CN104793833A - 触控基板及其制作方法和显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种触控基板及其制作方法、和包括该触控基板的显示装置。该触控基板包括：基板；设置在所述基板上的彼隔开的多个第一电极链，每个所述第一电极链包括多个第一电极；设置在所述基板上的彼此隔开的多个第二电极链，每个所述第二电极链包括多个第二电极，所述多个第二电极链与所述多个第一电极链相互交叉地布置，所述第一电极和第二电极相互电绝缘并且相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；和彼此隔开的多个第一悬空结构，每个第一悬空结构设置在对应的一个间隙内并由导电材料形成且与第一电极和第二电极相互电绝缘。

Description

触控基板及其制作方法和显示装置
技术领域
本发明的实施例一般地涉及触控显示技术领域，并且具体地，涉及一种触控基板及其制作方法、和包括该触控基板的显示装置。
背景技术
触摸面板按工作原理可以分为电阻式和电容式两种，日前电容式触摸面板在电子产品上的应用日益普及。电容式触摸面板是利用人体的电流感应进行工作的，是一种通过电极和人体特性结合来感应触摸信号的触摸面板。在人体(手指)触摸面板幕时，由于人体电场作用，手指与触摸面板的导体层间会形成一个耦合电容，触摸面板上电极产生的电流会流向触点，从而能够准确计算出触摸点的位置。
图1示出了触控电极图案的一个示例。触控面板(TP)包括相互交替布置的多个第一电极11和多个第二电极21，第一电极11和第二电极21彼此电绝缘，一列的多个第二电极21例如通过导电连接结构23彼此顺序地电连接，一行的多个第一电极11例如通过桥接结构彼此顺序地电连接，该桥接结构包括覆盖导电连接结构23的绝缘层12和形成在绝缘层12上的导电连接结构13，导电连接结构13将同一行的相邻的第一电极11彼此电连接。从图1中可以看出，相邻的第一电极11和第二电极21之间存在电容Cm，当人体(手指)触摸面板幕时，由于人体电场作用，手指与触摸面板的导体层间会形成一个耦合电容，引起电容Cm变化，根据这种电容Cm变化能够计算出触摸点的位置。
然而，现有触摸面板的结构比较单一，且其电容Cm与市面上的触控驱动芯片的电容值不兼容，使得该类型触摸面板的应用有很大障碍。特别地，触控IC(集成电路)厂商布局较早，每家IC厂商都有自己的触控电极图案专利，并与自家的IC绑定，如果TP公司使用A公司的IC和触控电极图案开模生产TP，后来因其他原因，需要将A公司的IC更换为B公司的IC，即使B公司的IC也可以正常搭配A公司的触控电极图案，但是因为专利的问题，之前所制作的模具也不能继续使用，必须使用B公司的触控电极图案重新制作模具，这种模式给TP公司带来极大的损失。
发明内容
为了克服现有技术存在的上述和其它问题和缺陷中的至少一种，提出了本发明。
根据本发明的一个方面，提出了一种触控基板，包括：
基板；
设置在所述基板上的彼隔开的多个第一电极链，每个所述第一电极链包括多个第一电极；
设置在所述基板上的彼此隔开的多个第二电极链，每个所述第二电极链包括多个第二电极，所述多个第二电极链与所述多个第一电极链相互交叉地布置，所述第一电极和第二电极相互电绝缘并且相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；和
彼此隔开的多个第一悬空结构，每个第一悬空结构设置在对应的一个间隙内并由导电材料形成且与第一电极和第二电极相互电绝缘。
在上述触控基板中，第一悬空结构可以包括镂空结构。
在上述触控基板中，镂空结构可以包括由导电迹线限定的多个网格。
在上述触控基板中，第一电极、第二电极以及第一悬空结构可以设置在同一层并由相同的材料制成。
在上述触控基板中，第一电极和第一悬空结构可以设置在第一层中并由相同的材料制成，第二电极可以设置在与所述第一层不同的第二层中。
在上述触控基板中，所述网格可以具有封闭或者不完全封闭的结构。
在上述触控基板中，第一电极和第二电极可以具有菱形形状或正方形形状，并且相邻的第一电极在所述第一方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处彼此电连接，相邻的第二电极在所述第二方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处通过桥接结构彼此电连接。
在上述触控基板中，第一电极和/或第二电极可以是由透明导电材料制成的块状结构，或者是金属材料形成的网状结构。
在上述触控基板中，第一电极和第二电极中的一种为驱动电极，另一种为感应电极，并且在感应电极的中心区域处设有与该电极电绝缘并镂空的第二悬空结构。
在上述触控基板中，第二悬空结构可以由与第一悬空结构的材料相同的材料制成。
在上述触控基板中，相邻的第二悬空结构的形状可以彼此不同。
在上述触控基板中，每个第二悬空结构所占的面积与对应的感应电极的面积之比可以在0.2～0.45的范围内。优选地，所述感应电极可以具有正方形形状，所述正方形形状的对角线的长度为P，每个感应电极的一个侧边与设置在该感应电极内的第二悬空结构的最外侧之间的距离为B，并且当4mm＞P≥3mm时，B在0.55mm和0.83mm之间的范围内；当5mm＞P≥4mm时，B在0.07mm和1.1mm之间的范围内；当6mm＞P≥5mm时，B在0.8mm和1.2mm之间的范围内；当7mm＞P≥6mm时，B在1.02mm和1.54mm之间的范围内。
在上述触控基板中，每个第一悬空结构的面积与第一或第二电极的面积之比可以在0.045～0.11的范围内。优选地，所述第一悬空结构具有在相邻的第一电极和第二电极之间延伸的宽度A，第一电极和第二电极可以具有正方形形状，该正方形形状的对角线的长度为P，并且当4mm＞P≥3mm时，A在0.15mm和0.23mm之间的范围内；当5mm＞P≥4mm时，A在0.22mm和0.32mm之间的范围内；当6mm＞P≥5mm时，A在0.27mm和0.41mm之间的范围内；当7mm＞P≥6mm时，A在0.33mm和0.49mm之间的范围内。
在上述触控基板中，相邻的第一电极和第二电极之间所形成的电容可以在1.2PF～1.6PF的范围内。
根据本发明的另一个方面，提供了一种显示装置，其包括上述任一触控基板。
根据本发明的又一个方面，提供了一种制作触控基板的方法，包括如下步骤：
在基板上形成彼此隔开的多个第一电极链和彼此隔开的多个第二电极链，每个所述第一电极链包括多个第一电极，每个所述第二电极链包括多个第二电极，所述多个第二电极链与所述多个第一电极链相互交叉地形成，所述第一电极和第二电极相互电绝缘并且相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；以及
由导电材料在每个间隙内形成与第一电极和第二电极相互电绝缘的第一悬空结构。
在上述方法中，所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构可以是同时形成的。
在上述方法中，同时形成所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构的步骤可以包括：
在基板上形成第一导电材料层；
对所述第一导电材料层执行构图工艺，以形成包括所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构的图案，使得每个第一电极链中的所述多个第一电极依次彼此电连接；
在基板上形成覆盖所述图案的绝缘层；
在绝缘层中形成对应于每个第二电极的通孔；以及
在绝缘层上形成第二导电材料层，第二导电材料层填充所述通孔，并对所述第二导电材料层执行构图工艺，以形成电连接每个第二电极链中相邻的两个第二电极的桥接结构，使得每个第二电极链中的所述多个第二电极依次彼此电连接。
当第一电极和第二电极中的一种用作驱动电极，另一种用作感应电极时，上述方法还可以包括在感应电极的中心区域内利用导电材料形成与对应的感应电极电绝缘的第二悬空结构。
在上述方法中，可以将相邻的第二悬空结构的形状形成为彼此不同。
通过下文中参照附图对本发明所作的详细描述，本发明的其它目的和优点将显而易见，并可帮助对本发明有全面的理解。
附图说明
通过参考附图能够更加清楚地理解本发明的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本发明进行任何限制，在附图中：
图1为现有触控面板的触控电极图案布置的一个示例的结构示意图；
图2为根据本发明的一个示例性实施例的触控基板的结构示意图。
图3为图2中示出的虚线圈“P”的局部放大图，示出了触控基板上的触控电极图案；
图4为图3中“I”部分的放大视图；以及
图5为根据本发明的另一个示例性实施例的制作触控基板的方法的流程图。
具体实施方式
在下面的详细描述中，为便于说明，阐述了许多具体的细节以提供对本发明的实施例的全面理解。然而明显地，一个或多个实施例在没有这些具体细节的情况下也可以被实施。在其它情况下，公知的结构和装置以图示的方式体现以简化附图。
图2示出了根据本发明的一个示例性实施例的触控基板上的触控电极布置，图3为图2中示出的虚线圈“P”的局部放大图，示出了触控基板上的触控电极图案。在如图2所示的实施例中，触控基板包括一基板、和在基板上相互交叉(例如，垂直地交叉，但本发明不限于此)地布置成阵列的多个第一电极链100和多个第二电极链200，所述多个第一电极链100可以在该阵列的列方向(如，Y方向)上彼此隔开，例如，彼此平行地隔开，所述多个第二电极链200可以在该阵列的行方向(如，X方向)上彼此隔开，优选地，彼此平行地隔开。每个第一电极链100可以包括多个第一电极110，它们例如可以沿行方向排列；每个第二电极链200可以包括多个第二电极210，它们例如可以沿列方向排列。
在一个示例中，每个第一电极链100的多个第一电极110可以彼此顺次电连接，每个第二电极链200的多个第二电极210可以彼此顺次电连接。但本发明并不限于此，例如，可以根据触摸面板的驱动方式确定每个第一电极链中的多个第一电极是否电连接和/或每个第二电极链中的多个第二电极是否电连接。
如图3和4所示，每个第一电极链100中相邻的两个第一电极110可以直接电连接，也可以通过导电结构130彼此电连接，每个第二电极链200中相邻的两个第二电极210通过一桥接结构彼此电连接，在一个示例中，该桥接结构包括横跨导电结构130的绝缘层220和设置在绝缘层220上的导电结构230，导电结构230电连接每个第二电极链200中相邻的两个第二电极210。
第一电极110和第二电极210相互电绝缘，并且如图3所示，相邻的第一电极110和第二电极210之间存在间隙G，从而相邻的第一电极110和第二电极210之间形成电容。在一个示例中，第一电极110和第二电极210中的一种为驱动电极，另一种为感应电极，从而通过向驱动电极施加驱动电压，当在触摸面板上进行触摸动作时，引起触摸点附近的相邻的第一电极110和第二电极210之间的电容变化，由感应电极感应这种电容变化，由此确定触摸点的位置。
第一电极110和第二电极210可以由多种导电材料制成，如透明导电材料或金属材料，并且可以形成为多种形状，如菱形形状、正方形形状、矩形形状等，本发明对此不做限制。在一个示例中，第一电极110和/或第二电极210可以是由透明导电材料制成的块状结构，或者是由金属材料形成的网状结构。在一个优选的实施例中，在第一电极和第二电极具有菱形形状或正方形形状的情况下，每个第一电极链100中相邻的第一电极110在行方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处彼此电连接，每个第二电极链200中相邻的第二电极210在列方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处通过上述桥接结构彼此电连接。
根据本发明的实施例，触控基板还包括彼此隔开的多个第一悬空结构310，如图2和3所示，每个第一悬空结构310设置在相邻的第一电极110和第二电极210之间，即设置在对应的一个间隙G内，并由导电材料形成且与第一电极110和第二电极210相互电绝缘。在与第一和第二电极隔开或电绝缘的情况下，每个第一悬空结构可以沿着对应的间隙的大致全部长度延伸。
根据本发明的实施例，调整第一悬空结构的尺寸或结构参数，能够调节相邻的第一电极和第二电极之间的电容，以匹配所需要的触控驱动芯片能够兼容的电容值。例如，合理地设计第一悬空结构，使得相邻的第一电极和第二电极之间所形成的电容为1.2PF～1.6PF，以与市面上的触控IC能够兼容的电容值(通常为1～3PF)相匹配，从而实现良好的触控效果。随着触摸面板或触摸屏产品的尺寸的不同，触控电极的尺寸也不相同，调整第一悬空结构的尺寸或结构参数可以获得合适的电容值，以适应不同尺寸的触摸面板。进一步，设置在相邻的第一电极和第二电极之间的间隙内的第一悬空结构可以减少边缘电场的不利影响，避免触摸面板仅对在第一和第二电极相交叉的位置附近的触摸动作敏感的问题，使得电极上的任一位置处的触摸动作都能引起电极之间的电容变化，由此提高触摸面板的灵敏度。此外，在触摸面板上，设置第一和第二电极的部位虽然是透明的，但仍然降低光的照度，而设置第一悬空结构可以降低间隙区域的照度，使触控屏均匀发亮，提高显示效果。
在一个示例中，如图2和3所示，第一悬空结构310可以包括镂空结构，以减少对显示效果的不利影响，并减少静电影响。例如，镂空结构可以包括由导电迹线限定的多个网格或方格，网格可以具有封闭或者不完全封闭的结构。在一个示例中，第一电极110、第二电极210以及第一悬空结构310可以设置在基板上的同一层，可以由相同的材料制成，如由相同的透明导电材料或金属材料层形成，从而可以通过一次构图工艺可以同时形成，简化工艺。在另一个替换示例中，第一电极110和第二电极210中的一种与第一悬空结构310设置在基板上的第一层，并且可以由相同的材料制成，而第一电极110和第二电极210中的另一种设置在与第一层不同的第二层，从而可以避免形成上述桥接结构。
根据本发明的另一个示例性实施例，当第一电极和第二电极中的一种为驱动电极，另一种为感应电极时，例如，第一电极110为驱动电极而第二电极210为感应电极，此时在感应电极的中心区域处可以设有与该电极电绝缘的第二悬空结构410。第二悬空结构410也可以是镂空结构。镂空的第二悬空结构可以避免感应电极的中心区域内的触摸动作不易感测的问题，提高感应电极的感应灵敏度，并减少如由静电等外界噪声引起的干扰。
在一个示例中，第二悬空结构410可以由与第一悬空结构310相同的材料制成，优选地由与电极相同的材料形成，以简化工艺。在另一个示例中，相邻的第二悬空结构410的结构、形状或尺寸可以彼此不同，避免第二悬空结构形成的规则图案影响图案显示，提高视觉均匀性。
在图3中示出了第一电极110、第二电极210、第一悬空结构310、第二悬空结构410的一种示例性布置和相关参数。在图3中示出的示例中，第一电极110和第二电极210都具有正方形形状，其可以是镂空结构，包括由导电迹线限定的多个网格或方格，所述正方形形状的对角线的长度为P(如，Px，Py)，优选第一电极110和第二电极210具有相同的形状，即Px＝Py；P的值与触摸面板的尺寸和电极的布置相关，通常对TP厂商来说，每种尺寸的触摸面板对应的电极的P值具有固定的范围或是预先设定的，以降低掩模制版成本；每个第一悬空结构310具有在相邻的第一电极110和第二电极210之间延伸的宽度A，针对每种尺寸的触摸面板调整宽度A可以获得优化的电容，以与触控驱动芯片能够兼容的电容值匹配；每个感应电极的一个侧边与设置在该感应电极内的第二悬空结构410的最外侧之间的距离为B，调整B的大小可以优化降躁效果；第一电极110和第二电极210的电连接之间存在交叉点，在相邻的第一和第二电极之间、在间隙G与它邻近的交叉点之间存在变窄的空隙部分，该变窄的空隙部分的长度为C；限定电极的镂空结构的网格或方格的导电迹线的线宽为D，网格或方格的长度/宽度为E。
针对不同的触摸面板或触摸屏产品尺寸，本发明人对上述参数进行优化调整，以获得与触控驱动芯片能够兼容的电容值匹配的优化电容。在一个示例中，经优化后，相邻的第一电极和第二电极之间所形成的电容为1.2PF～1.6PF，这与市面上的触控IC能够兼容的电容值(通常为1～3PF)相匹配，从而能够实现良好的触控效果。例如，每个第一悬空结构的面积与第一或第二电极的面积之比可以在0.045～0.11的范围内，每个第二悬空结构所占的面积与对应的感应电极的面积之比可以在0.2～0.45的范围内。下表1列出了根据一个示例的优化参数。
表1
在本发明的另一个示例性实施例中，提供了一种制作上述触控基板的方法，如图5中的流程图所示，该方法主要包括如下步骤：
S1：在一基板上形成彼此隔开的多个第一电极链和彼此隔开的多个第二电极链，每个第一电极链包括多个第一电极，每个第二电极链包括多个第二电极，所述多个第二电极链与所述多个第一电极链相互交叉地形成，第一电极和第二电极相互电绝缘并且相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；以及
S2：由导电材料在每个间隙内形成与第一电极和第二电极相互电绝缘的第一悬空结构。
在一个示例中，在上述制作触控基板的方法中，可以在一个步骤中执行上述步骤S1和S2，以同时形成第一电极链、第二电极链和第一悬空结构。示例性地，同时形成所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构的步骤可以包括：
在基板上形成第一导电材料层，如透明材料层或薄金属层；以及
对所述第一导电材料层执行构图工艺，以形成包括所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构的图案，使得每个第一电极链中的所述多个第一电极依次彼此电连接。
在形成上述图案之后，可以在基板上形成覆盖所述图案的绝缘层，并在绝缘层中形成对应于每个第二电极的通孔。在将第二电极形成为菱形形状或正方形形状的情况下，可以在绝缘层中在对应于该形状的顶点的位置处形成通孔，然后，在绝缘层上形成第二导电材料层，第二导电材料层填充所述通孔，并对所述第二导电材料层执行构图工艺，以形成电连接每个第二电极链中相邻的两个第二电极的桥接结构，使得每个第二电极链中的所述多个第二电极依次彼此电连接。在这种情况下，所形成的第一电极、第二电极和第一悬空结构位于基板上的同一层。另一方面，可以形成异层的电极布置，第一电极和第二电极分别形成在不同的层，第一悬空结构可以选择性地形成在与第一电极或第二电极相同的层中。
可以理解，第一电极和第二电极可以由多种导电材料制成，如透明导电材料或金属材料，并且可以形成为多种形状，如菱形形状、正方形形状等，本发明对此不做限制。在一个示例中，第一电极和/或第二电极可以是由透明导电材料制成的块状结构，或者是由金属材料形成的网状结构。
在另一个示例中，在第一电极和第二电极中的一种用作驱动电极，另一种用作感应电极的情况下，上述制作触控基板的方法还可以包括在感应电极的中心区域内利用导电材料形成与对应的感应电极电绝缘的第二悬空结构。可以在一些或全部的感应电极内形成第二悬空结构。在一个示例中，可以将相邻的第二悬空结构的形状形成为彼此不同。在一个优选的实施例中，第一悬空结构和/或第二悬空结构可以包括镂空结构，以减少对显示效果的不利影响。例如，镂空结构可以包括由导电迹线限定的多个网格或方格。
进一步，本发明的实施例还提供了一种显示装置，其包括上述触控基板或由上述方法制作的触控基板。该显示装置可以包括液晶显示装置，如液晶电视、手机、电子书、平板电脑等。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行变化，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (21)

1.一种触控基板，其特征在于，包括：
基板；
设置在所述基板上的彼隔开的多个第一电极链，每个所述第一电极链包括多个第一电极；
设置在所述基板上的彼此隔开的多个第二电极链，每个所述第二电极链包括在多个第二电极，所述多个第二电极链与所述多个第一电极链相互交叉地布置，所述第一电极和第二电极相互电绝缘并且相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；和
彼此隔开的多个第一悬空结构，每个第一悬空结构设置在对应的一个间隙内并由导电材料形成且与第一电极和第二电极相互电绝缘。
2.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述第一悬空结构包括镂空结构。
3.根据权利要求2所述的触控基板，其特征在于，所述镂空结构包括由导电迹线限定的多个网格。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的触控基板，其特征在于，所述第一电极、第二电极以及第一悬空结构设置在同一层并由相同的材料制成。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的触控基板，其特征在于，所述第一电极和所述第一悬空结构设置在第一层中并由相同的材料制成，所述第二电极设置在与所述第一层不同的第二层中。
6.根据权利要求3所述的触控基板，其特征在于，所述网格具有封闭或者不完全封闭的结构。
7.根据权利要求1-3中任一项所述的触控基板，其特征在于，所述第一电极和第二电极具有菱形形状或正方形形状，并且相邻的第一电极在所述第一方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处彼此电连接，相邻的第二电极在所述第二方向上在菱形形状或正方形形状的顶点处通过桥接结构彼此电连接。
8.根据权利要求1-3中任一项所述的触控基板，其特征在于，第一电极和/或第二电极是由透明导电材料制成的块状结构，或者是金属材料形成的网状结构。
9.根据权利要求1-3中任一项所述的触控基板，其特征在于，所述第一电极和第二电极中的一种为驱动电极，另一种为感应电极，并且在感应电极的中心区域处设有与该感应电极电绝缘并镂空的第二悬空结构。
10.根据权利要求9所述的触控基板，其特征在于，所述第二悬空结构由与第一悬空结构的材料相同的材料制成。
11.根据权利要求9所述的触控基板，其特征在于，相邻的第二悬空结构的形状彼此不同。
12.根据权利要求9所述的触控基板，其特征在于，每个第二悬空结构所占的面积与对应的感应电极的面积之比在0.2～0.45的范围内。
13.根据权利要求12所述的触控基板，其特征在于，所述感应电极具有正方形形状，所述正方形形状的对角线的长度为P，每个感应电极的一个侧边与设置在该感应电极内的第二悬空结构的最外侧之间的距离为B，并且
当4mm＞P≥3mm时，B在0.55mm和0.83mm之间的范围内；
当5mm＞P≥4mm时，B在0.07mm和1.1mm之间的范围内；
当6mm＞P≥5mm时，B在0.8mm和1.2mm之间的范围内；以及
当7mm＞P≥6mm时，B在1.02mm和1.54mm之间的范围内。
14.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，每个第一悬空结构的面积与第一或第二电极的面积之比在0.045～0.11的范围内。
15.根据权利要求14所述的触控基板，其特征在于，所述第一悬空结构具有在相邻的第一电极和第二电极之间延伸的宽度A，第一电极和第二电极具有正方形形状，该正方形形状的对角线的长度为P，并且
当4mm＞P≥3mm时，A在0.15mm和0.23mm之间的范围内；
当5mm＞P≥4mm时，A在0.22mm和0.32mm之间的范围内；
当6mm＞P≥5mm时，A在0.27mm和0.41mm之间的范围内；以及
当7mm＞P≥6mm时，A在0.33mm和0.49mm之间的范围内。
16.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-15中的任一项所述的触控基板。
17.一种制作触控基板的方法，其特征在于，包括如下步骤：
在基板上形成彼此隔开的多个第一电极链和彼此隔开的多个第二电极链，每个所述第一电极链包括多个第一电极，每个所述第二电极链包括多个第二电极，所述多个第二电极链与所述多个第一电极链相互交叉地形成，所述第一电极和第二电极相互电绝缘并且相邻的第一电极和第二电极之间存在间隙；以及
由导电材料在每个间隙内形成与第一电极和第二电极相互电绝缘的第一悬空结构。
18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构是同时形成的。
19.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，同时形成所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构的步骤包括：
在基板上形成第一导电材料层；
对所述第一导电材料层执行构图工艺，以形成包括所述第一电极链、第二电极链和第一悬空结构的图案，使得每个第一电极链中的所述多个第一电极依次彼此电连接；
在基板上形成覆盖所述图案的绝缘层；
在绝缘层中形成对应于每个第二电极的通孔；以及
在绝缘层上形成第二导电材料层，第二导电材料层填充所述通孔，并对所述第二导电材料层执行构图工艺，以形成电连接每个第二电极链中相邻的两个第二电极的桥接结构，使得每个第二电极链中的所述多个第二电极依次彼此电连接。
20.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，其中当第一电极和第二电极中的一种用作驱动电极，另一种用作感应电极时，该方法还包括在感应电极的中心区域内利用导电材料形成与对应的感应电极电绝缘的第二悬空结构。
21.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，相邻的第二悬空结构的形状形成为彼此不同。
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