CN106648240B - 触控电极及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种触控电极及其制作方法，该触控电极仅在第二电极(12)上覆盖绝缘层(13)，而第一电极(11)上并不覆盖绝缘层，在保证了桥接线(112)与第二电极(12)绝缘的同时，还能够在触摸时同时产生侧向电容变量和边缘场电容变量，进而使得触摸时的总电容变化量增大，信噪比提升，触控效果更佳。

Description

触控电极及其制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种触控电极及其制作方法。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
触控面板(Touch panel)提供了一种新的人机互动界面，其在使用上更直接、更人性化。将触控面板与平面显示装置整合在一起，形成触控显示装置，能够使平面显示装置具有触控功能，可通过手指、触控笔等执行输入，操作更加直观、简便。
触控显示面板依感应技术不同可分为电阻式、电容式、光学式、音波式四种，目前主流的触控技术为电容式，其中电容式又分为自电容式和互电容式，目前市场上的电容式触控显示面板为主要为互电容式，互电容的优点在于可实现多点触控。触控显示面板根据结构不同可划分为：触控电路覆盖于液晶盒上式(On Cell)，触控电路内嵌在液晶盒内式(In Cell)、以及外挂式。其中，In Cell式具有成本低、超薄、和窄边框的优点，主要应用在高端触控产品中，但由于In cell式触控技术工艺难度较大，信号干扰等因素，其灵敏度较差。目前市场上应用最多的触控显示面板仍为外挂式，外挂式的优点在于灵敏度高，响应速度快，但缺点是成本高，产品超薄化受限制。On Cell式集成了外挂式和In cell式的优点，既能提高灵敏度又能降低面板厚度。
现有技术中，On Cell型触控显示面板通常包括：第一氧化铟锡(Indium TinOxides，ITO)层、覆盖第一ITO层的绝缘层、以及设于绝缘层上的桥接层，所述第一ITO层形成有多个驱动电极、以及多个感应电极，所述多个感应电极同层的ITO连接线连接到一起，所述多个驱动电极通过位于桥接层上的桥接线经由贯穿所述绝缘层的过孔连接到一起，在这种结构的触控显示面板中，绝缘层完全覆盖除过孔区域之外第一ITO层，触控时，总电容改变较小，导致该触控显示面板的信噪比不高，触控效果不佳。
发明内容
本发明的目的在于提供一种触控电极，能够提升触控面板的信噪比，改善触控效果。
本发明的目的还在于提供一种触控电极的制作方法，能够提升触控面板的信噪比，改善触控效果。
为实现上述目的，本发明提供了一种触控电极，包括：相互平行间隔排列的且沿水平方向延伸的多条第一电极以及相互平行间隔排列的且沿竖直方向延伸的多条第二电极；
所述多条第一电极和多条第二电极同层设置，每一条第一电极均被所述多条第二电极分隔成多个相互间隔的第一子电极，同一条第一电极上相邻第一子电极通过跨越该两个第一子电极之间的第二电极的桥接线电性连接到一起；
所述多条第二电极上覆盖有绝缘层，所述桥接线通过所述绝缘层与所述第二电极绝缘分隔。
每一条第二电极均包括沿竖直方向依次排列的多个第二子电极、以及串联各个第二子电极的多条连接线；
所述第二子电极与第一子电极交错排列，所述连接线与所述桥接线绝缘交叉。
所述第二子电极与第一子电极的形状均为矩形。
所述第二子电极、第一子电极、桥接线、以及连接线的材料均为氧化铟锡。
所述第一电极为驱动电极，所述第二电极为感应电极。
本发明还提供一种触控电极的制作方法，包括如下步骤：
步骤1、提供一基板，在所述基板上沉积并图案化导电材料，得到相互平行间隔排列的且沿水平方向延伸的多条第一电极以及相互平行间隔排列的且沿竖直方向延伸的多条第二电极，每一条第一电极均被所述多条第二电极分隔成多个相互间隔的第一子电极；
步骤2、在所述第一电极、第二电极以及基板上沉积绝缘材料，对所述绝缘材料进行图案化，去除第一电极以及基板上绝缘材料，得到覆盖于所述第二电极上的绝缘层；
步骤3、在各个位于同一条第一电极上的相邻的第一子电极之间制作桥接线，所述桥接线跨越各个相邻的第一子电极之间的第二电极将各个相邻的第一子电极电性连接到一起，并且所述桥接线通过所述绝缘层与所述第二电极绝缘。
每一条第二电极均包括沿竖直方向依次排列的多个第二子电极、以及串联各个第二子电极的多条连接线；
所述第二子电极与第一子电极交错排列，所述连接线与所述桥接线绝缘交叉。
所述第二子电极与第一子电极的形状均为矩形。
所述第二子电极、第一子电极、桥接线、以及连接线的材料均为氧化铟锡。
所述第一电极为驱动电极，所述第二电极为感应电极。
本发明的有益效果：本发明提供了一种触控电极，该触控电极仅在第二电极上覆盖绝缘层，而第一电极上并不覆盖绝缘层，在保证了桥接线与第二电极绝缘的同时，还能够在触摸时同时产生侧向电容变量和边缘场电容变量，进而使得触摸时的总电容变化量增大，信噪比提升，触控效果更佳。本发明还提供一种触控电极的制作方法，能够提升触控面板的信噪比，改善触控效果。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的触控电极的制作方法的流程图；
图2为本发明的触控电极的制作方法步骤1的示意图；
图3为本发明的触控电极的制作方法步骤2的示意图；
图4为本发明的触控电极的制作方法步骤3的示意图暨本发明的触控电极的俯视示意图；
图5为图4沿A-A线的剖面图；
图6为本发明的触控电极的在非手指触摸时的电场线分布图；
图7为本发明的触控电极的在手指触摸时的电场线分布图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图4并结合图5，本发明首先提供一种触控电极，包括：相互平行间隔排列的且沿水平方向延伸的多条第一电极11以及相互平行间隔排列的且沿竖直方向延伸的多条第二电极12；
所述多条第一电极11和多条第二电极12同层设置，每一条第一电极11均被所述多条第二电极12分隔成多个相互间隔的第一子电极111，同一条第一电极11上相邻第一子电极111通过跨越该两个第一子电极111之间的第二电极12的桥接线112电性连接到一起；
所述多条第二电极12上覆盖有绝缘层13，所述桥接线112通过所述绝缘层13与所述第二电极12绝缘分隔。
需要强调的是，本发明中绝缘层13只覆盖在第二电极12上，能够在第一电极11和第二电极12之间增加边缘场电容，在手指触摸时，将会同时产生边缘场电容变量和侧向电容变量，相比于现有技术中整面覆盖的绝缘层，本发明多产生了一个边缘场电容变量，总电容变化量也随之增大，进而使得触控面板的信噪比提升，触控效果更好。
具体地，请参阅图4，每一条第二电极12均包括沿竖直方向依次排列的多个第二子电极121、以及串联各个第二子电极121的多条连接线122，所述第二子电极121与第一子电极111交错排列，所述连接线122与所述桥接线112绝缘交叉。所述第二电极12与所述第一子电极111通过同一道图案化制程同时形成。
优选地，所述第二子电极121与第一子电极111的形状均为矩形。
优选地，所述第二子电极121、第一子电极111、桥接线112、以及连接线122为透明的，更优选地，所述第二子电极121、第一子电极111、以及连接线122的材料均为ITO，所述桥接线112的材料为ITO或金属。
具体地，所述第一电极11为驱动电极，所述第二电极12为感应电极，当然根据需要也可以采用所述第一电极11为感应电极，所述第二电极12为驱动电极的技术方案，这并不是对本发明的限制。
请参阅图1，本发明还提供一种触控电极的制作方法，包括如下步骤：
步骤1、请参阅图2，提供一基板10，在所述基板10上沉积并图案化导电材料，得到相互平行间隔排列的且沿水平方向延伸的多条第一电极11以及相互平行间隔排列的且沿竖直方向延伸的多条第二电极12，每一条第一电极11均被所述多条第二电极12分隔成多个相互间隔的第一子电极111。
具体地，所述步骤1中通过物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)工艺沉积所述导电材料，优选地，所述导电材料为透明的，更优选地，所述导电材料为ITO。
步骤2、请参阅图3，在所述第一电极11、第二电极12以及基板10上沉积绝缘材料，对所述绝缘材料进行图案化，去除第一电极11以及基板10上绝缘材料，得到覆盖于所述第二电极12上的绝缘层13。
具体地，所述绝缘材料为氮化硅(SiNx)，所述步骤2中通过等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)工艺沉积所述绝缘材料，通过干蚀刻工艺去除第一电极11以及基板10上绝缘材料。
步骤3、请参阅图4，在各个位于同一条第一电极11上的相邻的第一子电极111之间制作桥接线112，所述桥接线112跨越各个相邻的第一子电极111之间的第二电极12将各个相邻的第一子电极111电性连接到一起，并且所述桥接线112通过所述绝缘层13与所述第二电极12绝缘。
具体地，所述桥接线112的材料为ITO或金属，所述步骤3中通过PVD工艺制作所述桥接线112。
需要强调的是，如图6所示，本发明中绝缘层13只覆盖在第二电极12上，第一电极11与第二电极12形成的电容包括：平行电容C1a、侧向电容C1b、以及边缘场电容C1c，如图7所示，在手指触摸时，侧向电容C1b、以及边缘场电容C1c都会发生变化，产生边缘场电容变量和侧向电容变量，而现有技术中绝缘层整面覆盖，第一电极11与第二电极12之间不会产生边缘场电容C1c，进而在手指触摸时也没有边缘场电容变量，而本发明多产生了一个边缘场电容变量，使得手指触摸时总电容变化量也随之增大，进而使得触控面板的信噪比提升，触控效果更好。
具体地，请参阅图4，每一条第二电极12均包括沿竖直方向依次排列的多个第二子电极121、以及串联各个第二子电极121的多条连接线122，所述第二子电极121与第一子电极111交错排列，所述连接线122与所述桥接线112绝缘交叉。所述第二电极12与所述第一子电极111通过同一道图案化制程同时形成。
优选地，所述第二子电极121与第一子电极111的形状均为矩形。
具体地，所述第一电极11为驱动电极，所述第二电极12为感应电极，当然根据需要也可以采用所述第一电极11为感应电极，所述第二电极12为驱动电极的技术方案，这并不是对本发明的限制。
综上所述，本发明提供了一种触控电极，该触控电极仅在第二电极上覆盖绝缘层，而第一电极上并不覆盖绝缘层，在保证了桥接线与第二电极绝缘的同时，还能够在触摸时同时产生侧向电容变量和边缘场电容变量，进而使得触摸时的总电容变化量增大，信噪比提升，触控效果更佳。本发明还提供一种触控电极的制作方法，能够提升触控面板的信噪比，改善触控效果。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种触控电极，其特征在于，包括：相互平行间隔排列的且沿水平方向延伸的多条第一电极(11)以及相互平行间隔排列的且沿竖直方向延伸的多条第二电极(12)；
所述多条第一电极(11)和多条第二电极(12)同层设置，每一条第一电极(11)均被所述多条第二电极(12)分隔成多个相互间隔的第一子电极(111)，同一条第一电极(11)上相邻第一子电极(111)通过跨越该两个第一子电极(111)之间的第二电极(12)的桥接线(112)电性连接到一起；
所述多条第二电极(12)上覆盖有绝缘层(13)，所述桥接线(112)通过所述绝缘层(13)与所述第二电极(12)绝缘分隔；
所述绝缘层(13)仅覆盖多条第二电极(12)而不覆盖多条第一电极(11)。
2.如权利要求1所述的触控电极，其特征在于，每一条第二电极(12)均包括沿竖直方向依次排列的多个第二子电极(121)、以及串联各个第二子电极(121)的多条连接线(122)；
所述第二子电极(121)与第一子电极(111)交错排列，所述连接线(122)与所述桥接线(112)绝缘交叉。
3.如权利要求2所述的触控电极，其特征在于，所述第二子电极(121)与第一子电极(111)的形状均为矩形。
4.如权利要求2所述的触控电极，其特征在于，所述第二子电极(121)、第一子电极(111)、桥接线(112)、以及连接线(122)的材料均为氧化铟锡。
5.如权利要求1所述的触控电极，其特征在于，所述第一电极(11)为驱动电极，所述第二电极(12)为感应电极。
6.一种触控电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：、
步骤1、提供一基板(10)，在所述基板(10)上沉积并图案化导电材料，得到相互平行间隔排列的且沿水平方向延伸的多条第一电极(11)以及相互平行间隔排列的且沿竖直方向延伸的多条第二电极(12)，每一条第一电极(11)均被所述多条第二电极(12)分隔成多个相互间隔的第一子电极(111)；
步骤2、在所述第一电极(11)、第二电极(12)以及基板(10)上沉积绝缘材料，对所述绝缘材料进行图案化，去除第一电极(11)以及基板(10)上绝缘材料，得到覆盖于所述第二电极(12)上的绝缘层(13)；
步骤3、在各个位于同一条第一电极(11)上的相邻的第一子电极(111)之间制作桥接线(112)，所述桥接线(112)跨越各个相邻的第一子电极(111)之间的第二电极(12)将各个相邻的第一子电极(111)电性连接到一起，并且所述桥接线(112)通过所述绝缘层(13)与所述第二电极(12)绝缘。
7.如权利要求6所述的触控电极的制作方法，其特征在于，每一条第二电极(12)均包括沿竖直方向依次排列的多个第二子电极(121)、以及串联各个第二子电极(121)的多条连接线(122)；
所述第二子电极(121)与第一子电极(111)交错排列，所述连接线(122)与所述桥接线(112)绝缘交叉。
8.如权利要求7所述的触控电极的制作方法，其特征在于，所述第二子电极(121)与第一子电极(111)的形状均为矩形。
9.如权利要求7所述的触控电极的制作方法，其特征在于，所述第二子电极(121)、第一子电极(111)、桥接线(112)、以及连接线(122)的材料均为氧化铟锡。
10.如权利要求6所述的触控电极的制作方法，其特征在于，所述第一电极(11)为驱动电极，所述第二电极(12)为感应电极。
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