CN104742555B - 图案形成方法及系统、图案印刷方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用很少的涂敷液就能够形成期望的图案层的图案形成技术，以及能够使用该图案形成技术低成本地印刷图案的图案印刷技术。图案形成方法包括：涂敷步骤，从相对于平板状的担载体的表面移动的喷嘴朝向担载体的表面喷出涂敷液来形成一次图案层；第一转印步骤，在使形成有凸部的版的转印面与形成有一次图案层的担载体的表面相向的状态下，使担载体与版相互紧贴，将一次图案层的一部分转印至凸部；第一剥离步骤，使相互紧贴的担载体和版剥离，来在担载体以及版当中的一者上形成二次图案层。

Description

图案形成方法及系统、图案印刷方法及系统

技术领域

本发明涉及一种使形成有凸部的版的转印面与涂敷有涂敷液的橡皮布等担载体的表面相互贴紧后使版和担载体剥离来形成期望图案的图案形成技术，以及使用该图案形成技术在基板的表面上印刷图案的图案印刷技术。

背景技术

作为上述图案形成技术以及图案印刷技术的一个例子，例如在JP特开2011-216917号公报中记载了将具有期望图案的金属薄膜印刷在基板上的发明。在该JP特开2011-216917号公报记载的发明中，在平板橡皮布上涂敷墨水后，使该平板橡皮布与以预定的图案设有凸部的版相互面对面地接触。通过这样，能够将平板橡皮布上的墨水中的与凸部相对应的部分选择性地转印到版上(第一转印步骤)。然后，使相互接触的平板橡皮布与版分离，将两者剥离(第一剥离步骤)。通过这样，在平板橡皮布上的没有被版转印的区域残留有墨水，成为与凸部的图案相反的反转图案。从而，在平板橡皮布上形成期望图案。

另外，通过使担载上述图案的平板橡皮布与基板相互面对面地接触，使平板橡皮布上残留的墨水，即进行了图案成形的墨水层转印到基板上(第二转印步骤)。其后，使相互接触的平板橡皮布与基板分离(第二剥离步骤)。通过这样，将平板橡皮布上的墨水层印刷在基板上。

在上述JP特开2011-216917号公报中记载的发明中，在平板橡皮布的整个表面涂敷有墨水。因此，通过实施上述第一转印步骤和第一剥离步骤，对在平板橡皮布上的整个面涂敷的墨水层进行图案成形用于印刷。另一方面，被转印到版上的墨水难以再利用，在目前的情况下是从版上去除掉后就废弃了。如这样的现有技术并不能说是有效地使用墨水，因此希望具有墨水消耗量的限制技术。特别是，当通过进行上述转印剥离步骤来制造半导体装置、液晶显示器、有机EL(electroluminescence)显示器等电子设备时，在很多情况下要使用价格比较高的墨水等涂敷液，减少涂敷液消耗量的技术成为重要课题之一。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作出，目的在于供给一种使用少的涂敷液就能够形成期望图案层的图案形成技术以及能够使用该图案形成技术低成本地印刷图案的图案印刷技术。

本发明的第一实施方式为一种图案形成方法，其特征在于，涂敷步骤，从相对于平板状的担载体的表面移动的喷嘴朝向担载体的表面喷出涂敷液，来形成一次图案层，第一转印步骤，在使版的形成有凸部的转印面与担载体的形成有一次图案层的表面相向的状态下，使担载体与版相互紧贴，将一次图案层的一部分转印至凸部，第一剥离步骤，使相互紧贴的担载体和版剥离，在担载体以及版中的一者上形成二次图案层。

另外，本发明的第二实施方式为图案印刷方法，其特征在于，图案形成步骤，使用上述的图案形成方法，形成二次图案层，印刷步骤，将二次图案层转印形成于基板上。

另外，本发明的第三实施方式为图案形成系统，其特征在于，涂敷单元，使用于喷出涂敷液的喷嘴相对于平板状的担载体的表面移动，来在担载体的表面上形成一次图案层，转印单元，在版的形成有凸部的转印面与担载体的形成有一次图案层的表面相向的状态下，该转印单元使担载体与版相互紧贴，来将一次图案层的一部分转印至凸部，剥离单元，使相互紧贴的担载体与版剥离，来在担载体以及版中的一者上形成二次图案层。

进一步地，本发明的第四实施方式为图案印刷系统，其特征在于，具有与上述的图案形成系统相同的结构的图案形成单元，将由图案形成单元形成的二次图案层转印至基板的被印刷面，来印刷二次图案层。

在使用版对涂敷有涂敷液的担载体进行图案成形的情况下，一般使用下面的方法。即，使版的转印面紧贴于涂敷有涂敷液的担载体的表面上将涂覆液的一部分转印至版的凸部后，使担载体与版剥离来形成图案层。因此，在通过担载体的表面上残留的涂敷液形成图案层的情况下，转印至版上的涂敷液变成不需要的，被废弃。相反，在通过转印至版上的涂敷液形成图案层的情况下则担载体上残留的涂敷液变成不需要的，被废弃。这样，虽然在任何一种情况下都存在不得不废弃的涂敷液，但是在本发明中作为废弃对象的涂敷液的量与现有技术相比更少。即，由于在现有技术中，在担载体的整个表面上涂敷涂敷液，将该涂敷液的一部分转印至版的凸部，形成二次图案层，所以不得不废弃很多涂敷液。与此相对，在本发明中，仅在担载体的表面的局部涂敷涂敷液来形成一次图案层，在一次图案层的范围内进行转印处理。因此，涂敷液的废弃量比现有技术少。

如上所述，根据本发明，由于使用具有凸部的版对担载体的表面上形成的一次图案层进行转印处理以及剥离处理从而形成二次图案层，所以抑制了涂敷液的废弃量，即用很少的涂敷液量就能够形成期望的二次图案层。另外，通过使用该图案形成技术能够低成本地印刷图案。

附图说明

图1为示意地示出具有本发明的图案形成系统的第一实施方式的图案印刷系统的结构和动作的图。

图2为从上方观察在图案印刷系统中可采用的涂敷装置的一个例子的俯视图。

图3为从正面观察图2的涂敷装置的主视图。

图4为示出墨水供给部的结构的图。

图5为示出在图1的图案印刷系统中可采用的转印剥离装置的一个例子的概略结构的图。

图6为示出图5的转印剥离装置的主要部分的图。

图7A至图7C为更详细地示出手部顶端的结构的放大图。

图8A至图8C为示意地示出在转印处理的各阶段中的装置各部分的位置关系的图。

图9A至图9C为示意地示出在转印处理的各阶段中的装置各部分的位置关系的图。

图10A至图10C为示意地示出在转印处理的各阶段中的装置各部分的位置关系的图。

图11A至图11C为示意地示出通过图5所示的转印剥离装置进行的图案成形工序的图。

图12A和图12B为示出使用图2的涂敷装置在橡皮布的表面上涂敷的条纹状图案的膜厚特性的曲线图。

图13为示意地示出具有本发明的图案形成系统的第二实施方式的图案印刷系统的结构和动作的图。

图14A至图14C为示意地示出第二实施方式中的图案成形工序的图。

附图标记说明如下：

1 图案印刷系统

100 涂敷装置(涂敷单元、图案形成单元)

200 转印剥离装置(转印单元、剥离单元、图案形成单元)

400 凸版印刷装置(印刷单元)

501 转印辊(辊构件)

BL 橡皮布(担载体)

L1 一次图案层

L2 二次图案层

PJ 凸部

PP 版

PT1 图案

PT1f 平坦部(图案PT1的中心部)

PT1s 肩部(图案PT1的周边部)

SB 基板

具体实施方式

A.图案印刷系统的整体结构

图1为示意地示出具有本发明的图案形成系统的第一实施方式的图案印刷系统的结构和动作的图。该图案印刷系统1具有涂敷装置100、转印剥离装置200以及加热装置900，实施用于制造有机EL显示器用基板的处理。另外，在图案印刷系统1中，虽然省略了图示，但是还设有分别容纳橡皮布BL、版PP和基板SB的各种出料器以及在各出料器与上述装置之间运送橡皮布BL、版PP和基板SB的运送机器人。而且，在图案印刷系统1中，如图1中用箭头所示，一边将橡皮布BL、版PP和基板SB运送至各装置，一边实施涂敷步骤S1、第一转印步骤S2、第一剥离步骤S3、第二转印步骤S4、第二剥离步骤S5和烘干步骤S6。这样，将由涂敷液构成的期望图案层印刷在基板SB的表面上。此外，图1为用于帮助理解各步骤的示意图，将各部分的个数、尺寸或者间距有些夸张地示出，这些并不表示实际的个数或者尺寸关系。以下，在对作为图案印刷系统1的主要结构的涂敷装置100和转印剥离装置200的结构以及概略动作进行了说明后，对由图案印刷系统1实施的各步骤详细描述。

B.涂敷装置100

图2为从上方观察在图案印刷系统中可采用的涂敷装置的一个例子的俯视图，图3为从正面观察图2的涂敷装置的主视图。此处，XY平面为水平面，Z轴表示铅垂轴。更详细地，+Z方向表示铅垂朝上的方向。该涂敷装置100用于对矩形平板状橡皮布BL的表面涂敷涂敷液。此处，作为涂敷液，涂敷包含挥发性的溶剂(在本实施方式中，为芳香族的有机溶剂)和作为发光材料的有机EL材料在内的墨水。

该涂敷装置100主要具有：水平地保持橡皮布BL的载物台110；使载物台110移动的载物台移动机构120；用于向保持在载物台110上的橡皮布BL的上表面涂敷墨水的涂敷头130；用于对涂敷头130供给墨水的墨水供给部132R、132G、132B；使涂敷头130移动的涂敷头移动机构150。另外，涂敷装置100具有控制装置各部分的控制部(省略图示)。

载物台110具有比橡皮布BL的平面尺寸更大的平面尺寸的平板状外形。而且，载物台110能够在上表面上载置保持橡皮布BL，且使橡皮布BL呈水平姿势。另外，在载物台110的上表面形成有多个吸孔(省略图示)。这些吸孔与真空泵(省略图示)等连接，通过该真空泵的动作，橡皮布BL被吸附在载物台110的上表面，被牢固地保持。进一步地，在载物台110的内部，配置有由加热器组成的加热装置(省略图示)，能够将载置在载物台110上的橡皮布BL加热到预定的温度。

载物台移动机构120使载物台110沿着与橡皮布BL的主面平行的预定方向(即，图2中的Y方向)水平移动。载物台移动机构120具有：通过马达使载物台110旋转的旋转机构124；支撑载物台110且能够使载物台110旋转的支撑板123；水平支撑支撑板123的基台121；使基台121沿着Y方向移动的Y扫描机构122。旋转机构124、Y扫描机构122根据来自控制部的移动指示来移动载物台110。

Y扫描机构122具有：线性马达1221，安装于从下方支撑支撑板123的基台121的下表面；一对导轨1222，沿着Y方向延伸。因此，当线性马达1221根据来自控制部的移动指令动作时，基台121和载物台110沿着导轨1222在Y方向上移动。

涂敷头130具有多个喷嘴131。在本实施方式中，为了喷出相互不同的3种颜色的墨水而设有3个喷嘴131，但是喷嘴个数并不限定于此，能够根据应该涂敷的墨水而适当设定。

涂敷头130朝向由载物台110保持的橡皮布BL的表面连续地喷出含有有机EL材料的墨水。即，涂敷头130为用于从喷嘴131以液柱的状态喷出墨水的喷出部。另外，多个喷嘴131在与橡皮布BL的表面平行并与Y方向垂直的方向(即，图2中的与Y方向垂直的X方向)上彼此分离地排列配置成大致直线状，并且在图2中的Y方向上稍微错开。此外，在本实施方式中，相邻的2个喷嘴131在Y方向上的距离被调整为，等于应该涂敷在橡皮布BL的涂敷区域CR(在图2中用虚线包围示出)的线条图案在Y方向上的间距的3倍。

图4为示出墨水供给部的结构的图。墨水供给部为用于将含有机EL材料的墨水供给给涂敷头130的机构，按照每种颜色独立设置。即，与红色墨水、绿色墨水和蓝色墨水相对应，分别设置有墨水供给部132R、132G、132B。但是，除了在容器1321中积存的墨水不同这一点以外，墨水供给部132R、132G、132B具有相同的结构。即，如图4所示，在各墨水供给部132上，设有实现墨水积存部的功能的积存墨水的容器1321，供液管1322的一端与该容器1321连接。在该供液管1322上，从容器1321侧(朝向另一端部)依次设有泵1323、质量流量控制器1324、压力计1325和过滤器1326。供液管1322的与容器1321一侧相反的一侧的端部与对应颜色的喷嘴131连接。

返回图2继续进行说明。涂敷头移动机构150具有：一对引导部151；滑块152，能够相对于引导部151滑动；一对滑轮153，配设于一对引导部151的两端部附近，能够以朝向Z轴方向的轴为中心旋转；无缝同步带154，卷绕于滑轮153上。在图2所示的2个引导部151之间的引导部151的两端部的附近，分别设有挂着环状的同步带154的2个滑轮153。滑块1521固定于同步带154上，在-Y侧的滑块152上安装有涂敷头130。因此，在涂敷头移动机构150中，当与一个滑轮153连接的马达(省略图示)接收来自控制部的移动指令进行动作时，同步带154顺时针或者逆时针旋转，涂敷头130向-X方向或者+X方向高速且平滑地移动。

每当涂敷头130沿着X方向的移动完成，使保持橡皮布BL的载物台110沿着Y方向移动，由此对橡皮布BL的表面的涂敷区域CR涂敷墨水。此外，当涂敷头130在X方向上扫描时，在受液部112的附近完成加速或者减速，例如，在橡皮布的上方，涂敷头130以3～5m/秒左右的恒定速度移动。此处所说的受液部112为用于接受从喷嘴131喷出的墨水的机构，在涂敷头130的往复移动方向(X方向)上配设于载物台110的两侧。设置这些受液部112的理由为，因为在对橡皮布BL不进行涂敷处理的期间(待机期间)也会从涂敷头130连续地喷出墨水，由于在受液部112的内部具有多孔性构件，所以防止从涂敷头13喷出的墨水向周围飞溅。

涂敷装置100具有用于拍摄检测橡皮布BL上形成的对准标记(省略图示)的左右一对拍摄部111。在该一对拍摄部111上分别配设有CCD照相机。而且，基于由拍摄部111检测出的对准标记的位置，控制部对橡皮布BL进行对位。

此外，控制部一边实施各种运算处理，一边控制涂敷装置100具有的各部分的动作，例如由计算机构成，具有：进行各种运算处理的CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、存储引导程序等的存储部、进行各种显示的显示器、键盘和鼠标等的输入部、经由LAN等具有数据通信功能的数据通信部等。计算机按照计算机上安装的程序来进行动作，如以下说明的那样，该计算机控制涂敷接置100的各部分，在橡皮布BL的表面上以操作者指定的图案涂敷墨水，来形成一次图案层L1(参照后面说明的图11、图14)。

当如图1的箭头AR1所示，将未使用的橡皮布BL运送至涂敷装置100并保持在载物台110上时，拍摄部111拍摄对准标记，基于来自拍摄部111的输出来驱动载物台移动机构120，使橡皮布BL移动旋转，将橡皮布BL移动至涂敷开始位置。然后，从多个喷嘴131开始喷出墨水，进一步地，开始控制涂敷头移动机构150，涂敷头130开始沿着X方向移动(即，从图2中的-X侧向+X侧的主扫描)。这样，一边从多个喷嘴131分别以恒定的流量连续地(不中断地)向橡皮布BL的主面喷出墨水，一边使涂敷头130沿着X方向连续地以恒定的速度移动，来在橡皮布BL的涂敷区域CR呈条纹状涂敷墨水。

然后，通过将涂敷头130移动到作为待机位置的受液部112的上方，由墨水形成条纹状的图案。另外，也可以在包含图2中的涂敷区域CR的-X侧和+X侧的非涂敷区域(以及根据需要，包括+Y侧和-Y侧的非涂敷区域)在内的区域的整个面内进行涂敷。

当涂敷头130移动到待机位置时，驱动载物台移动机构120，橡皮布BL与载物台110一起向+Y方向(即，Y方向)移动与上述间距的3倍相等的距离。此时，在涂敷头130中，从多个喷嘴131向受液部112连续地喷出墨水。

当橡皮布BL在Y方向上的移动结束时，通过控制部确认橡皮布BL和载物台110是否移动到涂敷结束位置。然后，在还没有移动到涂敷结束位置的情况下，涂敷头130一边从多个喷嘴131喷出墨水，一边从橡皮布BL的+X侧向-X方向(即，X方向)移动，由此在橡皮布BL上的线状区域内涂敷墨水。之后，橡皮布BL沿着Y方向移动，确认是否移动到了涂敷结束位置。

在涂敷装置100中，直到载物台110和橡皮布BL位于涂敷结束位置为止，每当涂敷头130沿着X方向的移动完成，橡皮布BL都在Y方向上相对移动(即，重复涂敷头130沿着X方向的移动以及橡皮布BL向+Y侧的步进移动)，这样，在橡皮布BL的涂敷区域CR，呈条纹状涂敷墨水来形成线条图案PT1。如这样，在从喷嘴131连续地喷出墨水的状态下，喷嘴131与橡皮布BL相对移动，在橡皮布BL的表面上形成由条纹状的图案PT1构成的一次图案层L1。

然后，当橡皮布BL移动到涂敷结束位置时，停止从多个喷嘴131喷出墨水，结束通过涂敷装置100向橡皮布BL涂敷墨水。如图1的箭头AR2所示，结束使用涂敷装置100的涂敷的橡皮布BL被运送至转印装置200。

C.转印剥离装置200

图5为示出图1的图案印刷系统中可采用的转印剥离装置的一个例子的概略结构的图。另外，图6为示出图5的转印剥离装置的主要部分的图。为了统一表示以下的各图中的方向，如图5所示，设定XYZ正交坐标轴。此处，XY平面表示水平面，Z轴表示铅垂轴。更加详细地，+Z方向表示铅垂朝上的方向。

该转印剥离装置200为用于使在相互分离的状态下搬入的两张板状体紧贴，之后再次使它们分离的装置，实施图案成形工序以及印刷工序，所述图案成形工序指，利用版PP对橡皮布BL的表面所担载的一次图案层L1进行图案成形，来形成具有版PP上所形成的凸部图案的反转图案的二次图案层的工序，所述印刷工序指，将上述二次图案层印刷在基板SB上的工序。此外，对图案成形工序以及印刷工序的详细情况在后文描述。

该转印剥离装置200具有：下部保持部件3，安装于机壳上所安装的底座部11上，用于保持橡皮布BL；转印辊部件5，安装在底座部11上；上部保持部件7，配置于下部保持部件3和转印辊部件5的上部，用于保持版PP以及基板SB(以下，当总称版PP以及基板SB时称为“版PP等”)。在图5中为了示出装置的内部结构而省略机壳的图示。另外，虽然省略了图示，但是除了这些部件以外，该转印剥离装置200还具有控制各个部件的控制部件。

就下部保持部件3而言，在对准载物台30上沿着X方向以及Y方向排列配置有多个升降手部单元。更加具体地，沿着对准载物台30的+X侧端部，在Y方向上排列配置有多个(在本例中为6个)升降手部单元310、320、330、340、350、360。另外，沿着对准载物台30的-X侧端部，在Y方向上排列有与此相同数量的升降手部单元315、325、335、345、355、365。

各升降手部单元具有相同的结构。例如升降手部单元310具有：手部311，上部沿着水平方向延伸，上表面与橡皮布BL的下表面抵接来从下方支撑橡皮布BL；手部升降机构312，支撑该手部311，并且使手部311在上下方向(Z方向)上升降。手部升降机构312根据来自设于控制部件中的手部升降控制部(省略图示)的控制信号来使手部311升降。

其他的升降手部单元也同样，在此处，对升降手部单元315、320、325、330、335、340、345、350、355、360、365所具有的手部分别标注附图标记316、321、326、331、336、341、346、351、356、361、366。另外，对升降手部单元315、320、325、330、335、340、345、350、355、360、365所具有的手部升降机构分别标注附图标记317、322、327、332、337、342、347、352、357、362、367。

配置于对准载物台30的+X侧端部的升降手部单元310、320、330、340、350、360的各个手部的顶端朝向-X侧，另外，配置于对准载物台30的-X侧端部的升降手部单元315、325、335、345、355、365的各个手部的顶端朝向+X侧。即，配置于+X端部的升降手部单元与配置于-X侧端部的升降手部单元以手部向内的方式彼此面对面。

配置于对准载物台30的+X侧端部和-X侧端部各自的最靠-Y侧的升降手部单元310、315在Y方向上配置于相同位置。因此，升降手部单元310的手部311与升降手部单元315的手部316在Y方向上处于相同位置。另外，手部311、316总是被定位于相同的高度(Z方向位置)，根据来自手升降控制部的控制信号一体地升降。即，在Y方向上的位置相同的一对升降手部单元311、315组成升降手部单元对(第一手部单元对)31。

同样地，在Y方向上位置彼此相同的升降手部单元320、325设为第二手部单元对32，将330、335设置为第三手部单元对33，将升降手部单元340、345设置为第四手部单元对34，将升降手部单元350、355设置为第五手部单元对35，将升降手部单元360、365设置为第六手部单元对36。

通过将设于各升降手部单元310～365上的手部311～366定位于相同的高度，这些手部311～366能够一体地将橡皮布BL保持为水平姿势。此外，各手部单元对中包含的一对手部(例如，手部单元对31中的一对手部311、316)总是设置为相同高度，另一方面，在不同的手部单元对之间，手部升降控制部能够相互独立地控制这些手部单元对中包含的手部的高度。在图6中，作为一个例子示出第二手部单元对32的手部321、326位于其他的手部的下方。

在以下的说明中，将第N手部单元对(N＝1～6)中包含的一对手部称为“第N手部对”。即，将第一手部单元对31中包含的一对手部311、316称为“第一手部对”并标上附图标记301。同样地，分别将第二手部单元对32中包含的一对手部321、326称为第二手部对302，将第三手部单元对33中包含的一对手部331、336称为第三手部对303，将第四手部单元对34中包含的一对手部341、346称为第四手部对304，将第五手部单元对35中包含的一对手称为第五手部对305，将第六手部单元对36中包含的一对手称为第六手部对306。另外，这些手部对301～306的集合总称为“橡皮布保持机构”，标上附图标记300。

如图6所示，在6对手部单元对31～36当中的除去位于Y方向的两端部的手部单元对以外的中央部的手部单元对32～35所包括的手部321～356分散配置于与版PP等的平面尺寸相对应的区域内。此外，在本实施方式中，版PP以及基板SB的平面尺寸相同。另一方面，位于Y方向的两端部的手部单元对31、36所包括的手部311、316、361、366配置于与Y方向上的橡皮布BL的端部附近的下表面相抵接的位置。

另外，对准载物台30通过安装于底座部11的多个对准机构37支撑。对准机构为由交叉辊轴承组成的可动装置。通过根据来自控制部件的对准控制部(省略图示)的控制信号，多个对准机构37协同动作，能够使对准载物台30在XY平面(水平面)内以及围绕Z轴(铅垂轴)在预定的范围内移动。

在对准载物台30上还设有两台对准照相机381、382，两台对准照相机381、382安装于从基座部11立起设置的支柱构件(省略图示)上。对准照相机381、382朝上设置，拍摄在橡皮布BL上预先形成的对准标记。对准控制部根据上述的对准照相机的381、382的拍摄结果检测橡皮布BL的位置，根据需要使对准机构动作，在装置内调整橡皮布BL的位置。

另外，在底座部11上还设有转印辊部件5。转印辊部件5具有：固定于底座部11上并沿着Y方向延伸设置的导轨51；能够沿着导轨51在Y方向上自由移动的辊单元50。

辊单元50具有：圆柱形的转印辊(辊构件)501，沿着X方向延伸设置；支撑架502，支撑转印辊501的X方向两端部，并使转印辊501能够自由旋转；支撑腿503，在支撑架502的X方向大致中央部向下延伸；底座部504，支撑支撑腿503，并且与导轨51卡合，能够沿着Y方向移动。支撑腿503在X方向上的尺寸比构成各手部对的手部的顶端之间的间隔小。虽然省略图示，但是底座部504具有使支撑腿503升降的升降机构。通过支撑腿503的升降，被它支撑的转印辊501在Z方向上移动，与橡皮布保持机构300所保持的橡皮布BL接近或远离。底座部504沿着导轨51在Y方向上的移动以及通过底座部504使支撑腿503升降都是通过设于控制部件上的辊驱动部来控制的。

另一方面，上部保持部件7具有：上载物台71，下表面为与版PP等大致相同平面尺寸的保持平面；载物台升降机构72，使上载物台71在上下方向上升降。虽然省略图示，但是在上载物台71的下表面设有吸附孔、吸附槽以及吸附垫中的至少一者作为用于吸附保持版PP等的机构，经由控制阀(图示省略)对该吸附机构施加来自设于控制部件的负压供给部(图示省略)的负压。因此，在上载物台71的下表面能够吸附保持版PP等的上表面。

载物台升降机构72根据来自控制部件的上载物台控制部(省略图示)的控制信号使上载物台71升降，使上载物台71所保持的版PP等在接近位置和远离位置之间移动，该接近位置是指，上载物台71与被橡皮布保持机构300保持的橡皮布BL的上表面接近相向的位置，该远离位置是指，上载物台71在上方远离橡皮布BL的位置。

图7A至图7C为更详细地示出手部顶端的结构的放大图。此处代表性地对手部311的结构进行了说明，但是如前文所述，各手部311～366的结构相同。如图7A所示，就沿着X方向延伸的手部311的顶端部而言，上表面311a被加工得平坦，为与橡皮布BL下表面抵接的抵接面，并且贯穿设有开口直径不同的2种贯通孔。更详细地，手部311在X方向上以一定间隔设有开口直径比较大的多个第一贯通孔311b；在各贯通孔311b中插入有上端313a例如由硅胶那样的弹性构件形成的吸附垫313。各吸附垫313经由控制部的控制阀V2与负压供给部相连接。

各吸附垫313通过未图示的驱动机构驱动能够一体地升降，能够在后退位置与吸附位置之间移动，该后退位置是指，如图7B所示，吸附垫313的上端313a后退至手部311的上表面(抵接面)311a的下方的位置，吸附位置是指，如图7C所示，吸附垫313的上端313a伸出至手部311的上表面311a的上方的位置。当吸附垫313定位于吸附位置时，借助从负压供给部供给的负压，能够通过吸附垫313牢牢地吸附保持橡皮布BL。

另一方面，其他的贯通孔311c为比贯通孔311b的开口直径小的贯通孔，如上所述，设于在X方向上等间隔地排列的贯通孔311b之间。贯通孔311c经由控制部件的控制阀V3与负压供给部相连接。因此，通过向各贯通孔311c供给负压来实现吸附橡皮布BL的下表面的吸附孔的功能。贯通孔311c吸附橡皮布BL的力比吸附垫313的力弱。

如这样，在手部311上设置有实现吸附孔的功能的贯通孔311c与吸附垫313，通过分别独立地向贯通孔311c和吸附垫313供给负压，能够将手部311对橡皮布BL的吸附力设定为多级。

下面，对如上述构成的转印剥离装置200的动作进行说明。如前文所述，该转印剥离装置200实施图案成形工序和印刷工序。下面，虽然对图案成形工序进行说明，但是印刷工序的动作也基本上相同。

图8A至图8C、图9A至图9C以及图10A至图10C为示意地示出转印处理的各阶段中的装置各部分的位置关系的图。此外，为了在图8A至图8C、图9A至图9C以及图10A至图10C中明示各部分的位置关系，将各部分的尺寸或者间隔有些夸张地示出，这些并不表示实际的尺寸关系。

运送机器人将具有用于图案成形的凸部PJ的版PP运送至转印剥离装置200内(图1中的箭头AR3)，使形成有凸部PJ的转印面朝下地装载于载物台71上。接下来，运送机器人将担载有通过涂敷装置100形成的一次图案层L1的橡皮布BL运送至转印剥离装置200内(图1中的箭头AR2)，使担载有上述第一图案层L1的担载面朝上地装载于橡皮布保持机构300上。此时，各手部的吸附垫313位于图7B所示的后退位置，借助施加于贯通孔311c的负压吸附保持橡皮布BL。此外，装载的顺序也可以与此相反，但是后搬入上表面担载有一次图案层L1的橡皮布BL，能够避免在载入版PP时损伤橡皮布BL上的第一图案层L1或者落下异物的情况。

图8A示出将版PP以及橡皮布BL搬入装置后的状态。当搬入版PP以及橡皮布BL时，上载物台71定位于在上方远离橡皮部保持机构300的位置，这样能够经由上载物台71与橡皮布保持机构300之间空出的大空间来搬入版PP。另一方面，当搬入橡皮布BL时，通过将各手部对301～306定位于上升了的位置，能够通过运送机器人的对橡皮布BL的下表面进行支撑的运送用手部来搬入。另外，通过使各手部对处于相同高度，能够将橡皮布BL保持为水平姿势。

当搬入版PP以及橡皮布BL时，使上载物台71下降，使版PP与橡皮布BL相隔预定的间隙接近相向。为了达到这一目的，优选在搬入前预先测量版PP以及橡皮布BL的厚度。如图8B所示，此时被调整了的版PP与橡皮布BL的间隙G例如为几百μm左右。

接下来，在实施了用于使版PP与橡皮布BL对位的对准调整之后，将转印辊部件5的转印辊501定位于预定的初始位置。如图8B所示，转印辊501的初始位置为，既是在上下方向上在下方远离橡皮布BL的位置，也是在Y方向上的第一手部对301与第二手部对302之间，版PP的-Y侧端部的正下方的位置。此外，转印辊501可以从最初开始就位于该位置，或者也可以为当搬入橡皮布BL等时从橡皮布保持机构300退出，在搬入后再移动至初始位置。

然后，使转印辊501向上方移动与橡皮布BL的下表面抵接，如图8C所示，朝向版PP侧推橡皮布BL，使橡皮布BL与版PP相抵接。在橡皮布BL的下表面中的此时转印辊501所抵接的位置称为“抵接开始位置”。当橡皮布BL上担载有图案(图1中的附图标记PT1)时，图案与版PP的凸部PJ紧贴。接着，保持着使转印辊501与橡皮布BL抵接的状态，使转印辊开始向+Y方向移动，之后使其以恒定的速度向+Y方向前进。通过这样，橡皮布BL与版PP相抵接的区域向+Y方向扩大。

从转印辊501来看，将+Y侧称为转印辊501前进的前进方向的前方或者下游侧。另外，从转印辊501来看，将-Y侧称为转印辊501的前进方向的后方或者上游侧。

接下来，使位于转印辊501的上游侧的第一手部对301的吸附垫上升至图7C所示的吸附位置，供给来自负压供给部的负压通过吸附垫进行吸附，并且，开始使第一手部对301下降。一边通过吸附垫牢牢地吸附橡皮布BL，一边使手部对301下降，由此向下方拉橡皮布BL的-Y侧端部。这样，橡皮布BL与版PP之间从版PP的-Y侧端部开始逐渐分离，两者开始被剥离。

之后，转印辊501向+Y方向前进，但是在转印辊501的前方，各手部对302～306支撑橡皮布BL的下表面，与转印辊501的前进相干涉。为了避免干涉，配合转印辊501的前进使各手部对下降，退避到不与转印辊501干涉的退避位置。具体如下。

与各个第N手部对(N＝2～5)相对应地，预先设定对该手部对应该开始下降的时机进行规定的转印辊501的位置，作为下降开始位置。该下降开始位置的意思是指，假如当向+Y方向前进的转印辊501到达该下降开始位置时开始使第N手部对下降，则在转印辊501到达之前能够使第N手部对退避到不与转印辊501干涉的退避位置。

各手部对具有如下的功能，从下方抵接橡皮布BL，来将橡皮布BL保持为水平姿势，并且将橡皮布BL与版PP之间的间隙G保持为恒定。因此，若使手部对下降的时机过早，则橡皮布BL会弯曲而间隙会产生变化。为了避免这点，优选下降开始位置为，在转印辊501和手部对不发生干涉的范围内尽量靠近手部对的位置。

当转印辊501到达这样设定的下降开始位置时，使与该下降开始位置相对应的第N手部对开始下降。在即将开始下降之前，解除通过该手部对上所设置的吸附孔的吸附。这样，能够防止橡皮布BL随着手部对的下降而弯曲的现象。虽然通过使用弹性构件的吸附垫的吸附，从停止供给负压到吸附完全解除为止，存在时间延迟的现象，由此手部对可能会在保持着吸附橡皮布BL的状态下降，但是通过吸附孔进行吸附，就避免了该问题。

图9A示出第二手部对302下降到退避位置的状态。退避位置为，手部上表面位于转印辊501的支撑架502的下表面的下方的、手部在Z方向上的位置。由于构成第二手部对302的手部321、326配置为顶端部在X方向上彼此分离，所以转印辊501的支撑腿503能够在手部之间的间隙通过移动。而且，转印辊501以及其支撑架502在手部的上方通过。因此，避免了转印辊501与第二手部对302干涉的情况。

第二手部对302退避，转印辊501能够进一步向+Y方向移动。转印辊501通过后，第二手部对302再次上升并与橡皮布BL的下表面再次抵接。第二手部对302上升，并且第二手部对302的手部321、326的吸附垫前进至吸附位置，开始供给来自负压供给部92的负压。这样，与橡皮布BL的下表面再次抵接的第二手部对302通过吸附垫比分离前更牢地吸附橡皮布BL。在通过吸附垫开始吸附以后，第二手部对302再次下降。这样，在转印辊501的上游侧，更向下方拉橡皮布BL，进一步地从版PP剥离。

配置于更靠下游侧的手部对也是同样。即，在转印辊501到达设定于版PP的+Y侧端部的+Y侧的结束位置为止，重复进行上述处理，各手部对303～305在转印辊501接近与该手部对相对应设定的下降开始位置的时刻离开橡皮布BL的下表面并下降到退避位置。然后，在转印辊501通过后再次上升并吸附橡皮布BL后，再次向下方移动。下降后的手部对向下方到达足够远离版PP的位置，当通过位于更靠下游侧的手部对开始剥离橡皮布BL后，可以留在该位置。

图9B示出在转印辊501通过后第二手部对302朝向橡皮布BL上升，另一方面，由于转印辊501的接近，第三手部对303下降到退避位置的状态。另外，图9C示出转印辊501通过第三手部对303的位置，第三手部对303朝向橡皮布BL上升，另一方面，处于转印辊501前方的第四手部对304开始向退避位置下降的状态。此外，图9C中的附图标记θ表示转印辊501与橡皮布BL相抵接的抵接区域的上游侧端部，即已剥离区域与未剥离区域之间的边界处，版PP与橡皮布BL所成的夹角。

另外，图10A示出在转印辊501通过后的第四手部对304上升，另一方面，第五手部对305朝向退避位置下降，另外第三手部对303一边吸附着橡皮布BL一边下降的状态。进一步地，图10B示出转印辊501通过第五手部对305的位置并到达版PP的+Y侧端部附近的状态。在该状态下，从橡皮布BL向版PP的图案转印大致结束。

如图10C所示，当转印辊501到达版PP的+Y侧端部或者比版PP的+Y侧端部更靠+Y侧的结束位置时，就版PP的整体来讲，完成了与橡皮布BL的抵接以及剥离。为了一直到转印辊501到达版PP的+Y侧端部都维持橡皮布BL的姿势，在与版PP的+Y侧相比更靠+Y侧，需要设置支撑橡皮布BL的第六手部对306。

当转印辊到达结束位置时，使转印辊501停止移动，并且使转印辊501向下方移动来离开橡皮布BL。此处，将橡皮布BL的下表面中的转印辊501最后所抵接的位置称为“抵接结束位置”。进一步地，将各手部对301～306定位于相同的高度。

在这个时刻，处于橡皮布BL与版PP完全分离，被橡皮布支撑机构300的各手部对301～306支撑的状态。此外，在通过版PP进行的图案成形工序完成的时刻，还具有继续通过手部对的吸附垫进行吸附来向基板SB印刷的印刷工序。另一方面，就上载物台71来讲，向上方离开并将图案成形后的版PP搬出回收。此外，虽然对实施利用版PP进行的图案成形工序的情况进行了说明，但是在对基板SB进行的印刷工序的情况下，解除手部对的吸附垫的吸附，使吸附垫后退到后退位置。然后，借助机器人将形成有二次图案层的基板SB运送至加热装置900进行烘干，使二次图案层固化，并且将在印刷工序中使用的橡皮布BL运送至回收装置(省略图示)。

D.图案形成以及图案印刷动作

下面，参照图1、图11A至图11C、图12A至图12B，对如上述构成的图案印刷系统1中实施的各步骤进行说明。图11A至图11C为示意地示出图5所示的借助转印剥离装置的图案成形工序的图。此外，在图11A至图11C(以及以后进行说明的图14A至图14C)中，为了明确示出构成通过涂敷装置100形成的一次图案层L1的图案PT1的特征，并且明确示出一次图案层L1与二次图案层L2之间的关系，有些夸张地示出各部分的尺寸、间隔，这些并不表示实际的尺寸关系。对于这一点，后面说明的实施方式中也同样。

在图案印刷系统1中，省略图示的运送机器人如图1中箭头AR1所示，将未使用的橡皮布BL搬入涂敷装置100中，载置在载物台110上。然后，呈条纹状涂敷墨水来在橡皮布BL的表面形成线条图案PT1。从而，在橡皮布BL的表面形成有由条纹状的图案PT1构成的一次图案层L1(涂敷步骤S1)。如图1中的箭头AR2所示，通过运送机器人将该橡皮布BL从涂敷装置100运送至转印剥离装置200，将担载有第一图案层L1的担载面朝上地装载在橡皮布保持机构300上。此外，在该实施方式中，涂敷装置100形成与最终印刷在基板SB上的条纹状的图案PT2(参照图11C)相比宽度更宽的条纹状的图案PT1。这是考虑到涂敷装置100形成的图案PT1的膜厚特性。

图12A以及图12B为示出通过图2的涂敷装置在橡皮布的表面涂敷的条纹状的图案的膜厚特性的曲线图，图12A示出图案PT1的纵剖面形状的膜厚轮廓，图12B示出图案PT1的横剖面形状的膜厚轮廓。图12A以及图12B中的各曲线图的横轴表示位置，纵轴表示膜厚。根据这些曲线图可知，图案PT1的周边部具有肩状，无法保证膜厚的均匀性。与此相对，在从周边部向中央部侧一定距离的区域，膜厚的变动抑制在5％以下，表现出优良的膜厚均匀性。在此，在本实施方式中，如图11A至图11C所示，使用版PP来形成二次图案层L2，并且，利用转印剥离装置200以图案PT1的对应的图案在版PP上预先形成有凸部PJ。更具体地，如以下所述实施图案成形工序。

如图1中的箭头AR3所示，将版PP搬入转印剥离装置200，将形成有凸部PJ的转印面朝下，通过上载物台71保持版PP，并且将担载有第一图案层L1的担载面朝上地通过橡皮布保持机构300保持橡皮布BL(图11A)。然后，保持凸部PJ与第一图案层L1彼此相向的状态，将版PP与橡皮布BL的间隔调整为预定的间隙G。接下来，对版PP与橡皮布BL进行对位。

在本实施方式中，在版PP的转印面上，在Y方向上以间距Db设有3组凸部PJ对，就每组凸部PJ对而言，一对凸部PJ在Y方向上分离预定的间距Da。此处，间距Da以及间距Db根据图案PT1的各部分尺寸设定。即，当将图案PT1的周边部，也即将肩部PT1s的Y方向尺寸设置为宽度Ws，图案PT1的Y方向尺寸设定为宽度Wt，则图案PT1的中央部，即膜厚均匀的平坦部PT1f的Y方向的宽度Wf为Wf＝Wt-2×Ws。

其中，在本实施方式中，将一对凸部PJ的间距Da设定为Da＝Wf＝Wt-2×Ws。

另外，在Y方向上，使凸部PJ对的间距Db与图案PT1的间距Dc相一致。进一步地，将各凸部PJ在Y方向的宽度Wj设定为比肩部PT1s在Y方向的宽度Ws宽。因此，如上所述，通过对版PP与橡皮布BL进行对准调整，凸部PJ的下表面与各自对应的图案PT1的肩部PT1s相向，并且一对凸部PJ夹着的空间与各自对应的图案PT1的平坦部PT1f相向。

然后，在实施了对准调整之后，如上所述，通过使转印辊501的移动动作与手部对的移动动作关联进行，如图11B所示，使局部的橡皮布BL与版PP相互紧贴，将一次图案层L1的一部分，即将肩部PT1s转印至凸部PJ的下表面(一次转印步骤S2)。另外，如图11C所示，紧接着该转印工作，使相互紧贴着的橡皮布BL与版PP剥离，来使构成肩部PT1s的墨水从橡皮布BL转移至凸部PJ(第一剥离步骤S3)。因此，在橡皮布BL的表面仅残留平坦部PT1f，这是成为新的图案PT2，构成二次图案层L2。

当对整个版PP完成了图案成形工序时，继续通过手部对的吸附垫对橡皮布BL进行吸附，另一方面，就上载物台71来讲使其向上方离开，搬出回收图案成形后的版PP。此外，就回收的版PP来讲可以在实施清洗处理后再利用，也可以就这样废弃。

如图1中的箭头AR4所示，版PP搬出后，将基板SB搬入转印剥离装置200中，以将应该印刷图案的被印刷面朝下的方式通过上载物台71保持基板SB。这样，被印刷面与橡皮布BL的表面上所担载的二次图案层L2相向。然后，与图案成形工序同样地实施间隙调整、对位、转印以及剥离。即，保持着被印刷面与二次图案层L2彼此相向的状态，将基板SB与橡皮布BL的间隔调整为预定的间隙G。接下来，对基板SB和橡皮布BL进行对位。然后通过使转印辊501的移动动作与手部对的移动动作关联进行，使橡皮布BL与基板SB紧贴，将构成二次图案层L2的图案PT2(平坦部PT1f)转印至基板SB的下表面(被印刷面)(二次转印步骤S4)。另外，紧接着该转印动作，使相互紧贴的橡皮布BL与基板SB剥离，将图案PT2从橡皮布BL转移至基板SB的被印刷面(第二剥离步骤S5)。因此，在基板SB上印刷二次图案层L2。

当对整个基板SB的印刷工序结束时，解除手部对的吸附垫对橡皮布BL的吸附，橡皮布BL从转印剥离装置200搬出并用回收装置回收。另一方面，就上载物台71来讲使其向上方离开，并将印刷有二次图案层L2的基板SB如图1中的箭头AR5所示运送至加热装置900，通过该加热装置900将基板SB烘干，使构成二次图案层L2的图案PT2固化(烘干步骤S6)。然后，在烘干处理后，从加热装置搬出运送至下一个工序装置。

E.作用效果

如上所述，根据第一实施方式，在橡皮布BL的表面涂敷墨水形成一次图案层L1后，使用版PP对一次图案层L1进行图案成形来形成二次图案层L2。因此，虽然构成一次图案层L1的图案PT1的一部分(肩部PT1s)变得无用，成为舍弃对象，但是与JP特开2011-216917号公报所记载的在橡皮布BL的整个表面上涂敷墨水再进行图案成形的发明相比，能够控制应该舍弃的墨水量。即，能够用更少的墨水量形成期望的二次图案层L2。另外，通过如这样限制墨水消耗量，能够降低具有二次图案层L2的基板SB的制造成本。

另外，在第一实施方式中，一边从喷嘴131呈液柱状连续喷出墨水，一边使喷嘴131与橡皮布BL相对移动，来在橡皮布BL的表面形成图案PT1。因此，图案PT1的膜厚均匀性良好，将该图案PT1进行图案成形得到的图案PT2(PT1f)的膜厚也是均匀的。特别是，由于通过第一转印步骤S2以及第一剥离步骤S3去除图案PT1的肩部PT1s，仅由平坦部PT1f形成二次图案层L2，所以能够形成高品质的二次图案层L2。

这样，在本实施方式中，由涂敷步骤S1、第一转印步骤S2以及第一剥离步骤S3构成的图案成形工序相当于本发明的“图案形成方法”以及“图案形成步骤”的一个例子。另外，第二转印步骤S4以及第二剥离步骤S5的组合相当于本发明的“印刷步骤”的一个例子，它们与涂敷步骤S1、第一转印步骤S2以及第一剥离步骤S3组合相当于本发明的“图案印刷方法”的一个例子。

另外，在本实施方式中，涂敷装置100相当于本发明的“涂敷单元”的一个例子。另外，转印剥离装置200实现本发明的“转印单元”以及“剥离单元”的功能。而且，将涂敷装置100以及转印剥离装置200组合而成的系统相当于本发明的“图案形成系统”以及“图案形成单元”的一个例子。当然，也可以取代转印剥离装置200，而是将仅进行转印处理的转印装置设置为本发明的“转印单元”，并且将仅进行剥离处理的剥离装置设置为本发明的“剥离单元”。另外，不仅限定于使用辊构件(在本实施方式中为转印辊501)的转印方式和剥离方式，也可以使用例如JP特开2011-216917号公报所记载的发明中采用的转印方式。关于这些方面在后面的实施方式中也同样。

F.其他

此外，本发明不仅限定于上述实施方式，只要不脱离其宗旨，除了上述的方式以外，也能够进行各种改变。例如，在上述第一实施方式中，如图1所示，通过转印剥离装置200进行第一转印步骤S2、第一剥离步骤S3、第二转印步骤S4以及第二剥离步骤S5，但是也可以准备两台转印剥离装置，用其中的一台进行第一转印步骤S2和第一剥离步骤S3，用另一台进行第二转印步骤S4和第二剥离步骤S5。另外，还可以取代两台转印剥离装置200当中的至少一台，将仅进行转印处理的转印装置设置为本发明的“转印单元”，并且将仅进行剥离处理的剥离装置设置为本发明的“剥离单元”。

另外，在上述实施方式中，通过转印剥离装置200实施图案成形工序，来将具有版PP上形成的图案的反转图案PT2的二次图案层L2形成于橡皮布BL上，也可以将具有与版PP上形成的凸部PJ的图案相同的图案的二次图案层L2形成于版PP。然后，可以将二次图案层L2从版PP转印至基板SB来进行图案印刷。以下，参照图13、图14A、图14B以及图14C，对本发明的第二实施方式进行说明。

图13为示意地示出安装有本发明的图案形成系统的第二实施方式的图案印刷系统的结构以及动作的图。第二实施方式与第一实施方式的最大不同点在于，将具有与凸部PJ相同的图案的二次图案层L2形成于版PP上，以及使用版印刷装置400将版PP担载的二次图案层L2印刷在基板SB的表面上，其他的结构基本上与第一实施方式相同。因此，对相同结构标上相同的附图标记并省略说明。另外，版印刷装置400为将凸部PJ上附着的墨水转印至基板SB的被印刷面上来向基板SB印刷墨水的装置，结构以及动作为以往公知的，所以省略说明。以下，参照图13、图14A、图14B以及图14C，说明如上所述构成的图案印刷系统1所实施的各步骤。

图14A至图14C为示意地示出第二实施方式的图案成形工序的图。在第二实施方式中，与第一实施方式同样地实施图案成形工序。即，省略图示的运送机器人如图13中的箭头AR1所示，将未使用的橡皮布BL搬入涂敷装置100，并装载在载物台110上。然后，呈条纹状地涂敷墨水来在橡皮布BL的表面形成线条图案PT1。这样，将由条纹状的图案PT1构成的一次图案层L1形成于橡皮布BL的表面(涂敷步骤S1)。如图13中的箭头AR2所示，通过运送机器人，将该橡皮布BL从涂敷装置100运送至转印剥离装置200，以担载有第一图案层L1的担载面朝上的方式装载于橡皮布保持机构300上。但是，在第二实施方式中，形成与第一实施方式相同的二次图案层，但是二次图案层不是形成于橡皮布BL上，而是形成于版PP上。因此，在第二实施方式中，版PP的转印面上预先设置有具有与第一实施方式不同的图案的凸部PJ。更加详细地，如图14A所示，在版PP的转印面上以与图案PT1的间距Dc相同的间距Db形成有凸部PJ。另外，各凸部PJ在Y方向上的宽度Wj与图案PT1的平坦部PT1f在Y方向上的宽度Wf一致。

下面，保持着凸部PJ与第一图案层L1彼此相向的状态，将版PP与橡皮布BL的间距调整为预定的间隙G。接下来，对版PP与橡皮布BL进行对位。这样，如图14A所示，凸部PJ分别与相对应的图案PT1的平坦部相向。

然后，如上所述，通过使转印辊501的移动动作与手部对的移动动作相关联地进行，如图14B所示，使橡皮布BL与版PP局部相互紧贴，将一次图案层L1的一部分，即平坦部PT1f转印至凸部PJ的下表面(一次转印步骤S2)。另外，紧接着该转印动作，如图14C所示，使相互紧贴的橡皮布BL与版PP剥离，将构成平坦部PT1f的墨水从橡皮布BL转移至凸部PJ。(第一剥离步骤S3)。结果，在版PP的转印面上仅转印平坦部PT1f，这形成为新的图案PT2，构成二次图案层L2。另一方面，在橡皮布BL的表面上仅残留肩部PT1s。

当对整个版PP完成了图案成形工序时，解除手部对的吸附垫对橡皮布BL的吸附，并且就上载物台71来讲使其向上方离开，如图13中的箭头AR4所示，将图案成形后的版PP运送至版印刷装置400。此外，就回收的橡皮布BL来讲，可以在实施清洗处理后再利用，也可以就这样废弃。

具有二次图案层L2的版PP向版印刷装置400运送的前后，如图13中的箭头AR5所示，将基板SB搬入版印刷装置400。然后，通过版印刷装置400使版PP与基板SB紧贴，来将构成二次图案层L2的图案PT2(平坦部PT1f)转印至基板SB的表面(被印刷面)(二次转印步骤S4)。另外，紧接着该转印动作，使相互紧贴的版PP与基板SB剥离，将图案PT2从版PP转移至基板SB的被印刷面(第二剥离步骤S5)。结果，在基板SB上印刷有二次图案层L2。

当对整个基板SB完成了印刷工序时，从版印刷装置400搬出版PP并用回收装置回收，并且如图13B中的箭头AR6所示，将印刷有二次图案层L2的基板SB运送至加热装置900，通过该加热装置900烘干基板SB，使构成二次图案层L2的图案PT2固化(烘干步骤S6)。然后，在烘干处理后，从加热装置900搬出运送至下一个工序装置。

如上所述，在第二实施方式中，能够与第一实施方式达到同样的作用效果，即使用很少的墨水量将期望的二次图案层L2形成于版PP上，降低具有二次图案层L2的基板SB的制造成本。另外，能够使构成二次图案层L2的图案PT2具有良好的膜厚均匀性，能够制造具有高品质的图案层L2的基板SB。在这样的第二实施方式中，实施第二转印步骤S4以及第二剥离步骤S5的版印刷装置400相当于本发明的“印刷单元”的一个例子。

另外，虽然在上述实施方式中将本发明的图案形成系统布局于图案印刷系统1内，但是也可以与图案印刷系统1分离独立的形式布局图案形成系统。

另外，虽然在上述实施方式中由条纹状的图案构成一次图案层L1以及二次图案层L2，但是本发明不仅限定于形成条纹状图案的情况。即，对于任何形状，例如块状、岛状等图案形成于担载体或者版上的所有图案形成技术以及使用该技术在基板上印刷上述图案的所有图案印刷技术，本发明都能够适用。

另外，虽然上述实施方式中，通过转印剥离装置进行转印步骤和剥离步骤，但是也可以用分别不同的装置进行转印步骤和剥离步骤。即，也可以用转印装置使担载体与版紧贴来进行转印，将相互紧贴的担载体以及版一体地运送至剥离装置，用该剥离装置进行剥离步骤。

进一步地，虽然在上述实施方式中，将本发明应用于将包含有机EL材料的墨水作为涂敷液形成图案的图案形成技术以及将利用该图案形成技术形成的图案印刷至有机EL显示器用的基板SB上的技术，但是本发明的适用范围并不仅限定于此。即，对使用涂敷液形成期望的图案的所有图案形成技术以及使用该技术在基板上印刷上述图案的所有图案印刷技术，本发明都能够适用。

本发明能够适用于，使形成有凸部的版的转印面与涂敷有涂敷液的橡皮布等担载体的表面相互紧贴后再使版和担载体剥离来形成期望的图案的图案形成技术，以及使用该图案形成技术的所有图案印刷技术。

Claims (10)

1.一种图案形成方法，其特征在于，包括：

涂敷步骤，从相对于平板状的担载体的表面移动的喷嘴朝向所述担载体的所述表面呈液柱状连续喷出涂敷液，来形成由条纹状的图案构成的一次图案层，

第一转印步骤，在使版的形成有与所述一次图案层对应的凸部并且由凸部与凸部形成的凸部对的间距与所述一次图案层的条纹状的图案的间距一致的转印面与所述担载体的形成有所述一次图案层的所述表面相向的状态下，使所述担载体与所述版相互紧贴，将所述一次图案层的一部分转印至所述凸部，以及

第一剥离步骤，使相互紧贴的所述担载体和所述版剥离，在所述担载体上形成二次图案层；

在所述第一转印步骤中，使所述凸部的下表面分别与所述一次图案层的对应的图案的肩部相向，并且使一对所述凸部夹着的空间分别与所述一次图案层的对应的图案的平坦部相向，由此将所述一次图案层的所述肩部转印至所述凸部，

在所述第一剥离步骤中，使转印至所述凸部的所述一次图案层的所述肩部从所述担载体的所述表面剥离，对所述一次图案层进行图案成形，来在所述担载体的所述表面上形成由所述图案的平坦部构成的所述二次图案层。

2.如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述第一转印步骤中，通过将所述担载体局部地推向所述版侧，使所述一次图案层的一部分与所述凸部相抵接，来将所述一次图案层的一部分转印至所述凸部。

3.如权利要求2所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述第一转印步骤中，一边使辊构件与所述担载体的担载有所述一次图案层的一个面的相反侧的另一个面相抵接，将所述担载体局部地推向所述版侧，一边使所述辊构件沿着与所述一个面平行的方向移动。

4.一种图案印刷方法，其特征在于，包括：

图案形成步骤，使用权利要求1所述的图案形成方法，形成二次图案层，

印刷步骤，将所述二次图案层转印形成于基板上。

5.如权利要求4所述的图案印刷方法，其特征在于，

在所述图案形成步骤的所述第一转印步骤中，将构成所述一次图案层的图案的周边部转印至所述版的所述凸部，

在所述图案形成步骤的所述第一剥离步骤中，使所述图案的转印至所述凸部的所述周边部从所述担载体的所述表面剥离，对所述一次图案层进行图案成形，来在所述担载体的所述表面上形成所述二次图案层，

在所述印刷步骤中，实施第二转印步骤和第二剥离步骤，

在所述第二转印步骤中，在使基板的表面与所述担载体的形成有所述二次图案层的所述表面相向的状态下，使所述担载体与所述基板相互紧贴，来将所述二次图案转印至所述基板的所述表面，

在所述第二剥离步骤中，使相互紧贴的所述担载体与所述基板剥离，来在所述基板上形成所述二次图案层。

6.如权利要求4所述的图案印刷方法，其特征在于，

在所述图案形成步骤的所述第一转印步骤中，将构成所述一次图案层的图案的中央部转印至所述版的所述凸部，

在所述图案形成步骤的所述第一剥离步骤中，使所述图案的转印至所述凸部的所述中央部从所述担载体的所述表面剥离，来在所述版的所述凸部上形成所述二次图案层，

在所述印刷步骤中，实施第二转印步骤和第二剥离步骤，

在所述第二转印步骤中，在使基板的表面与所述版的形成有所述二次图案层的所述凸部相向的状态下，使所述版与所述基板相互紧贴，来将所述二次图案层转印至所述基板的所述表面，

在所述第二剥离步骤中，使相互紧贴的所述版与所述基板剥离，来在所述基板上形成所述二次图案层。

7.一种图案形成系统，其特征在于，具有：

涂敷单元，使用于呈液柱状连续喷出涂敷液的喷嘴相对于平板状的担载体的表面移动，来在所述担载体的所述表面上形成由条纹状的图案构成的一次图案层，

转印单元，在版的形成有与所述一次图案层对应的凸部并且由凸部与凸部形成的凸部对的间距与所述一次图案层的条纹状的图案的间距一致的的转印面与所述担载体的形成有所述一次图案层的所述表面相向的状态下，该转印单元使所述担载体与所述版相互紧贴，来将所述一次图案层的一部分转印至所述凸部，以及

剥离单元，使相互紧贴的所述担载体与所述版剥离，来在所述担载体上形成二次图案层；

所述转印单元使所述凸部的下表面分别与所述一次图案层的对应的图案的肩部相向，并且使一对所述凸部夹着的空间分别与所述一次图案层的对应的图案的平坦部相向，由此将所述一次图案层的所述肩部转印至所述凸部，

所述剥离单元使转印至所述凸部的所述一次图案层的所述肩部从所述担载体的所述表面剥离，对所述一次图案层进行图案成形，来在所述担载体的所述表面上形成由所述图案的平坦部构成的所述二次图案层。

8.一种图案印刷系统，其特征在于，

具有与权利要求7所述的图案形成系统相同的结构的图案形成单元，

将由所述图案形成单元形成的所述二次图案层转印至基板的被印刷面，来印刷二次图案层。

9.如权利要求8所述的图案印刷系统，其特征在于，

使用所述图案形成单元印刷所述二次图案层，

在使所述基板的所述被印刷面与所述担载体的形成有所述二次图案层的所述表面相向的状态下，所述转印单元使所述担载体与所述基板相互紧贴，来将所述二次图案层转印至所述被印刷面，

所述剥离单元使相互紧贴的所述担载体与所述基板剥离，来在所述被印刷面上印刷二次图案层。

10.如权利要求8所述的图案印刷系统，其特征在于，

具有印刷所述二次图案的印刷单元，

在所述基板的所述被印刷面与所述版的形成有所述二次图案层的所述凸部相向的状态下，所述印刷单元使所述版与所述基板相互紧贴，将所述二次图案层转印至所述被印刷面，所述图案形成单元的所述剥离单元使相互紧贴的所述版和所述基板剥离，来在所述被印刷面上印刷二次图案层。