록 한다. 다시 말하면, 변조기의 광투과율은 그 근접부의 어레이 픽셀 상의 전압을 나타내게 된다. 변경된 변조기 투과율을 포착하기 위해, 변조기는 하나 이상의 광 펄스에 의해 조명되고, 변조기에 의해 반사되는 광이 카메라 상으로 이미징되며, 상기 카메라는 최종 프레임을 획득하고 디지털화하며, 이들을 이미지로 조합한다. 예를 들어, 상기 광 펄스의 지속시간은, 예를 들어, 1밀리초(millisecond)일 수 있다. 상기 액정 기반 전자-광학적 트랜스듀서를 이용해 TFT 패널의 한 영역 내 픽셀 전압 분포가 측정되면, 트랜스듀서는 TFT 패널의 또 다른 영역으로 이동되고, 새로운 이미지가 취해진다.

본 고안은 전자 장치의 검사를 위한 종래의 기법과 연계된 상기의 문제 및 그 밖의 다른 문제 중 하나 이상을 실질적으로 제거하는 방법 및 시스템에 관한 것이다.

본원에 기재된 기법의 한 가지 양태에 따르면, 피시험 전자 장치의 전기적 검사를 위한 장치가 제공되며, 상기 장치는, 전자-광학적 변조기 전자-광학적 변조기로 인가되는 바이어스 전압 패턴을 생성하는 바이어스 전압 공급원, 전자-광학적 변조기를 조명하기 위한 광 펄스를 발생시키기 위한 광원, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체, 및 조명된 전자-광학적 변조기의 이미지를 획득하기 위한 카메라, 및 전압 신호를 피시험 전자 장치로 인가하도록 구성되는 구동 전자소자를 포함한다. 본 고안의 장치에서, 조명 광 펄스는 전자-광학적 변조기를 조명하기 전에 비-텔레센트릭 렌즈 조립체를 통과하지 않는다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 폴딩 거울을 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 상기 장치는 빔 스플리터를 더 포함하고, 광원은 하나의 발광 다이오드(LED), 또는 빔 스플리터의 동일한 측 상에 배치되는 상이한 파장의 복수의 발광 다이오드(LED)를 포함한다.

청구항 1의 검사 장치는 빔 스플리터를 더 포함하며, 광원은 하나의 발광 다이오드(LED), 또는 빔 스플리터의 반대 측 상에 배치되는 상이한 파장의 복수의 발광 다이오드(LED)를 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 광원은 하나 똔느 복수의 파장의 광을 생성하도록 구성되는 광 시트 조명기를 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 광원을 비-텔레센트릭 렌즈 조립체의 입구 동공부로 이미징하기 위한 굴절성 집속 렌즈를 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 집속기를 더 포함하며, 여기서 집속기는 타원형 형태를 갖는 반사성 내부 표면을 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 상기 장치는 집속기를 더 포함하며, 집속기는 반사성 프레넬 표면을 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 집속기를 더 포함하며, 집속기는 비구면 형태를 갖는 반사성 내부 표면을 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 반사성 집속기를 더 포함하며, 여기서 광원은 집속기의 내부 타원형 표면의 제 1 자취(locus)에 배치되며, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체의 동공부와 일치하는 제 2 자취로 이미징된다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 조명 광 펄스의 광학 경로 내에 배치되는 산광기를 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 광원은 하나의 발광 다이오드(LED)로 구성된다.

하나 이상의 실시예에서, 광원은 서로 다른 파장으로 동작하는 두 개의 발광 다이오드(LED)로 구성된다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 조명 광 펄스를 전자-광학적 변조기로 지향시키기 위한 빔 스플리터를 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 광원이 렌즈 동공부(lens pupil)로 이미징되도록 구성된 렌즈 동공부를 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 조명 광 펄스의 광학 경로에 배치되는 광학 경로 내에 배치되는 아포다이저(apodizer) 및 산광기를 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 광 시트 조명기 뒤에 배치되며, 전자-광학적 변조기의 직접 조명을 방지하도록 구성된 루버(louver)를 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 거울 스캐너를 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 유연성 빔 스플리터를 더 포함하고, 상기 유연성 빔 스플리터의 표면 형태는 전자-광학적 변조기를 조명하는 광의 조명 특성을 최적화하도록 조절될 수 있다.

하나 인상의 실시예에서, 전자-광학적 변조기는 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와 카메라에 대해 고정되어 있다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 조명되는 전자-광학적 변조기의 획득 이미지를 이용해 각각의 사이트에서 배열을 계산하기 위한 프로세싱 유닛을 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 선형 가변 차등 변압기(linear variable differential transformer)(LVDT) 값으로부터 배율을 계산하고 비-텔레센트릭 오차를 교정하기 위한 프로세싱 유닛을 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 비-텔레센트릭 오차를 최소화하기 위한 전자-광학적 변조기의 수직 위치의 조절치(adjustment)를 결정하기 위한 선형 가변 차등 변압기(LVDT) 값 측정 모듈을 더 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체는 비-텔레센트릭 오차를 감소시키기 위한 증가된 초점 길이를 가진다.

하나 이상의 실시예에서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체는 부분적으로 텔레센트릭이다.

하나 이상의 실시예에서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체는 비-텔레센트릭 렌즈의 어레이를 포함하며, 카메라는, 카메라 유닛의 어레이의 각각의 카메라 유닛이 비-텔레센트릭 렌즈의 어레이의 단일 비-텔레센트릭 렌즈에 광학적으로 연결되도록 하는 카메라 유닛의 어레이를 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와 상이한 배율을 갖는 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와, 검사 헤드의 광학 경로에서 비-텔레센트릭 렌즈 조립체를 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체로 대체하도록 구성되는 렌즈 교환 수단을 포함하다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와 상이한 배율을 갖는 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체 또는 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체를 포함하도록 검사 헤드의 광학 경로를 변경하도록 구성된 광학 경로 교환 수단을 포함하며,

하나 이상의 실시예에서, 장치는 전자-광학적 변조기와 상이한 크기를 r자는 제 2 전자-광학적 변조기와, 검사 헤드의 광학 경로에서 전자-광학적 변조기를 제 2 전자-광학적 변조기로 대체하도록 구성된 교환 수단을 포함한다.

하나 이상의 실시예에서, 장치는 폴딩 거울을 포함하며, 상기 폴딩 거울의 표면 형태는 전자-광학적 변조기를 조명하는 광의 조명 특성을 최적화하도록 조절될 수 있다.

본원에 기재된 기법의 또 다른 양태와 관련해, 전자-광학적 변조기와 변조기 장착부를 포함하는 전자-광학적 변조기 조립체가 제공되며, 상기 변조기 장착부는 전자-광학적 변조기에 대해 외측 방향으로 기울어져서, 전자-광학적 변조기의 변부에서 조명 광선과의 간섭이 피해질 수 있다.

본 고안과 관련된 추가적인 양태는 부분적으로 이하의 기재에서 제공될 것이며, 부분적으로는 기재를 통해 자명하거나, 본 고안의 실시에 의해 습득될 수 있다. 본 고안의 양태는 이하의 상세한 설명과 첨부된 청구항에서 구체적으로 나타난 다양한 요소 및 양태의 조합으로 실시되거나 얻어질 수 있다.

이상의 기재와 이하의 기재 모두 예에 불과하며, 청구된 고안 또는 적용예를 어떠한 방식으로도 한정하려는 의도는 없다.

첨부된 도면은 본 고안의 실시예의 예시를 제공하는 본 명세서의 일부를 구성하며, 상세한 설명과 함께 본 고안의 기법의 원리를 설명하는 역할을 한다.
도 1은 종래의 전압 이미징 광학 시스템(VIOS)의 예시적 실시예를 도시한다.
도 2는 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 다양한 예시적 실시예를 도시한다.
도 10은 비-텔레센트릭 전압 이미징 광학 시스템과 함께 사용될 때의 종래의 변조기 설계의 단점을 도시한다.
도 11은 비-텔레센트릭 전압 이미징 광학 시스템과 함께 사용될 때 종래의 변조기 설계의 단점을 제거하는 개선된 변조기 설계의 또 다른 예시적 실시예를 도시한다.
도 12 내지 15는 검사 헤드 또는 전자-광학적 변조기의 증가된 이미징 커버리지의 복수의 배율(시계)에 대해 제공되는 예시적 실시예를 도시한다.

이하의 상세한 설명에서, 첨부된 도면을 참조하며, 여기서, 동일한 기능 요소는 동일한 숫자로 지정된다. 상기 첨부된 도면은 본 고안의 원리에 따르는 특정 실시예 및 구현예를 예시로서 도시하며, 한정하기 위한 것이 아니다. 이들 구현예는 해당업계 종사자가 본 고안을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 기재되며, 다른 구현예가 이용될 수 있고, 다양한 요소의 구조적 변경 및/또는 치환이 본 고안의 사상과 범위 내에서 가능할 수 있음을 알아야 한다. 따라서 이하의 상세한 설명은 한정된 범위로 해석되어서는 안된다. 덧붙이자면, 기재된 본 고안의 다양한 실시예는 범용 컴퓨터 상에서 실행되는 소프트웨어의 형태, 또는 특수 하드웨어의 형태, 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합으로 구현될 수 있다.

도 1은 종래의 전압 이미징 광학 시스템(VIOS)의 예시적 실시예(100)를 도시한다. 도시된 실시예(100)는 조명기(illuminator)(110) 내에 장파장 LED(104a)(가령, 630㎚)와, 선택사항으로서, 단파장 LED(104b)(가령, 455㎚)를 포함한다. 다양한 구현예에서, 전압 이미징을 위해 하나의 조명 파장의 광이 사용되고, 다른 파장의 광이 피시험 전자 장치(도면에 도시되지 않음) 상의 광자 흡수(photon absorption)에 의한 결함 검출을 보강하기 위해 사용된다. 도시된 실시예는 또한 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens)(101), 편광기(102 및 103), 카메라(108)뿐 아니라 4분의 1 파장 판(quarter wave plate)을 갖는 변조기(107)까지 포함한다. LED(104)에 의한 피시험 장치의 선택적 조명 및 카메라(108)에 의한 이미지 획득 을 얻기 위해, 반투명 거울(즉, 빔 스플리터(beam splitter))(106) 및 색선별 거울(dichroic mirror)(하나의 파장을 투과시키고 다른 하나의 파장은 반사시키도록 동작함)(105)이 또한 제공된다. 도시된 종래의 시스템(100)에서, 조명기(110)에 의해 생성되는 조명 광은 변조기(107)에 충돌하기 전에 렌즈(101)를 통과한다. 즉, 종래의 시스템에서 조명은 렌즈를 통해 수행된다. 변조기(107)에 의해 반사되는 광은, 카메라(108)로 지향되기 전에, 렌즈(101)를 차례로 통과하며, 상기 카메라는 피시험 전자 장치의 표면 상의 전압 분포를 나타내는 이미지를 생성한다. 텔레센트릭 렌즈(101)는 이의 주광선(chief ray)이 변조기(107)에 수직이도록 구성된다. 다양한 구현예에서, 렌즈(101)의 하부는 변조기(107)의 크기보다 큰 직경을 가질 수 있다.

텔레센트릭 렌즈(101)는 시계(field of view)보다 큰 직경을 가져야 하기 때문에, 종래의 시스템(100)에서 사용되는 렌즈(101)는 매우 크고, 무겁고, 비싸다. 덧붙여, 종래의 시스템은 그 밖의 다른 복잡하고 비싼 구성요소, 가령, 대형 LED 조명기 어레이(104a 및 104b), 편광기(102 및 103), 및 변조기(107) 내 4분의 1 파장 판을 이용한다. 해당업계 종사자라면, 종래의 전압 이미징 광학 시스템의 상기 설계 특징이 이러한 시스템을 복잡하고, 부피가 크며, 비싸게 만든다.

따라서 본 고안의 하나 이상의 양태에 따라, 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 하나의 실시예(200)가 제공된다. 상기 개선된 시스템(200)의 실시예는 도 2에 도시된다. 상기 시스템은 장파장(바람직하게는, 적색) LED(204)를 이용하고, 선택사항으로서, 단파장(바람직하게는, 청색) LED(209)를 이용해 조명광을 발생시키는 단순화된 조명기(210)를 포함한다. 대안적 실시예에서, 장파장과 단파장 조명광 모두를 발생시키기 위해 단 하나의 LED만 사용될 수 있다. 해당업계 종사자라면 알다시피, 단일 LED의 사용이 대물 평면에서 조명의 각 스펙트럼(angular spectrum)의 감소로 인한 개선된 결함 콘트라스트(defect contrast)를 제공한다.

하나 이상의 실시예에서, 개선된 시스템(200)은 이미징 렌즈(201) 아래에 배치되는 동축 조명 서브시스템을 이용한다. 종래의 시스템, 가령, 도 1에 도시된 시스템에 의한 이러한 콘트라스트는 이미징 렌즈(101)를 통한 동축 조명을 이용한다. 단순화된 조명기(210)에 의해 발생되는 조명 광은 아포다이저(apodizer)/산광(diffuser)/집광(collector) 렌즈(211), 집속 렌즈(condenser lens)(212)를 통과하고, 빔 스플리터(213)에 의해 변조기(207)로 지향된다. 변조기(207)로부터의 광은 렌즈(201)에 의해 집광되고, 동공부(202)를 통해 카메라(208)로 지향된다. 변조기(207)로부터의 광이 렌즈(201)에 의해 집광되고, 동공부(202)를 통해 카메라(208)로 지향된다. 상기 카메라(208)는 피시험 전자 장치(도면에 도시되지 않음)의 표면 상의 전압 분포를 나타내는 이미지를 생성한다.

하나 이상의 실시예에서, 렌즈(201)는 완전히 비-텔레센트릭(non-telecentric)이다. 해당업계 종사자에게 잘 알려져 있는 것처럼, 도 2의 시스템(200)의 실시예에서, 렌즈(201)는 비-텔레센트릭 렌즈이기 때문에, 기재된 시스템의 주광선은 변조기(207)에 수직이지 않으며, 카메라(208)에 수직이지 않을 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 렌즈(201)는 조절 가능한 배율을 가질 수 있다. 이러한 목적으로, 하나 이상의 실시예에서, 렌즈(201) 및 카메라(208)는 변조기(207)의 크기(size)와 정합(match)하도록 자신의 배율을 변경하기 위해 축방향으로 이동될 수 있다. 또는, 줌 렌즈(201)가 배율에 대해, 따라서 이의 시계에 대해 조절되어, 어떠한 축방향 이동 없이, 변조기(207)의 크기와 정합될 수 있다. 줌 렌즈는 연속식이거나 이산 배율 설정을 가질 수 있다. 또는, 특정 변조기 크기와 정합되기 위해 축 위치를 변경할 필요 없이, 이산 배율을 갖는 렌즈(201)가 상이한 이산 배율의 렌즈(201)로 대체될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 해당업계 종사자에게 잘 알려진 렌즈 교환 수단(lens switching mechanism)이 이러한 목적으로 제공될 수 있다. 마찬가지로, 적절한 교환 수단을 이용해 변조기(207)가 유사하게, 상이한 크기의, 또는 그 밖의 다른 상이한 특성의 변조기에 의해 대체될 수 있다. 대안적 실시예에서, 물리적으로 하나의 렌즈를 제거하고 상이한 렌즈를 삽입함으로써 이뤄지는 상이한 배율의 렌즈(201) 간 교환 대신, 검사 헤드(inspection head)의 광학 경로는, 어느 한 렌즈를 이용해 전자-광학적 변조기의 이미징이 수행될 수 있도록 하는 방식으로 설계될 수 있다. 서로 다른 이산 배율의 두 개의 렌즈(201)에 대한 앞서 언급된 고정 위치 배열은, 카메라(208)의 시계의 매우 빠른 교환을 가능하게 할 것이다. 기재된 광 경로 교환 수단은 복수의 빔 스플리터, 거울, 및 광 경로를 변경하기 위한 해당업계 종사자에게 자명한 방식으로 배열된 그 밖의 다른 적합한 광학 구성요소를 이용해 구현될 수 있거나, 검사 헤드를 이용해 구현되어 두 개의 고정 렌즈(201) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.

카메라(208)의 시계 내에 모든 변조기를 가질 필요는 없다. 따라서 앞서 언급된 배율 변경 스킴들 중 임의의 것이 더 높은 분해능을 갖는 전자 장치 결함의 개선된 검출을 위해 변조기(207)의 부분-영역(sub-region)을 검사하도록 구성될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 전체 변조기의 대략적인 검사(coarse inspection) 후 변조기(207)의 부분-영역이 제공된 스캐닝 거울(scanning mirror)을 이용해 검사될 수 있다.

도 1에 도시된 종래의 시스템(100)에서, 조명 광이 텔레센트릭 렌즈(101)를 통과할 때, 고스트 반사(ghost reflection)와 산란광이 발생한다. 이들 효과는 광 노이즈(light noise)를 구성하고, 편광 제어가 없을 때, 카메라(108)에 도달하는 광의 대부분에 기여한다. 따라서 종래의 전압 이미징 광학 시스템에서, 교차된 편광기(102 및 103)와 변조기(107) 내에 제공된 4분의 1 파장 판(도면에 도시되지 않음)에 의해, 앞서 언급된 광 노이즈가 카메라에 도달하는 것이 차단된다.

다른 한편으로는, 도 2에 도시된 개선된 시스템(200)에서, 조명 광은 변조기(207)에 도달하기 전에 렌즈(201)를 통과하지 않고, 이러한 이유로, 광 노이즈는 거의 없으며, 편광 제어가 필요하지 않다. 따라서 해당업계 종사자라면 알겠지만, 도 2의 개선된 시스템(200)은 광 노이즈를 제거하기 위해, 종래의 전압 이미징 광학 시스템의 편광 제어 구성요소를 필요로 하지 않으며 채용하지도 않는다. 편광 제어가 조명기(210)로부터의 이용 가능한 장파장 광을 상당히 감쇠시킨다고 가정하면, 개선된 전압 이미징 검사 시스템의 도시된 실시예의 이러한 특징은 전체 검사 시스템의 복잡도와 비용을 실질적으로 감소시키고, 광 처리량(light throughput)을 향상시킨다. 덧붙여, 완전한 비-텔레센트릭 렌즈의 크기는 시계에 따라 달라지지 않기 때문에, 도 2에 도시된 개선된 시스템에서 사용되는 상기 비-텔레센트릭 렌즈(201)의 질량, 비용 및 복잡도는 도 1에 도시된 종래의 시스템에서의 것보다 훨씬 더 낮다.

도 2에 도시된 설계에서, LED(204 및 209)와 산광/아포다이저/집광 렌즈(211)를 포함하는 광학 조명 시스템(210)은 전압 이미징 광학 시스템의 나머지 부분에 대해 실질적으로 수평 방향으로 돌출되어 있으며, 이는 실제 적용에서 불편할 수 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 개선된 전압 이미징 광학 시스템(300)의 또 다른 실시예가 도 3에 도시된다. 특히, 도 3은 도 2의 실시예의 이점과 함께 조명 시스템의 수평 범위를 축소시키는 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 실시예를 도시한다. 폴딩 거울(315)은 LED(304 및 309) 및 아포다이저/산광/집광 렌즈(311)를 전압 이미징 광학 시스템(300)의 메인 몸체에 가까이 이동시켜, LED(304 및 309)와 아포다이저/산광/집광 렌즈(311)로 구성된 조명 시스템의 해당 부분의 돌출을 실질적으로 감소시킨다. 하나 이상의 실시예에서, 폴딩 거울(315)은 유연성 물질을 이용해 제작될 수 있어서, 폴딩 거울(315)의 표면 형태는 광학 조명 시스템의 조명 특성을 최적화하도록 조절될 수 있다.

도 4는 도 2에 도시된 실시예의 이점과 함께, 상기의 빔 스플리터(413)로부터 잠재적으로 더 강하고 더 균일한 청색 광 조명을 생성하는 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 또 다른 예시적 실시예(400)를 도시한다. 도 4에 도시된 시스템에서, 단파장 LED(409)는 장파장 LED(404) 옆이 아니라, 빔 스플리터(413) 위에 배치된다. 필름 코팅(도시되지 않음)을 갖는 빔 스플리터(413)는 장파장 광의 50%를 투과 및 반사하고 단파장 광의 100%를 투과시킨다. 도시된 실시예에서, 네 개의 단파장 LED(409)가 사용되며, 대략적으로 변조기(07)의 코너(corner) 위에 배치된다. 더 많은 대물 조사(object irradiance)가 필요할 때 추가적인 코너 LED가 제공될 수 있다.

도 2에 도시된 설계에서, 조명기(210)는 크고, 이미징 시스템의 메인 몸체로부터 돌출되어 있다. 이를 해결하기 위해, 개선된 전압 이미징 광학 시스템(500)의 또 다른 실시예가 도 5에 도시된다. 이 실시예는 도 2에 도시된 실시예(200)의 모든 이점을 가지면서, 광 시트(sheet-of-light) 조명을 생성하여, 조명 시스템 크기를 감소시킬 수 있다. 도 5에 도시된 시스템에서, 장파장 조명(510)은, 해당업계 종사자에게 자명한 현재의 평면 패널 텔레비전에서 사용되는 LED 후면 조명(LED back light) 또는 OLED 어레이에 의해 생성되는 조명과 유사한 방식으로 형성되는 광 시트(519)로 구성된다. 하나 이상의 실시예에서, 전자-광학적 변조기의 직접 조명을 피하기 위해, 루버 스크린(louver screen)(511)이 상기 광 시트 뒤에 위치하여, 빔 스플리터(513)를 향해 지향되는 광만 투과시킬 수 있다. 해당업계 종사자라면 알겠지만, 광 시트 조명기의 사용은 자파장 조명기(510)의 전체 크기를 크게 감소시킬 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 단파장 LED(509)는 도 4에 도시된 빔 스플리터(513) 위에 배치된다.

하나 이상의 실시예에서, 폴딩 거울(315)처럼, 앞서 기재된 광학 실시예에서 사용된 빔 스플리터도 유연성 물질(flexible material)로 제조될 수 있어서, 반사성 빔 스플리터의 표면 형태가 광학 조명 시스템의 조명 특성을 최적화하도록 조절될 수 있다.

도 6은 도 2에 도시된 실시예(200)의 이점과 함께, 복수 파장 광 시트 조명을 생성하여, 개별 파장 조명 시스템의 필요성을 제거하고 조명 시스템의 크기를 감소시킬 수 있는 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 또 다른 예시적 실시예(600)를 도시한다. 도 6에 도시된 시스템에서, 조명 시스템(610)은 장파장과 단파장이 결합된 광 시트(623)로 구성되며, 상기 광 시트는 해당업계 종사자에게 자명한 현대의 평면 패널 텔레비전에서 사용되는 LED 후면 조명 또는 OLED 어레이를 포함하는 조명 시스템과 유사한 방식으로 형성된다. 도 5에 도시된 실시예(500)와 마찬가지로, 이 실시예는 더 컴팩트하며, 시스템 통합에 대한 이점을 제공할 수 있다.

도 7은 도 2에 도시된 실시예(200)의 이점과 함께, 굴절 광소자(refractive optic)가 아닌 반사성 집속기(721)를 이용하여 조명 시스템의 크기를 감소시키는 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 또 다른 예시적 실시예(700)를 도시한다. 도시된 실시예(700)에서, 반사성 집속기(721)는 타원 형태를 갖는 반사성 내부 표면을 포함한다. 장파장 LED(704)는 타원체의 하나의 자취(locus)에 위치하고, 반사성 집속기(721)에 의해 또 다른 자취(locus)로 이미징되는데, 상기 또 다른 자취는 VIOS 렌즈(701)의 동공부(pupil)(702)이다. 해당업계 종사자에게 잘 알려져 있다시피, 이 실시예에서, 수차(aberration)는 최소화된다. 하나 이상의 실시예에서, 간섭(interference)을 피하기 위해, 타원형 거울의 비축(off-axis) 부분이 사용된다. 특정 목표를 얻기 위한 반사성 표면 형태의 또 다른 구현예가 본 고안의 이 실시예의 사상과 범위 내에서 사용될 수 있다. 예를 들어, 더 높은 순의 표면 변형 용어를 갖는 반사성 집속기(721)의 타원형, 쌍곡선형(hyperbolic), 또는 포물선형(parabolic) 형태가 사용되거나, 비구면(aspheric) 측면 형태를 갖는 반사성 프레넬 렌즈(Fresnel lens)가 사용될 수 있다. 다시 말하자면, 도 7에 도시된 실시예(700)는 도 2에 도시된 실시예(200)보다 더 컴팩트하며, 시스템 통합에 대한 이점을 제공할 수 있다.

해당업계 종사자에게 잘 알려져 있다시피, 더 많은 픽셀과 함께 더 큰 유효 센서 크기를 얻기 위해 복수의 카메라 센서를 다 같이 잇는 것(butting)은 어렵고 비싼 공정이다. 복수의 비-이음(non-butted) 카메라 센서들의 어레이화는 매우 복잡하거나, 단일 텔레센트릭 렌즈가 사용될때는 이뤄지기 불가능하다. 다른 한편, 도 8에 도시된 개선된 전압 이미징 광학 시스템(800)은 복수의 비-이음 센서의 어레이화를 가능하게 한다. 특히, 도 8은 도 2에 도시된 실시예(200)의 이점과 함께, 비-텔레센트릭 렌즈의 어레이 및 카메라를 이용해 분해능을 개선하고, 및/또는 유효 시계를 증가시키며 비-텔레센트릭 오차를 감소시킬 수 있는 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 또 다른 예시적 실시예를 도시한다. 도 8에, 1×2 어레이로 된 두 개의 렌즈/카메라 결합체 또는 2×2 어레이로 된 네 개의 렌즈/카메라 결합체가 변조기(807)의 개별 영역을 이미징한다. 1×2 어레이에서, 각각의 렌즈/카메라 결합체(801/808)가 변조기(807)의 4분의 1을 이미징한다. 1×2 어레이에서, 각각의 렌즈/카메라 결합체(801/808)는, 이의 이미지가 의도된 렌즈/카메라 결합체(801/808)의 동공부(802) 내에 형성되도록 위치하는 LED(804)에 의해 조명된다. 따라서 1×2 어레이에서 두 개의 LED(804)가 존재할 것이고, 2×2 어레이에서 네 개의 LED(804)가 존재할 것이다. 해당업계 종사자라면, 도 8에 도시된 실시예(800)가 더 작은 투영 픽셀 크기 및/또는 더 넓은 시계, 즉, 더 넓은 변조기 크기를 제공함을 알 것이다. 도 8에 도시된 실시예(800)는 완전히 모듈식이어서, 원칙적으로, 어떠한 개수의 렌즈/카메라(801/808) 결합체도 추가되어, 전압 이미징 광학 시스템의 어레이를 형성할 수 있다.

도 8에 도시된 실시예(800)와 유사하게, 도 9에 도시된 개선된 전압 이미징 광학 시스템(900)은 복수의 비-이음 센서의 어레이화를 가능하게 한다. 특히, 도 9는, 도 2에 도시된 실시예(200)의 이점과 함께, 광 시트 조명을 갖는 비-텔레센트릭 렌즈의 어레이 및 카메라를 이용하여, 분해능을 개선하고, 및.또는 시계를 증가시키고 비-텔레센트릭 오차를 감소시키며 조명 시스템 크기를 감소시킬 수 있는 개선된 전압 이미징 광학 시스템의 또 다른 실시예를 도시한다. 개별 LED를 이용하는 것이 아니라, 도 9에 도시된 실시예의 조명 시스템(910)은 장파장 광 시트(919)로 구성되며, 상기 자파장 광 시트는 도 5에 도시된 실시예에서 사용된 것과 유사하고, 조명 시스템(910)의 전체 크기를 상당히 감소시킨다. 덧붙여, 도 9에 도시된 광 시트 조명 시스템(910)은 1×2, 2×2 또는 또 다른 크기 어레이로 된 각각의 렌즈/카메라(901/908) 결합체를 조명할 수 있다.

해당업계 종사자라면 알겠지만, 앞서 기재된 조명 시스템의 모든 실시예는 변조기(207)를 향하는 사각뿔(square cone)로 수렴하는 조명 광을 제공한다. 이 요건은 비-텔레센트릭 이미징의 결과이다. 예를 들어, 도 10에 도시된 실시예에서, 주광선(1025)은 변조기(1007)로부터 전압 이미징 광학 시스템(1000)의 렌즈 동공(1002) 상에 수렴한다. 조명 광선(1027)의 각(1031)은, 변조기 법선(1033)에 대한 주광선 각(1029)의 네거티브(negative)와 동일한 렌즈(1001) 주광선 각(1029)에 정합되어야 한다. 도 10은 이러한 네거티브 조명 광선 각(1031)이 변조기 상으로 수렴하는 광을 나타냄을 보여준다. 해당업계 종사자라면 사각 뿔로 수렴하는 조명은 물체, 가령, 변조기 유리-차단 측(1035) 또는 금속 장착부(1037)에 의해 비네팅(vignetting)될 것이며, 이로써, 변조기(1007)의 바닥에 그림자(1039)가 생길 것임을 알 수 있다. 다른 한편으로는, 어떠한 광도 없고 따라서 유용한 시계가 감소되기 때문에 전압 이미징에 대해 상기 그림자 영역이 사용될 수 없다.

도 11에 도시된 변조기(1107)의 또 다른 예시적 실시예는, 그림자진 영역(1139)을 감소시키도록 변조기(1107)의 변부에서 조명 광선(1127)과의 간섭을 피하기 위해 기울어진 금속 장착부(1137)를 이용한다. 이에 추가로, 또는 이를 대체하여, 변조기(1107)의 두께가 변조기 측(1135) 높이와 함께 감소되어, 그림자진 영역(1139)을 추가로 더 감소시킬 수 있다.

기재된 시스템의 비-텔레센트릭 속성으로 인해 발생되는 광학 오차는 다수의 상이한 수단을 이용해 완화될 수 있다. 이를 위해, 앞서 기재되고 도 2를 참조하는 모든 실시예에서, 변조기(207)가 렌즈(201)와 카메라(208)에 대해 고정되고, VIOS가 피시험 전자 구성요소 위에서 전체로서 이격(gapped)된다. 대안적 실시예에서, 각각의 사이트에서, 시스템에 의해 생성되는 전압 이미지 또는 선형 가변 차등 변압기(linear variable differential transformer)(LVDT) 판독을 이용해 배율이 계산된다. 대안적 실시예에서, 피시험 전자 구성요소 상의 각각의 위치에서의 LVDT 판독치가 모터로 공급되며, 상기 모터는 피시험 구성요소 이상의 VIOS 높이를 제어하여, 비-텔레센트릭 오차를 제거할 수 잇다. 또 다른 대안적 실시예에서, 렌즈(201)의 초점 길이가 적절하게 증가되어 비-텔레센트릭 오차를 감소시킬 수 있다. 또 다른 실시예에서, 렌즈(201)는 결과물이 부분적으로 텔레센트릭이도록, 즉, 완전 텔레센트릭과 비-텔레세트릭 사이이도록 설계되어, 상기 비-텔레센트릭 오차를 감소시킬 수 있다. 마지막으로, 도 8에 도시된 1×2 또는 2×2 렌즈/카메라 결합체(801/808) 어레이를 이용할 때, 변조기(807)의 더 작은 섹션이 각각의 섹션에 걸쳐 더 작은 구광선 각으로 검사되기 때문에 비-텔레센트릭 오차가 추가로 감소된다.

기재된 실시예의 그 밖의 다른 많은 변형이 가능함을 알아야 한다. 특히, 검사 헤드의 복수의 배율(시계) 또는 전자-광학적 변조기의 증가된 이미징 커버리지에 대해 도 12 내지 15가 몇 가지 예시적 실시예를 도시한다.

특히, 도 12에 도시된 실시예(1200)에서, 상이한 스펙트럼 대역(예를 들어, 적색과 적황색(red-amber))을 갖는 두 개의 LED(1204 및 1216)로부터의 광은 색수차 빔 스플리터(1215)에 의해 두 개의 경로(렌즈(1201a)에 의한 Mag 1 경로와 렌즈(1201b)에 의한 Mag 2 경로)로 쪼개져서, 한 경우에서는 넓은 시계와 낮은 분해능, 그리고 다른 한 경우에서는 좁은 시계와 높은 분해능을 위한 두 개의 이미징 배율이 가능해진다. 다양한 실시예에서, 더 넓은 시계 경로는 대략적인 검사 모드를 위한 것이고, 더 좁은 시계는 상세한 검사 모드를 위한 것이다. 더 높은 분해능 경로에 의해, 변조기(1207) 상의 모든 지점에 도달하기 위해, 거울(1214) 중 하나는 두 개의 차원으로 기울어져서, 더 좁은 시계의 경우라도, 변조기(1207) 상의 임의의 지점에 도달할 수 있다.

도 13에 도시된 실시예(1300)를 참조하여, 도 12의 실시예에서처럼 두 개의 스펙트럼 대역을 이용하는 것이 아니라, 도 13의 실시예의 방식은 기계적 셔터(1317)를 이용하여, 넓은 시계/낮은 분해능 경로(Mag 1 경로) 또는 좁은 시계/높은 분해능 경로(Mag 2 경로)를 따라 통과하는 것이 가능해진다.

도 14에 도시된 실시예(1400)에서, 이미지 센서의 높은 비용 때문에, 단일 이미지 센서(카메라)(1408)가 두 개의 변조기(1407a 및 1407b)를 이미징하도록 사용될 수 있다.

우선, 변조기(1407a)를 조명하도록 구성된 조명 LED(1404a)에 전력을 공급함으로써, 하나의 변조기(1407a)가 이미징된다. 이 변조기(1407a)를 이용한 이미징이 완료된 후, 변조기(1407b)를 조명하도록 구성된 조명 LED(1404b)에 전력을 공급함으로써 제 2 변조기(1407b)가 이미징된다. 이 실시예에서, 두개의 변조기(1407a 및 1407b)로부터의 이미지가 센서(1408)에 동시에 존재하지 않는다. 이러한 방식은 셋 이상의 변조기(도면에 도시되지 않음)로 확장될 수 있다. 하나의 센서(1408)에 대한 복수의 변조기(1407a 및 1407b)의 이점은, 이미징 헤드 위치당 더 넓은 면적이 커버되기 때문에, 신속한 검사와 함께 낮은 비용이다. 이미징 경로 사이의 혼선(cross talk)을 감소시키기 위해, 상이한 공간 대역(spatial band)을 갖는 두 개의 LED(1404a 및 1404b)가 표준 빔 스플리터(1415)가 아닌 색선별 빔 스플리터와 함께 사용되어, 경로를 더 효과적으로 분리할 수 있다.

도 15에 도시된 실시예(1500)에서, 도 14에 나타난 실시예에서처럼 두 개의 동일한 크기의 변조기를 이용하는 것이 아니라, 한 개의 큰 변조기(1507a)와 한 개의 작은 변조기(1507b)가 제공된다. 낮은 분해능으로 넓은 영역을 검사하기 위해 큰 변조기 경로가 사용되며, 반면에, 높은 분해능으로 좁은 영역을 검사하기 위해 작은 변조기가 사용된다.

마지막으로, 본원에 기재된 공정 및 기법은 임의의 특정 장치와 본질적으로 관련된 것이 아니라 구성요소들의 임의의 적합한 결합에 의해 구현될 수 있다. 덧붙여, 본원에 기재된 설명에 따라 다양한 유형의 범용 장치가 사용될 수 있다. 본원에 기재된 방법 단계들을 수행하기 위해 특수 장치를 구성하는 것이 역시 바람직할 수 있다. 본 고안은 특정 예시와 관련해 기재되었으며, 한정보다는 예시를 위한 것이다. 해당업계 종사자라면 특수 구성요소들뿐 아니라 기성 구성요소들의 서로 다른 조합들이 본 고안을 실시하는 데 적합할 것임을 알 것이다.

더욱이, 본원에 개시된 본 고안의 설명과 실시를 고려할 때, 본 고안의 다른 구현예가 해당업계 종사자에게 자명할 것이다. 기재된 실시예의 다양한 양태 및/또는 구성요소는 전자 장치의 검사를 위한 시스템에서 단독으로 또는 임의의 조합으로 사용될 수 있다. 설명과 예제는 예에 불과하며, 본 고안의 진정한 사상과 범위는 이하의 청구항에 의해 나타내어진다.

Claims

피시험 전자 장치의 전기적 검사를 위한 장치에 있어서, 상기 장치는
a. 전자-광학적 변조기(electro-optical modulator), 상기 전자-광학적 변조기로 인가되는 바이어스 전압 패턴을 생성하는 바이어스 전압 공급원, 전자-광학적 변조기를 조명하기 위한 광 펄스를 생성하는 광원, 비-텔레센트릭(non-telecentric) 렌즈 조립체, 및 조명된 전자-광학적 변조기의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하는 검사 헤드(inspection head), 및
b. 전압 신호를 피시험 전자장치로 인가하도록 구성된 구동 전자소자
를 포함하며, 여기서, 조명광 펄스는 전자-광학적 변조기를 조명하기 전에 비-텔레센트릭 렌즈 조립체를 통과하지 않는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 폴딩 거울(folding mirror)을 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 상기 전기적 검사를 위한 장치는 빔 스플리터(beam splitter)를 더 포함하며, 광원은 하나의 발광 다이오드(LED) 또는 빔 스플리터의 동일한 측 상에 배치되는 상이한 파장의 복수의 발광 다이오드(LED)를 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 상기 전기적 검사를 위한 장치는 빔 스플리터를 더 포함하며, 광원은 발광 다이오드(LED) 또는 빔 스플리터의 반대 측 상에 배치되는 상이한 파장의 복수의 발광 다이오드(LED)를 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 광원은 하나 또는 복수의 파장의 광을 생성하도록 구성된 광 시트(sheet of light) 조명기를 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 광원을 비-텔레센트릭 렌즈 조립체의 입구 동공부(pupil)로 이미징하기 위한 굴절성 집속 렌즈(refractive condenser lens)를 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전기적 검사를 위한 장치는 집속기를 더 포함하며, 상기 집속기는 타원형 형태를 갖는 반사성 내부 표면을 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전기적 검사를 위한 장치는 집속기를 더 포함하며, 상기 집속기는 반사성 프레넬(Fresnel) 표면을 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전기적 검사를 위한 장치는 집속기를 더 포함하고, 상기 집속기는 비구면 형태의 반사성 내부 표면을 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전기적 검사를 위한 장치는 반사성 집속기를 더 포함하며, 광원은 집속기의 내부 타원형 표면의 제 1 자취(locus)에 배치되고, 비-텔레센트릭 렌즈(non-telecentric lens) 조립체의 동공부와 일치하는 제 2 자취로 이미징되는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 조명 광 펄스의 광학 경로에 배치되는 산광, 아포다이저(apodizer), 및 집광 렌즈 중 적어도 하나를 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 광원은 발광 다이오드(LED)를 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 광원은 상이한 파장으로 동작하는 두 개의 발광 다이오드(LED)를 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전자-광학적 변조기로 조명 광 펄스를 지향시키기 위한 빔 스플리터를 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 광원이 렌즈 동공부로 이미징되도록 구성된 렌즈 동공부를 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 광원은 광 시트(sheet of light) 조명기를 포함하고, 전기적 검사를 위한 장치는 상기 광 시트 조명기 뒤에 위치하는 루버(louver)를 더 포함하고, 전자-광학적 변조기의 직접 조명을 억제하도록 구성되는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 거울 스캐너(mirror scanner)를 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전기적 검사를 위한 장치는 유연성 빔 스플리터를 더 포함하고, 상기 유연성 빔 스플리터의 표면 형태는 전자-광학적 변조기를 조명하는 광의 조명 특성을 최적화하도록 조절 가능한, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전자-광학적 변조기는 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와 카메라에 대해 고정되어 있는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 조명된 전자-광학적 변조기의 획득된 이미지를 이용해 각각의 사이트에서 배율을 계산하기 위한 프로세싱 유닛을 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 선형 가변 차등 변압기(linear variable differential transformer)(LVDT) 값을 이용하여 배율을 계산하고, 비-텔레센트릭 오차(non-telecentric error)를 교정하기 위한 프로세싱 유닛을 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 비-텔레센트릭 오차를 최소화하기 위해 전자-광학적 변조기의 수직 위치의 조절치를 결정하기 위한 선형 가변 차등 변압기(LVDT) 값 측정 모듈을 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체는 비-텔레센트릭 오차를 감소시키기 위해 증가된 초점 길이를 갖는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체는 부분적으로 텔레센트릭인, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체는 비-텔레센트릭 렌즈의 어레이를 포함하며, 카메라는 카메랑 유닛의 어레이를 포함하고, 카메라 유닛의 어레이의 각각의 카메라 유닛은 비-텔레센트릭 렌즈의 어레이의 단일 비-텔레센트릭 렌즈로 광학적으로 연결되는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와 상이한 배율을 갖는 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와, 검사 헤드의 광학 경로에서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체를 상기 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체로 대체하도록 구성된 렌즈 교환 수단을 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와 상이한 배율을 갖는 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체와, 비-텔레센트릭 렌즈 조립체 또는 제 2 비-텔레센트릭 렌즈 조립체를 포함하도록 검사 헤드의 광학 경로를 바꾸도록 구성된 광학 경로 교환 수단을 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전자-광학적 변조기와 상이한 크기를 갖는 제 2 전자-광학적 변조기와, 검사 헤드의 광학 경로에서 전자-광학적 변조기를 제 2 전자-광학적 변조기로 대체하도록 구성된 교환 수단을 더 포함하는, 전기적 검사를 위한 장치.
청구항 1에 있어서, 전기적 검사를 위한 장치는 폴딩 거울(folding mirror)을 더 포함하며, 상기 폴딩 거울의 표면 형태는 전자-광학적 변조기를 조명하는 광의 조명 특성을 최적화하도록 조절 가능한, 전기적 검사를 위한 장치.
전자-광학적 변조기 및 변조기 장착부를 포함하는 전자-광학적 변조기 조립체로서, 상기 변조기 장착부는 전자-광학적 변조기에 대해 외측 방향으로 기울어져서, 전자-광학적 변조기의 변주에서 조명 광선과 간섭을 일으키는 것이 방지되는, 전자-광학적 변조기 조립체.