CN104932198A - 感光性树脂组合物及其应用 - Google Patents
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Abstract
本发明是有关一种感光性树脂组合物及其应用。该感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、醌二叠氮磺酸酯(D)及溶剂(E)。该碱可溶性树脂(A)包含具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)。本发明的感光性树脂组合物可用以形成液晶显示元件的间隙体或保护膜。本发明的感光性树脂组合物具有良好的高温高湿下密着性,且不产生残渣。
Description
技术领域
本发明是有关一种感光性树脂组合物及其应用。特别是提供一种高温及高湿条件下密着性佳且无残渣的感光性树脂组合物,以及使用该组合物所形成的液晶显示元件的间隙体或保护膜。
背景技术
一般而言,彩色滤光层表面所印刷的彩色像素与黑色矩阵会产生凹凸不平,一般是于彩色滤光层的表面形成保护膜,藉此填平凹凸不平之处,以达到平坦化的要求。
然而,在制造液晶显示元件或固态成像装置等光学元件中,皆会遇到严苛条件下的处理程序,例如在基板表面以酸性溶剂或碱性溶液浸泡处理,或着以溅镀(Sputtering)形成配线电极层的处理。上述的处理步骤皆会造成局部腐蚀或产生高温。因此,上述的保护膜需具有可抵御此些处理的特性,包括耐热性、耐溶剂性、耐酸性及耐碱性等。
另一方面,在已知的彩色液晶显示元件中,为了维持两个基板间固定的层间距(细胞间隙),是于整个基板上随机喷洒如聚苯乙烯珠或硅珠,其中该珠的直径为两基板间的间距。然而,由于喷珠的位置及密度分布并不均匀,而使得背光源的光线受喷珠影响而散射,进而降低显示元件的对比度。因此,以光刻制程(photolithography)方式所开发出的间隙体用感光性组合物,遂成为业界的主流。该间隙体的形成方式是先将该间隙体用感光性组合物涂布于基板上,并于涂布后的基板与曝光源间放入一具有指定形状的掩模,而于曝光及显影后形成一间隙体。依据此方法,可于红色、绿色或蓝色像素外的指定位置上形成间隙体,以解决已知技术的问题。前述的细胞间隙也可利用感光性成分所形成的涂膜厚度来控制,而可容易控制细胞间隙的距离,进而具有较佳的精度。
由于该保护膜或间隙体是形成于彩色滤光片或是基板上,对透明度的要求极高。若保护膜或间隙体的透明度不佳,当应用于液晶显示元件时,将造成液晶显示元件的亮度不足,而影响液晶显示元件的显示品质。
为提高保护膜或间隙体的透明度,日本专利特开第2010-054561号专利揭示一种保护膜用感光性组合物,其包含碱可溶性粘结树脂(A)、乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)及溶剂(D),其中该乙烯性不饱和基的化合物(B)中的不饱和键的结合当量是介于90g/eq至450g/eq,且于乙烯性不饱和基的化合物(B)中,单一化合物的不饱和双键是介于2个至4个之间,以及该碱可溶性粘结树脂(A)的重量平均分子量为介于10,000至20,000间。另一方面,日本专利特开第2004-240241号专利揭示一种感光性组合物,其包含共聚合物(A),该共聚物(A)是由乙烯性不饱合羧酸(酐)、具环氧基的乙烯性不饱合基的化合物及其它乙烯性不饱合基的化合物所共聚合而得、乙烯性不饱合基的聚合物(B),以及光起始剂(C),其为2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(O-肟醋酸盐)、1,2-丁二酮-1-(4-吗啉基苯基)-2-(O-苯甲酰肟)、1,2-辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[O-(4-甲基苯甲酰)肟]或其类似物。然而,此等感光性组合物虽可制得高透明性的保护膜或间隙体,但却有高温及高湿条件下密着性不佳及易产生残渣的缺点。
有鉴于此,目前亟需发展一种高温及高湿条件下密着性佳且无残渣的间隙体或保护膜用感光性树脂组合物,以克服已知保护膜或间隙体的上述种种问题。
发明内容
因此,本发明的一个方面在于提供一种感光性树脂组合物。此感光性树脂组合物在高温及高湿环境下具有良好的密着性且不易产生残渣。
本发明的另一方面在于提供一种形成薄膜于基板上的方法,其是对基板上前述的感光性树脂组合物依序进行预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理。
本发明的又一方面在于提供一种基板上的薄膜,其是利用前述的方法制得。
本发明的再一方面在于提供一种液晶显示元件,其包含上述的薄膜。
根据本发明的上述方面,提出一种感光性树脂组合物,此感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、醌二叠氮磺酸酯(D)及溶剂(E),以下析述之。
感光性树脂组合物
碱可溶性树脂(A)
本发明的碱可溶性树脂(A)包含具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)。
在一实施例中,此具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)是先将不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)与其它不饱和化合物(a2)进行双键共聚合反应,以形成一聚合物,其中此聚合物的侧链具有羧酸基。然后,此聚合物的侧链中的羧酸基与具有环氧基的不饱和化合物(a3)进行加成反应,而制得具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)。
在另一实施例中,此具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)是先将其它不饱和化合物(a2)与具有环氧基的不饱和化合物(a3)进行双键共聚合反应,以形成一聚合物,其中此聚合物的侧链具有环氧基。然后,此聚合物的侧链中的环氧基与不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)进行加成反应,而制得具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)。
在又一实施例中,此具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)是先将其它不饱和化合物(a2)与具有环氧基的不饱和化合物(a3)进行双键共聚合反应,以形成一聚合物,其中此聚合物的侧链具有环氧基。然后,此聚合物的侧链中的环氧基与不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)进行加成反应后,进一步与酸酐类化合物进行半酯化反应而制得具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)。
不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)
该不饱和羧酸化合物可包含但不限于不饱和单羧酸化合物、不饱和多羧酸化合物、具有不饱和基及一个羧酸基的多环化合物,或具有不饱和基及多个羧酸基的多环化合物。
该不饱和单羧酸化合物可包含但不限于(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinate monoester)、2-(甲基)丙烯酰乙氧基六氢化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯或omega-羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯等。该omega-羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯可为东亚合成制造,型号为ARONIX M-5300的商品。
该不饱和多羧酸化合物可包含但不限于马来酸、富马酸、甲基富马酸、衣康酸或柠康酸等。
该具有不饱和基及一个羧酸基的多环化合物可包含但不限于5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯或5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯等。
该具有不饱和基及多个羧基的多环化合物可例如5,6-二羧基二环[2.2.1]庚-2-烯等。
上述的不饱和羧酸化合物可单独一种或混合多种使用。
较佳地,该不饱和羧酸化合物是选自于丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯酰基乙氧基六氢化苯二甲酸酯,或上述化合物的任意组合。
该不饱和羧酸酐化合物可包含但不限于不饱和羧酸酐化合物或具有不饱和基与羧酸酐的多环化合物。
该不饱和羧酸酐化合物可包含但不限于马来酸酐、富马酸酐、甲基富马酸酐、衣康酸酐或柠康酸酐等。该具有不饱和基及羧酸酐的多环化合物可包含但不限于5,6-二羧酸酐二环[2.2.1]庚-2-烯等。
该不饱和羧酸酐化合物可单独一种或混合多种使用。
较佳地,该不饱和羧酸酐化合物为马来酸酐。
其它不饱和化合物(a2)
该其它不饱和化合物(a2)可包含但不限于(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂环族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不饱和二羧酸酯、(甲基)丙烯酸羟烷酯、具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚、苯乙烯系化合物或上述化合物以外的不饱和化合物。
上述的(甲基)丙烯酸烷基酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁基酯或(甲基)丙烯酸叔丁基酯等。
上述的(甲基)丙烯酸脂环族酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯{或称三环[5.2.1.02,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯}、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯或(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯等。
上述(甲基)丙烯酸芳基酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸苯基酯或甲基丙烯酸苯甲酯等。
该不饱和二羧酸酯可包含但不限于马来酸二乙酯、富马酸二乙酯或衣康酸二乙酯等。
该(甲基)丙烯酸羟烷酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯或(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯等。
该具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚可包含但不限于聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯或聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯等。
该苯乙烯系化合物可包含但不限于苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间-甲基苯乙烯,对-甲基苯乙烯或对-甲氧基苯乙烯等。
上述化合物以外的不饱和化合物可包含但不限于丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-环己基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-芐基马来酰亚胺、N-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸酯、N-丁二酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、N-丁二酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸酯、N-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯或N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等。
该其它不饱和化合物(a2)可单独一种或混合多种使用。
较佳地,该其它不饱和化合物(a2)是选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯、甲基丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯或上述化合物的任意组合。
具有环氧基的不饱和化合物(a3)
该具有环氧基的不饱和化合物(a3)可包含但不限于具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物或环氧丙醚化合物等。
该具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物可包含但不限于(甲基)丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-环氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己酯或(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯等。
该具有环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物可包含但不限于α-乙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丁基丙烯酸环氧丙酯或α-乙基丙烯酸-6,7-环氧庚酯等。
该环氧丙醚化合物可包含但不限于邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)或对-乙烯基苯甲基环氧丙醚(p-vinylbenzylglycidylether)等。
该具有环氧基的不饱和化合物(a3)可单独一种或混合多种使用。
较佳地,该具有环氧基的不饱和化合物(a3)是选自于甲基丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚、对-乙烯基苯甲基环氧丙醚或上述化合物的任意组合。
当该具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)是先将不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)与其它不饱和化合物(a2)进行双键共聚合反应,并藉由所形成的聚合物的侧链中的羧酸基与具有环氧基的不饱和化合物(a3)进行加成反应,以制得具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)时,基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)及其它不饱和化合物(a2)的总使用量为100重量份,该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)的使用量为5重量份至60重量份,较佳为10重量份至55重量份,更佳为15重量份至50重量份;该其它不饱和化合物(a2)的使用量为40重量份至95重量份,较佳为45重量份至90重量份,更佳为50重量份至85重量份;且基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)及其它不饱和化合物(a2)的总使用量为100重量份,该具有环氧基的不饱和化合物(a3)的使用量为10重量份至40重量份,较佳为12重量份至35重量份,更佳为15重量份至30重量份。
基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)的使用量为50重量份至100重量份,较佳为60重量份至100重量份,更佳为70重量份至100重量份。
当具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)的使用量介于上述的范围时,具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)在曝光后,其不饱和键会与基板产生键结,而可提升高温高湿条件下密着性。
若具有碱可溶性树脂(A)不使用具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)时,所制得的感光性树脂组合物会有高温及高湿环境下密着性不佳的缺陷。
除前述具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)以外,本发明的碱可溶性树脂(A)可选择性的包含其它碱可溶性树脂(A-2)。
较佳地,该其它碱可溶性树脂(A-2)是由一混合物进行双键共聚合反应所制得,且该混合物包含前述的不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、其它不饱和化合物(a2)与具有环氧基的不饱和化合物(a3)。其中,该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、其它不饱和化合物(a2)与具有环氧基的不饱和化合物(a3)均如前所述,在此不另赘述。
具有乙烯性不饱和基的化合物(B)
具有乙烯性不饱和基的化合物(B)可包含直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)。
直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)
直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)具有两个反应性不饱和官能基,且此些官能基之间是以不具有环状结构的分子链键结。基于反应性的观点,前述的分子链较佳为直链,且其碳数为2以上。基于互溶性的观点,前述分子链的碳数较佳是12以下。
直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)较佳为乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯或1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯。
基于碱可溶性树脂(A)为100重量份,直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)的使用量为10重量份至150重量份,较佳为20重量份至120重量份,更佳为30重量份至100重量份。
当本发明的具有乙烯性不饱和基的化合物包含直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)时,所制得的感光性树脂组合物可进一步提升高温高湿环境下的密着性。
其它乙烯性不饱和基的化合物(B-2)
除前述的直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)外,本发明具有乙烯性不饱和基的化合物(B)可选择性地包含其它乙烯性不饱和基的化合物(B-2)。
该其它乙烯性不饱和基的化合物(B-2)可包含但不限于二(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧乙烷(简称EO)改质的三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧丙烷改质(简称PO)的三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羟甲基丙酯[di(trimethylolpropane)tetra(meth)acrylate]、经环氧乙烷改质的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改质的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的甘油三(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改质的双酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚缩水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等。前述其它乙烯性不饱和基的化合物(B-2)可单独一种或混合多种使用。
基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,该具有乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30重量份至300重量份,较佳为40重量份至250重量份,更佳为50重量份至200重量份。
光起始剂(C)
该光起始剂(C)可包含但不限于氧-酰基肟类化合物(O-acyloxime)或其它光起始剂。
氧-酰基肟类化合物
为使所形成的薄膜具有更佳的密着性,该光起始剂(C)较佳包含氧-酰基肟类化合物。
该氧-酰基肟类化合物可包含但不限于如下式(I)所示的氧-酰基肟类化合物,或其它氧-酰基肟类化合物等:
于式(I)中,X1、X2、X3、X4、X5、X6、X7、X8及X9各自表示氢、卤素、碳数为1至12的烷基、环戊基、环己基、苯基、芐基、苯甲酰基、碳数为2至12的烷酰基、碳数为2至12的烷氧羰基或苯氧基羰基;X10及X11各自表示氢、未被取代基取代且碳数为1至12的环烷基、被取代基取代且碳数为1至12环烷基、未被取代基取代且碳数为1至12个的直链烷基、被取代基取代且碳数为1至12的直链烷基、未被取代基取代且碳数为1至12的支链烷基、被取代基取代且碳数为1至12的支链烷基、未被取代基取代的芳基、被取代基取代的芳基。其中,上述的取代基是选自于卤素原子、碳数为1至6的烷氧基或芳基。
如式(I)所示的氧-酰基肟类化合物可包含但不限于1-[4-(苯基硫代)苯基]-丙烷-3-环戊烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚F烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)或1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)等。该1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮-2-(O-苯酰基肟)可为Ciba SpecialtyChemicals公司制造,型号为OXE-01的商品。
上述的氧-酰基肟类化合物可单独一种或混合多种使用。
基于具有乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为100重量份,如式(I)所示的氧-酰基肟化合物的使用量为5重量份至60重量份,较佳为8重量份至55重量份,更佳为10重量份至50重量份。
该其它氧-酰基肟类化合物可包含但不限于1-[4-(苯酰基)苯基]-庚烷-1,2-二酮-2-(氧-苯酰基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-苯酰基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)或乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)等。该1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(O-乙酰基肟)可为Ciba Specialty Chemicals公司制造,型号为OXE-02的商品。
上述的氧-酰基肟类化合物可单独一种或混合多种使用。
该其它氧-酰基肟类化合物较佳是选自于1-[9-乙基-6-苯酰基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙酰基肟)或上述材料的任意组合。
其它光起始剂
该其它光起始剂可包含但不限于三氮杂苯类化合物、苯乙烷酮类化合物、二咪唑类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、酮醇类化合物、酮醇醚类化合物、酰膦氧化物类化合物、醌类化合物、含卤素类化合物或过氧化物等。
该三氮杂苯类化合物可包含但不限于乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物或4-(对-氨基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物等。
上述的乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物可包含但不限于2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-3-(1-对-二甲基氨基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮杂苯或2-三氯甲基-3-氨基-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯等。
上述的2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物可包含但不限于2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯或2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯等。
上述的4-(对-氨基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物可包含但不限于4-[对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(苯基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基羰基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N-(对-甲氧基苯基)羰基氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(氯乙基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-乙氧基羰基甲基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-氯乙基氨基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯或2,4-双(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-双(乙氧基羰基甲基)氨基]苯基]-1,3,5-三氮杂苯等。上述的三氮杂苯类化合物可单独一种或混合多种使用。
较佳地,该三氮杂苯类化合物是选自于4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯或上述化合物的任意组合。
该苯乙烷酮类化合物可包含但不限于对二甲氨基苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、对-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代-1-丙酮或2-苄基-2-N,N-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等。上述的苯乙烷酮类化合物可单独一种或混合多种使用。
上述的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代-1-丙酮可为Ciba SpecialtyChemicals公司制造,型号为IRGACURE 907的商品。上述的2-苄基-2-N,N-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮可为Ciba Specialty Chemicals公司制造,型号为IRGACURE 369的商品。较佳地,该苯乙烷酮类化合物是选自于2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮或上述化合物的任意组合。
该二咪唑类化合物可包含但不限于2,2’-双(邻-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(对-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑或2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。上述的二咪唑类化合物可单独一种或混合多种使用。较佳地,该二咪唑类化合物为2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑。
该二苯甲酮类化合物可包含但不限于噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨酮-4-砜、二苯甲酮、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮或4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮等。该二苯甲酮类化合物可单独或混合使用。较佳地,该二苯甲酮类化合物为4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮。
该α-二酮类化合物可包含但不限于苯偶酰或双乙酰等的化合物。上述的α-二酮类化合物可单独一种或混合多种使用。
该酮醇类化合物可包含但不限于二苯乙醇酮。该酮醇类化合物可单独或混合使用。
该酮醇醚类化合物可包含但不限于二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚,或二苯乙醇酮异丙醚等。该酮醇醚类化合物可单独一种或混合多种使用。
该酰膦氧化物类化合物可包含但不限于2,4,6-三甲基苯酰二苯基膦氧化物或双-(2,6-二甲氧基苯酰)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。该酰膦氧化物类化合物可单独一种或混合多种使用。
该醌类化合物可包含但不限于蒽醌或1,4-萘醌等。该醌类化合物可单独一种或混合多种使用。
该含卤素类化合物可包含但不限于苯酰甲基氯、三溴甲基苯砜,或三(三氯甲基)-s-三氮杂苯等。该含卤素类化合物可单独一种或混合多种使用。
该过氧化物可包含但不限于二-叔丁基过氧化物等。该过氧化物可单独一种或混合多种使用。
基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,该光起始剂(C)的使用量为10重量份至60重量份,较佳为13重量份至55重量份,更佳为15重量份至50重量份。
醌二叠氮磺酸酯(D)
本发明的醌二叠氮磺酸酯(D)并无特别限制。在本发明的一实施例中,醌二叠氮磺酸酯(D)可为完全酯化或部份酯化的酯化物,然以由邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与羟基化合物反应所制得者为较佳,又以由邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与多元羟基化合物反应所制得者为更佳。
上述的邻萘醌二叠氮磺酸可包含但不限于邻萘醌二叠氮-4-磺酸、邻萘醌二叠氮-5-磺酸或邻萘醌二叠氮-6-磺酸等。上述邻萘醌二叠氮磺酸的盐类可包含但不限于邻萘醌二叠氮磺酸卤盐。
上述的羟基化合物可包含但不限于羟基二苯甲酮类化合物、羟基芳基类化合物、(羟基苯基)烃类化合物或其它芳香族羟基类化合物,以下析述之。
上述的羟基二苯甲酮类化合物可包含但不限于2,3,4-三羟基二苯甲酮、2,4,4’-三羟基二苯甲酮、2,4,6-三羟基二苯甲酮、2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮、2,4,2’,4’-四羟基二苯甲酮、2,4,6,3’,4’-五羟基二苯甲酮、2,3,4,2’,4’-五羟基二苯甲酮、2,3,4,2’,5’-五羟基二苯甲酮、2,4,5,3’,5’-五羟基二苯甲酮或2,3,4,3’,4’,5’-六羟基二苯甲酮等
羟基芳基类化合物可包含但不限于如下式(II)所示的羟基芳基类化合物:
在式(II)中,R1至R3分别为相同或不同的氢原子或低级的烷基;R4至R9分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的烷氧(alkoxy)基、碳数为1至6的烷烯(alkenyl)基以及环烷(cycloalkyl)基;R10及R11分别为相同或不同的氢原子、卤素原子及碳数为1至6的烷基;x、y及z代表1至3的整数;而k代表0或1。
如式(II)所示的羟基芳基类化合物的具体例可包含但不限于三(4-羟基苯基)甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基苯基)-3-甲氧基-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、1-[1-(4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(4-羟基苯基)乙基]苯(本州化学工业制造,型号为TrisP-PA)或1-[1-(3-甲基-4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(3-甲基-4-羟基苯基)乙基]苯等。
(羟基苯基)烃类化合物可包含但不限于如下式(III)所示的(羟基苯基)烃类化合物:
在式(III)中,R12及R13分别为相同或不同的氢原子或碳数为1至6的烷基;a及b代表1至3的整数。如式(III)所示的(羟基苯基)烃类化合物的具体例可包含但不限于2-(2,3,4-三羟基苯基)-2-(2',3',4'-三羟基苯基)丙烷、2-(2,4-二羟基苯基)-2-(2',4'-二羟基苯基)丙烷、2-(4-羟基苯基)-2-(4'-羟基苯基)丙烷、双(2,3,4-三羟基苯基)甲烷或双(2,4-二羟基苯基)甲烷等。
其它芳香族羟基类化合物可包含但不限于苯酚、对-甲氧基苯酚、二甲基苯酚、对苯二酚、双酚A、萘酚、邻苯二酚、1,2,3-苯三酚甲醚、1,2,3-苯三酚-1,3-二甲基醚、3,4,5-三羟基苯甲酸、部份酯化的3,4,5-三羟基苯甲酸或部份醚化的3,4,5-三羟基苯甲酸等。
上述的羟基化合物可单独一种或混合多种使用。
较佳地,前述的羟基化合物可为2,3,4-三羟基二苯甲酮、1-[1-(4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(4-羟基苯基)乙基]苯或2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮。
前述的邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与羟基化合物的反应通常在二氧杂环己烷(dioxane)、氮-吡咯烷酮(N-pyrrolidone)或乙酰胺(acetamide)等有机溶媒中进行。较佳是同时使用三乙醇胺、碱金属碳酸盐或碱金属碳酸氢盐等碱性缩合剂进行反应。
前述的醌二叠氮磺酸酯(D)的酯化度以在50%以上为较佳,亦即以前述的羟基化合物中的羟基总量为100mol%,羟基化合物中有50mol%以上的羟基与邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类进行酯化反应。更佳地,前述的醌二叠氮磺酸酯(D)的酯化度是不低于60%。
基于前述的碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,醌二叠氮磺酸酯(D)的使用量为0.1重量份至5重量份,较佳为0.15重量份至4.5重量份,更佳为0.2重量份至4重量份。倘若感光性树脂组合物不包含醌二叠氮磺酸酯(D),所制得的感光树脂组合物会有容易产生残渣的缺点。
溶剂(E)
该溶剂(D)可包含但不限于芳香族系化合物、醇系化合物、醚系化合物、酯系化合物或酮系化合物等。
该芳香族系化合物可包含但不限于苯、甲苯或二甲苯等。该醇系化合物可包含但不限于甲醇或乙醇等。该醚系化合物可包含但不限于乙二醇单丙基醚、二乙二醇二甲基醚、四氢呋喃、乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、二乙二醇甲基醚、二乙二醇乙基醚或二乙二醇丁基醚等。该酯系化合物可包含但不限于乙二醇甲基醚醋酸酯、乙二醇乙基醚醋酸酯、丙二醇甲基醚醋酸酯、丙二醇乙基醚醋酸酯、丙二醇丙基醚醋酸酯或3-乙氧基丙酸乙酯等。该酮系化合物可包含但不限于甲乙酮或丙酮等。
上述的溶剂(D)可单独一种或混合多种使用。
该溶剂(D)较佳是选自于二乙二醇二甲基醚、丙二醇甲基醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯或上述溶剂的任意组合。
基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,该溶剂(E)的使用量为200重量份至2000重量份,较佳为300重量份至1800重量份,更佳为400重量份至1500重量份。
増感剂(F)
在不影响本发明功效的前提下,本发明的感光性树脂组合物可选择性地包含增感剂(F),且增感剂(F)可为具羟基的化合物。
增感剂(F)可为羟基二苯甲酮类化合物、羟基芳基类化合物、(羟基苯基)烃类化合物或其它芳香族羟基类化合物,以下析述之。
上述的羟基二苯甲酮类化合物可包含但不限于2,3,4-三羟基二苯甲酮、2,4,4’-三羟基二苯甲酮、2,4,6-三羟基二苯甲酮、2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮、2,4,2’,4’-四羟基二苯甲酮、2,4,6,3’,4’-五羟基二苯甲酮、2,3,4,2’,4’-五羟基二苯甲酮、2,3,4,2’,5’-五羟基二苯甲酮、2,4,5,3’,5’-五羟基二苯甲酮或2,3,4,3’,4’,5’-六羟基二苯甲酮等
羟基芳基类化合物可包含但不限于如下式(IV)所示的羟基芳基类化合物:
在式(IV)中,Y1至Y3分别为相同或不同的氢原子或低级的烷基;Y4至Y9分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的烷氧(alkoxy)基、碳数为1至6的烷烯(alkenyl)基以及环烷(cycloalkyl)基;Y10及Y11分别为相同或不同的氢原子、卤素原子及碳数为1至6的烷基;m、n及q代表1至3的整数;而r代表0或1。如式(IV)所示的羟基芳基类化合物的具体例可包含但不限于三(4-羟基苯基)甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羟基苯基甲烷、双(4-羟基苯基)-3-甲氧基-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-3-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-2-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-3,4-二羟基苯基甲烷、1-[1-(4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(4-羟基苯基)乙基]苯(本州化学工业制造,型号为TrisP-PA)或1-[1-(3-甲基-4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(3-甲基-4-羟基苯基)乙基]苯等。
(羟基苯基)烃类化合物可包含但不限于如下式(V)所示的(羟基苯基)烃类化合物:
在式(V)中,Y12及Y13分别为相同或不同的氢原子或碳数为1至6的烷基;s及t代表1至3的整数。如式(V)所示的(羟基苯基)烃类化合物的具体例可包含但不限于2-(2,3,4-三羟基苯基)-2-(2',3',4'-三羟基苯基)丙烷、2-(2,4-二羟基苯基)-2-(2',4'-二羟基苯基)丙烷、2-(4-羟基苯基)-2-(4'-羟基苯基)丙烷、双(2,3,4-三羟基苯基)甲烷或双(2,4-二羟基苯基)甲烷等。
其它芳香族羟基类化合物可包含但不限于苯酚、对-甲氧基苯酚、二甲基苯酚、对苯二酚、双酚A、萘酚、邻苯二酚、1,2,3-苯三酚甲醚、1,2,3-苯三酚-1,3-二甲基醚、3,4,5-三羟基苯甲酸、部份酯化或部份醚化的3,4,5-三羟基苯甲酸等的化合物。
该具羟基的化合物以2,3,4-三羟基二苯甲酮、1-[1-(4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(4-羟基苯基)乙基]苯、2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮2-(2,3,4-三羟基苯基)-2-(2',3',4'-三羟基苯基)丙烷为较佳。
上述的增感剂(F)可单独一种或混合多种使用。
当本发明的感光性树脂组合物包含增感剂(F)时,基于前述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,增感剂(F)的使用量为0.2重量份至5重量份,较佳为0.4重量份至4重量份,更佳为0.6重量份至3重量份。
当本发明的感光性树脂组合物包含增感剂(F)时,增感剂(F)可提升前述醌二叠氮磺酸酯(D)产生光酸的能力,以增加显影性,而可进一步改善前述残渣的缺陷。
添加剂(G)
在不影响本发明功效的前提下,本发明的感光性树脂组合物更可选择性地进一步添加添加剂(G)。添加剂(G)可包含但不限于界面活性剂、填充剂、密着促进剂、架桥剂、抗氧化剂、防凝集剂或碱可溶性树脂(A)以外的其它能增加各种性质(如机械性质)的聚合物。
上述的界面活性剂可选自于由阳离子系、阴离子系、非离子系、两性、聚硅氧烷系、氟原子系界面活性剂或上述的任意组合所组成的一族群。进而言之,前述的界面活性剂可包含但不限于聚乙氧基十二烷基醚、聚乙氧基硬酯酰醚或聚乙氧基油醚等的聚乙氧基烷基醚类;聚乙氧基辛基苯基醚或聚乙氧基壬基苯基醚等的聚乙氧基烷基苯基醚类;聚乙二醇二月桂酸酯或聚乙二醇二硬酸酯等的聚乙二醇二酯类;山梨糖醇酐脂肪酸酯类;脂肪酸改质的聚酯类;三级胺改质的聚氨基甲酸酯类。该界面活性剂可单独一种或混合多种使用。
适合的界面活性剂的具体例,如:信越化学工业公司制造,型号为KP的商品、Toray Dow Corning Silicon公司制造,型号为SF-8427、共荣社油脂化学工业公司制造,型号为Polyflow、Tochem Product公司制造,型号为F-Top、大日本INK化学工业公司制造,型号为Megafac、住友3M公司制造,型号为Fluorade、旭硝子公司制造,型号为Asahi Guard或Surflon的商品,或中日合成化学公司制造,型号为SINOPOL E8008的商品等。
适合的填充剂的具体例如:玻璃或铝等。
适合的密着促进剂的具体例如:乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙醇丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙醇丙基甲基二乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙酰氧基丙基三甲氧基硅烷或3-巯丙基三甲氧基硅烷等。
适合的抗氧化剂的具体例如:2,2-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)或2,6-二-叔丁基苯酚等。
适合的防凝集剂的具体例如:聚丙烯酸钠等。
适合的架桥剂的具体例如:日本环氧树脂公司制造,型号为1031S或157S-70等的环氧化合物或环氧树脂。
基于前述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,添加剂(G)中的填充剂、密着促进剂、抗氧化剂、防凝集剂或碱可溶性树脂(A)以外的聚合物的使用量不超过10重量份,较佳是不超过6重量份。
基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,前述添加剂(G)中的界面活性剂的使用量不超过6重量份,较佳是不超过4重量份。
基于前述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,前述添加剂(G)中的架桥剂的使用量不超过100重量份,较佳是不超过80重量份。
感光性树脂组合物的制备
本发明的感光性树脂组合物一般是将上述的碱可溶性树脂(A)、具有乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、醌二叠氮磺酸酯(D)及溶剂(E)放置于搅拌器中搅拌,使其均匀混合成溶液状态,必要时亦可添加增感剂(F)及界面活性剂、填充剂、密着促进剂、架桥剂、抗氧化剂、防凝集剂与碱可溶性树脂(A)以外的其它能增加各种性质(如机械性质)的聚合物等的添加剂(G),予以均匀混合后,便可调制得呈溶液状态的感光性树脂组合物。
基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,具有乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30重量份至300重量份,光起始剂(C)的使用量为10重量份至60重量份,醌二叠氮磺酸酯(D)的使用量为0.1重量份至5重量份,且溶剂(E)的使用量为200重量份至2000重量份。
间隙体或保护膜的形成方法
于本发明的一具体例中,间隙体或保护膜的制造方法至少包含下列步骤:(a)将本发明的感光性树脂组合物涂布于一基板上,而形成膜;(b)以放射线照射膜的至少一部份;(c)于放射线照射后进行显影;以及(d)于显影后进行加热,以下析述之。
步骤(a)是将本发明的感光树脂组合物于基板上形成一膜。于形成保护膜时,先将由红色、绿色及蓝色着色层组成的像素层形成于一透明基板上,再将本发明的感光性树脂组合物形成于该像素层上。于形成间隙体时,在已形成有保护膜及像素层的透明基板上,形成一透明导电膜,再于该透明导电膜上形成本发明的感光性树脂组合物的膜。
于本发明的具体例中,该透明基板为玻璃基板或树脂基板等,较佳为玻璃基板,例如钠钙玻璃及无碱玻璃。该树脂基板的具体例为聚对苯二甲酸乙二酯、聚丁烯对苯二甲酸酯、聚醚砜、聚碳酸酯及聚酰亚胺。
该透明导电基板可为于透明基板的全部表面上具有氧化锡(SnO2)所形成的NESA膜(美国)或具有氧化铟-氧化锡(In2O3-SnO2)所形成的ITO膜等。
膜的形成方法可使用涂布法或干膜法。
以涂布法形成膜的方法是将本发明的感光性树脂组合物的溶液涂布于前述的透明导电膜上,此膜较佳是先将涂布面加热(预烤)。应用于涂布法的感光性树脂组合物的溶液的固形物浓度为5wt%至50wt%,较佳为10wt%至40wt%,更佳为15wt%至35wt%。涂布法举例但不限于喷涂法、辊涂法、旋涂法、缝模涂布法、棒涂布法或喷墨涂布法;较佳为旋涂法或缝模涂布法。
另一方面,以干膜法形成膜的方法为将包含本发明的感光性树脂组合物的感光性干膜堆叠于一基膜上。
前述的感光性干膜可堆叠并于移除溶剂后形成感光膜。进行干膜法时,本发明的感光性树脂组合物的固形物浓度为5wt%至50wt%,较佳为10wt%至50wt%,更佳为20wt%至50wt%,尤佳为30wt%至50wt%。该感光性干膜的基膜的具体例可为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯或聚氯乙烯。该感光性干膜的基膜的厚度较佳为15μm至125μm,更佳为1μm至30μm。
当感光性干膜不使用时,该感光性干膜亦可堆叠并以覆盖膜保存。本发明的覆盖膜较佳是具有离型性,以使感光性干膜不使用时,感光性干膜与覆盖膜不分离,但感光性干膜欲使用时,感光性干膜与覆盖膜可轻易分离。具有前述特性的覆盖膜的具体例是将有机硅脱模剂涂布或印刷于合成树脂膜上,例如PET薄膜、聚丙烯薄膜、聚乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜或聚氨酯薄膜。该覆盖膜的厚度较佳为约5μm至30μm。前述的覆盖膜亦可为积层二层或三层的覆盖膜。
以干膜法堆叠该膜的方法的具体例是在透明基膜上热压粘合透明感光性干膜。
于前述的方法中,该膜较佳是以涂布法制造,其次为使用干膜法制造,且较佳是对该膜进行预烤处理。该预烤处理的条件可依成分及混合比例而有所不同,较佳是于70℃至120℃下加热1分钟至15分钟。
于预烤处理后,膜的厚度较佳为0.5μm至10μm;更佳为1.0μm至7.0μm。
步骤(b)是以放射线照射该膜的至少一部份。当照射该膜的一部分时,可使用具有预定图案的掩模覆盖。
前述用以曝光的放射线的具体例可为可见光、紫外光或远红外光。其中该放射线的波长较佳为250nm至550nm,较佳为365nm。
放射剂量(曝光量)是于波长为365nm时,以照度计(Optical Associates公司制造,型号为OAI model 356的商品)量测放射线强度。较佳为100J/m2至5,000J/m2;更佳为200J/m2至3,000J/m2。
步骤(c)于放射线照射后进行显影,以去除不需要的部分并形成一预定的图案。
显影用的显影液的具体例为无机碱,如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸酸钠或氨;一级脂肪胺,如乙胺或正丙胺;二级脂肪胺,如二乙胺或正丙胺;三级脂肪胺,如三甲胺、二乙胺甲基、二甲基乙基胺或三乙胺;三级脂肪环酸,如吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯或1,5-二氮杂双环[4.3.0]-5-壬烯;三级芳香胺,如吡啶、甲基嘧啶、二甲基吡啶或喹啉;四级铵盐碱性化合物,如四甲基氢氧化铵或四乙基氢氧化铵的水溶液。水溶性有机溶剂及/或表面活性剂,如甲醇或乙醇,亦可视需要添加于上述碱性化合物中。
该显影的方法,例如浸渍法、含浸法或淋浴法,较佳是于室温至180℃显影约10秒。
所欲的图案于显影后进行蒸气清洗30秒至90秒,并经由压缩空气或氮气风干。
步骤(d)是于显影后进行加热。将所制得具有图案的膜以适当的加热器(例如:加热板或烘箱)加热至100℃至250℃进行30至180分中(后烤)。
前述所制具有所欲图案配置的间隙体或保护膜具有优异的性质,例如抗压强度、液晶配向膜的耐磨强度及基板的粘着力。
液晶显示元件的制备
本发明的液晶显示元件包含前述的薄膜。本发明的液晶显示元件较佳是将感光性树脂组合物形成间隙体,并于至少一侧形成保护膜,较佳是于间隙体的两侧形成保护膜。
本发明的液晶显示元件可藉由下述的两种方法制造,以下析述之。
第一种方法是将前述的感光性树脂组合物藉由前述的方法形成于至少一侧具有透明导电膜的第一(电极)透明基板的一侧或两侧上。然后,将具有液晶配向性的配向膜形成于具有间隙体及/或保护膜的透明导电膜上。前述的基材中,配向膜所形成的一侧称为内面,使各种配向膜的液晶排列方向成反方向并通过一定间隙(细胞间隙)反向配置。接着,在以基材表面(配向膜)及间隔所区划的细胞间隙内填充液晶化合物,并封装充填孔,以形成液晶单元。因此内外的液晶单元可由粘接垂直偏光板或排列于一个基板表面的液晶偏振方向,形成内外表面的配向方向一致的液晶显示元件。
第二种方法是于至少一侧具有透明导电膜的第一透明基板的一侧或两侧将根据本发明的感光性树脂组合物利用类似前述第一种方法形成保护膜或间隙体。之后,沿基板的端点利用紫外光硬化型的粘着剂涂布于其上。然后,利用液晶分配器将微小液晶化合物滴于基板上,并于真空下堆叠基板。接着,在紫外光的照射下封合,并将液晶内外的偏光板贴合即可得液晶显示元件。
本发明的液晶化合物的具体例可为向列型液晶或层列型液晶,较佳为向列型液晶,例如:Shiff碱型液晶、氧化偶氮型液晶、联苯型液晶、苯基环乙烷型液晶、酯型液晶、三联苯型液晶、联苯环己烷型液晶、嘧啶型液晶、二恶烷聚环辛烷型液晶、二环辛烷型液晶、五环辛烷型液晶、氯化物型液晶、胆固醇碳酸盐或胆甾液晶的胆固醇型液晶。前述的液晶化合物亦可包含手性剂,例如:p-癸氧基苯亚甲基-p-氨基-2-甲基丁基肉桂酸酯(默克公司制造,型号为C-15或CB-15的商品)的强诱电型液晶。
于液晶显示元件的外侧可使用偏光板、聚乙烯醇的配向延伸膜、可吸收碘的“H膜”或夹于纤维醋酸保护膜及偏光板间的“H膜”。
以下利用数个实施方式以说明本发明的应用,然其并非用以限定本发明,本发明技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰。
具体实施方式
制备碱可溶性树脂(A)
以下是根据表1及表2制备合成例A-1-1至A-1-5及A-2-1至A-2-3的具有乙烯性不饱和基的树脂。
制备具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)
合成例A-1-1
在一四颈锥瓶上设置搅拌器、温度计、冷凝管及氮气入口,并导入氮气。然后,加入135重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯,并将温度升温至100℃。接着,将50重量份的甲基丙烯酸(简称为MAA)、10重量份的甲基丙烯酸双环戊酯(简称为FA-513M)、40重量份的甲基丙烯酸苯甲酯(简称为BzMA)及2.6重量份的偶氮二异丁腈溶于100重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯中,并将此混合溶液于2小时内逐滴滴入四颈锥瓶中。于100℃反应5小时后,将40重量份的甲基丙烯酸环氧丙酯(简称为GMA)加至充满氮气的四颈锥瓶中,并将温度上升至110℃。反应6小时后,即可制得合成例A-1-1的具有乙烯性不饱和基的树脂。
合成例A-1-2至A-1-5
合成例A-1-2至A-1-5是使用与合成例A-1-1的具有乙烯性不饱和基的树脂的制作方法相同的制备方法,不同之处在于合成例A-1-2至A-1-5是改变具有乙烯性不饱和基的树脂中原料的种类及使用量,且其配方如表1所示,在此不另赘述。
制备其它碱可溶性树脂(A-2)
合成例A-2-1
将1重量份的2,2’-偶氮双异丁腈、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯、50重量份的甲基丙烯酸(简称为MAA)、20重量份的甲基丙烯酸双环戊酯(简称为FA-513M)、30重量份的甲基丙烯酸苯甲酯(简称为BzMA)置于一装有搅拌器及冷凝器的圆底烧瓶中,并使该烧瓶内部充满氮气。然后,缓慢搅拌并升温至80℃,使各反应物均匀混合并进行聚合反应4小时。接着,再将其升温至100℃,并添加0.5重量份的2,2’-偶氮二异丁腈。进行聚合反应1小时后,即可制得合成例A-2-1的其它碱可溶性树脂。
合成例A-2-2
合成例A-2-2是使用与合成例A-2-1的其它碱可溶性树脂的制作方法相同的制备方法,不同之处在于合成例A-2-2是改变其它碱可溶性树脂中原料的种类及使用量,且其配方如表2所示,在此不另赘述。
合成例A-2-3
将1重量份的2,2’-偶氮双异丁腈、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯、30重量份的甲基丙烯酸(简称为MAA)、30重量份的甲基丙烯酸双环戊酯(简称为FA-513M)、30重量份的甲基丙烯酸苯甲酯(简称为BzMA)、10重量份的甲基丙烯酸环氧丙酯(简称为GMA)置于一装有搅拌器及冷凝器的圆底烧瓶中,并使该烧瓶内部充满氮气。然后,缓慢搅拌并升温至80℃,使各反应物均匀混合并进行聚合反应4小时。接着,再将其升温至100℃,并添加0.5重量份的2,2’-偶氮二异丁腈。进行聚合反应1小时后,即可制得合成例A-2-3的其它碱可溶性树脂。
制备感光性树脂组合物
以下是根据表3与表4制备实施例1至7及比较例1至5的感光性树脂组合物。
实施例1
将100重量份的前述合成例A-1-1制得的碱可溶性树脂、10重量份的1,4-丁二醇酯(简称为B-1-1)、20重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯(简称为B-2-1)、5重量份1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮-1-(O-乙酰基肟)(简称为C-2)、5重量份的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-吗啉代-1-丙酮(简称为C-3)、0.2重量份的邻萘醌二叠氮磺酸酯(简称为D-1),且此邻萘醌二叠氮磺酸酯是由1-[1-(4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(4-羟基苯基)乙基]苯与邻萘醌二叠氮-5-磺酸所形成、200重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(简称为E-1)及0.2重量份的1-[1-(4-羟基苯基)异丙基]-4-[1,1-双(4-羟基苯基)乙基]苯(简称为F-1),以摇动式搅拌器形成均匀溶液状态,即可制得实施例1的感光性树脂组合物。所得的感光性树脂组合物以下列的评价方式进行评价,其结果如表3所示,其中高温高湿下密着性及残渣的检测方法容后再述。
实施例2至7及比较例1至5
实施例2至7及比较例1至5是使用与实施例1的感光性树脂组合物的制作方法相同的制备方法,不同之处在于实施例2至7及比较例1至5是改变感光性树脂组合物中原料的种类及使用量,且其配方及评价结果如表3与表4所示,在此不另赘述。
制备间隙体或保护膜
将前述实施例1至7及比较例1至5所制得的感光性树脂组合物以旋转涂布的方式涂布于尺寸为100mm×100mm×0.7mm的玻璃上,而制得厚度为6μm的涂膜。接着,将所制得的涂膜以90℃进行预烤。经过2至3分钟后,将涂膜放置于指定的掩模图案下,并以曝光机(M&N Nano Technology公司制造,型号为AG500-4N)进行曝光,其中曝光机的紫外光的能量为100mJ/cm2。然后,将涂膜浸置于浓度为0.05%的KOH水溶液中。经过45至90秒后,去除未曝光的部份。以清水冲洗,且于235℃的温度下进行后烤。经过30分钟后,即可制得间隙体或保护膜。
评价方式
1.高温高湿条件下密着性
将上述实施例1至7及比较例1至5所制得的保护膜浸泡于60℃的热水中。经过30分钟后,根据JIS.5400(1900)8.5密着性试验法中的8.5.2的基盘目法,将上述的保护膜以小刀切割成100个基盘目,以胶带沾粘后撕下,观察基盘目残留的情形,并依据下述基准进行评价:
◎:5B。
○:4B。
△:3B至2B。
╳:1B至0B。
其中,5B:无任何基盘目脱落。
4B:0%≦脱落的基盘目数量≦5%。
3B:5%≦脱落的基盘目数量≦15%。
2B:15%≦脱落的基盘目数量≦35%。
1B:35%≦脱落的基盘目数量≦65%。
0B:65%≦脱落的基盘目数量≦100%。
2.残渣
将指定的掩模图案(msak)贴紧上述实施例1至7及比较例1至5所制得的预烤图膜,并利用曝光机(Canon制造,型号为PLA-501F)以100mJ/cm2的紫外光的光量照射。然后,将曝光后的预烤图膜浸渍于23℃的显影液中。经过1分钟后,去除基板上尚未曝光的部分,并以纯水洗净。接着,以235℃的温度后烤80分钟,即可在玻璃基板上形成所要的感光性树脂图案。之后,以显微镜观察感光性树脂图案,确定未曝光的部分是否有残渣存在,并依据下述基准进行评价:
◎:无残渣。
○:轻微残渣。
△:少许残渣。
╳:残渣很多。
由表3与表4的结果可知,当感光性树脂组合物并用具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)及醌二叠氮磺酸酯(D)时,所制得的感光性树脂组合物于高温高湿的条件下具有良好的密着性,且不产生残渣。
其次,当感光性树脂组合物具有增感剂(F)时,增感剂(F)可进一步减少感光性树脂组合物的残渣。
再者,当感光性树脂组合物具有不具有乙烯性不饱和基(A-2)时,所制得的感光性树脂组合物不具有良好的高温高湿下密着性,且感光性树脂组合物不包含醌二叠氮磺酸酯时,所制得的感光性树脂组合物容易产生残渣。
需补充的是,本发明虽以特定的化合物、组成、反应条件、制程、分析方法或特定仪器作为例示,说明本发明的感光性树脂组合物及其应用,惟本发明所属技术领域中任何具有通常知识者可知,本发明并不限于此,在不脱离本发明的精神和范围内,本发明的感光性树脂组合物及其应用亦可使用其它的化合物、组成、反应条件、制程、分析方法或仪器进行。
虽然本发明已以实施方式揭露如上,然其并非用以限定本发明,在本发明所属技术领域中任何具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定的范围为准。
表3
表4
Claims (10)
1.一种感光性树脂组合物,包含:
碱可溶性树脂(A),包含具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1);
具有乙烯性不饱和基的化合物(B)
光起始剂(C);以及
醌二叠氮磺酸酯(D)
溶剂(E)。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中所述具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)及其它不饱和化合物(a2)所共聚合而得的共聚合物与具有环氧基的不饱和化合物(a3)反应而得。
3.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中所述具有乙烯性不饱和基的化合物(B)包含具有直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1),其中所述直链状二醇的碳数为2至12。
4.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,所述具有乙烯性不饱和基的树脂(A-1)的使用量为50重量份至100重量份,所述具有乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30重量份至300重量份,所述具有直链状二醇的二丙烯酸酯或二甲基丙烯酸酯(B-1)的使用量为10重量份至150重量份,所述光起始剂(C)的使用量为10重量份至60重量份,所述醌二叠氮磺酸酯(D)的使用量为0.1重量份至5重量份,且所述溶剂(E)的使用量为200重量份至2000重量份。
5.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,还包含增感剂(F)。
6.如权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,所述增感剂(F)的使用量为0.2重量份至5重量份。
7.一种于基板上形成薄膜的方法,其是对基板上的如权利要求1至6中的任一项所述的感光性树脂组合物依序进行预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理。
8.一种基板上的薄膜,其是利用如权利要求7所述的方法制得。
9.如权利要求8所述的薄膜,其中所述薄膜为液晶显示元件用的保护膜或间隙体。
10.一种液晶显示元件,其是包含如权利要求8或9所述的薄膜。
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