CN104860522A - 划线装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 70
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 53
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 11
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
本发明提供一种划线装置，即便是薄板或小尺寸的基板，也能从该基板的下表面精度良好地进行划线。一种划线装置(A)，将脆性材料基板(M)载置在隔开间隔(P)而配置的一对支撑机构(1)上，从间隔(P)的下方使切割轮(2)滚动而对该脆性材料基板(M)的下表面进行划线，且该划线装置(A)包括：切割轮支撑体(3)，在上端部具备切割轮(2)；及划线头(5)，具有使该切割轮支撑体(3)升降的驱动部(4)；且切割轮支撑体(3)的沿间隔(P)的宽度方向的尺寸(L)形成在间隔(P)的范围内，以如下方式设定切割轮支撑体(3)的长度，即在切割轮(2)上升至脆性材料基板(M)的下表面的划线位置的状态下，划线头(5)的上端位于不接触于支撑机构(1)的下部的位置。
Description
技术领域
本发明涉及一种玻璃基板、半导体基板等脆性材料基板的划线装置。
背景技术
通常，在从大面积的脆性材料基板切割出单位制品的步骤中，进行如下划线步骤：通过使切割轮(也称为划线轮)相对于脆性材料基板的表面一面沿划线预定线压接一面相对移动，而形成相互正交的X方向及Y方向的划线。其后，进行如下分断步骤，即通过沿该划线施加外力使基板弯曲，而将脆性材料基板完全分断为一个个单位显示面板。
例如专利文献1中公开一种从脆性材料基板的下表面进行所述划线步骤的划线装置。
如图6所示，该划线装置隔开间隔P而串列地配置有一对输送机21a、21b，这些输送机21a、21b载置并搬送脆性材料基板M，在该输送机21a、21b之间，配置有用来对脆性材料基板M的背面加工划线的切割轮22、以及支撑该切割轮22的划线头23。而且，利用支承台24支承脆性材料基板M的上表面，并使切割轮22一面压抵于脆性材料基板M的背面一面向X方向(图6的前后方向)滚动，由此如图7(a)所示般对脆性材料基板M的背面加工X方向的划线S1。其后，使脆性材料基板M旋转90度并与所述同样地使切割轮滚动，从而如图7(b)所示般加工Y方向的划线S2。
如此般形成有X方向及Y方向的划线S1、S2的脆性材料基板M被输送至分断装置且从各划线分断，在取出单位制品M1之后，端缘部的端材区域M2被废弃。
[背景技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2010-026267号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
在所述划线装置中，为了对脆性材料基板M从下表面侧进行划线，必须将具备切割轮22的划线头23配置在上游侧的输送机21b与下游侧的输送机21a之间。然而，划线头23因在内部组装有升降驱动部等而在缩小尺寸(体积)的方面存在极限，因此，输送机21a、21b的间隔P必然会变大。如果该间隔P较大，则如图8(a)所示，当将脆性材料基板M从上游侧输送机21b交付至下游侧输送机21a时，有时会产生基板M的前端接触于下游侧输送机21a的前端部分而损伤、或者基板M的方向偏移等不良情况。
尤其是近年来，基板越来越薄板化、小型化，在基板的厚度较薄的情况下，因基板的前端部分在间隙P内有向下方下垂的倾向，因此所述不良情况的产生尤其成为问题。另外，在基板的尺寸较小的情况下，如图8(b)所示般也会产生脆性材料基板M在间隔P内倾斜、或掉落等不良情况。
因此，本发明的目的在于消除所述不良情况，而提供一种即便是薄板或小尺寸的基板也能从该基板的下表面精度良好地进行划线的划线装置。
[解决问题的技术手段]
为了解决所述问题而完成的本发明的划线装置，将脆性材料基板载置在隔开间隔而配置的一对支撑机构上，从所述间隔的下方使切割轮滚动而对该脆性材料基板的下表面进行划线，且所述划线装置包括：切割轮支撑体，在上端部具备所述切割轮；及划线头，具有使该切割轮支撑体升降的驱动部；且设为如下构成：所述切割轮支撑体的沿所述间隔的宽度方向的尺寸以成为所述间隔的范围内的方式形成，且以如下方式设定所述切割轮支撑体的长度，即在所述切割轮上升至对所述脆性材料基板的下表面进行划线的位置的状态下，所述划线头的上端位于不接触于所述支撑机构的下部的位置。
所述支撑机构优选由载置并搬送所述脆性材料基板的上游侧的输送机与下游侧的输送机形成。
[发明的效果]
根据本发明，切割轮支撑体的宽度尺寸比脆性材料基板的支撑机构的间隔窄，而且，切割轮支撑体形成得较长，以在切割轮上升至划线位置时划线头的上端外缘部分位于不接触于所述支撑机构的下部的位置，因此，可使支撑机构靠近至与切割轮支撑体接近的位置而形成。由此，存在如下效果：即便为小尺寸的脆性材料基板，也能消除该基板在间隔内倾斜或向间隔内掉落，并且在为较薄的基板的情况下，可缓解该基板在间隔内下垂等现象。
附图说明
图1是表示本发明的划线装置的一例的局部切除立体图。
图2是表示包含切割轮的划线头部分的放大立体图。
图3是表示划线头部分的局部剖面侧视图。
图4是表示划线时的状态的局部剖面侧视图。
图5是表示本发明的划线装置的另一实施例的主要部分的侧视图。
图6是表示以往的划线装置的一例的侧视图。
图7(a)、(b)是表示对脆性材料基板加工划线的顺序的俯视图。
图8(a)、(b)是表示通过以往的划线装置产生的不良情况的说明图。
具体实施方式
以下，基于图1～4对本发明的划线装置的详细情况进行说明。
划线装置A具备载置大面积的脆性材料基板M的一对支撑机构1。在本实施例中，作为该支撑机构1是由载置脆性材料基板M并向图1的Y方向搬送的上游侧输送机1b及下游侧输送机1a形成。
上游侧输送机1b及下游侧输送机1a在同一平面上沿Y方向隔开间隔P而串列地配置，该间隔P是用来配置下述的切割轮2及导辊6以及其等的支撑体3、7。上游侧输送机1b及下游侧输送机1a设为皮带在轮体间旋动的带式输送机即可。
在上游侧输送机1b与下游侧输送机1a之间，配置有用来对脆性材料基板M的背面加工X方向及Y方向的划线S1、S2(参照图7)的切割轮2。该切割轮2安装在沿垂直方向延伸的切割轮支撑体3的上端部，切割轮支撑体3与下述的导辊支撑体7一起被可升降地保持于内置有升降驱动部4的划线头5。
本实施例中，在切割轮2的滚动方向的前后的位置，保持在导辊支撑体7、7上的导辊6、6配置在一条直线上。该导辊6、6以辊面位于较切割轮2的刃尖稍微向下方后退的高度位置的方式配置，从而抑制划线时的切割轮2的刃尖相对于基板M过度陷入。
切割轮支撑体3及导辊支撑体7分别在下端部通过共用的基座8连结，且经由垂直的轴9及轴承10可旋动地安装在内置于划线头5中的升降驱动部4的升降轴11。升降驱动部4通过流体缸或电动机等原动机12驱动。
另外，划线头5以可沿形成于门型桥体13的水平的梁(横梁)14的导轨15向X方向往返移动的方式安装。
在本发明中，切割轮支撑体3及导辊支撑体7的沿输送机1a、1b间的间隔P的宽度方向的宽度尺寸L，以成为输送机1a、1b的间隔P的范围内的方式较窄地形成。而且，间隔P以使输送机1a、1b靠近至与这些支撑体3、7接近的位置的方式尽可能地较窄地形成。
另外，切割轮支撑体3及导辊支撑体7以如下方式较长地形成，即在切割轮2上升至对脆性材料基板M的下表面进行划线的位置的图4的状态下，内置有升降驱动部4的划线头5的上端外缘部分位于不接触于输送机1a、1b的下部的位置。
进而，在输送机1a、1b的间隔P的上方，配置有沿该间隔P延伸的支承台16。该支承台16是用以在利用切割轮2进行划线时接触于脆性材料基板M的上表面防止脆性材料基板M的浮升而使用者，且可通过流体缸18升降地安装在设置于桥体13的梁17下方。
在所述构成中，将脆性材料基板M载置在上游侧输送机1b及下游侧输送机1a上，并通过使切割轮2在压抵于脆性材料基板M的背面的状态下向X方向滚动而加工X方向的划线S1。当X方向的所有划线S1的加工完成时，将脆性材料基板M旋转90度并再次载置在输送机1a、1b上，且通过与所述同样地使切割轮2一面压抵于脆性材料基板M一面滚动而加工Y方向的划线S2。
如上所述，在该划线装置中，切割轮支撑体3及导辊支撑体7的宽度尺寸L形成得比输送机1a、1b的间隔P窄，且两支撑体3、7以在切割轮2上升至划线位置时，划线头5的上端外缘部分位于不接触于输送机1a、1b的下部的位置的方式较长地形成，因此，可使输送机1a、1b的间隔P变窄至接近于这些支撑体3、7的位置而形成。由此，即便为小尺寸的脆性材料基板，也能消除该基板在间隔P内倾斜或掉落，并且也能消除如下不良情况，即在将脆性材料基板M从上游侧输送机1b交付至下游侧输送机1a时，基板M的前端接触于下游侧输送机1a的前端部分而损伤、或基板M的方向产生偏移。另外，即便为薄板的脆性材料基板M，也能缓和该基板在间隔P内下垂等现象。
在所述实施例中，表示作为载置脆性材料基板M的一对支撑机构1而包括上游侧输送机1b与下游侧输送机1a的构成，但也可代替此而如图5所示般由隔开间隔P而配置的一对固定支撑台1c、1d形成。该情况下的脆性材料基板M的搬送虽省略图示，但只要通过例如从设置于支撑台1c、1d上表面的空气喷出孔喷出空气而使基板M浮起的搬送机构、或者吸附搬送机器人等基板搬送机构进行即可。
以上，对本发明的代表性的实施例进行了说明，但本发明并不一定仅特定为所述实施例的结构。例如，也可省略所述实施例中显示的导辊6以及导辊支撑体7而形成。此外，在本发明中可在达成其目的、且不脱离权利要求的范围的范围内适当地进行修正、变更。
[产业上的可利用性]
本发明可应用于对玻璃基板、半导体基板等脆性材料基板的背面加工划线的划线装置。
[符号的说明]
A 划线装置
L 切割轮支撑体及导辊支撑体的宽度
M 脆性材料基板
S1 X方向的划线
S2 Y方向的划线
P 支撑机构的间隔
1 支撑机构
1a、1b输送机
2 切割轮
3 切割轮支撑体
4 升降驱动部(驱动部)
5 划线头
6 导辊
7 导辊支撑体
Claims (2)
1.一种划线装置，将脆性材料基板载置在隔开间隔而配置的一对支撑机构上，从所述间隔的下方使切割轮滚动而对该脆性材料基板的下表面进行划线，且该划线装置包括：
切割轮支撑体，在上端部具备所述切割轮；及
划线头，具有使该切割轮支撑体升降的驱动部；且
所述切割轮支撑体沿所述间隔的宽度方向的尺寸以成为所述间隔的范围内的方式形成，
所述切割轮支撑体的长度以在所述切割轮上升至对所述脆性材料基板的下表面进行划线的位置的状态下，所述划线头的上端位于不接触于所述支撑机构的下部的位置的方式设定。
2.根据权利要求1所述的划线装置，所述支撑机构是载置并搬送所述脆性材料基板的上游侧的输送机及下游侧的输送机。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014030136A JP6331454B2 (ja) | 2014-02-20 | 2014-02-20 | スクライブ装置 |
| JP2014-030136 | 2014-02-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104860522A true CN104860522A (zh) | 2015-08-26 |
| CN104860522B CN104860522B (zh) | 2018-10-09 |
Family
ID=53906765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410549397.XA Expired - Fee Related CN104860522B (zh) | 2014-02-20 | 2014-10-16 | 划线装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6331454B2 (zh) |
| KR (1) | KR20150098551A (zh) |
| CN (1) | CN104860522B (zh) |
| TW (1) | TWI635058B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106746559A (zh) * | 2017-03-14 | 2017-05-31 | 凯盛科技股份有限公司 | 一种减少超薄玻璃在流水线加工中破裂的方法 |
| CN109574486A (zh) * | 2017-09-29 | 2019-04-05 | 塔工程有限公司 | 划片设备 |
| CN117400323A (zh) * | 2023-12-14 | 2024-01-16 | 承德盛金维保温材料有限公司 | 一种保温材料的便捷切割装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114214911B (zh) * | 2022-01-05 | 2023-09-05 | 衡阳路旺建设有限公司 | 一种道路自动等间距划线装置 |
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| CN101628784A (zh) * | 2008-07-18 | 2010-01-20 | 白井科技股份有限公司 | 液晶面板的切割装置 |
| CN103288341A (zh) * | 2012-02-23 | 2013-09-11 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的刻划装置 |
-
2014
- 2014-02-20 JP JP2014030136A patent/JP6331454B2/ja active Active
- 2014-10-16 CN CN201410549397.XA patent/CN104860522B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-10-16 KR KR1020140139684A patent/KR20150098551A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-10-27 TW TW103137065A patent/TWI635058B/zh not_active IP Right Cessation
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| CN117400323B (zh) * | 2023-12-14 | 2024-02-20 | 承德盛金维保温材料有限公司 | 一种保温材料的便捷切割装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20150098551A (ko) | 2015-08-28 |
| JP2015155355A (ja) | 2015-08-27 |
| TWI635058B (zh) | 2018-09-11 |
| JP6331454B2 (ja) | 2018-05-30 |
| CN104860522B (zh) | 2018-10-09 |
| TW201532989A (zh) | 2015-09-01 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20181009 |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |