TWI506369B - 感光性樹脂組成物、彩色濾光片及其製造方法、液晶顯示裝置 - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種彩色濾光片用感光性樹脂組成物及其所形成的彩色濾光片。特別是提供一種高對比、後烤色差低及高精細度的圖案直線性佳的彩色濾光片用感光性樹脂組成物。
目前,彩色濾光片已被廣泛地應用在彩色液晶顯示器、彩色傳真機及彩色攝影機等應用領域中。而且,隨著彩色液晶顯示器等影像器材的市場需求日漸擴大,彩色濾光片的製作技術亦趨向多樣化,以滿足上述市場需求。
彩色濾光片通常可藉由染色法、印刷法、電著法、顏料分散法等方法,將紅、綠、藍等顏色的畫素形成在透明玻璃基板上,以製得彩色濾光片。一般而言,為了進一步提高彩色濾光片的對比度,更可在畫素形成的畫素著色層之間配置遮光層(或稱黑色矩陣)。
一般的彩色濾光片中,紅色畫素所使用的感光性樹脂組
成物是使用C.I.顏料紅254(亦即,氯化二酮吡咯並吡咯顏料),其可提高亮度,但對比不佳。
日本特開第1999-231516號及國際公開第2009/144115號進一步研究揭示使用溴化二酮吡咯並吡咯顏料可同時改善亮度及對比,但其卻有後烤色差大及高精細度的圖案直線性不佳的缺點。
因此,如何同時改善後烤色差大及高精細度的圖案直線性不佳的問題,以達到目前業界的要求,實為目前此領域技術人員亟欲解決的問題。
有鑑於此,本發明提供一種用於液晶顯示裝置的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其能夠改善上述後烤色差大及高精細度的圖案直線性不佳的問題。
本發明提供一種彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其包括顏料(A)、鹼可溶性樹脂(B)、含乙烯性不飽和基的化合物(C)、光起始劑(D)以及有機溶劑(E)。顏料(A)包括由式(1)表示的第一顏料(A-1):
鹼可溶性樹脂(B)包括由式(2)表示的第一鹼可溶性樹脂(B-1):
式(2)中,A表示伸苯基或具有取代基的伸苯基,其中所述取代基為碳數為1至5的烷基、鹵原子或苯基;B表示-CO-、-SO2
-、-C(CF3
)2
-、-Si(CH3
)2
-、-CH2
-、-C(CH3
)2
-、-O-、9,9-亞茀基或單鍵;L表示四價羧酸殘基;Y1
表示碳數為1至20的三價有機基;R1
、R2
及R3
各自獨立表示氫原子、鹵原子或一價有機基;R4
表示氫原子或甲基;且m表示1至20的整數。
在本發明的一實施例中,上述的第一鹼可溶性樹脂(B-1)是由第一混合物反應而獲得。第一混合物包括含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)、四羧酸或其酸二酐(b-2)以及由式(3)表示的二羧酸酐(b-3),
式(3)中,Y2
表示碳數為1至20的三價有機基;且R5
、R6
及R7
各自獨立表示氫原子、鹵原子或一價有機基。
在本發明的一實施例中,上述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)與上述四羧酸或其酸二酐(b-2)的莫耳比值(b-2)/(b-1)為0.2至1.0。
在本發明的一實施例中,上述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)與上述由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)的莫耳比值(b-3)/(b-1)為0.02至1.6。
在本發明的一實施例中,上述的鹼可溶性樹脂(B)更包括第一鹼可溶性樹脂(B-1)以外第二鹼可溶性樹脂(B-2)。第二鹼可溶性樹脂(B-2)是由第二混合物反應而獲得。第二混合物包括具有至少兩個環氧基的環氧化合物以及具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物。
在本發明的一實施例中,上述的具有至少兩個環氧基的環氧化合物包括由式(4)表示的化合物、由式(5)表示的化合物或上述兩者的組合:
式(4)中,R8
、R9
、R10
及R11
各自獨立表示氫原子、鹵原子、碳數為1至5的烷基、碳數為1至5的烷氧基、碳數為6至12的芳基或碳數為6至12的芳烷基,
式(5)中,R12
至R25
各自獨立表示氫原子、鹵原子、碳數為1至8的烷基或碳數為6至15的芳香基,且n表示0至10的整數。
在本發明的一實施例中,第一鹼可溶性樹脂(B-1)與第二鹼可溶性樹脂(B-2)的重量比為10:90以上且小於100:0。
在本發明的一實施例中,基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,顏料(A)的使用量為60重量份至600重量份,第一顏料(A-1)的使用量為40重量份至400重量份,含乙烯性不飽和基的化合物(C)的使用量為40重量份至400重量份,光起始劑(D)的使用量為10重量份至100重量份,且有機溶劑(E)的使用量為
500重量份至5000重量份。
在本發明的一實施例中,上述的顏料(A)更包括第一顏料(A-1)以外之第二顏料(A-2)。第二顏料(A-2)選自由二酮吡咯並吡咯系顏料、偶氮系顏料、蒽醌系顏料、苝系顏料、喹吖啶酮系顏料、苯並咪唑酮系顏料以及喹啉系顏料所組成的族群。
在本發明的一實施例中,基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,第二顏料(A-2)的使用量為20重量份至200重量份。
在本發明的一實施例中,上述的含乙烯性不飽和基的化合物(C)包括第一化合物(C-1)。第一化合物(C-1)選自由式(6)表示的化合物、由式(7)表示的化合物以及由式(8)表示的化合物所組成的族群:
式(6)至式(8)中,R26
各自獨立表示-(CH2
CH2
O)-或-(CH2
CH(CH3
)O)-;R27
各自獨立表示丙烯醯基、甲基丙烯醯基或氫原子;R28
各自獨立表示氫原子、碳數為1至6的烷基或碳數為6的芳基;式(6)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基的總數量為5或6;式(7)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基的總數量為3或4;式(8)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基的總數量為3;p各自獨立表示0至6的整數,且各p的總和為3至24;q各自獨立表示0至6的整數,且各q的總和為2至16;r各自獨立表示0至10的整數,且各r的總和為3至30;且x表示0至3的整數。
在本發明的一實施例中,基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,第一化合物(C-1)的使用量為5重量份至60重量份。
在本發明的一實施例中,上述的含乙烯性不飽和基的化合物(C)包括第二化合物(C-2)。第二化合物(C-2)為由式(9)表示的化合物:
式(9)中,R29
及R30
各自獨立表示氫原子或甲基;y表示1至2的整數;s表示1至6的整數;t表示0至5的整數;且s與t的總和為2至6。
在本發明的一實施例中,基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,第二化合物(C-2)的使用量為5重量份至60重量份。
本發明更提供一種彩色濾光片的製造方法,其包括使用由上述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物所形成的畫素層。
本發明更提供一種彩色濾光片,其是藉由上述的製造方法而製得。
本發明更提供一種液晶顯示裝置,其包括上述的彩色濾光片。
基於上述,本發明的感光性樹脂組成物用於形成彩色濾光片時,可以改善後烤色差大及高精細度的圖案直線性不佳的問題,進而適用於彩色濾光片以及液晶顯示裝置。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特舉實施例,並配合所附圖式作詳細說明如下。
100、200‧‧‧檢測裝置
110‧‧‧感光性樹脂層
120、220‧‧‧第一偏光板
130、230‧‧‧第二偏光板
140‧‧‧光源
150‧‧‧輝度計
D1、D2、D3‧‧‧偏光方向
圖1是根據本發明的評價方式中的對比度的檢測裝置來繪示的示意圖。
圖2是根據本發明的評價方式中的對比度的檢測裝置來繪示的示意圖。
本發明提供一種彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其包括顏料(A)、鹼可溶性樹脂(B)、含乙烯性不飽和基的化合物(C)、光起始劑(D)以及有機溶劑(E)。此外,若需要,彩色濾光片用感光性樹脂組成物可更包括添加劑(F)。
以下將詳細說明用於本發明的彩色濾光片用感光性樹脂組成物(下文亦稱為感光性樹脂組成物)的各個成分。
在此說明的是,以下是以(甲基)丙烯酸表示丙烯酸及/或甲基丙烯酸,並以(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯;同樣地,以(甲基)丙烯醯基表示丙烯醯基及/或甲基丙烯醯基。
顏料(A)包括第一顏料(A-1)。此外,顏料(A)可選擇性地包括第二顏料(A-2)。
第一顏料(A-1)為一種紅色顏料,並且第一顏料(A-1)為式(1)表示的化合物。
式(1)表示的第一顏料(A-1)為溴化二酮吡咯並吡咯顏料,其可藉由習知的專利文獻(公開號:WO 2009/144115)所揭示的合成方法來製作。
上述的合成方法例如是以琥珀酸二酯作為原料來合成溴化二酮吡咯並吡咯顏料的合成方法。具體而言,將2莫耳的4-溴苯腈及1莫耳的琥珀酸二酯加至惰性有機溶劑(例如:第三戊醇(tert-amylalcohol))中。接著,於鹼金屬或鹼金屬醇鹽的存在下及80℃至110℃的高溫下進行縮合反應,以生成溴化二酮吡咯並吡咯化合物的鹼金屬鹽。然後,使用水、醇類或酸等來質子化溴化二酮吡咯並吡咯化合物的鹼金屬鹽,以獲得溴化二酮吡咯並吡咯顏料。於質子化的階段,一次粒徑的尺寸可藉由質子化的溫度、所使用的水、醇類與酸的比例及其添加量來控制。上述的合成方法僅為舉例說明,且本發明的溴化二酮吡咯並吡咯顏料的合成方法不限於此。
基於後述的鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,第一顏料(A-1)的使用量可為40重量份至400重量份,較佳為50重量份至350重量份,且更佳為60重量份至300重量份。
值得注意的是,當感光性樹脂組成物不含有第一顏料
(A-1)時,其所製作的彩色濾光片具有對比不佳的問題。
本發明的顏料(A)除可單獨使用上述的第一顏料(A-1)之外,顏料(A)亦可選擇性地混合使用兩種或多種第二顏料(A-2)。第二顏料(A-2)通常是有機顏料或無機顏料,且較佳是使用具有高著色性且高耐熱性的顏料。
第二顏料(A-2)的具體例包括第一顏料(A-1)以外的二酮吡咯並吡咯(Diketopyrrolopyrrole)顏料;偶氮(Azo)、雙偶氮(Disazo)或多偶氮(Polyazo)等的偶氮顏料;銅酞菁(Copper phthalocyanine)、鹵化銅酞菁(Halogenated copper phthalocyanine)或不含金屬的酞菁等的酞菁(Phthalocyanine)顏料;氨基蒽醌(Aminoanthraquinone)、二氨基蒽醌(Diaminodianthraquinone)、蒽嘧啶(Anthrapyrimidine)、黃烷士酮(Flavanthrone)、蒽嵌蒽醌(Anthanthrone)、陰丹士林(Indanthrone)、皮蒽酮(Pyranthrone)或紫蒽酮(Violanthrone)等的蒽醌(Anthraquinone)顏料;喹吖啶酮(Quinacridone)顏料;二嗪(Dioxazine)顏料;紫環酮(Perynone)顏料;苝(Perylene)顏料;硫靛(thioindigo)顏料;異吲哚啉(Isoindoline)顏料;異吲哚啉酮(Isoindolinone)顏料;喹酞酮(Quinophthalone)類顏料;士林(Threne)顏料;喹啉(Quinoline)顏料;苯並咪唑酮(Benzimidazolone)顏料、金屬錯合物顏料或上述顏料的組合。
第二顏料(A-2)較佳為與第一顏料(A-1)不同。又,第
二顏料(A-2)較佳為選自由二酮吡咯並吡咯系顏料、偶氮系顏料、蒽醌系顏料、苝系顏料、喹吖啶酮系顏料、苯並咪唑酮系顏料以及喹啉系顏料所組成的族群。藉由調整這些顏料(A)中的第一顏料(A-1)與第二顏料(A-2)的混合比例以及第二顏料(A-2)中各種顏料的混合比例可調整顏料(A)的顏色。
第二顏料(A-2)的紅色顏料的具體例包括C.I.顏料紅1、2、3、4、5、6、7、8、9、12、14、15、16、17、21、22、23、31、32、37、37、41、47、48、48:1、48:2、48:2、48:4、49、49:1、49:2、50:1、52:1、52:2、53、53:1、53:2、53:3、57、57:1、57:2、58:4、60、63、63:1、63:2、64、64:1、68、69、81、81:1、81:2、81:3、81:4、83、88、90:1、101、101:1、104、108、108:1、109、112、113、114、122、123、144、146、147、149、151、166、168、169、170、172、173、174、174、176、177、178、179、181、184、185、187、188、190、193、194、200、202、206、207、208、209、210、214、216、220、221、224、230、231、232、233、235、236、237、238、239、242、243、245、247、249、250、251、253、254、255、256、257、258、259、260、262、263、264、265、266、267、268、269、270、271、272、273、274、275或276等的紅色顏料。
為了獲得較佳的亮度,紅色顏料較佳為C.I.顏料紅48:1、122、168、177、202、206、207、209、224、242或254,且更佳為C.I.顏料紅177、209、224、242或254。
第二顏料(A-2)的黃色顏料的具體例包括C.I.顏料黃
1、1:1、2、3、4、5、6、9、10、12、13、14、16、17、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、41、42、43、48、53、55、61、62、62:1、63、65、73、74、75,81、83、87、93、94、95、97、100、101、104、105、108、109、110、111、116、117、119、120、126、127、127:1、127、129、133、134、136、138、139、142、147、148、150、151、153、154、155、157、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、169、170、172、173、174、175、176、180、181、182、183、184、185、188、189、190、191、191:1、192、193、194、195、196、197、198、199、200、202、203、204、205、206、207或208等的黃色顏料。
為了獲得較佳的亮度,黃色顏料較佳為C.I.顏料黃83、117、129、138、139、150、154、155、180或185,且更佳為C.I.顏料黃83、138、139、150或180。
第二顏料(A-2)的橘色顏料的具體包括C.I.顏料橘1、2、5、13、16、17、19、20、21、22、23、24、34、36、38、39、43、46、48、49、61、62、64、65、67、68、69、70、71、72、73、74、75、77、78或79。
為了獲得較佳的亮度,橘色顏料較佳為C.I.顏料橘38或71。
第二顏料(A-2)的無機顏料的具體包括硫酸鋇、氧化鋅、硫酸鉛、黃色鉛、鋅黃、氧化鐵紅[紅色氧化鐵(III)]、鎘紅、群青、低鐵氰化鐵、氧化鉻綠、鈷綠、琥珀、鈦黑、
合成鐵黑、二氧化鈦或四氧化三鐵等的金屬氧化物粉末、金屬硫化物粉末或金屬粉末等。
為了取得明度與飽和度的平衡,並獲得良好的塗佈性、感度及顯影性,無機顏料可混合使用有機顏料。
基於後述的鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,第二顏料(A-2)的使用量可為20重量份至200重量份,較佳為30重量份至180重量份,且更佳為40重量份至160重量份。
當感光性樹脂組成物含有第二顏料(A-2)時,彩色濾光片的對比較佳。
本發明的感光性樹脂組成物亦可於不使耐熱性降低的條件下進一步使用染料調整色度。此為本發明所屬技術領域中具有通常知識者所熟知,此處不另贅述。
基於後述的鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,顏料(A)的使用量可為60重量份至600重量份,較佳為80重量份至500重量份,且更佳為100重量份至400重量份。
鹼可溶性樹脂(B)包括第一鹼可溶性樹脂(B-1)、第二鹼可溶性樹脂(B-2)或上述兩者的組合。此外,鹼可溶性樹脂(B)可選擇性地包括其他鹼可溶性樹脂(B-3)。
第一鹼可溶性樹脂(B-1)為由式(2)表示的化合物:
式(2)中,A表示伸苯基或具有取代基的伸苯基,其中所述取代基為碳數為1至5的烷基、鹵原子或苯基;B表示-CO-、-SO2
-、-C(CF3
)2
-、-Si(CH3
)2
-、-CH2
-、-C(CH3
)2
-、-O-、9,9-亞茀基或單鍵;L表示四價羧酸殘基;Y1
表示碳數為1至20的三價有機基;R1
、R2
及R3
各自獨立表示氫原子、鹵原子或一價有機基;R4
表示氫原子或甲基;且m表示1至20的整數。
第一鹼可溶性樹脂(B-1)是由第一混合物反應而獲得。第一混合物包括含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)(以下亦簡稱為成分(b-1))、四羧酸或其酸二酐(b-2)(以下亦簡稱為成分(b-2))以及由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)(以下亦簡稱為成分(b-3)),
式(3)中,Y2
表示碳數為1至20的三價有機基;且R5
、R6
及
R7
各自獨立表示氫原子、鹵原子或一價有機基。
含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)是由具有兩個環氧基的雙酚類化合物(b-1-i)以及具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物(b-1-ii)反應而製得。合成含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)的反應物亦可包含其他化合物。
具有兩個環氧基的雙酚類化合物(b-1-i)可例如在鹼金屬氫氧化物存在下,使雙酚類化合物與鹵化環氧丙烷進行脫鹵化氫反應而得。
用來合成具有兩個環氧基的雙酚類化合物(b-1-i)的雙酚類的具體例包括雙(4-羥基苯基)酮、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)酮、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)酮、雙(4-羥基苯基)碸、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)碸、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)碸、雙(4-羥基苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)六氟丙烷、雙(4-羥基苯基)二甲基矽烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)二甲基矽烷、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)二甲基矽烷、雙(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)甲烷、雙(4-羥基-3,5-二溴苯基)甲烷、2,2-雙(4-羥基苯基)丙烷、2,2-雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)丙烷、2,2-雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)丙烷、2,2-雙(4-羥基-3-甲基苯基)丙烷、2,2-雙(4-羥基-3-氯苯基)丙烷、雙(4-羥基苯基)醚、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)醚、雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)醚等;9,9-雙(4-羥基苯基)茀、9,9-雙(4-羥基-3-二甲基苯基)茀、9,9-雙(4-羥基-3-氯苯基)茀、9,9-雙(4-羥基-3-溴苯基)茀、9,9-雙(4-羥基-3-氟
苯基)茀、9,9-雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)茀或上述化合物的組合。
用來合成具有兩個環氧基的雙酚類化合物(b-1-i)的鹵化環氧丙烷的具體例包括3-氯-1,2-環氧丙烷、3-溴-1,2-環氧丙烷或上述化合物的組合。基於上述的雙酚類化合物中的羥基總當量為1當量,上述的鹵化環氧丙烷的使用量可為1當量至20當量,且較佳為2當量至10當量。
鹼金屬氫氧化物的具體例包括氫氧化鈉、氫氧化鉀或上述化合物的組合。基於上述的雙酚類化合物中的羥基總當量為1當量,上述的脫鹵化氫反應中添加的鹼金屬氫氧化物的使用量可為0.8當量至15當量,且較佳為0.9當量至11當量。
值得注意的是,在進行脫鹵化氫反應之前,可預先添加或於反應過程中添加氫氧化鈉、氫氧化鉀等鹼金屬氫氧化物。脫鹵化氫反應的操作溫度為20℃至120℃,其操作時間範圍為1小時至10小時。
在一實施例中,上述脫鹵化氫反應中所添加的鹼金屬氫氧化物亦可使用其水溶液。在此實施例中,將上述的鹼金屬氫氧化物水溶液連續添加至脫鹵化氫反應系統內的同時,可於減壓或常壓下,連續蒸餾出水及鹵化環氧丙烷,藉此分離並除去水,同時可將鹵化環氧丙烷連續地回流至反應系統內。
上述的脫鹵化氫反應進行前,亦可添加氯化四甲銨(tetramethyl ammonium chloride)、溴化四甲銨(tetramethyl ammonium bromide)、三甲基苄基氯化銨(trimethylbenzyl
ammonium chloride)等的四級銨鹽作為觸媒。接著,在50℃至150℃下,反應1小時至5小時,再加入鹼金屬氫氧化物或其水溶液。然後,於20℃至120℃的溫度下,其使反應1小時至10小時,以進行脫鹵化氫反應。
此外,為了使上述的脫鹵化氫反應順利進行,亦可添加甲醇、乙醇等醇類之外,亦可添加二甲碸(dimethyl sulfone)、二甲亞碸(dimethyl sulfoxide)等非質子性(aprotic)的極性溶媒等來進行反應。在使用醇類的情況下,基於上述的鹵化環氧丙烷的總量為100重量%,醇類的使用量可為2重量%至20重量%,且較佳為4重量%至15重量%。在使用非質子性的極性溶媒的實例中,基於鹵化環氧丙烷的總量為100重量%,非質子性的極性溶媒的使用量可為5重量%至100重量%,較佳為10重量%至90重量%。
在完成脫鹵化氫反應後,可選擇性地進行水洗處理。之後,利用加熱減壓的方式,例如於溫度為110℃至250℃且壓力為1.3kPa(10mmHg)以下,除去鹵化環氧丙烷、醇類及非質子性的極性溶媒等。
為了避免形成的環氧樹脂含有加水分解性鹵素,可將脫鹵化氫反應後的溶液加入苯、甲苯、甲基異丁基酮(methyl isobutyl ketone)等溶劑,並加入氫氧化鈉、氫氧化鉀等鹼金屬氫氧化物水溶液,以再次進行脫鹵化氫反應。在脫鹵化氫反應中,基於上述的雙酚類化合物中的羥基總當量為1當量,鹼金屬氫氧化物的使用量可為0.01莫耳至1莫耳,較佳為0.05莫耳至0.9莫耳。另
外,上述的脫鹵化氫反應的操作溫度範圍為50℃至120℃,且其操作時間範圍為0.5小時至2小時。
在完成脫鹵化氫反應後,藉由過濾及水洗等步驟去除鹽類。此外,可利用加熱減壓的方式,將苯、甲苯、甲基異丁基酮等溶劑予以餾除,則可得到具有兩個環氧基的雙酚類化合物(b-1-i)。
具有兩個環氧基的雙酚類化合物(b-1-i)較佳為由下述式(2-1)表示的具有兩個環氧基的雙酚類化合物,或由下述式(2-2)表示的具有兩個環氧基的雙酚類化合物為單體聚合而成的聚合物。
在式(2-1)及式(2-2)中,A1
至A8
各自獨立表示氫原子、鹵原子、碳數1至5的烷基或苯基。
B表示-CO-、-SO2
-、-C(CF3
)2
-、-Si(CH3
)2
-、-CH2
-、-C(CH3
)2
-、-O-、9,9-亞茀基或單鍵。m1可表示1至10的整數,並且m1更佳為表示1至2的整數。
式(2-1)表示的具有兩個環氧基的雙酚類化合物特佳為下述式(2-3)表示的具有兩個環氧基的雙酚類化合物。
式(2-3)中,A1
至A8
各自獨立表示氫原子、鹵原子、碳數1至5的烷基或苯基。
由式(2-3)表示的具有兩個環氧基的雙酚類化合物例如是由雙酚茀型化合物(bisphenol fluorene)與鹵化環氧丙烷(epihalohydrin)反應而得的具有兩個環氧基的雙酚茀型化合物。
雙酚茀型化合物的具體例包括9,9-雙(4-羥基苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-甲基苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-氯苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-溴苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-氟苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3-甲氧基苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)茀[9,9-bis(4-hyd
roxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene]、9,9-雙(4-羥基-3,5-二溴苯基)茀[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene]或上述化合物的組合。
鹵化環氧丙烷的具體例包括3-氯-1,2-環氧丙烷(epichlorohydrin)、3-溴-1,2-環氧丙烷(epibromohydrin)或上述化合物的組合。
具有環氧基的雙酚茀型化合物的具體例包括(1)新日鐵化學製造的商品:例如ESF-300或其類似物;(2)大阪瓦斯製造的商品:例如PG-100、EG-210或其類似物;或(3)S.M.S Technology Co.製造的商品:例如SMS-F9PhPG、SMS-F9CrG、SMS-F914PG或其類似物。
具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物(b-1-ii)是選自由如下化合物所組成的族群中的至少一種化合物:丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯醯氧乙基丁二酸(2-methacryloyloxyethylbutanedioic acid)、2-甲基丙烯醯氧丁基丁二酸、2-甲基丙烯醯氧乙基己二酸、2-甲基丙烯醯氧丁基己二酸、2-甲基丙烯醯氧乙基六氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯醯氧乙基馬來酸、2-甲基丙烯醯氧丙基馬來酸、2-甲基丙烯醯氧丁基馬來酸、2-甲基丙烯醯氧丙基丁二酸、2-甲基丙烯醯氧丙基己二酸、2-甲基丙烯醯氧丙基四氫鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯醯氧丙基鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯醯氧丁基鄰苯二甲酸,或2-甲基丙烯醯氧丁基氫鄰苯二甲酸;由含羥基之(甲基)丙烯酸酯與二元羧酸化合物反應而得的化合物,其中二元羧酸化合物包含但不限於己二酸、丁二酸、馬來酸、鄰苯二
甲酸;由含羥基之(甲基)丙烯酸酯與羧酸酐化合物反應而得的半酯化合物,其中含羥基之(甲基)丙烯酸酯包含但不限於2-羥基乙基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)acrylate]、2-羥基乙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)methacrylate]、2-羥基丙基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)acrylate]、2-羥基丙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)methacrylate],4-羥基丁基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)acrylate]、4-羥基丁基甲基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)methacrylate],或季戊四醇三甲基丙烯酸酯等。另外,此處所述的羧酸酐化合物可與上述之成分(b-2)及下述之成分(b-4)為相同,故不另贅述。
四羧酸或其酸二酐(b-2)是選自由飽和直鏈烴四羧酸、脂環式四羧酸、芳香族四羧酸以及上述羧酸的酸二酐所組成的族群中的至少一種。
飽和直鏈烴四羧酸的具體例包括丁烷四羧酸、戊烷四羧酸、已烷四羧酸或上述化合物的組合。所述飽和直鏈烴四羧酸亦可具有取代基。
脂環式四羧酸的具體例包括環丁烷四羧酸、環戊烷四羧酸、環已烷四羧酸、降冰片烷四羧酸或上述化合物的組合。脂環式四羧酸亦可具有取代基。
芳香族四羧酸的具體例包括均苯四甲酸、二苯甲酮四羧酸、聯苯四羧酸、聯苯醚四羧酸、二苯基碸四羧酸、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸或上述化合物的組合。
四羧酸或其酸二酐(b-2)較佳為聯苯四羧酸、二苯甲酮四
羧酸、聯苯醚四羧酸或上述羧酸的酸二酐,且更佳為聯苯四羧酸、聯苯醚四羧酸或上述羧酸的酸二酐。
就將本發明的第一鹼可溶性樹脂(B-1)用作後述感光性樹脂組成物的成分的情況下,當所述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)與所述四羧酸或其酸二酐(b-2)的莫耳比值(b-2)/(b-1)為0.2至1.0時,感光性組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)的具體例包括三甲氧基矽烷基丙基丁二酸酐、三乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐、甲基二甲氧基矽烷基丙基丁二酸酐、甲基二乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐、三甲氧基矽烷基丁基丁二酸酐、三乙氧基矽烷基丁基丁二酸酐、甲基二乙氧基矽烷基丁基丁二酸酐、對(三甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、對(三乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、對(甲基二甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、對(甲基二乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(三甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(三乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(甲基二乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐或上述化合物的組合。
由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)較佳為三甲氧基矽烷基丙基丁二酸酐、三乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐、對(三甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、對(三乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(三甲氧基矽烷基)苯基丁二酸酐、間(三乙氧基矽烷基)苯基丁二酸酐或上述化合物的組合。
就將本發明的第一鹼可溶性樹脂(B-1)用作後述感光性組成物的成分的情況下,當所述含有聚合性不飽和基的二醇化合物
(b-1)與所述由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)的莫耳比值(b-3)/(b-1)為0.02時至1.6時,感光性組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
鹼可溶性樹脂之合成反應用混合物中,若不含有由式(3)表示的二羧酸酐(b-3),則將此鹼可溶性樹脂用作後述感光性組成物的成分時,所得到的後烤色差大且高精細度的圖案直線性不佳。
除了上述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)、四羧酸或其酸二酐(b-2)和由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)以外,本發明所述的鹼可溶性樹脂中亦可包含成分(b-4)。
成分(b-4)包含二羧酸或其酸酐,但不包含由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)。二羧酸的具體例包括飽和直鏈烴二羧酸、飽和環狀烴二羧酸、不飽和二羧酸或上述化合物的組合。
飽和直鏈烴二羧酸的具體例包括丁二酸、乙醯基丁二酸、己二酸、壬二酸、檸蘋酸(Citramalic acid)、丙二酸、戊二酸、檸檬酸、酒石酸、氧代戊二酸、庚二酸、癸二酸、辛二酸、二甘醇酸(diglycolic acid)或上述化合物的組合。上述飽和直鏈烴二羧酸中的烴基亦可被取代。
飽和環狀烴二羧酸的具體例包括六氫鄰苯二甲酸、環丁烷二羧酸、環戊烷二羧酸、降冰片烷二羧酸、六氫偏苯三酸(hexahydrotrimellitic acid)或上述化合物的組合。上述飽和環狀烴二羧酸亦可為飽和烴經取代的脂環式二羧酸。
不飽和二羧酸的具體例包括馬來酸、衣康酸、鄰苯二甲酸、四氫鄰苯二甲酸、甲基橋亞甲基四氫鄰苯二甲酸(methyl
endo-methylene tetrahydrophthalic acid)、氯茵酸(chlorendic acid)、偏苯三酸或上述化合物的組合。
這些二羧酸較佳為包括丁二酸、衣康酸、四氫鄰苯二甲酸、六氫偏苯三酸、鄰苯二甲酸、偏苯三酸或上述二羧酸的組合,更佳為包括丁二酸、衣康酸、四氫鄰苯二甲酸或上述二羧酸的組合。
作為(b-4)成分,較佳為包括丁二酸酐、衣康酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫偏苯三酸酐、鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐或上述二羧酸酐的組合,更佳為包括丁二酸酐、衣康酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐或上述二羧酸酐的組合。
第一鹼可溶性樹脂(B-1)的合成方法並無特別限制,只要將上述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)、四羧酸或其酸二酐(b-2)和由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)反應即可獲得。舉例而言,將作為含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)的雙酚茀型環氧基(甲基)丙烯酸酯在丙二醇單甲醚醋酸酯等溶劑中加熱,使其與四羧酸或其酸二酐(b-2)和由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)反應而可獲得本案的第一鹼可溶性樹脂(B-1)。
此外,上述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)以及本發明的第一鹼可溶性樹脂(B-1)的合成中所使用的溶劑、觸媒等的反應條件並無特別限定,但較佳為使用不具有羥基且沸點比反應溫度高的溶劑作為反應用溶劑。此溶劑較佳的具體例包括乙酸2-乙氧乙酯(Ethyl cellosolve acetate)、乙酸2-丁氧乙酯(butyl c
ellosolve acetate)等2-乙氧乙醇(cellosolve)系溶劑;二甘醇二甲醚(diglyme)、乙基卡必醇乙酸酯(Ethylcarbitol acetate)、丁基卡必醇乙酸酯(Butylcarbitol acetate)、丙二醇單甲醚醋酸酯(Propylene glycol monomethyl ether acetate)等高沸點的醚系或酯系的溶劑或;環己酮、二異丁基酮等的酮系溶劑或;2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(Ethyl 3-ethoxypr opionate)、乙氧基乙酸乙酯等其他酯類溶劑等。上述的聚合反應用溶劑可單獨使用或組合多種來使用。另外,觸媒的具體例包括溴化四乙基銨(Tetraethylammonium bromide)、氯化苄基三乙基銨(Benzyltriethylammonium chloride)等銨鹽、三苯基膦(triphenylphosphine)或三(2,6-二甲氧基苯基)膦(Tris(2,6-dimethoxyphenyl)phosphine)等膦類等的觸媒。上述的觸媒可單獨或混合使用。此外,為了控制聚合度,通常還會於反應溶液中添加阻聚劑(inhibitor)。上述的阻聚劑的具體例包括甲氧基酚(methoxyphenol)、甲基氫醌(methylhydroquinone)、氫醌(hydroquinone)、2,6-二第三丁基對甲酚(2,6-di-t-butyl-p-cresol)、吩噻嗪(phenothiazine)或其類似物。上述的阻聚劑一般可單獨使用或組合多種來使用。
此外,對於含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)與四羧酸或其酸二酐(b-2)、由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)及/或成分(b-4)反應的方法並無特別限定。具體而言,例如可採用如日本專利特開平9-325494號公報所述般,在反應溫度為90℃至140℃下使二
醇化合物與四羧酸二酐反應的公知的方法。較佳而言,以化合物的末端為羧酸基的方式,並以含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)、四羧酸或其酸二酐(b-2)、由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)、成分(b-4)的莫耳比為(b-1):(b-2):(b-3):(b-4)=(1):(0.2至1):(0.02至1.6):(0至0.3)的方式定量地使這些成分反應。此外,較佳而言,在反應溫度為90℃至130℃下使這些成分均勻地溶解並使其進行反應,接著在反應溫度為40℃至80℃下進行反應以及熟成(aging)。
將第一鹼可溶性樹脂(B-1)藉由凝膠滲透層析儀(GPC)測定且聚苯乙烯換算的數量平均分子量較佳為1,000以上且10,000以下。當第一鹼可溶性樹脂(B-1)的數量平均分子量低於1000時,有耐鹼性劣化的可能性,使得鹼顯影後的圖案易產生缺口且細線圖案的再現性明顯降低。當第一鹼可溶性樹脂(B-1)的數量平均分子量高於10,000時,則顯影後容易發生顯影性不佳的情況。
此外,當感光性組成物不含有第一鹼可溶性樹脂(B-1)時,後烤色差大且高精細度的圖案直線性不佳。
第二鹼可溶性樹脂(B-2)是由第二混合物反應而獲得。第二混合物包括具有至少兩個環氧基的環氧化合物以及具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物。此外,該第二混合物可更包括羧酸酐化合物、具有環氧基的化合物或上述兩種化
合物的組合。
具有至少兩個環氧基的環氧化合物為由式(4)表示的化合物、由式(5)表示的化合物或上述兩者的組合。
具體而言,由式(4)表示的化合物如下:
式(4)中,R8
、R9
、R10
及R11
各自獨立表示氫原子、鹵原子、碳數為1至5的烷基、碳數為1至5的烷氧基、碳數為6至12的芳基或碳數為6至12的芳烷基。
含有式(4)所表示的化合物可由雙酚茀型化合物(bisphenol fluorene)與鹵化環氧丙烷(epihalohydrin)進行反應而得。
雙酚茀型化合物的具體例包括:9,9-雙(4-羥基苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3-甲基苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3-氯苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3-溴苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3-氟苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3-甲氧基苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3,5-
二甲基苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3,5-二氯苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene)、9,9-雙(4-羥基-3,5-二溴苯基)茀(9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene)或其類似物,或上述化合物之組合。
鹵化環氧丙烷(epihalohydrin)的具體例包括3-氯-1,2-環氧丙烷(epichlorohydrin)或3-溴-1,2-環氧丙烷(epibromohydrin)或其類似物,或上述化合物之組合。
另外,具體而言,由式(5)表示的化合物如下:
式(5)中,R12
至R25
各自獨立表示氫原子、鹵原子、碳數為1至8的烷基或碳數為6至15的芳香基,且n表示0至10的整數。
由式(5)表示的化合物可由在鹼金屬氫氧化物存在下,使由式(5-1)表示的化合物與鹵化環氧丙烷進行反應而得。
式(5-1)中,R12
至R25
以及n的定義是分別與式(5)中的R12
至R25
以及n的定義相同,在此不另贅述。
由式(5-1)表示的化合物可的合成方法如下:首先,在酸
觸媒存在下,使用由式(5-2)表示的化合物與酚(phenol)類進行縮合反應後,形成由式(5-1)表示的化合物。接著,加入過量的鹵化環氧丙烷,以使鹵化環氧丙烷與由式(5-1)表示的化合物進行脫鹵化氫反應(dehydrohalogenation),而獲得由式(5)表示的化合物。
式(5-2)中,R14
至R17
定義與式(5)中的R14
至R17
的定義相同,在此不另贅述。X1
及X2
各自獨立表示鹵原子、碳數為1至6的烷基或碳數為1至6的烷氧基。上述的鹵原子較佳為氯或溴。上述的烷基較佳為甲基、乙基或第三丁基。上述的烷氧基較佳為甲氧基或乙氧基。
酚類的具體例包括:酚(phenol)、甲酚(cresol)、乙酚(ethylphenol)、n-丙酚(n-propylphenol)、異丁酚(isobutylphenol)、第三丁酚(t-butylphenol)、辛酚(octylphenol)、壬基苯酚(nonylphenol)、茬酚(xylenol)、甲基丁基苯酚(methylbutylphenol)、二第三丁基酚(di-t-butylphenol)、乙烯苯酚(vinylphenol)、丙烯苯酚(propenylphenol)、乙炔苯酚(ethinylphenol)、環戊苯酚(cyclopentylphenol)、環己基酚(cyclohexylphenol)、環己基甲酚(cyclohexylcresol)或其類似物。上述的酚類可單獨使用或組合多種來使用。
基於上述由式(5-2)表示的化合物的使用量為1莫耳,酚
類的使用量為0.5莫耳至20莫耳,且較佳為2莫耳至15莫耳。
酸觸媒的具體例包括:鹽酸、硫酸、對甲苯磺酸(p-toluenesulfonic acid)、草酸(oxalic acid)、三氟化硼(boron trifluoride)、無水氯化鋁(aluminium chloride anhydrous)、氯化鋅(zinc chloride)或其類似物。酸觸媒較佳為對甲苯磺酸、硫酸、鹽酸或上述化合物的組合。酸觸媒可單獨使用或組合多種來使用。
另外,上述的酸觸媒的使用量雖無特別的限制。惟,基於上述由式(5-2)表示的化合物的使用量為100重量百分比(重量%),酸觸媒的使用量較佳為0.1重量%至30重量%。
上述的縮合反應可在無溶劑或是在有機溶劑的存在下進行。又,上述的有機溶劑的具體例包括:甲苯(toluene)、二甲苯(xylene)、甲基異丁基酮(methyl isobutyl ketone)或其類似物。上述的有機溶劑可單獨使用或組合多種來使用。
基於由式(5-2)表示的化合物及酚類的總重量為100重量%,上述的有機溶劑的使用量為50重量%至300重量%,較佳為100重量%至250重量%。此外,上述的縮合反應的操作溫度為40℃至180℃,且縮合反應的操作時間為1小時至8小時。
在完成上述的縮合反應後,可進行中和處理或水洗處理。上述的中和處理是將反應後的溶液之pH值調整為pH 3至pH 7,且較佳為pH 5至pH 7。上述的水洗處理可使用中和劑來進行,其中此中和劑為鹼性物質,且其具體包括:氫氧化鈉(sodium hydroxide)、氫氧化鉀(potassium hydroxide)或其類似物的鹼金屬氫氧化物;氫氧化鈣(calcium hydroxide)、氫氧化鎂(magnesium hydroxide)或其類似物的鹼土類金屬氫氧化物;二伸乙三胺
(diethylene triamine)、三伸乙四胺(triethylenetetramine)、苯胺(aniline)、苯二胺(phenylene diamine)或其類似物的有機胺;氨(ammonia)、磷酸二氫鈉(sodium dihydrogen phosphate)或上述化合物的組合。上述的中和劑可單獨使用或組合多種來使用。上述的水洗處理可採用習知方法進行,例如在反應後的溶液中加入含中和劑的水溶液,並且反覆進行萃取即可。經中和處理或水洗處理後,可經減壓加熱處理將未反應的酚類及溶劑予以餾除,並進行濃縮,如此一來,便可獲得由式(5-1)表示的化合物。
鹵化環氧丙烷的具體例包括:3-氯-1,2-環氧丙烷、3-溴-1,2-環氧丙烷或上述化合物的組合。在進行上述的脫鹵化氫反應之前,可預先添加或於反應過程中添加氫氧化鈉、氫氧化鉀等的鹼金屬氫氧化物。上述的脫鹵化氫反應的操作溫度為20℃至120℃,其操作時間範圍為1小時至10小時。
在一實施例中,上述脫鹵化氫反應中所添加的鹼金屬氫氧化物亦可為其水溶液。在此實施例中,將上述的鹼金屬氫氧化物水溶液連續添加至脫鹵化氫反應系統內的同時,可於減壓或常壓下,連續蒸餾出水及鹵化環氧丙烷,藉此分離並除去水,並且可將鹵化環氧丙烷連續地回流至反應系統內。
上述的脫鹵化氫反應進行前,亦可添加氯化四甲銨(tetramethyl ammonium chloride)、溴化四甲銨(tetramethyl ammonium bromide)、三甲基苄基氯化銨(trimethyl benzyl ammonium chloride)或其類似物的四級銨鹽作為觸媒,並且在50℃至150℃下,反應1小時至5小時後,加入鹼金屬氫氧化物或其水溶液。接著,於20℃至120℃的溫度下,其使反應1小時至10
小時,以進行脫鹵化氫反應。
基於上述的由式(5-1)表示的化合物中的羥基總當量為1當量,上述的鹵化環氧丙烷的使用量為1當量至20當量,且較佳為2當量至10當量。基於上述的具有式(5-1)結構的化合物中的羥基總當量為1當量,上述的脫鹵化氫反應中添加的鹼金屬氫氧化物的使用量為0.8當量至15當量,且較佳為0.9當量至11當量。
此外,為了使上述的脫鹵化氫反應順利進行,亦可添加甲醇、乙醇或其類似物的醇類。除此之外,亦可添加二甲碸(dimethyl sulfone)、二甲亞碸(dimethyl sulfoxide)或其類似物的非質子性(aprotic)的極性溶媒來進行反應。在使用醇類的情況下,基於上述的鹵化環氧丙烷的總量為100重量%,醇類的使用量為2重量%至20重量%,且較佳為4重量%至15重量%。在使用非質子性的極性溶媒的情況下,基於鹵化環氧丙烷的總量為100重量%,非質子性的極性溶媒的使用量為5重量%至100重量%,且較佳為10重量%至90重量%。
在完成脫鹵化氫反應後,可選擇性地進行水洗處理。之後,利用加熱減壓的方式,例如於溫度為110℃至250℃且壓力為1.3kPa(10毫米汞柱(mmHg))以下,除去鹵化環氧丙烷、醇類及非質子性的極性溶媒。
為了避免形成的環氧樹脂含有加水分解性的鹵素,可將脫鹵化氫反應後的溶液加入甲苯、甲基異丁基酮(methyl isobutyl ketone)等溶劑以及氫氧化鈉、氫氧化鉀等鹼金屬氫氧化物水溶液,並且再次進行脫鹵化氫反應。在脫鹵化氫反應中,基於上述的由式(5-1)表示的化合物中的羥基總當量為1當量,鹼金屬氫氧
化物的使用量為0.01莫耳至0.3莫耳,且較佳為0.05莫耳至0.2莫耳。另外,上述的脫鹵化氫反應的操作溫度範圍為50℃至120℃,且其操作時間範圍為0.5小時至2小時。
在完成脫鹵化氫反應後,藉由過濾及水洗等步驟去除鹽類。此外,可利用加熱減壓的方式,將甲苯、甲基異丁基酮等溶劑予以餾除,則可得到由式(5)表示的化合物。上述由式(5)表示的化合物的具體例包括商品名為NC-3000、NC-3000H、NC-3000S以及NC-3000P等由日本化藥製造的商品。
第二混合物中之具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物的具體例與上述第一混合物中之具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物(b-1-ii)的具體例相同,故不另贅述。
第二混合物中的羧酸酐化合物包括四羧酸或其酸二酐及/或二羧酸或其酸酐,其中該四羧酸或其酸二酐的具體例與上述第一混合物中的成分(b-2)相同,二羧酸或其酸酐的具體例與上述第一混合物中的成分(b-4)相同,在此不另贅述。
第二混合物中的具有環氧基的化合物的具體例包括甲基丙烯酸環氧丙酯、3,4-環氧基環己基甲基丙烯酸酯、具有不飽和基的縮水甘油醚化合物、具有環氧基的不飽和化合物或上述化合物的組合。上述具有不飽和基的縮水甘油醚化合物的具體例包括商品名Denacol EX-111、EX-121 Denacol、Denacol EX-141、Denacol EX-145、Denacol EX-146、Denacol EX-171或Denacol EX-
192(以上為長瀨化成工業股份有限公司的商品)。
上述第二鹼可溶性樹脂(B-2)可由第二混合物中之具有至少兩個環氧基的環氧化合物與具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物進行聚合反應,形成具有羥基的反應產物。接著,再添加羧酸酐化合物進行反應所製造得。基於上述的具有羥基的反應產物的羥基總當量為1當量,羧酸酐化合物所含有的酸酐基的當量較佳為0.4當量至1當量,且更佳為0.75當量至1當量。當使用多個羧酸酐化合物時,可於反應中依序添加或同時添加羧酸酐化合物。另外,上述反應的操作溫度範圍為50℃至130℃。
上述第二鹼可溶性樹脂(B-2)亦可由具有至少兩個環氧基的環氧化合物與具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物進行反應,形成具有羥基的反應產物,接著,再添加羧酸酐化合物及/或具有環氧基的化合物進行聚合反應而製得。基於具有至少兩個環氧基的環氧化合物上的環氧基總當量為1當量,上述的具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物的酸價當量較佳為0.8當量至1.5當量,更佳為0.9當量至1.1當量。基於上述的具有羥基的反應產物的羥基總量為100莫耳百分比(莫耳%),羧酸酐化合物的使用量為10莫耳%至100莫耳%,較佳為20莫耳%至100莫耳%,且更佳為30莫耳%至100莫耳%。
在製備上述的第一鹼可溶性樹脂(B-1)時,為加速反應,通常會於反應溶液中添加鹼性化合物作為反應觸媒。上述的反應
觸媒的具體例包括三苯基膦(triphenyl phosphine)、三(2,6-二甲氧基苯基)膦(Tris(2,6-dimethoxyphenyl)phosphine)、三苯基銻(triphenyl stibine)、三乙胺(triethylamine)、三乙醇胺(triethanolamine)、氯化四甲基銨(tetramethylammonium chloride)、氯化苄基三乙基銨(benzyltriethylammonium chloride)或上述反應觸媒的組合。上述的反應觸媒可單獨或混合使用。
此外,為了控制聚合度,通常還會於反應溶液中添加阻聚劑(inhibitor)。上述的阻聚劑的具體例包括甲氧基酚(methoxyphenol)、甲基氫醌(methylhydroquinone)、氫醌(hydroquinone)、2,6-二第三丁基對甲酚(2,6-di-t-butyl-p-cresol)、吩噻嗪(phenothiazine)或其類似物。上述的阻聚劑一般可單獨使用或組合多種來使用。
在製備上述第一鹼可溶性樹脂(B-1)時,必要時可使用聚合反應用溶劑。上述的聚合反應用溶劑的具體例包括:乙醇、丙醇、異丙醇、丁醇、異丁醇、2-丁醇、己醇、乙二醇或其類似物的醇類化合物;甲乙酮、環己酮或其類似物的酮類化合物;甲苯、二甲苯或其類似物的芳香族烴類化合物;賽珞素、丁基賽珞素(butyl cellosolve)或其類似物的賽珞素(cellosolve)類化合物;卡必妥、丁基卡必妥或其類似物的卡必妥類化合物;丙二醇單甲醚或其類似物的丙二醇烷基醚類化合物;二丙二醇單甲醚(di(propylene glycol)methyl ether)或其類似物的多丙二醇烷基醚(poly(propylene glycol)alkyl ether)類化合物;醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙二醇乙醚醋酸酯(ethylene glycol monoethyl ether acetate)、丙二醇甲
醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate)、丙二醇單甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl monoether acetate)或其類似物的醋酸酯類化合物;乳酸乙酯(ethyl lactate)、乳酸丁酯(butyl lactate)或其類似物的乳酸烷酯(alkyl lactate)類化合物;或二烷基二醇醚類;或2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)、乙氧基乙酸乙酯等其他酯類。上述的聚合反應用溶劑可單獨使用或組合多種來使用。另外,上述第一鹼可溶性樹脂(B-1)的酸價為50mgKOH/g至200mgKOH/g,較佳為60mgKOH/g至180mgKOH/g。
第二鹼可溶性樹脂(B-2)較佳為新日鐵化學製,品名為V259ME或V301ME等產品。
感光性樹脂組成物藉由包括第二鹼可溶性樹脂(B-2),而使高精細度的圖案準直性較佳。
此外,當鹼可溶性樹脂(B)同時含有第一鹼可溶性樹脂(B-1)與第二鹼可溶性樹脂(B-2)時,第一鹼可溶性樹脂(B-1)與第二鹼可溶性樹脂(B-2)的重量比為10:90以上且小於100:0。此時,由感光性樹脂組成物所獲得的高精細度的圖案準直性更佳。
鹼可溶性樹脂(B)更可選擇性包括其他鹼可溶性樹脂(B-3)。其他鹼可溶性樹脂(B-3)為第一鹼可溶性樹脂(B-1)與第二鹼
可溶性樹脂(B-2)以外的樹脂,但不限於具有羧酸基或羥基的樹脂。其他鹼可溶性樹脂(B-3)的具體例包括丙烯酸系樹脂、胺基甲酸酯(urethane)系樹脂或酚醛清漆(novolac)樹脂等樹脂。
含乙烯性不飽和基的化合物(C)包括第一化合物(C-1)、第二化合物(C-2)、第三化合物(C-3)或上述化合物的組合。
第一化合物(C-1)選自由式(6)表示的化合物、由式(7)表示的化合物以及由式(8)表示的化合物所組成的族群:
式(6)至式(8)中,R26
各自獨立表示-(CH2
CH2
O)-或
-(CH2
CH(CH3
)O)-;R27
各自獨立表示丙烯醯基、甲基丙烯醯基或氫原子;R28
各自獨立表示氫原子、碳數為1至6的烷基或碳數為6的芳基;式(6)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基的總數量為5或6;式(7)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基的總數量為3或4;式(8)中,丙烯醯基及甲基丙烯醯基的總數量為3;p各自獨立表示0至6的整數,且各p的總和為3至24;q各自獨立表示0至6的整數,且各q的總和為2至16;r各自獨立表示0至10的整數,且各r的總和為3至30;且x表示0至3的整數。
式(6)、式(7)或式(8)中,R26
的-(CH2
CH2
O)-或-(CH2
CH(CH3
)O)-較佳為以氧原子側的末端鍵結至R27
。
式(6)中,六個R27
較佳為皆為丙烯醯基。
由式(6)表示的化合物或由式(7)表示的化合物可由下述步驟來合成:首先,季戊四醇或二季戊四醇藉由環氧乙烷(Ethylene oxide)或環氧丙烷(Propylene oxide)的開環加成反應而鍵結開環骨架的步驟。接著,使例如(甲基)丙烯醯氯與開環骨架的末端羥基反應而導入(甲基)丙烯醯基的步驟。
由式(6)表示的化合物及由式(7)表示的化合物更佳為季戊四醇衍生物、二季戊四醇衍生物或上述兩者的組合。
由式(6)表示的化合物的具體例包括由式(6-1)至式(6-4)表示的化合物。在式(6-1)及式(6-4)中,各n的總和為6。式(6-2)及式(6-3)中各n的總和為12。由式(6)表示的化合物較佳為式(6-1)或式(6-2)。由式(6)表示的化合物例如是已商品化的產品(如由日本化藥股份有限公司製造的KAYARAD DPEA-12)。
由式(7)表示的化合物的具體例包括由式(7-1)表示的化合物、由式(7-2)表示的化合物、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯(Ethoxylated Pentaerythritol tetraacrylate)或丙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯(Propoxylated Pentaerythritol tetraacrylate)。在式(7-1)中,各k的總和為4。式(7-2)中各k的總和為12。由式(7)表示的化合物例如是已商品化的產品(例如由長興化學工業股份有限公司製造的EM2411、EM2421或由東洋化學股份有限公司製造的Miramer M4004。
由式(8)表示的化合物的具體例包括乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(Ethoxylated Trimethylolpropane triacrylate)、乙氧基化三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(Ethoxylated Trimethylolpropane trimethacrylate)、丙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(Propoxylated Trimethylolpropane Triacrylate)、丙氧基化甘油三丙烯酸酯(Propoxylated Glyceryl triacrylate)。由式(8)表示的化合物例如是已商品化的產品(例如KAYARAD GPO-303、KAYARAD THE-330、KAYARAD TPA-320、KAYARAD TPA-330(由日本化藥股份有限公司製造)、M-310、M-321、M-350、M-360、M-460(以上,由東亞合成股份有限公司製造)、SR415、SR454、SR492、SR499、CD501、SR502、SR9020、SR9021、SR9035(以上,由莎托瑪股份有限公司製造)、EM2380、EM2381、EM2382、EM2383、EM2384、EM2385、EM2386、EM2387、EM3380(以上,由長興化學工業股份有限公司製造)、Miramer M3130、Miramer M3160、Miramer M3190、
Miramer M360(以上,由東洋化學股份有限公司製造)或上述化合物的組合。
基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,第一化合物(C-1)的使用量可為5重量份至60重量份,較佳為8重量份至50重量份,且更佳為10重量份至40重量份。
當含乙烯性不飽和基的化合物(C)中含有第一化合物(C-1)時,感光性樹脂組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
第二化合物(C-2)可為由式(9)表示的化合物:
式(9)中,R29
及R30
各自獨立表示氫原子或甲基;y表示1至2的整數;s表示1至6的整數;t表示0至5的整數;且s與t的總和為2至6。
第二化合物(C-2)是由經己內酯改質的多元醇與(甲基)丙烯酸反應而得的(甲基)丙烯酸酯系化合物。
上述經己內酯改質的多元醇是由己內酯與具有四個官能基以上的多元醇反應而製得。上述己內酯可為γ-己內酯、δ-己內酯、ε-己內酯或上述化合物的組合,且較佳為ε-己內酯。上述具有
四個官能基以上的多元醇例如是季戊四醇、二三羥甲基丙烷、二季戊四醇或上述化合物的組合。基於具有四個官能基以上的多元醇的使用量為1莫耳,上述己內酯的使用量較佳為1莫耳至12莫耳。
第二化合物(C-2)的具體例包括季戊四醇己內酯改質的四(甲基)丙烯酸酯類化合物、二三羥甲基丙烷己內酯改質的四(甲基)丙烯酸酯類化合物、二季戊四醇己內酯改質的多(甲基)丙烯酸酯類化合物或上述化合物的組合。上述二季戊四醇己內酯改質的多(甲基)丙烯酸酯類化合物的具體例包括二季戊四醇己內酯改質的二(甲基)丙烯酸酯類化合物、二季戊四醇己內酯改質的三(甲基)丙烯酸酯類化合物、二季戊四醇己內酯改質的四(甲基)丙烯酸酯類化合物、二季戊四醇己內酯改質的五(甲基)丙烯酸酯類化合物、二季戊四醇己內酯改質的六(甲基)丙烯酸酯類化合物或上述化合物的組合。具體而言,第二化合物(C-2)例如是由日本化藥股份有限公司製造的KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、DPCA-120。
基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,第二化合物(C-2)可為5重量份至60重量份,較佳為8重量份至50重量份,且更佳為10重量份至40重量份。
當含乙烯性不飽和基的化合物(C)中含有第二化合物(C-2)時,感光性樹脂組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
第三化合物(C-3)具有由式(10)表示的官能基。
式(10)中,R31
表示氫或甲基。
第三化合物(C-3)的具體例包括丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-氨基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸二甲氨基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、氮,氮-二甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丙酯、乙烯基己內醯胺、氮-乙烯基皮酪烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸乙二醇酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二醇酯、(甲基)丙烯酸冰片酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰酸酯二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質的三(2-羥乙基)異氰酸酯三(甲基)丙烯酸
酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙烯酸三羥甲基丙酯(trimethylolpropane triacrylate)、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯(dipentaerythritol hexaacrylate)、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯、EO改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、EO改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、PO改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、EO改質的雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯或上述化合物的組合。
第三化合物(C-3)較佳為三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、四丙烯酸二三羥甲基丙酯、由日本東亞合成株式會社製造的TO-1382或上述化合物的組合。
基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,含乙烯性不飽和基的化合物(C)的使用量可為40重量份至400重量份,較佳為50重量份至350重量份,且更佳為60重量份至300重量份。
光起始劑(D)例如是苯乙酮系化合物(acetophenone)、二咪唑系化合物(biimidazole)、醯肟系化合物(acyl oxime)或上述化合
物的組合。
苯乙酮系化合物的具體例包括對二甲胺苯乙酮
(p-dimethylamino-acetophenone)、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙酮(α,α’-dimethoxyazoxy-acetophenone)、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙酮(2,2’-dimethyl-2-phenyl-acetophenone)、對甲氧基苯乙酮(p-methoxy-acetophenone)、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮[2-methyl-1-(4-methylthiophenyl)-2-morpholino-1-propanone]、2-苄基-2-氮,氮-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮[2-benzyl-2-N,N-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-1-butanone]或上述化合物的組合。
二咪唑系化合物的具體例包括2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-fluorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-methyl phenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-methoxyphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(鄰-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(o-ethylphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(對甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(p-methoxyphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯
基二咪唑[2,2’-bis(2,2’,4,4’-tetramethoxyphenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(2-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]、2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑[2,2’-bis(2,4-dichlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl-biimidazole]或上述化合物的組合。
醯肟系化合物的具體例包括乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙醯肟)[Ethanone,1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-,1-(O-acetyl oxime),如Ciba Specialty Chemicals製造的CGI-242,其結構由式(11)所示]、1-(4-(苯基硫代)苯基)-辛烷-1,2-二酮2-肟-氧-苯甲酸酯[1-(4-phenyl-thio-phenyl)-octane-1,2-dion-2-oxime-O-benzoate,如Ciba Specialty Chemicals製造的CGI-124,其結構由式(12)所示]、乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-氯-4-苯甲基-硫代-苯甲醯基)-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙醯肟)[Ethanone,1-[9-ethyl-6-(2-cholro-4-benzyl-thio-benzoyl)-9H-carbazole-3-yl]-,1-(O-acetyl oxime),由旭電化公司製造,其結構由式(13)所示]或上述化合物的組合。
光起始劑(D)較佳為2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉
代-1-丙酮、2-苄基-2-氮,氮-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮、2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、乙烷酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9氫-咔唑-3-取代基]-,1-(氧-乙醯肟)或上述化合物的組合。
光起始劑(D)視需要可進一步添加下列的化合物:噻噸酮(thioxanthone)、2,4-二乙基噻噸酮(2,4-diethyl-thioxanthanone)、噻噸酮-4-碸(thioxanthone-4-sulfone)、二苯甲酮(benzophenone)、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮[4,4’-bis(dimethylamino)benzophenone]、4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮[4,4’-bis(diethylamino)benzophenone]等二苯甲酮(benzophenone)系化合物;苯偶醯(benzil)、乙醯基(acetyl)等α
-二酮(α
-diketone)類;二苯乙醇酮(benzoin)等之酮醇(acyloin)類;二苯乙醇酮甲醚(benzoin methylether)、二苯乙醇酮乙醚(benzoin ethylether)、二苯乙醇酮異丙醚(benzoin isopropyl ether)等酮醇醚(acyloin ether)類;2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物(2,4,6-trimethyl-benzoyl-diphenyl-phosphineoxide)、雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物[bis-(2,6-dimethoxy-benzoyl)-2,4,4-trimethyl-benzyl-phosphineoxide]等醯膦氧化物(acylphosphineoxide)類;蒽醌(anthraquinone)、1,4-萘醌(1,4-naphthoquinone)等醌(quinone)類;苯醯甲基氯(phenacyl chloride)、三溴甲基苯碸(tribromomethyl-phenylsulfone)、三(三氯甲基)-s-三嗪[tris(trichloromethyl)-s-triazine]等鹵化物;二-第三丁基過氧化物(di-tertbutylperoxide)等過氧化物;或上述化合物的組合。添加於光起始劑(D)的化合物
較佳為二苯甲酮(benzophenone)系化合物,且更佳為4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮。
基於所述鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,光起始劑(D)的使用量可為10重量份至100重量份,較佳為12重量份至80重量份,且更佳為15重量份至60重量份。
有機溶劑(E)是指可以將顏料(A)、鹼可溶性樹脂(B)、含乙烯性不飽和基的化合物(C)以及光起始劑(D)溶解,但又不與上述成分反應的有機溶劑,並且較佳為具有適當揮發性者。
所述有機溶劑(E)例如是(聚)亞烷基二醇單烷醚類、(聚)亞烷基二醇單烷醚乙酸酯類、其他醚類、酮類、乳酸烷酯類、其他酯類、芳香族碳氫化合物類、羧酸醯胺類或上述溶劑的組合。
(聚)亞烷基二醇單烷醚類的具體例包括乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、二甘醇甲醚、二甘醇乙醚、二甘醇正丙醚、二甘醇正丁醚、三甘醇甲醚、三甘醇乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、一縮二丙二醇甲醚、一縮二丙二醇乙醚、一縮二丙二醇正丙醚、一縮二丙二醇正丁醚、二縮三丙二醇甲醚、二縮三丙二醇乙醚或上述溶劑的組合。
(聚)亞烷基二醇單烷醚乙酸酯類的具體例包括乙二醇單甲醚乙酸酯(ethylene glycol monomethyl ether acetate)、乙二醇單乙醚乙酸酯(ethylene glycol monoethyl ether acetate)、丙二醇
單甲醚醋酸酯(propylene glycol monomethyl ether acetate)、丙二醇單乙醚乙酸酯(propylene glycol monoethyl ether acetate)或上述溶劑的組合。
其他醚類的具體例包括二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、二甘醇二乙醚、四氫呋喃或上述溶劑的組合。
酮類的具體例包括甲乙烷酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮或上述溶劑的組合。
乳酸烷酯類的具體例包括2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯或上述溶劑的組合。
其他酯類的具體例包括2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(EEP)、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-氧基丁酸乙酯或上述溶劑的組合。
芳香族碳氫化合物類的具體例包括甲苯、二甲苯或上述溶劑的組合。
羧酸醯胺類的具體例包括N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺或上述溶劑的組合。
有機溶劑(E)較佳為丙二醇單甲醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯或上述溶劑的組合。上述有機溶劑(E)可單獨使用或組合多種來使用。
基於所述鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,有機溶劑(E)的使用量可為500重量份至5000重量份,較佳為800重量份至4500重量份,且更佳為1000重量份至4000重量份。
在不影響本發明功效的前提下,本發明的感光性樹脂組成物更可選擇性進一步添加添加劑(F)。添加劑(F)的具體例包括界面活性劑、填充劑、聚合物(指上述的鹼可溶性樹脂(B)以外的聚合物)、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑或防凝集劑。
界面活性劑有助於提高感光性樹脂組成物的塗佈性。界面活性劑例如是聚環氧乙烷十二烷基醚、聚環氧乙烷硬脂醯醚、聚環氧乙烷油醚等聚環氧乙烷烷基醚類;聚環氧乙烷辛基苯醚、聚環氧乙烷壬基苯醚等聚環氧乙烷烷基苯醚類;聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯等聚乙二醇二酯類;山梨糖醇酐脂肪酸酯類;脂肪酸改質的聚酯類;三級胺改質的聚胺基甲酸酯類;由信越化學工業製造的KP產品、由道康寧東麗股份有限公司(Dow Corning Toray Co.,Ltd.)製造的SF-8427產品、由共榮社油脂化學工業製造的普利弗隆(Polyflow)產品、由得克姆股份有限公司製造(Tochem Products Co.,Ltd.)的愛夫多普(F-Top)產品、由大日
本印墨化學工業製造的美卡夫克(Megafac)產品、由住友3M製造的弗洛多(Fluorade)產品、由旭硝子製造的阿薩卡多(Asahi Guard)產品或由旭硝子公司製造的薩弗隆(Surflon)產品。
填充劑的具體例包括玻璃、鋁等。
聚合物的具體例包括聚乙烯醇、聚乙二醇單烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯或上述聚合物的組合。
密著促進劑的具體例包括乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙醇丙基甲基二甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-硫醇基丙基三甲氧基矽烷或上述化合物的組合。
抗氧化劑的具體例包括2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,6-二-第三丁基苯酚或上述化合物的組合。
紫外線吸收劑的具體例包括2-(3-第三丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯基疊氮、烷氧基苯酮(alkoxy phenone)或上述化合物的組合。
防凝集劑的具體例包括聚丙烯酸鈉(sodium polyacrylate)等。
基於鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,添加劑(F)
的使用量為1重量份至10重量份,較佳為1.5重量份至8重量份,且更佳為2重量份至6重量份。
可用來製備感光性樹脂組成物的方法例如:將顏料(A)、鹼可溶性樹脂(B)、含乙烯性不飽和基的化合物(C)、光起始劑(D)以及有機溶劑(E)放置於攪拌器中攪拌,使其均勻混合成溶液狀態,必要時亦可添加添加劑(F),予以均勻混合後,便可獲得溶液狀態的感光性樹脂組成物。
又,感光性樹脂組成物的製備方法沒有特別的限制。感光性樹脂組成物的製備方法例如是先將一部分的鹼可溶性樹脂(B)及含乙烯性不飽和基的化合物(C)分散於一部分的有機溶劑(E)中,以形成分散溶液;並且接著混合其餘的顏料(A)、鹼可溶性樹脂(B)、含乙烯性不飽和基的化合物(C)、光起始劑(D)以及有機溶劑(E)來製備。
或者,感光性樹脂組成物也可以是由先將一部分的顏料(A)分散於由部分鹼可溶性樹脂(B)以及一部分的有機溶劑(E)所組成的混合物來形成顏料分散液後;並且顏料(A)、鹼可溶性樹脂(B)、含乙烯性不飽和基的化合物(C)、光起始劑(D)以及有機溶劑(E)來製備。又,上述顏料(A)的分散步驟可藉由例如珠磨機(beads mill)或輥磨機(roll mill)等混合器混合來進行。
彩色濾光片是由彩色濾光片用感光性組成物依序在上面已形成黑色矩陣的基板上施予預烤、曝光、顯影及曝後烤處理而製得,其中黑色矩陣用以隔離各畫素層(以下亦將畫素層稱為畫素著色層)。以下詳述彩色濾光片的製備方法。
首先,藉由旋轉塗佈或流延塗佈或輥式塗佈等塗布方式,在基板上均勻地塗佈溶液狀態的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,以形成塗膜。上述基板例如是用於液晶顯示裝置的無鹼玻璃、鈉鈣玻璃、硬質玻璃(派勒斯玻璃)、石英玻璃,以及附著有透明導電膜的此等玻璃等;用於光電變換裝置(如固體攝影裝置)的基板(如:矽基板);或事先形成有能隔離紅、綠、藍等畫素著色層的遮光用黑色矩陣(black matrix)的基板。
形成塗膜之後,以減壓乾燥去除大部分溶劑,然後以預烤方式將殘餘的溶劑完全去除,以形成預烤塗膜。值得注意的是,減壓乾燥及預烤的條件,依各成分的種類、比率而改變。一般而言,減壓乾燥是在0mmHg至200mmHg的壓力下進行1秒至60秒,並且預烤乃在70℃至110℃溫度下對塗膜進行1分鐘至15分鐘的加熱處理。
接著,以具有特定圖案的光罩對上述預烤塗膜進行曝光。在曝光過程中所使用的光線例如是g線、h線或i線等的紫外線為佳,而紫外線照射裝置可為(超)高壓水銀燈及金屬鹵素燈。
然後,在23±2℃的溫度下,將上述經曝光的預烤塗膜浸
漬於顯影液中,以去除預烤塗膜的不需要的部分,藉此可在基板上形成特定的圖案。顯影液的具體例包括氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀、矽酸鈉、甲基矽酸鈉、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨、膽鹼、吡咯、呱啶或1,8-二氮雜二環-(5,4,0)-7-十一烯等鹼性化合物的鹼性水溶液。顯影液的濃度為0.001重量%至10重量%,較佳為0.005重量%至5重量%,且更佳為0.01重量%至1重量%。
在預烤塗膜經顯影之後,將具有特定的圖案的基板以水洗淨,再以壓縮空氣或壓縮氮氣將上述特定的圖案風乾。然後,以熱板或烘箱等加熱裝置進行後烤處理(post-bake)。後烤溫度通常為150至250℃,其中使用熱板的加熱時間為5分鐘至60分鐘,並且使用烘箱的加熱時間為15分鐘至150分鐘。經過上述的處理步驟後,即可固定特定的圖案,藉此形成畫素著色層。重覆上述步驟,依序在基板上成形紅、綠、藍等畫素著色層。
最後,在溫度為220℃至250℃的真空環境下,藉由濺鍍在所述畫素著色層的表面上形成ITO保護膜(蒸鍍膜)。必要時,對該ITO保護膜施行蝕刻與佈線,並且在ITO保護膜表面塗佈液晶配向膜(液晶配向膜用聚醯亞胺),藉此形成具有畫素層的彩色濾光片。
首先,將藉由上述彩色濾光片的形成方法所形成的彩色濾光片以及設置有薄膜電晶體(thin film transistor;TFT)的基板作對向配置,並且在上述兩者之間設置間隙(晶胞間隔,cell gap)。接著,以黏著劑貼合彩色濾光片與上述基板的周圍部分並且留下注入孔。然後,在基板表面以及黏著劑所分隔出的間隙內由注入孔注入液晶,最後封住注入孔來形成液晶層。隨後,藉由在彩色濾光片中接觸液晶層的另一側與基板中接觸液晶層的另一側提供偏光板來製作液晶顯示器。上述所使用的液晶,亦即液晶化合物或液晶組成物,此處並未特別限定,惟可使用任何一種液晶化合物及液晶組成物。
此外,於製作彩色濾光片中所使用的液晶配向膜是用來限制液晶分子的配向,並且沒有特別的限制,舉凡無機物或有機物任一者均可,並且本發明並不限於此。
以下說明含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)的製備例1至製備例6:
首先,將100重量份的茀環氧化合物(型號ESF-300,新日鐵化學製造;環氧當量231)、30重量份的丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及130重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續式添加方式加入至500毫升
的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘,並且反應過程的溫度維持在100℃至110℃,反應15小時後,即可獲得固成分濃度為50重量%的淡黃色透明混合液。接著,使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟,即可得固體成分含量為99.9重量%的製備例1的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1-1)。
首先,將100重量份的茀環氧化合物(型號PG-100,大阪瓦斯製造;環氧當量259)、35重量份的甲基丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及135重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘,並且反應過程的溫度維持在100℃至110℃下,反應15小時後,即可獲得固體成分含量為50重量%的淡黃色透明混合液。使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟,即可得固體成分含量為99.9重量%的製備例2的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1-2)。
將100重量份的茀環氧化合物(型號ESF-300,新日鐵化學製造;環氧當量231)、100重量份的2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三
丁基對甲酚以及200重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘,且反應過程的溫度維持在100℃至110℃下,反應15小時後,即可獲得固體成分含量為50重量%的淡黃色透明混合液。使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟,可得固體成分含量為99.9重量%的製備例3的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1-3)。
首先,在裝置有機械攪拌、溫度計及回流冷凝管的1000毫升三口燒瓶中,加入0.3莫耳的雙(4-羥基苯基)碸、9莫耳的3-氯-1,2-環氧丙烷以及0.003莫耳的氯化四甲銨。接著,一邊攪拌一邊加熱至105℃,並在105℃下反應9小時。然後,減壓蒸餾出未反應的3-氯-1,2-環氧丙烷。之後,將反應系統降至室溫,並在攪拌的情況下加入9莫耳苯和0.5莫耳氫氧化鈉(溶於水中形成的30重量%水溶液)。然後,升溫至60℃並維持3小時。接著,反覆以水洗滌反應溶液,直至無氯離子為止(用硝酸銀檢驗)。以減壓蒸餾除去溶劑苯,然後在75℃下乾燥24小時,以得到雙(4-羥基苯基)碸的環氧化合物。
將100重量份的雙(4-羥基苯基)碸的環氧化合物(環氧當量181)、30重量份的丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及130重量份的丙二醇單甲醚
醋酸酯以連續添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘,且反應過程的溫度維持在100℃至110℃,反應15小時後,即可獲得固體成分含量為50重量%的淡黃色透明混合液。使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟,即可得固體成分含量為99.9重量%的製備例4的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1-4)。
在裝置有機械攪拌、溫度計和回流冷凝管的1000毫升三口燒瓶中加入0.3莫耳的雙(4-羥基苯基)六氟丙烷、9莫耳的3-氯-1,2-環氧丙烷和0.003莫耳的氯化四甲銨。接著,一邊攪拌一邊加熱至105℃,並在105℃下反應9小時。接著,減壓蒸餾出未反應的3-氯-1,2-環氧丙烷。之後,將反應系統降至室溫,並在攪拌的情況下加入9莫耳苯和0.5莫耳氫氧化鈉(溶於水中形成的30重量%水溶液)。然後,升溫至60℃並維持3小時。接著,反覆以水洗滌反應溶液,直至無氯離子為止(用硝酸銀檢驗)。以減壓蒸餾除去溶劑苯,然後在75℃下乾燥24小時,以得到雙(4-羥基苯基)六氟丙烷的環氧化合物。
將100重量份的雙(4-羥基苯基)六氟丙烷的環氧化合物(環氧當量224)、35重量份的甲基丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及135重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續添加方式加入至500毫升的四口燒瓶
中。入料速度控制在25重量份/分鐘,且反應過程的溫度維持在100℃至110℃,反應15小時後,即可獲得固體成分含量為50重量%的淡黃色透明混合液。使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟,即可得固體成分含量為99.9重量%的製備例5的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1-5)。
在裝置有機械攪拌、溫度計和回流冷凝管的1000毫升三口燒瓶中加入0.3莫耳的雙(4-羥基苯基)二甲基矽烷、9莫耳的3-氯-1,2-環氧丙烷以及0.003莫耳的氯化四甲銨。接著,一邊攪拌一邊加熱至105℃,並在105℃下反應9小時。接著,減壓蒸餾出未反應的3-氯-1,2-環氧丙烷。之後,將反應系統降至室溫,並在攪拌的情況下加入9莫耳苯和0.5莫耳氫氧化鈉(溶於水中形成的30重量%水溶液)。然後,升溫至60℃並維持3小時。接著,反覆以水洗滌反應溶液,直至無氯離子為止(用硝酸銀檢驗)。以減壓蒸餾除去溶劑苯,然後在75℃下乾燥24小時,以得到雙(4-羥基苯基)二甲基矽烷的環氧化合物。
將100重量份的雙(4-羥基苯基)二甲基矽烷的環氧化合物(環氧當量278)、100重量份的2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯、0.3重量份的氯化苄基三乙基銨、0.1重量份的2,6-二第三丁基對甲酚以及200重量份的丙二醇單甲醚醋酸酯以連續添加方式加入至500毫升的四口燒瓶中。入料速度控制在25重量份/分鐘,並且反
應過程的溫度維持在100℃至110℃下,反應15小時,即可獲得固體成分含量為50重量%的淡黃色透明混合液。使上述淡黃色透明混合液經受萃取、過濾及加熱烘乾的步驟,即可得固體成分含量為99.9重量%的製備例6的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1-6)。
以下說明第一鹼可溶性樹酯(B-1)的合成例1至合成例10:
將1.0莫耳的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)、1.9克的氯化苄基三乙基銨、0.6克的2,6-二第三丁基對甲酚溶於900克的乙二醇乙醚乙酸酯中,並同時添加0.2莫耳的3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐(b-2-1)及1.6莫耳的三甲氧基矽烷基丙基丁二酸酐(b-3-1)(同時添加的方式;在此,「同時添加」是指於相同反應時間添加3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐(b-2-1)與三甲氧基矽烷基丙基丁二酸酐(b-3-1)),以形成反應溶液。接著,將上述反應溶液加熱至110℃並且反應2小時,即可得酸價為100毫克KOH/克且數量平均分子量為1566的合成例1的第一鹼可溶性樹脂(以下稱為第一鹼可溶性樹脂B-1-1)。
將1.0莫耳的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1-2)、2.0克的三苯基膦、0.7克的甲氧基酚,溶於900克的乙二醇乙醚乙酸酯中。接著,添加0.3莫耳的3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐(b-2-2),並在90℃下反應2小時。然後,添加1.4莫耳的三乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐(b-3-2),並在90℃下反應4小時(分段添加方式;在此,「分段添加」是指於不同的反應時間分別添加3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐(b-2-2)與三乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐(b-3-2)),亦即先添加3,3',4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐(b-2-2),之後再添加三乙氧基矽烷基丙基丁二酸酐(b-3-2)。如此可得一酸價為90毫克KOH/克且數量平均分子量為1981的合成例8的第一鹼可溶性樹脂(以下稱為第一鹼可溶性樹脂B-1-2)。
合成例3至合成例10的第一鹼可溶性樹脂是以與合成例2相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變第一鹼可溶性樹脂的成分種類及其使用量、反應時間、反應溫度以及反應物添加時間(如表1所示),其中表1中標號所對應的化合物如下所示。
以下說明第二鹼可溶性樹酯(B-2)的合成例11至合成例13:
將1.0莫耳的含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)、1.9克的氯化苄基三乙基銨以及0.6克的2,6-二第三丁基對甲酚溶於
700克的乙二醇乙醚乙酸酯中,並同時添加0.3莫耳的3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐(b-2-1)及1.4莫耳的丁二酸酐(b-4-1)。接著,加熱至110℃並反應2小時,即可得酸價為130毫克KOH/克且數量平均分子量為1888的合成例11的第二鹼可溶性樹脂(以下稱為第二鹼可溶性樹脂B-2-1)。
合成例12至合成例13的第二鹼可溶性樹脂是以與合成例17相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變第二鹼可溶性樹脂的成分種類及其使用量、反應時間、反應溫度以及反應物添加時間(如表2所示)。
將198.53克的雙酚茀型環氧樹脂與丙烯酸的等當量反應物(新日鐵化學公司製造、ASF-400溶液、固體成分濃度50重量%、固體成分換算的酸價為1.28毫克KOH/克、環氧當量為21300)的50重量%丙二醇單甲醚醋酸酯溶液、24.15克的二苯甲酮四羧酸二酐、8.13克的丁二酸酐、48.12克的丙二醇單甲醚醋酸酯以及0.45克的三苯基膦加入裝置有回流冷凝管的500毫升的四口燒瓶
中。接著,在120℃至125℃下加熱攪拌1小時。然後,在75℃至80℃下加熱攪拌6小時。之後,添加7.14克的3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷,並在80℃下攪拌8小時而合成出第二鹼可溶性樹脂(B-2-4)。所得到的樹脂溶液的固體成分為53.2重量%,酸價(固體成分換算)為110毫克KOH/克。利用GPC分析出的樹脂溶液中的第二鹼可溶性樹脂(B-2-4)的面積%為91%,且數量平均分子量為6621。
以下說明感光性樹脂的實施例1至實施例10以及比較例1至比較例7:
將40重量份的上述由式(1)表示的第一顏料(A-1)(以下簡稱為A-1)、100重量份的第一鹼可溶性樹脂(B-1-1)、40重量份的KAYARAD TPA-330(日本化藥股份有限公司製造;以下簡稱為C-1-2)、5重量份的2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮(以下簡稱為D-1)、10重量份的2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑(以下簡稱為D-2)、5重量份的4,4'-雙(二乙胺)二苯甲酮(以下簡稱為D-3)以及1重量份的聚丙烯酸鈉(以下簡稱為F-1)加入500重量份的3-乙氧基丙酸乙酯(以下簡稱為E-1)中,並且以搖動式
攪拌器(shaking type stirrer)攪拌均勻後,即可製得實施例1的感光性樹脂組成物。將所製得的感光性樹脂組成物以下列各評價方式進行評價,其結果如表3所示。
實施例2至實施例10的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表3所示),其中表3中標號所對應的化合物如下所示。將所製得的感光性樹脂組成物以下列各評價方式進行評價,其結果如表3所示。
比較例1至比較例7的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來製備,並且其不同處在於:改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表4所示),其中表4中標號所對應的化合物如下所示。將所製得的感光性樹脂組成物以下列各評價方式進行評價,其結果如表4所示。
將上述各實施例及比較例的感光性樹脂組成物以旋轉塗佈的方式塗佈在長寬均為100毫米的玻璃基板上。然後,於約100毫米汞柱(mmHg)的壓力下進行減壓乾燥約30秒鐘。接著,將上述的玻璃基板置於80℃下預烤3分鐘,以形成膜厚為2.5微米之預烤塗膜。之後,使用曝光機(Canon製造,型號為PLA-501F)以300毫焦/平方公分(mJ/cm2
)的紫外光照射上述的預烤塗膜。使用紫外光照射後,將預烤塗膜浸漬於23℃的顯影液2分鐘。之後,以純水洗淨上述預烤塗膜,並以200℃對預烤塗膜進行後烤80分鐘,即可在玻璃基板上形成膜厚為2.0微米的感光性樹脂層。
將上述膜厚約2.0微米的感光性樹脂層,以圖1及圖2所繪示的檢測裝置來量測感光性樹脂層的輝度值,並計算輝度的比值。
於圖1的檢測裝置100中,上述製得的感光性樹脂層110設置於第一偏光板120與第二偏光板130之間。從光源140所發射出來的光依序穿透過第一偏光板120、感光性樹脂層110以及第二偏光板130。然後,利用輝度計150(Topcon公司製造,型號為BM-5A)量測穿透過第二偏光板130的光的輝度值(cd/cm2
)。值得注意的是,當將第一偏光板12
0的偏光方向與第二偏光板130的偏光方向投影於同一個平面上時,第一偏光板120的偏光方向平行於第二偏光板130的偏光方向(如偏光方向D1)。利用圖1的檢測裝置100所測得的輝度值為A。
圖2所繪示的檢測裝置200大致上與圖1所繪示的檢測裝置100相同,不同的是當將第一偏光板220的偏光方向D2與第二偏光板230的偏光方向D3投影於同一個平面上時,第一偏光板220的偏光方向D2垂直於第二偏光板230的偏光方向D3。利用裝置200所測得的輝度值為B。接著,以式(14)計算感光性樹脂組成物的對比度,並依據以下基準進行評價。
◎:1500≦對比度
○:1200≦對比度<1500
△:900≦對比度<1200
×:對比度<900
將感光性樹脂組成物以旋轉塗佈的方式塗佈在長寬均為100毫米的玻璃基板上。於約100毫米汞柱(mmHg)的
壓力下進行減壓乾燥約30秒鐘。接著,將上述的玻璃基板置於80℃下預烤2分鐘,以形成膜厚為2.5微米之預烤塗膜。
之後,使用曝光機(Canon製造,型號為PLA-501F)以100毫焦/平方公分(mJ/cm2
)的紫外光照射上述的預烤塗膜。使用紫外光照射後,將預烤塗膜浸漬於23℃的顯影液中。經過1分鐘後,以純水洗淨。接著,以色度計(大塚電子公司製,型號MCPD)測定其色度(L*,a*,b*)。然後,以235℃後烤30分鐘,即可在玻璃基板上形成膜厚為2.0微米的感光性樹脂層。接著,再次測定其色度。以式(15)定義後烤前與後烤後的色度變化為後烤色差,並依據下列基準評價後烤色差△Eab*。
△Eab*=[(△L)2
+(△a)2
+(△b)2
]1/2
式(15)
◎:後烤色差△Eab*<2
○:2≦後烤色差△Eab*<4
△:4≦後烤色差△Eab*<6
×:6≦後烤色差△Eab*
將上述各實施例及比較例的感光性樹脂組成物以旋轉塗佈的方式塗佈在長寬均為100毫米的玻璃基板上。然
後,於約100毫米汞柱(mmHg)的壓力下進行減壓乾燥約30秒鐘。接著,將上述的玻璃基板置於80℃下預烤3分鐘,以形成膜厚為2.5微米之預烤塗膜。接著,隔著具有25微米寬(間距(pitch)50微米)的條狀圖案的光罩,使用曝光機(Canon製造,型號為PLA-501F)以300毫焦/平方公分(mJ/cm2
)的紫外光照射上述的預烤塗膜。使用紫外光照射後,將預烤塗膜浸漬於23℃的顯影液2分鐘。之後,以純水洗淨上述預烤塗膜,並以200℃對預烤塗膜進行後烤80分鐘,即可在玻璃基板上形成膜厚為2.0微米的感光性樹脂層。
利用光學顯微鏡對上述方法所形成的條狀圖案進行觀察,並依據下列基準評價高精細度的圖案直線性。
☆:90%以上的條狀圖案直線性良好
◎:80%以上,小於90%的條狀圖案直線性良好
○:70%以上,小於80%的條狀圖案直線性良好
△:60%以上,小於70%的條狀圖案直線性良好
×:小於60%的條狀圖案直線性良好
由表3以及表4得知,含有第一顏料(A-1)的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例10)與不含有第一顏料(A-1)的感光性樹脂組成物(比較例1、比較例6以及比較例7)相比,含有第一
顏料(A-1)的感光性樹脂組成物對比度較佳。
此外,含有第二顏料(A-2)的感光性樹脂組成物(實施例7至實施例10)與不含有第二顏料(A-2)的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例6、比較例2以及比較例3)相比,含有第二顏料(A-2)的感光性樹脂組成物對比度較佳。
另外,含有第一鹼可溶性樹脂(B-1)的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例10)與僅含有第二鹼可溶性樹脂(B-2)的感光性樹脂組成物(比較例2至比較例7)相比,含有第一鹼可溶性樹脂(B-1)的感光性樹脂組成物後烤色差小並且高精細度的圖案直線性均較佳。
再者,含有第二鹼可溶性樹脂(B-2)的感光性樹脂組成物(實施例6至實施例8)與僅含有第一鹼可溶性樹脂(B-1)的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例5、實施例9、實施例10及比較例1)相比,含有第二鹼可溶性樹脂(B-2)的感光性樹脂組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
又,含有第一化合物(C-1)的感光性樹脂組成物(實施例1、實施例3以及實施例4)與不含有第一化合物(C-1)的感光性樹脂組成物(實施例2、實施例5至實施例10、比較例3、比較例5、比較例6以及比較例7)相比,含有第一化合物(C-1)的感光性樹脂組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
此外,含有第二化合物(C-2)的感光性樹脂組成物(實施例2至實施例5)與不含有第二化合物(C-2)的感光性樹脂組成物
(實施例1、實施例6至實施例10、比較例2、比較例4、比較例6以及比較例7)相比,含有第二化合物(C-2)的感光性樹脂組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
再者,鹼可溶性樹脂中的成分(b-1)與成分(b-2)的莫耳比值(b-2)/(b-1)落在0.2至1.0的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例8)與鹼可溶性樹脂中的成分(b-1)與成分(b-2)的莫耳比值(b-2)/(b-1)為0.15的感光性樹脂組成物(實施例9)相比,實施例1至實施例8的感光性樹脂組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
此外,鹼可溶性樹脂中的成分(b-1)與成分(b-3)的莫耳比值(b-3)/(b-1)落在0.02至1.6的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例8)與鹼可溶性樹脂中的成分(b-1)與成分(b-3)的莫耳比值(b-3)/(b-1)為0.01的感光性樹脂組成物(實施例10)相比,實施例1至實施例8的感光性樹脂組成物的高精細度的圖案直線性較佳。
綜上所述,本發明的感光性樹脂組成物由於含有特定的顏料以及特定的鹼可溶性樹脂,故兼具對比度佳、後烤色差小以及高精細度的圖案直線性佳的特點,因而適用於彩色濾光片以及液晶顯示裝置。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明的精神和範圍內,當可作些許的更動與潤飾,故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
Claims (17)
- 一種彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其包括:顏料(A);鹼可溶性樹脂(B);含乙烯性不飽和基的化合物(C);光起始劑(D);以及有機溶劑(E),其中所述顏料(A)包括由式(1)表示的第一顏料(A-1),
- 如申請專利範圍第1項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述第一鹼可溶性樹脂(B-1)是由第一混合物反應而獲得,且所述第一混合物包括:含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1);四羧酸或其酸二酐(b-2);以及由式(3)表示的二羧酸酐(b-3),
- 如申請專利範圍第2項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)與所述四羧酸或其酸二酐(b-2)的莫耳比值(b-2)/(b-1)為0.2至1.0。
- 如申請專利範圍第2項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述含有聚合性不飽和基的二醇化合物(b-1)與所述由式(3)表示的二羧酸酐(b-3)的莫耳比值(b-3)/(b-1)為0.02至1.6。
- 如申請專利範圍第1項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述鹼可溶性樹脂(B)更包括所述第一鹼可溶性樹脂(B-1)以外之第二鹼可溶性樹脂(B-2),且所述第二鹼可溶性樹脂 (B-2)是由第二混合物反應而獲得,其中所述第二混合物包括:具有至少兩個環氧基的環氧化合物;以及具有至少一個羧酸基及至少一個乙烯性不飽和基的化合物。
- 如申請專利範圍第5項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述具有至少兩個環氧基的環氧化合物包括由式(4)表示的化合物、由式(5)表示的化合物或上述兩者的組合,
- 如申請專利範圍第5項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中,所述第一鹼可溶性樹脂(B-1)與所述第二鹼可溶性樹脂(B-2)的重量比為10:90以上且小於100:0。
- 如申請專利範圍第1項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組 成物,其中基於所述鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,所述顏料(A)的使用量為60重量份至600重量份,所述第一顏料(A-1)的使用量為40重量份至400重量份,所述含乙烯性不飽和基的化合物(C)的使用量為40重量份至400重量份,所述光起始劑(D)的使用量為10重量份至100重量份,且所述有機溶劑(E)的使用量為500重量份至5000重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述顏料(A)更包括所述第一顏料(A-1)以外之第二顏料(A-2),且所述第二顏料(A-2)選自由二酮吡咯並吡咯系顏料、偶氮系顏料、蒽醌系顏料、苝系顏料、喹吖啶酮系顏料、苯並咪唑酮系顏料以及喹啉系顏料所組成的族群。
- 如申請專利範圍第9項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中基於所述鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,所述第二顏料(A-2)的使用量為20重量份至200重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述含乙烯性不飽和基的化合物(C)包括第一化合物(C-1),且所述第一化合物(C-1)選自由式(6)表示的化合物、由式(7)表示的化合物以及由式(8)表示的化合物所組成的族群,
- 如申請專利範圍第11項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中基於所述鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,所述第一化合物(C-1)的使用量為5重量份至60重量份。
- 如申請專利範圍第1項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中所述含乙烯性不飽和基的化合物(C)包括第二化合物(C-2),且所述第二化合物(C-2)為由式(9)表示的化合物,
- 如申請專利範圍第13項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物,其中基於所述鹼可溶性樹脂(B)的使用量為100重量份,所述第二化合物(C-2)的使用量為5重量份至60重量份。
- 一種彩色濾光片的製造方法,其包括使用由申請專利範圍第1項至第14項中任一項所述的彩色濾光片用感光性樹脂組成物所形成的畫素層。
- 一種彩色濾光片,其是藉由申請專利範圍第15項所述的製造方法而製得。
- 一種液晶顯示裝置,其包括如申請專利範圍第16項所述的彩色濾光片。
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