KR20210028802A - 표시 패널 리페어 장치 및 표시 패널 리페어 방법 - Google Patents

표시 패널 리페어 장치 및 표시 패널 리페어 방법 Download PDF

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주은총
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배태한
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Abstract

표시 패널 리페어 장치는 검사 대상 표시 패널을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되는 광학계, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널에 레이저를 제공하도록 구비된 레이저 발생부, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널을 촬영하도록 구비된 카메라, 및 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 배치되어 필터의 적용 여부를 선택하는 필터 선택부를 포함한다.

Description

표시 패널 리페어 장치 및 표시 패널 리페어 방법{REPAIR APPARATUS FOR DISPLAY PANEL AND REPAIR METHOD OF DISPLAY PANEL}
본 발명은 표시 패널 리페어(repair) 장치 및 표시 패널 리페어 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 표시 패널의 불량을 확인하여 리페어 하는 표시 패널 리페어(repair) 장치 및 상기 표시 패널 리페어 장치를 이용한 표시 패널 리페어 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 기술의 발전에 힘입어 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 뛰어난 디스플레이 제품들이 생산되고 있다. 지금까지 디스플레이 장치에는 기존 브라운관 텔레비전(cathode ray tube: CRT)이 성능이나 가격 면에서 많은 장점을 가지고 널리 사용되었으나, 소형화 또는 휴대성의 측면에서 CRT의 단점을 극복하고, 소형화, 경량화 및 저전력 소비 등의 장점을 갖는 표시 장치, 예를 들면 플라즈마 표시 장치, 액정 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 등이 주목을 받고 있다.
액정 표시 장치(LCD) 및 양자점-유기 발광 표시 장치(QD-OLED)는 상부 기판(컬러 필터 기판)과 하부 기판(박막 트랜지스터 기판)을 합착하여 제조될 수 있는데, 제조 과정에서 불량이 발생하는 경우, 이를 리페어할 필요가 있다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 표시 패널의 불량을 확인하여 리페어 하는 표시 패널 리페어(repair) 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 표시 패널 리페어 장치를 이용한 표시 패널 리페어 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 장치는 검사 대상 표시 패널을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되는 광학계, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널에 레이저를 제공하도록 구비된 레이저 발생부, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널을 촬영하도록 구비된 카메라, 및 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 배치되어 필터의 적용 여부를 선택하는 필터 선택부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 필터 선택부의 상기 필터는 편광 필터일 수 있다. 상기 필터 선택부는 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 위치시키거나, 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계와 이격되도록 이동시켜, 상기 필터의 적용 여부를 선택할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 표시 패널 리페어 장치는 상기 스테이지 상의 상기 검사 대상 표시 패널에 광을 공급하는 백라이트, 및 상기 백라이트와 상기 검사 대상 표시 패널 사이에 배치되는 하부 편광판을 더 포함할 수 있다. 상기 백라이트의 상기 광은 상기 하부 편광판을 통해 상기 검사 대상 표시 패널에 공급될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 검사 대상 표시 패널은 액정 표시 패널일 수 있다. 상기 액정 표시 패널은 하부 기판, 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 형성된 액정층을 포함할 수 있다. 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판에는 편광판이 부착되지 않은 상태일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 필터 선택부의 상기 필터는 반사 방지(AR: anti-reflection) 필터 일 수 있다. 상기 필터 선택부는 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 위치시키거나, 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계와 이격되도록 이동시켜, 상기 필터의 적용 여부를 선택할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 검사 대상 표시 패널은 양자점-유기 발광 표시 패널일 수 있다. 상기 양자점-유기 발광 표시 패널은 발광 구조물이 형성된 하부 기판 및 파장 변환층을 포함하는 상부 기판을 포함할 수 있다. 상기 상부 기판 상에 반사 방지 필름이 부착되지 않은 상태일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 필터 선택부는 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계 사이 또는 바깥에 위치시키도록, 상기 필터를 슬라이드 시켜, 상기 필터의 적용 여부를 선택할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 필터 선택부의 상기 필터는 상기 레이저 발생기의 레이저 광의 경로에는 간섭이 없을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 광학계는 배율 선택부를 포함할 수 있다. 상기 배율 선택부는 서로 다른 배율을 갖는 복수의 렌즈들을 포함하여, 상기 렌즈들을 선택함으로써, 상기 광학계를 통과하는 광의 배율을 조절할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 카메라를 통해 확인된 불량 위치로 상기 스테이지를 이동 시킨 후, 상기 레이저 발생부에서 발생한 상기 레이저가 상기 불량 위치에 조사될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 레이저 발생기로부터 발생된 상기 레이저는 상기 검사 대상 표시 패널에 제공되어, 물리적 암점화를 통해 리페어(repair)를 진행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 물리적 암점화는 상기 레이저를 이용하여 상기 검사 대상 표시 패널의 블랙 매트릭스를 녹이거나, 상기 검사 대상 표시 패널의 컬러 필터 또는 파장 변환층을 탄화 시켜 수행될 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 방법은 검사 대상 표시 패널에 대한 시각적 검사를 통해 1차 불량 위치를 확인하는 시각 검사 단계, 상기 검사 대상 표시 패널의 상기 1차 불량 위치에 대해, 표시 패널 리페어 장치를 이용하여, 상기 1차 불량 위치에 대해 보정된 2차 불량 위치를 확인하는 편광 검사 단계, 및 상기 검사 대상 표시 패널의 상기 2차 불량 위치에 대해, 물리적 암점화 또는 전기적 암점화를 통해 불량 발생된 화소를 암점화 시키는 리페어 단계를 포함한다. 상기 표시 패널 리페어 장치는 광학계, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널을 촬영하도록 구비된 카메라, 및 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 배치되는 필터를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 시각 검사 단계는 상기 검사 대상 표시 패널의 화질 특성 및 불량을 검사하는 자동 시각 검사(automatic visual inspection, AVI) 단계로, 상기 검사 대상 표시 패널에 검사 신호를 인가하여 검사하여, 상기 1차 불량 위치를 확인할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 필터는 편광 필터일 수 있다. 상기 검사 대상 표시 패널은 액정 표시 패널이고, 상기 액정 표시 패널은 하부 기판, 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하고, 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판에는 편광판이 부착되지 않은 상태일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 표시 패널 리페어 장치는 상기 검사 대상 표시 패널에 광을 공급하는 백라이트, 및 상기 백라이트와 상기 검사 대상 표시 패널 사이에 배치되는 하부 편광판을 더 포함할 수 있다. 상기 편광 검사 단계는, 상기 백라트에서 발생한 상기 광을 상기 편광판에 조사하는 광 조사 단계, 상기 광이 상기 하부 편광판을 투과하여 상기 광학계로 진행하는 하부 편광판 투과 단계, 상기 편광판을 투과한 광이 상기 검사 대상 표시 패널을 투과하는 단계, 상기 검사 대상 표시 패널을 투과한 광이 상기 광학계를 투과하는 광학계 투과 단계, 상기 광학계를 투과한 광이 상기 필터를 투과하는 필터 투과 단계, 및 상기 필터를 투과한 광을 상기 카메라가 인식하는 이미지 인식 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 필터는 반사 방지(AR: anti-reflection) 필터일 수 있다. 상기 검사 대상 표시 패널은 양자점-유기 발광 표시 패널이고, 상기 양자점-유기 발광 표시 패널은 발광 구조물이 형성된 하부 기판 및 파장 변환층을 포함하는 상부 기판을 포함하고, 상기 상부 기판 상에 반사 방지 필름이 부착되지 않은 상태일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 표시 패널 리페어 장치는 레이저 발생부를 더 포함할 수 있다. 상기 리페어 단계의 상기 물리적 암점화는, 상기 레이저 발생부에서 레이저를 발생하는 레이저 발생 단계, 상기 레이저가 상기 광학계를 통과하는 광학계 통과 단계, 및 상기 광학계를 통과한 상기 레이저가 검사 대상 기판에 제공되는 단계를 통해 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 리페어 단계에서, 상기 전기적 암점화는 상기 검사 대상 표시 패널의 배선을 절단 하는 방법에 의해 수행될 수 있다. 상기 물리적 암점화는 상기 검사 대상 표시 패널의 블랙 매트릭스를 녹이거나, 상기 검사 대상 표시 패널의 컬러 필터 또는 파장 변환층을 탄화 시켜 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 리페어 단계에서는, 상기 2차 불량 위치에 대해, 레이저를 조사하여 리페어를 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 검사 대상 표시 패널을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되는 광학계, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널에 레이저를 제공하도록 구비된 레이저 발생부, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널을 촬영하도록 구비된 카메라, 및 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 배치되어 필터의 적용 여부를 선택하는 필터 선택부를 포함하는 를 포함하는 표시 패널 리페어 장치를 이용하여 표시 패널 리페어 방법을 수행할 수 있다.
상기 검사 대상 표시 패널은 완제품으로 완성되기 전의 중간 제품 상태에서, dot 불량을 검사하여 리페어 함으로써, 제조 수율이 향상될 수 있다.
또한, 시각 검사 단계와 편광 검사 단계를 통해, 불량의 유형과 정확한 위치를 확인하여, 이에 대한 적절한 리페어 방법을 선택할 수 있으므로, 전기적 암점화 또는 물리적 암점화를 이용한 적절한 리페어 방법으로 검사 대상 표시 패널을 리페어 할 수 있다. 이에 따라 제조 수율이 향상될 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 액정 표시 패널인 검사 대상 표시 패널의 단면도이다.
도 3a는 도 1의 표시 패널 리페어 장치를 이용하여 필터 없이 확인한 표시 패널의 불량 부분을 나타낸 사진이다.
도 3b는 도 1의 표시 패널 리페어 장치를 이용하여 필터를 사용하여 확인한 표시 패널의 불량 부분을 나타낸 사진이다.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 양자점-유기 발광 표시 패널인 검사 대상 표시 패널의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 방법을 나타낸 순서도이다.
도 7은 도 6의 편광 검사 단계(S200)를 자세히 나타낸 순서도이다.
도 8은 도 6의 리페어 단계(S300)를 자세히 나타낸 순서도이다.
도 9는 도 8의 물리적 암점화 단계(S320)를 자세히 나타낸 순서도이다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 상기 표시 패널 리페어 장치는 스테이지(100), 백라이트(102), 하부 편광판(110), 광학계(200), 레이저 발생부(300), 카메라(400), 및 필터 선택부(500)를 포함할 수 있따.
상기 스테이지(100)는 제1 방향(D1) 및 상기 제1 방향(D1)에 수직하는 제2 방향(D2)이 이루는 평면 상에 배치되어, 검사 대상 표시 패널(1)을 지지할 수 있다. 상기 스테이지(100)는 상기 검사 대상 표시 패널(1)을 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제2 방향(D2)을 따라 원하는 위치로 이동시킬 수 있으며, 필요에 따라, 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제2 방향(D2)에 수직한 제3 방향(D3)을 따라 이동하여, 상기 광학계(200)와 상기 검사 대상 표시 패널(1) 간의 거리를 조절할 수 있다.
상기 백라이트(102)는 상기 스테이지(100)에 설치되어, 상기 스테이지(100) 상의 상기 검사 대상 표시 패널(1)에 광을 공급할 수 있다. 즉, 상기 검사 대상 표시 패널(1)이 액정 표시 패널인 경우, 상기 액정 표시 패널에 광을 공급하는 백라이트 유닛을 상기 액정 표시 패널에 조립하지 않더라도, 완제품과 유사한 환경에서 검사를 실시 할 수 있다. 이때, 상기 백라이트(102)는 상기 표시 패널(1) 전체에 대해 광을 공급할 수도 있으나, 필요에 따라, 검사 대상 위치에만 광을 공급(점광원)하도록 구성될 수도 있을 것이다.
상기 하부 편광판(110)은 상기 백라이트(102)와 상기 검사 대상 표시 패널(1) 사이에 배치될 수 있다. 상기 하부 편광 판(110)을 투과하는 광은 편광(polarized)될 수 있다. 이때, 상기 백라이트(102)에서 발생한 상기 광은 상기 하부 편광판(110)을 통해 상기 검사 대상 표시 패널(1)에 공급될 수 있다.
여기서, 상기 검사 대상 표시 패널(1)은 액정 표시 패널 일 수 있으며, 상기 액정 표시 패널은 하부 기판, 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하고, 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판에는 편광판이 부착되지 않은 상태일 수 있다.
상기 광학계(200)는 상기 카메라(400)와 상기 검사 대상 표시 패널(1) 사이 및 상기 레이저 발생부(300)와 상기 검사 대상 표시 패널(1) 사이에 배치될 수 있다.
상기 광학계(200)는 복수의 구면 렌즈, 원통면 렌즈, 프리즘, 미러 등으로 구성될 수 있으며, 상기 레이저 발생기(300)에서 발생한 레이저를 리페어(repair)에 적합한 레이저 빔경 및 빔 발산각을 갖도록 성형할 수 있다. 또한, 상기 광학계(200)는 상기 카메라(400)가 상기 검사 대상 표시 패널(1)의 불량 위치를 확인하기 위해, 적절한 배율로 확대할 수 있다. 상기 광학계(200)는 배율 선택부(210)를 포함할 수 있다. 상기 배율 선택부(210)는 서로 다른 배율을 갖는 복수의 렌즈들을 포함하여, 상기 렌즈들을 선택함으로써, 상기 광학계(200)를 통과하는 광의 배율을 조절할 수 있다. 예를 들면, 상기 카메라(400)에 대해 2배, 5배, 10배, 20배, 50배 렌즈 등을 선택할 수 있다.
상기 필터 선택부(500)는 상기 카메라(400)와 상기 광학계(200) 사이에 배치되어 필터(510)의 적용 여부를 선택할 수 있다. 여기서, 상기 필터(510)는 편광 필터일 수 있다. 이에 따라, 상기 검사 대상 표시 패널(1)에 대해, 상기 필터(510)가 완제품 상의 상부 편광판 역할을 할 수 있으며, 상기 하부 편광판(110)이 완제품 상의 하부 편광판 역할을 할 수 있다.
상기 필터 선택부(500)는 상기 필터(510)를 상기 카메라(400)와 상기 광학계(200) 사이에 위치시키거나, 상기 필터(510)를 상기 카메라(400) 및 상기 광학계(200)와 이격되도록 이동시켜, 상기 필터(510)의 적용 여부를 선택할 수 있다. 예를 들면, 상기 필터(510)는 상기 카메라(400)의 광 경로 상에 In/out 가능하도록 슬라이드될 수 있다. 즉, 상기 필터 선택부(500)는 상기 필터(510)를 상기 카메라(400)와 상기 광학계(200) 사이 또는 바깥에 위치시키도록, 상기 필터(510)를 슬라이드 시켜, 상기 필터(510)의 적용 여부를 선택할 수 있다. 이때, 상기 필터 선택부(500)의 상기 필터(510)는 상기 레이저 발생기(300)의 레이저 광의 경로에는 간섭이 없도록 배치되므로, 상기 필터(510)가 상기 레이저 광의 특성을 변경시키지 않을 수 있다.
상기 카메라(400)는 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널(1)을 촬영하도록 구비될 수 있다.
상기 레이저 발생부(300)는 상기 광학계400)를 통해 상기 검사 대상 표시 패널(1)에 레이저를 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 레이저 발생부(300)는 펄스 레이저나 연속파 발진 레이저 발생할 수 있다. 예를 들면, 상기 레이저 발생부(300)는 반도체 레이저(LD:Laser Diode), Nd:YAG 레이저 등의 고체 레이저, 엑시머 레이저, CO, CO2, He-Ne, HF 등의 기체 레이저를 발생할 수 있다.
이 때, Nd YAG 레이저는 330 ~ 340㎚, 530 ~ 540㎚ 및 1060 ~ 1070㎚ 파장, 엑시머 레이저는 190 ~ 200㎚ 파장 및 다이오드 레이저는 100 ~ 1000㎚ 파장을 가질 수 있다. 또한, CO 레이저는 4900 ~ 5100㎚ 파장, CO2 레이저는 100 ~ 110㎚ 파장, He-Ne 레이저는 630 ~ 640㎚ 파장, HF 레이저는 2700 ~ 2900㎚ 파장을 가질 수 있다. 한편, 상기 레이저의 펄스파의 폭(pulse width)는 약 190 펨토초(pemtosecond) 내지 10 나노초(nanosecond) 범위 일 수 있다.
상기 레이저는 휘점결함 화소(불량)의 주변 화소에 영향을 주지 않고 상기 휘점결함 화소를 적절한 방법으로 암점화(흑화)를 가능하게 한다. 상기 레이저 발생기(300)로부터 발생된 상기 레이저는 상기 검사 대상 표시 패널(1)에 제공되어, 물리적 암점화를 통해 리페어(repair)를 진행할 수 있다. 예를 들면, 상기 레이저를 이용하여 상기 검사 대상 표시 패널(1)의 블랙 매트릭스를 녹이거나, 상기 검사 대상 표시 패널(1)의 컬러 필터 또는 파장 변환층을 탄화 시켜 상기 물리적 암점화가 수행될 수 있다.
도 2는 도 1의 액정 표시 패널인 검사 대상 표시 패널의 단면도이다.
도 2를 참조하면, 상기 액정 표시 패널은 하부 기판(10), 상부 기판(20), 및 상기 하부 기판(10)과 상기 상부 기판(20) 사이에 배치되는 액정층(30)을 포함할 수 있다.
상기 하부 기판(10)은 하부 베이스 기판(11), 박막 트랜지스터 층(12), 하부 배향막(PI1)을 포함할 수 있다.
상기 하부 베이스 기판(11)은 투명 절연 기판을 포함할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터 층(12)은 상기 하부 베이스 기판(11) 상에 배치되며, 복수 절연층들과 도전층들을 포함할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터 층(12)은 상기 절연층들과 도전층들로 구성된 복수의 박막 트랜지스터들을 포함할 수 있다. 상기 하부 배향막(PI1)은 상기 박막 트랜지스터 층(12) 상에 배치될 수 있다. 상기 하부 배향막(PI1)은 액정 분자를 배향할 수 있는 배향물질을 포함할 수 있다. 자세히 도시하지 않았으나, 상기 하부 기판(10)은 상기 박막 트랜지스터들과 전기적으로 연결되는 화소 전극들을 더 포함할 수 있다.
상기 상부 기판(20)은 상부 베이스 기판(21), 블랙 매트릭스(BM), 컬러 필터(R, G, B) 및 상부 배향막(PI2)을 포함할 수 있다.
상기 상부 베이스 기판(21)은 투명 절연 기판을 포함할 수 있다. 상기 상부 베이스 기판(21)은 상기 하부 베이스 기판(11)과 대향하게 배치될 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(BM)는 상기 상부 베이스 기판(61) 상에 배치될 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(BM)는 카본(Carbon) 계열의 안료가 혼합된 폴리이미드를 포함할 수 있다.
상기 컬러 필터(R, G, B)가 상기 상부 베이스 기판(21) 상에 배치될 수 있다. 상기 컬러 필터(R, G, B)는 상기 액정층(30)을 투과하는 광에 색을 제공하기 위한 것으로 적색 컬러 필터(red color filter), 녹색 컬러 필터(green color filter) 및 청색 컬러 필터(blue color filter)일 수 있다.
상기 상부 배향막(PI2)은 상기 컬러 필터(R, G, B) 상에 배치될 수 있다. 상기 상부 배향막(PI2)은 액정 분자를 배향할 수 있는 배향물질을 포함할 수 있다. 자세히 도시하지 않았으나, 상기 상부 기판(20)은 상기 화소 전극과 전계를 형성하는 대향 전극을 더 포함할 수 있다.
상기 액정층(30)은 상기 하부 배향막(PI1)과 상기 상부 배향막(ㅔPI2) 사이에 배치될 수 있다. 상기 액정층(30)은 광학적 이방성을 갖는 액정 분자들을 포함할 수 있다. 상기 액정 분자들은 전계에 의해 구동되어 상기 액정층(30)을 지나는 광을 투과시키거나 차단시켜 영상을 표시할 수 있다.
상기 액정 표시 패널인 상기 검사 대상 표시 패널(1)은 하부 편광판 및 상부 편광판이 부착되기 전의 상태로, 하부 기판(10)과 상부 기판(20)이 합착되어 상기 액정층(30)이 형성된 후, 상기 하부 및 상부 편광판 부착 등의 후속 공정이 진행되기 전의 중간 제품 상태일 수 있다. 즉, 상기 액정 표시 패널이 완성되기 위해서는 상기 하부 기판(10) 아래 상기 하부 편광판이 부착되고, 상기 상부 기판(20) 위에 상부 편광판이 부착되어야 한다.
따라서, 상기 검사 대상 표시 패널(1)은 완제품으로 완성되기 전의 중간 제품 상태에서, dot 불량을 검사하여 리페어 함으로써, 제조 수율이 향상될 수 있다.
도 3a는 도 1의 표시 패널 리페어 장치를 이용하여 필터 없이 확인한 표시 패널의 불량 부분을 나타낸 사진이다. 도 3b는 도 1의 표시 패널 리페어 장치를 이용하여 필터를 사용하여 확인한 표시 패널의 불량 부분을 나타낸 사진이다.
도 3a을 참조하면, 검사 대상 표시 패널은 액정 표시 패널인 경우로, 편광 필터인 상기 필터를 미사용한 경우, 불량의 종류에 따라 불량 위치를 명확하게 식별하기 어려운 경우가 있다.
반면, 도 3b를 참조하면, 불량의 종류(예를들면, 이물성 dot 불량, 배향 불량성 dot 불량)와 정확한 불량 위치를 보다 상세하게 확인이 가능함을 알 수 있다.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 상기 표시 패널 리페어 장치는 백라이트 및 하부 편광판을 불필요 하는 점과, 검사 대상 표시 패널(2)이 양자점-유기 발광 표시 패널인 점과 필터 선택부의 필터를 제외하고, 도 1의 표시 패널 리페어 장치와 실질적으로 동일하다. 따라서 반복되는 설명은 생략한다.
필터 선택부(600)의 필터(610)는 반사 방지(AR: anti-reflection) 필터 일 수 있다. 상기 필터 선택부(600)는 상기 필터(610)를 카메라(400)와 광학계(200) 사이에 위치시키거나, 상기 필터(610)를 상기 카메라(400)와 상기 광학계(200)와 이격되도록 이동시켜, 상기 필터(610)의 적용 여부를 선택할 수 있다. 여기서 상기 반사 방지 필터는 반사 방지 필름(AR film: anti-reflection film)일 수 있다. 상기 검사 대상 표시 패널(2)이 양자점-유기 발광 표시 패널(QD-OLED)인 경우, 상기 양자점-유기 발광 표시 패널은 상부 기판 상에 반사 방지 필름이 부착되어 완제품이 되는데, 상기 반사 방지 필름이 부착되기전의 중간 제품 상태에서도, 완제품 상태에서 확인되는 것과 동등한 불량 형태(정보)를 검출할 수 있으며, 이에 따라 정확한 불량 유형별 리페어가 적용 가능하다.
상기 검사 대상 표시 패널(2)은 상기 양자점-유기 발광 표시 패널일 수 있다. 상기 양자점-유기 발광 표시 패널은 발광 구조물이 형성된 하부 기판 및 파장 변환층을 포함하는 상부 기판을 포함할 수 있다. 설명한 바와 같이, 상기 상부 기판 상에 반사 방지 필름이 부착되지 않은 상태로 검사가 진행 될 수 있다.
도 5는 도 4의 양자점-유기 발광 표시 패널인 검사 대상 표시 패널의 단면도이다.
도 5를 참조하면, 상기 양자점-유기 발광 표시 패널(2)은 하부 기판(50) 및 상부 기판(60)을 포함할 수 있다.
상기 하부 기판(50)은 하부 베이스 기판(51), 박막 트랜지스터 층(52) 및 발광 구조물(53)을 포함할 수 있다.
상기 하부 베이스 기판(51)은 투명 절연 기판을 포함할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터 층(52)은 상기 하부 베이스 기판(51) 상에 배치되며, 복수 절연층들과 도전층들을 포함할 수 있다. 상기 박막 트랜지스터 층(52)은 상기 절연층들과 도전층들로 구성된 복수의 박막 트랜지스터들을 포함할 수 있다.
상기 발광 구조물(53)은 상기 박막 트랜지스터 층(52) 상에 배치될 수 있다. 상기 발광 구조물(53)은 상기 박막 트랜지스터 층(52)의 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제1 전극, 상기 제1 전극과 대향하는 제2 전극 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되는 발광층을 포함할 수 있다. 상기 발광층은 유기 발광층(EL), 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 등을 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 발광층은 청색광을 방출할 수 있다.
상기 상부 기판(60)은 상부 베이스 기판(61), 블랙 매트릭스(BM), 파장 변환층(R,G) 및 투과층(T)을 포함할 수 있다.
상기 상부 베이스 기판(61)은 투명 절연 기판을 포함할 수 있다. 상기 상부 베이스 기판(61)은 상기 하부 베이스 기판(51)과 대향하게 배치될 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(BM)는 상기 상부 베이스 기판(61) 상에 배치될 수 있다. 상기 블랙 매트릭스(BM)는 카본(Carbon) 계열의 안료가 혼합된 폴리이미드를 포함할 수 있다.
상기 파장 변환층(R, G) 및 상기 투과층(T)이 상기 상부 베이스 기판(61) 상에 배치될 수 있다. 상기 파장 변환층(R, G)은 상기 발광 구조물(53)로부터 제공된 광의 파장을 변환시켜, 컬러 광을 방출할 수 있다. 예를 들면, 상기 파장 변환층(R, G) 적색 색변환층 및 녹색 색변환층일 수 있다. 상기 적색 색변환층은 적색의 양자점 입자 및/또는 적색 형광체 등의 색변환 물질을 포함할 수 있다. 상기 녹색 색변환층은 녹색의 양자점 입자 및/또는 적색 형광체 등의 색변환 물질을 포함할 수 있다.
상기 적색 또는 녹색 양자점은 수 나노 크기의 결정 구조를 가진 물질로, 수백에서 수천 개 정도의 원자로 구성된다. 상기 양자점은 크기가 매우 작기 때문에 양자 구속(quantum confinement) 효과가 나타난다. 상기 양자 구속 효과는 물체가 나노 크기 이하로 작아지는 경우 그 물체의 에너지 띠 간격(band gap)이 커지는 현상을 말한다. 이에 따라, 상기 양자점에 상기 에너지 띠 간격보다 에너지가 높은 파장의 빛이 입사하는 경우, 상기 양자점은 그 빛을 흡수하여 들뜬 상태로 되고, 특정 파장의 광을 방출하면서 바닥 상태로 떨어진다. 상기 방출된 파장의 광은 상기 에너지 띠 간격에 해당되는 값을 갖는다. 상기 양자점은 그 크기와 조성 등을 조절하면 상기 양자 구속 효과에 의한 발광 특성을 조절할 수 있다.
상기 투과층(T)은 투과하는 광의 파장을 변환시키지 않고 진행 방향만 변화시키는 산란 입자를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 투과층(T)은 상기 발광 구조물(53)에서 발생된 청색광을 투과시킬 수 있다.
상기 양자점-유기 발광 표시 패널인 상기 검사 대상 표시 패널(1)은 반사 방지 필름(AR 필름: anti-reflection 필름)을 상기 상부 기판(60) 위에 부착하기 전의 상태로, 중간 제품 상태일 수 있다. 즉, 상기 양자점-유기 발광 표시 패널이 완성되기 위해서는 상기 상부 기판(60) 위에 반사 방지 필름이 부착되어야 한다.
따라서, 상기 검사 대상 표시 패널(1)은 완제품으로 완성되기 전의 중간 제품 상태에서, dot 불량을 검사하여 리페어 함으로써, 제조 수율이 향상될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 리페어 방법을 나타낸 순서도이다.
도 6을 참조하면, 상기 표시 패널 리페어 방법은 시각 검사 단계(S100), 편광 검사 단계(S200), 및 리페어 단계(S300)을 포함할 수 있다.
상기 표시 패널 리페어 방법은 도 1 또는 도 5의 표시 패널 리페어 장치를 이용하여 수행될 수 있다.
상기 시각 검사 단계(S100)에서는, 검사 대상 표시 패널에 대한 시각적 검사를 통해 1차 불량 위치를 확인할 수 있다.
상기 시각 검사 단계는 상기 검사 대상 표시 패널의 화질 특성 및 불량을 검사하는 자동 시각 검사(automatic visual inspection, AVI) 단계로, 상기 검사 대상 표시 패널에 검사 신호를 인가하여 검사하여, 상기 1차 불량 위치를 확인할 수 있다.
예를 들면, 이물에 의한 액정 뒤틀림, ODF 또는 PI 불량 등에 의한 휘점결함, TFT 형성 불량 등 전기적 배선 결함에 의한 불량이 발생한 화소의 좌표가 상기 1차 불량 위치로 확인될 수 있다.
다만, 상기 1차 불량 위치는 불량이 발생한 화소의 위치 좌표로, 정확한 불량 발생 위치 및 불량 원인등에 대한 정보는 포함하지 않을 수 있다.
특히, 상기 시각 검사 단계(S100)에서는, 상부 편광판 및 하부 편광판이 부착되지 않은 상태에서, 진행되는 검사로, 밝게 빛나는 Dot 불량에 대해서만 확인 가능하며, 불량 형태, 불량의 정확한 위치, 불량의 형태 구별이 불가능하기 때문이다.
상기 편광 검사 단계(S200)에서는, 상기 검사 대상 표시 패널의 상기 1차 불량 위치에 대해, 상기 표시 패널 리페어 장치를 이용하여, 상기 1차 불량 위치에 대해 보정된 2차 불량 위치를 확인할 수 있다.
상기 리페어 단계(S300)에서는, 상기 검사 대상 표시 패널의 상기 2차 불량 위치에 대해, 물리적 암점화 또는 전기적 암점화를 통해 불량 발생된 화소를 암점화 시키는 리페어를 진행할 수 있다. 예를 들면, 상기 2차 불량 위치에 대해, 레이저를 조사하여 리페어를 수행할 수 있다.
도 7은 도 6의 편광 검사 단계(S200)를 자세히 나타낸 순서도이다.
도 6 및 7을 참조하면, 상기 편광 검사 단계(S200)는 광 조사 단계(S210), 하부 편광판 투과 단계(S220), 검사 대상 기판 투과 단계(S230), 광학계 투과 단계(S240), 편광필터 투과 단계(S250), 및 이미지 인식 단계(S260)를 포함할 수 있다.
상기 광 조사 단계(S210)에서는, 상기 백라트에서 발생한 상기 광을 상기 편광판에 조사할 수 있다.
상기 하부 편광판 투과 단계(S220)에서는, 상기 광이 상기 하부 편광판을 투과하여 상기 광학계로 진행할 수 있다.
상기 검사 대상 기판 투과 단계(S230)에서는, 상기 편광판을 투과한 광이 상기 검사 대상 표시 패널을 투과할 수 있다.
상기 광학계 투과 단계(S240)에서는, 상기 검사 대상 표시 패널을 투과한 광이 상기 광학계를 투과할 수 있다.
상기 편광필터 투과 단계(S250)에서는, 상기 광학계를 투과한 광이 상기 편광 필터를 투과할 수 있다.
상기 이미지 인식 단계(S260)에서는, 상기 필터를 투과한 광을 상기 카메라가 인식할 수 있다.
도 8은 도 6의 리페어 단계(S300)를 자세히 나타낸 순서도이다.
도 6 및 도 8을 참조하면, 상기 리페어 단계(S300)는 전기적 암점화 단계(S310) 및 물리적 암점화 단계(S320)을 포함할 수 있다. 상기 전기적 암점화 단계(S310)는 상기 검사 대상 표시 패널의 배선을 절단 하는 방법에 의해 수행될 수 있다.
상기 물리적 암점화 단계(S320)는 상기 검사 대상 표시 패널의 블랙 매트릭스를 녹이거나, 상기 검사 대상 표시 패널의 컬러 필터 또는 파장 변환층을 탄화 시켜 수행될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 시각 검사 단계(S100)와 상기 편광 검사 단계(S300)를 통해, 불량의 유형과 정확한 위치를 확인하여, 이에 대한 적절한 리페어 방법을 선택할 수 있으므로, 전기적 암점화 또는 물리적 암점화를 이용한 적절한 리페어 방법으로 검사 대상 표시 패널을 리페어 할 수 있다. 이에 따라 제조 수율이 향상될 수 있다.
도 9는 도 8의 물리적 암점화 단계(S320)를 자세히 나타낸 순서도이다.
도 8 및 9를 참조하면, 상기 리페어 단계의 상기 물리적 암점화는, 상기 레이저 발생부에서 레이저를 발생하는 레이저 발생 단계(S321), 상기 레이저가 상기 광학계를 통과하는 광학계 통과 단계(S322), 및 상기 광학계를 통과한 상기 레이저가 검사 대상 기판에 제공되는 단계(S323)를 통해 수행될 수 있다.
예를 들면, 상기 물리적 암점화는 검사 대상 표시 패널의 컬러 필터층 또는 유기 재료를 포함하는 유기층이 태워지면서 탄화되어 수행될 수 있다. 이로 인해 불량 화소 영역은 암점으로 인식될 수 있다. 또한, 상기 물리적 암점화는 이물과 근접한 블랙 매트릭스를 녹여 상기 이물이 존재하는 영역을 암점화하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 검사 대상 표시 패널을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되는 광학계, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널에 레이저를 제공하도록 구비된 레이저 발생부, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널을 촬영하도록 구비된 카메라, 및 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 배치되어 필터의 적용 여부를 선택하는 필터 선택부를 포함하는 를 포함하는 표시 패널 리페어 장치를 이용하여 표시 패널 리페어 방법을 수행할 수 있다.
상기 검사 대상 표시 패널은 완제품으로 완성되기 전의 중간 제품 상태에서, dot 불량을 검사하여 리페어 함으로써, 제조 수율이 향상될 수 있다.
또한, 시각 검사 단계와 편광 검사 단계를 통해, 불량의 유형과 정확한 위치를 확인하여, 이에 대한 적절한 리페어 방법을 선택할 수 있으므로, 전기적 암점화 또는 물리적 암점화를 이용한 적절한 리페어 방법으로 검사 대상 표시 패널을 리페어 할 수 있다. 이에 따라 제조 수율이 향상될 수 있다.
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 이를 포함하는 다양한 전자 기기들의 제조에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명은 휴대폰, 스마트폰, 비디오폰, 스마트패드, 스마트 워치, 태블릿 PC, 차량용 네비게이션, 텔레비전, 컴퓨터 모니터, 노트북, 헤드 마운트 디스플레이 등의 제조에 적용될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 스테이지 110: 하부 편광판
200: 광학계 210: 배율 선택부
300: 레이저 발생부 400: 카메라
500: 필터 선택부 510: 필터

Claims (20)

  1. 검사 대상 표시 패널을 지지하는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 배치되는 광학계;
    상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널에 레이저를 제공하도록 구비된 레이저 발생부;
    상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널을 촬영하도록 구비된 카메라; 및
    상기 카메라와 상기 광학계 사이에 배치되어 필터의 적용 여부를 선택하는 필터 선택부를 포함하는 표시 패널 리페어 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필터 선택부의 상기 필터는 편광 필터이고,
    상기 필터 선택부는 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 위치시키거나, 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계와 이격되도록 이동시켜, 상기 필터의 적용 여부를 선택하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 스테이지 상의 상기 검사 대상 표시 패널에 광을 공급하는 백라이트; 및
    상기 백라이트와 상기 검사 대상 표시 패널 사이에 배치되는 하부 편광판을 더 포함하고,
    상기 백라이트의 상기 광은 상기 하부 편광판을 통해 상기 검사 대상 표시 패널에 공급되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 검사 대상 표시 패널은 액정 표시 패널이고,
    상기 액정 표시 패널은 하부 기판, 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하고,
    상기 상부 기판 및 상기 하부 기판에는 편광판이 부착되지 않은 상태인 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 필터 선택부의 상기 필터는 반사 방지(AR: anti-reflection) 필터이고,
    상기 필터 선택부는 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 위치시키거나, 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계와 이격되도록 이동시켜, 상기 필터의 적용 여부를 선택하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 검사 대상 표시 패널은 양자점-유기 발광 표시 패널이고,
    상기 양자점-유기 발광 표시 패널은 발광 구조물이 형성된 하부 기판 및 파장 변환층을 포함하는 상부 기판을 포함하고,
    상기 상부 기판 상에 반사 방지 필름이 부착되지 않은 상태인 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 필터 선택부는 상기 필터를 상기 카메라와 상기 광학계 사이 또는 바깥에 위치시키도록, 상기 필터를 슬라이드 시켜, 상기 필터의 적용 여부를 선택하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 필터 선택부의 상기 필터는 상기 레이저 발생기의 레이저 광의 경로에는 간섭이 없는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 광학계는 배율 선택부를 포함하고,
    상기 배율 선택부는 서로 다른 배율을 갖는 복수의 렌즈들을 포함하여, 상기 렌즈들을 선택함으로써, 상기 광학계를 통과하는 광의 배율을 조절하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 카메라를 통해 확인된 불량 위치로 상기 스테이지를 이동 시킨 후, 상기 레이저 발생부에서 발생한 상기 레이저가 상기 불량 위치에 조사되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 레이저 발생기로부터 발생된 상기 레이저는 상기 검사 대상 표시 패널에 제공되어, 물리적 암점화를 통해 리페어(repair)를 진행하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 물리적 암점화는
    상기 레이저를 이용하여 상기 검사 대상 표시 패널의 블랙 매트릭스를 녹이거나, 상기 검사 대상 표시 패널의 컬러 필터 또는 파장 변환층을 탄화 시켜 수행되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 장치.
  13. 검사 대상 표시 패널에 대한 시각적 검사를 통해 1차 불량 위치를 확인하는 시각 검사 단계;
    상기 검사 대상 표시 패널의 상기 1차 불량 위치에 대해, 표시 패널 리페어 장치를 이용하여, 상기 1차 불량 위치에 대해 보정된 2차 불량 위치를 확인하는 편광 검사 단계; 및
    상기 검사 대상 표시 패널의 상기 2차 불량 위치에 대해, 물리적 암점화 또는 전기적 암점화를 통해 불량 발생된 화소를 암점화 시키는 리페어 단계를 포함하고,
    상기 표시 패널 리페어 장치는 광학계, 상기 광학계를 통해 상기 검사 대상 표시 패널을 촬영하도록 구비된 카메라, 및 상기 카메라와 상기 광학계 사이에 배치되는 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 시각 검사 단계는 상기 검사 대상 표시 패널의 화질 특성 및 불량을 검사하는 자동 시각 검사(automatic visual inspection, AVI) 단계로, 상기 검사 대상 표시 패널에 검사 신호를 인가하여 검사하여, 상기 1차 불량 위치를 확인하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 필터는 편광 필터이고,
    상기 검사 대상 표시 패널은 액정 표시 패널이고, 상기 액정 표시 패널은 하부 기판, 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하고, 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판에는 편광판이 부착되지 않은 상태인 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 표시 패널 리페어 장치는 상기 검사 대상 표시 패널에 광을 공급하는 백라이트, 및 상기 백라이트와 상기 검사 대상 표시 패널 사이에 배치되는 하부 편광판을 더 포함하고,
    상기 편광 검사 단계는,
    상기 백라트에서 발생한 상기 광을 상기 편광판에 조사하는 광 조사 단계;
    상기 광이 상기 하부 편광판을 투과하여 상기 광학계로 진행하는 하부 편광판 투과 단계;
    상기 편광판을 투과한 광이 상기 검사 대상 표시 패널을 투과하는 단계;
    상기 검사 대상 표시 패널을 투과한 광이 상기 광학계를 투과하는 광학계 투과 단계;
    상기 광학계를 투과한 광이 상기 필터를 투과하는 필터 투과 단계; 및
    상기 필터를 투과한 광을 상기 카메라가 인식하는 이미지 인식 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.
  17. 제13 항에 있어서,
    상기 필터는 반사 방지(AR: anti-reflection) 필터이고,
    상기 검사 대상 표시 패널은 양자점-유기 발광 표시 패널이고, 상기 양자점-유기 발광 표시 패널은 발광 구조물이 형성된 하부 기판 및 파장 변환층을 포함하는 상부 기판을 포함하고, 상기 상부 기판 상에 반사 방지 필름이 부착되지 않은 상태인 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.
  18. 제13 항에 있어서,
    상기 표시 패널 리페어 장치는 레이저 발생부를 더 포함하고,
    상기 리페어 단계의 상기 물리적 암점화는,
    상기 레이저 발생부에서 레이저를 발생하는 레이저 발생 단계;
    상기 레이저가 상기 광학계를 통과하는 광학계 통과 단계; 및
    상기 광학계를 통과한 상기 레이저가 검사 대상 기판에 제공되는 단계를 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.
  19. 제13 항에 있어서,
    상기 리페어 단계에서,
    상기 전기적 암점화는 상기 검사 대상 표시 패널의 배선을 절단 하는 방법에 의해 수행되고,
    상기 물리적 암점화는 상기 검사 대상 표시 패널의 블랙 매트릭스를 녹이거나, 상기 검사 대상 표시 패널의 컬러 필터 또는 파장 변환층을 탄화 시켜 수행되는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.
  20. 제13 항에 있어서,
    상기 리페어 단계에서는, 상기 2차 불량 위치에 대해, 레이저를 조사하여 리페어를 수행하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 리페어 방법.

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