CN104070780B - 转印装置以及转印方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的转印装置以及转印方法。通过能够彼此独立升降的多个手对支撑用于担载图案的橡皮布。要被转印图案的基板吸附保持在上载物台的下表面上。一边通过转印辊推起橡皮布来使其与基板抵接，一边使转印辊在Y方向移动。在转印辊的前方侧（移动方向上的下游侧），随着转印辊的接近，手对依次下降，从而避免与转印辊发生干涉。在转印辊的后方侧（移动方向上的上游侧），手对在再次抵接于橡皮布之后，一边吸附保持橡皮布一边下降，从而使橡皮布与基板剥离。

Description

转印装置以及转印方法

技术领域

本发明涉及将担载在担载体上的被转印物转印至转印介质的转印装置以及转印方法。

背景技术

存在如下的在玻璃基板、半导体基板等基板上形成薄膜或图案（pattern）（下面，称为“图案等”）的技术，即，使用于担载图案等的担载体紧贴在转印介质上来转印图案等（例如，参照日本特开2002-036499号公报）。另外，为了完成图案等的转印，需要使上述那样紧贴的担载体和转印介质剥离来再次分离。例如在日本特开2008-287949号公报中记载了以这样的剥离为目的的技术。

如上述现有技术那样，目前彼此独立地研究了使担载体和转印介质紧贴来转印图案等的工艺技术和使转印之后的担载体和转印介质剥离的工艺技术。

在实际的图案形成工艺中，必须需要转印工序和剥离工序这两者。但是，在如上述那样在不同的处理装置中分别进行转印工艺和剥离工艺的情况下，需要在处理装置之间搬运处理对象物，而且在一个处理装置中进行处理的过程中，另一个处于等待状态，目前还没有达到高效地进行从转印到剥离的一系列工艺。另外，需要设置两个处理装置，因此存在使装置成本以及设置空间变大的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种，能够连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的技术。

为了达到上述目的，本发明的转印装置，具有：

担载体保持单元，其具有多个保持部，多个所述保持部分别抵接于平板 状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载被转印物，

保持部驱动机构，其使多个所述保持部分别独立地向与所述另一面接近的方向以及从所述另一面离开的方向移动，

转印介质保持单元，其保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向，

辊构件，其呈棍状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向，通过与所述另一面相抵接来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而一边使所述被转印物抵接于所述转印面，一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向移动；

多个所述保持部沿着所述第二方向排列，在多个所述保持部上分别设置有用于吸附所述另一面的吸附部，

随着所述辊构件的移动，各所述保持部依次从所述担载体离开并移动至不与所述辊构件发生干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持部之后，所述保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面，一边通过所述吸附部吸附所述担载体，一边向从所述担载体离开的方向移动。

另外，为了达到上述目的，本发明的转印方法，包括：

第一工序，使多个保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载有被转印物；

第二工序，保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向；

第三工序，使辊构件与所述另一面相抵接，来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而使所述被转印物抵接于所述转印面，所述辊构件形成为辊状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向；

第四工序，使所述辊构件一边与所述另一面相抵接一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向上移动，并且，随着所述辊构件的移动，使多个所述保持部依次从所述担载体离开而移动至不与所述辊构件干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持体之后，使该保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面；

第五工序，一边通过抵接于所述另一面的所述保持部保持所述担载体，一边使所述保持部向从所述担载体离开的方向移动。

在上述发明中，用于担载被转印物的担载体和要被转印被转印物的转印介质接近并相向，通过辊构件使担载体局部地向转印介质侧发生变位来使被转印物抵接于转印介质，并且在该状态下使辊构件沿着担载体移动。由此，能够使担载在担载体上的所有被转印物紧贴在转印介质上。

担载体被多个保持部保持，并且随着辊构件的移动而使保持部按顺序移动至退避位置，从而避免与担载体的另一面相抵接的保持部、和一边与担载体的另一面抵接一边向第二方向移动的辊构件发生干涉。

另一方面，在辊构件的移动方向上且在辊构件的上游侧、即因辊构件通过而使担载体和转印介质隔着被转印物紧贴的一侧，再次抵接的保持部一边保持担载体一边向离开方向移动。因此，担载体向从转印介质离开的方向移动，从而使两者剥离。一边使辊构件与担载体抵接一边使担载体与转印介质分离，从而能够控制剥离的进行。

这样，本发明的保持部，具有在使被转印物抵接于转印介质之前维持担载体的姿势的功能，并且具有在抵接之后使担载体从转印介质离开的功能。另一方面，辊构件兼备使被转印物抵接于转印介质的功能和控制剥离的进行的功能。根据具有这样的结构的本发明，能够利用一体的装置连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物的动作以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的动作。

在上述发明中，例如也可以具有如下结构，即，在第二方向上且在辊构件的下游侧与另一面抵接的保持部中的最上游侧的保持部，从担载体离开并移动至退避位置，在辊构件通过该保持部之后，使该保持部再次抵接于另一面，另一方面，在第二方向上且在辊构件的上游侧抵接于另一面的保持部，从上游侧依次一边维持对另一面的吸附，一边向从担载体离开的方向移动。

为了使辊构件通过，使辊构件的移动方向（第二方向）上的下游侧的保持部移动至退避位置，但是此时仅使位于辊构件的下游侧的保持部中的最上游侧的保持部离开。由此，能够在辊构件抵接之前维持担载体的姿势，因此能够防止在被转印物抵接于转印介质之前担载体和转印介质之间产生位置偏移的情况。

另外，例如也可以具有如下结构，即，辊构件在抵接开始位置抵接于担载体并移动至抵接结束为止，该抵接开始位置是指，在第二方向上比另一面的上游侧端部靠下游的位置，该抵接结束为止是指，在第二方向上比另一面的下游侧端部靠上游且比抵接开始位置靠下游的位置；在抵接开始位置和抵接结束位置之间设置有多个保持部，而且，在第二方向上并在抵接开始位置的上游侧以及抵接结束位置的下游侧分别设置有至少一个保持部。

为了一边维持在隔着被转印物与转印介质抵接之前的担载体的姿势、一边使抵接之后的担载体从转印介质离开，在辊构件的移动范围、即在抵接开始位置和抵接结束位置之间需要多个保持部。另一方面，为了在辊构件的移动范围外也保持担载体的姿势并可靠地从转印介质进行剥离，优选在辊构件的移动范围的上游侧以及下游侧分别配置至少一个保持部。

另外，例如也可以具有如下结构，即，各保持部在从担载体离开之前解除吸附，在再次抵接之后再次进行吸附。在解除吸附之后使保持部离开，从而避免随着保持部移动而随带担载体的情况。在该情况下，例如也可以在再次抵接之后以比解除之前更强的吸附力吸附担载体。对于在要隔着被转印物与转印介质抵接之前的担载体，只要能够维持担载体的姿势即可。另一方面，为了使转印介质从担载体离开，需要强的吸附保持力，因此优选使再次抵接之后的吸附力比解除吸附之前的吸附力更大。

为了能够实现上述吸附力，例如也可以具有如下结构，即，保持部具有沿着第一方向延伸且与另一面相抵接的抵接面，并且在该抵接面上设置有用于配设作为吸附部的吸附垫的凹部，吸附垫能够后退位置和吸附位置之间进退，所述后退位置是指，与抵接面相比后退至凹部内的位置，所述吸附位置是指，前进至与抵接面同一个面或者从抵接面进一步前进的位置。通过使移动至吸附位置的吸附垫与担载体的另一面抵接，能够用比较强的吸附力吸附保持担载体。另一方面，通过使吸附垫后退至后退位置来与担载体分离，避免因强的吸附力而使担载体局部变形的情况。

另外，例如也可以在各保持部上沿着第一方向设置有多个吸附部。另外，吸附部也可以是将第一方向作为长度方向的细长的形状。在上述结构中，使在使担载体从转印介质离开时的吸附力沿着第一方向分散，从而能够防止担载体在第一方向上弯曲。

另外，就在比辊构件靠上游侧进行的剥离而言，例如也可以在辊构件移动的过程中与该动作并行进行。即，在本发明的转印方法中，也可以在执行第四工序的过程中执行第五工序。在这样的结构中，在辊构件的下游侧，进行使被转印物抵接于转印介质的动作，另一方面，在上游侧，与上述动作并行地进行使担载体从转印介质剥离的动作。因此，能够连续地在短时间内使担载体和转印介质抵接以及剥离。另外，辊构件对剥离的进行控制最有效地发挥作用。

另外，也可以在使担载体和转印介质相向配置之后，使多个保持部一体地向与担载面平行的方向移动来对担载体和转印介质进行对位。在这样的结构中，能够提高向转印介质转印被转印物的转印位置精度，从而能够向转印介质的恰当位置转印被转印物。

根据本发明，一边通过保持部维持担载体的姿势一边使辊构件抵接于担载体，从而使担载在担载体上的被转印物抵接于转印介质，在辊构件通过之后，保持部使担载体从转印介质离开，从而进行剥离。因此，能够在一个装置中连续并高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物的动作以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的动作。

附图说明

图1是示出本发明的一个实施方式的转印装置的概略结构的图。

图2是示出图1的转印装置的主要部分的图。

图3A至图3C是更详细地示出手前端的结构的放大图。

图4是示出本实施方式的转印处理的流程图。

图5A至图5C、图6A至图6C、图7A至图7C是示意性地示出转印处理中的装置各部的位置关系的图。

图8A以及图8B是示出本发明的转印装置的其它结构例的图。

其中，附图标记说明如下：

1：转印装置

71：上载物台（转印介质保持单元）

94：手升降控制部（保持部驱动机构）

300：橡皮布保持机构（担载体保持单元）

301～306：手对（保持部）

311、316、321、326、331、336、341、346、351、356、361、366：手

311a：（手311的）上表面311a（抵接面）

311b：贯通孔（凹部）

311c：贯通孔（吸附部）

312、317、322、327、332、337、342、347、352、357、362、367：升降机构（保持部驱动机构）

313：吸附垫（吸附部）

501：转印辊（辊构件）

S101、S103：第二工序

S102：第一工序

S104：第六工序

S106：第三工序

S107、S108、S110：第四工序

S111：第五工序

BL：橡皮布（担载体）

SB：基板（转印介质）

具体实施方式

图1是示出本发明的一个实施方式的转印装置的概略结构的图。另外，图2是示出图1的转印装置的主要部分的图。为了统一下面各图中的方向，如图1所示那样设定XYZ正交坐标轴。在此，XY平面表示水平面，Z轴表示铅垂轴。更详细地说，+Z方向表示铅垂朝上方向。

该转印装置1是用于在使以彼此分离的状态被搬入的两张板状体紧贴之后再次使上述两张板状体分离的装置。例如在玻璃基板、半导体基板等基板的表面上形成规定图案的图案形成工序的一部分中被使用。更具体地说，在该图案形成工序中，在暂时担载应该向作为被转印体的基板转印的图案的作为担载体的橡皮布表面上，均匀地涂敷图案形成材料（涂敷工序），使根据图案形状进行了表面加工的版接触于橡皮布上的涂敷层，从而对涂敷层进行图案成形（图案成形工序），使这样形成有图案的橡皮布紧贴于基板上（转 印工序），从而最终从橡皮布向基板转印图案。

此时，在图案成形工序中，包括在使版和橡皮布紧贴之后剥离的工艺，另外，在转印工序中，包括在使基板和橡皮布紧贴之后剥离的工艺。为了达成上述目的，能够优选利用本装置。本装置当然可以用于上述两者，也可以在除了这些之外的用途中被使用。本装置例如也能够用于将担载于担载体的薄膜转印至基板的转印工艺中。

下面，以在上述转印工序、即将形成在橡皮布上的图案转印至基板的工艺中利用该转印装置1的情况为前提进行说明。但是，即使在被用于图案成形工序中的情况下，装置结构以及动作也基本相同，只要将下面的说明中的“基板”替换为版即可。

该转印装置1具有：橡皮布保持部3，其安装于在框体上安装的基座部11上，用于保持橡皮布BL；转印辊部5，其安装在基座部11上；基板保持部7，其配置在上述构件的上部，用于保持基板SB。在图1中，为了示出装置的内部结构而省略图示框体。另外，除了上述各部之外，该转印装置1还具有用于控制各部的控制部9。

橡皮布保持部3的结构为，多个升降手单元沿着X方向以及Y方向排列在定位载物台30上。更具体地说，多个（在该例子中为6个）升降手单元310、320、330、340、350、360在定位载物台30的+X侧端部沿着Y方向排列。另外，数量相同的升降手单元315、325、335、345、355、365在定位载物台30的-X侧端部沿着Y方向排列。

各升降手单元的结构相同。例如升降手单元310具有：手311，上部沿着水平方向（X方向）延伸，通过使上表面抵接于橡皮布BL的下表面来从下方支撑橡皮布BL；手升降机构312，其支撑该手311，并且使该手311沿着上下方向（Z方向）升降。手升降机构312根据来自在控制部9上设置的手升降控制部94的控制信号使手311升降。

其它升降手单元也同样，这里，对升降手单元315、320、325、330、335、340、345、350、355、360、365所具有的手分别标注附图标记316、321、326、331、336、341、346、351、356、361、366。另外，对升降手单元315、320、325、330、335、340、345、350、355、360、365所具有的手升降机构分别标注附图标记317、322、327、332、337、342、347、352、357、362、 367。

配置于定位载物台30的+X侧端部的升降手单元310、320、330、340、350、360的手的前端分别朝向-X侧，另外，配置于定位载物台30的-X侧端部的升降手单元315、325、335、345、355、365的手的前端分别朝向+X侧。即，配置于+X侧端部的升降手单元和配置于-X侧端部的升降手单元以使手朝内的方式相向配置。

配置于定位载物台30的+X侧端部以及-X侧端部的最靠-Y侧的升降手单元310、315，在Y方向上配置在相同位置上。因此，升降手单元310的手311和升降手单元315的手316在Y方向上位于相同位置。另外，上述手311、316总是彼此定位于相同高度（Z方向位置）上，根据来自手升降控制部94的控制信号一体升降。即，在Y方向上的位置相同的一对升降手单元310、315形成手单元对（第一手单元对）31。

同样地，Y方向位置彼此相同的升降手单元320、325形成第二手单元对32，升降手单元330、335形成第三手单元对33，升降手单元340、345形成第四手单元对34，升降手单元350、355形成第五手单元对35，升降手单元360、365形成第六手单元对36。

通过使设置在各升降手单元310～365上的手311～366定位于相同高度，上述手311～366能够一体地将橡皮布BL保持为水平姿势。此外，各手单元对所包括的一对手（例如手单元对31中的一对手311、316）总是位于相同的高度，另一方面，在不同的手单元对之间，手升降控制部94能够独立地控制不同的手单元对所包括的手的高度。在图2中，作为一例而示出第二手单元对32的手321、326比其它手更靠下方的状态。

在下面的说明中，将第N手单元对（N=1～6）所包括的一对手称为“第N手对”。即，将第一手单元对31所包括的一对手311、316称为“第一手对”并标注附图标记301。同样地，将第二手单元对32所包括的一对手321、326称为第二手对302、将第三手单元对33所包括的一对手331、336称为第三手对303、将第四手单元对34所包括的一对手341、346称为第四手对304，将第五手单元对35所包括的一对手351、356称为第五手对305，将第六手对单元36所包括的一对手361、366称为第六手对306。另外，将上述手对301～306的集合体总称为“橡皮布保持机构”，并标注附图标记300。

如图2所示，6对手单元对31～36中的、除了位于Y方向上的两端部的手单元对之外的中央部的手单元对32～35如下配置，即，上述手单元对所包括的手321～356分散配置在与基板SB的平面尺寸相对应的区域上。另一方面，位于Y方向上的两端部的手单元对31、36配置于，上述手单元对所包括的手311、316、361、366抵接于橡皮布BL的Y方向上的端部附近的下表面的位置上。

另外，定位载物台30被安装在基座部11上的多个定位机构37支撑。定位机构37是例如由交叉滚子轴承（cross roller bearings）形成的可动机构。通过根据来自控制部9的定位控制部95的控制信号使多个定位机构37协同动作，能够使定位载物台30在XY平面（水平面）内以及围绕Z轴（铅垂轴）在规定范围内移动。

在定位载物台30上还设置有在从基座部11立设的柱构件（省略图示）上安装的两台定位照相机381、382。定位照相机381、382以朝上的方式设置，对预先形成在橡皮布BL上的定位标记进行拍摄。定位控制部95根据上述定位照相机381、382的拍摄结果检测橡皮布BL的位置，根据需要使定位机构37动作，从而在装置内调整橡皮布BL的位置。

另外，在基座部11上还设置有转印辊部5。转印辊部5具有：导轨51，其固定在基座部11上，且沿着Y方向延伸设置；辊单元50，其能够沿着导轨51且沿着Y方向自由移动。

辊单元50具有转印辊501、支撑机架502、支撑脚503、基座部504。转印辊501是沿着X方向延伸设置且将X方向作为轴向的圆柱状辊构件。支撑机架502支撑转印辊501的在X方向上的两端部并且该转印辊501能够自由旋转。支撑脚503支撑支撑机架502且在该支撑机架502的在X方向上的大致中央部朝下延伸。基座部504支撑支撑脚503并且与导轨51卡合来沿着Y方向移动。支撑脚503的在X方向上的尺寸小于构成各手对的手的前端之间的间隔。虽然省略图示，但是基座部504具有用于使支撑脚503升降的升降机构。通过使支撑脚503升降，使被该支撑脚503支撑的转印辊501沿着Z方向移动，使该转印辊501以与被橡皮布保持机构300保持的橡皮布BL接近/分离的方式移动。基座部504沿着导轨51在Y方向上的移动以及基座部504对支撑脚503的升降，通过设置在控制部9上的辊驱动部93控 制。

另一方面，基板保持部7具有：上载物台71，其下表面为具有与基板SB大致相同的平面尺寸的保持平面；载物台升降机构72，其使上载物台71沿着上下方向（Z方向）升降。虽然省略图示，但是在上载物台71的下表面上设置有作为用于吸附保持基板SB的机构的吸附孔、吸附槽以及吸附垫中的至少一种，设置在控制部9上的负压供给部92所供给的负压经由控制阀921作用于该吸附机构。因此，能够在上载物台71的下表面上吸附保持基板SB的上表面。

载物台升降机构72根据来自控制部9的上载物台控制部91的控制信号使上载物台71升降。由此，使保持在上载物台71上的基板SB在接近位置和分离位置之间移动，其中，所述接近位置指，与被橡皮布保持机构300保持的橡皮布BL的上表面接近并相向的位置，所述分离位置指，向上方显著离开橡皮布BL的位置。

图3A至3C是更详细地示出手前端的结构的放大图。在此，代表性地对手311的结构进行说明，但是如上所述，各手311～366的结构均相同。如图3A所示，在沿着X方向延伸的手311的前端部中，上表面311a被加工成平坦而成为用于与橡皮布BL下表面相抵接的抵接面，并且贯穿设置有开口直径不同的两种贯通孔。更详细地说，在手311上沿着X方向以一定间隔设置有开口直径比较大的多个第一贯通孔311b。在各贯通孔311b中插入有上端313a例如由硅酮橡胶那样的弹性构件形成的吸附垫313。各吸附垫313经由控制部9的控制阀922与负压供给部92相连接。

各吸附垫313能够通过未图示的驱动机构一体升降，能够在后退位置和吸附位置之间移动，其中，所述后退位置指，如图3B所示那样吸附垫313的上端313a后退至手311的上表面（抵接面）311a的下方的位置，所述吸附位置指，如图3C所示那样吸附垫313的上端313a前进至手311的上表面311a的上方的位置。在吸附垫313定位于吸附位置时，通过负压供给部92所供给的负压，能够用吸附垫313强有力地吸附保持橡皮布BL。

另一方面，另一种贯通孔311c是开口直径小于贯通孔311b的开口直径的贯通孔，设置在如上述那样沿着X方向以相等间隔排列的贯通孔311b之间。贯通孔311c经由控制部9的控制阀923与负压供给部92相连接。因此， 通过向各贯通孔311c供给负压，使各贯通孔311c发挥用于吸附橡皮布BL的下表面的吸附孔的功能。各贯通孔311c吸附橡皮布BL的力小于吸附垫313吸附橡皮布BL的力。

这样，在手311上一并设置发挥吸附孔的功能的贯通孔311c和吸附垫313，通过分别独立地向贯通孔311c和吸附垫313供给负压，能够将通过手311吸附橡皮布BL的吸附力设定为多个级别。

接着，对于上述那样构成的转印装置1的动作进行说明。如上所述，该转印装置1在使用于担载图案的橡皮布BL和应该被转印该图案的基板SB紧贴之后，使上述橡皮布BL和基板SB剥离，从而将图案从橡皮布BL转印至基板SB。下面，对于该转印处理进行说明，而通过版对担载有图案形成材料的薄膜的橡皮布BL进行图案成形时的动作也基本相同。

图4是示出本实施方式的转印处理的流程图。另外，图5A至5C、图6A至6C、图7A至7C是示意性地示出转印处理各阶段中的装置各部的位置关系的图。此外，在图5A至图7C中，为了明确表示各部的位置关系，将各部的尺寸、间隔局部夸大来表示，这些并不表示实际的尺寸关系。

首先，将要被转印图案的作为转印介质的基板SB搬入装置内，以使要被转印图案的转印面朝下的方式装载在上载物台71上（步骤S101）。接着，将担载应该转印至基板SB的图案的橡皮布BL以使担载图案的担载面朝上的方式装载在橡皮布保持机构300上（步骤S102）。此时，各手的吸附垫313位于图3B所示的后退位置，通过作用于贯通孔311c的负压吸附保持橡皮布BL。此外，装载的顺序可以与上述顺序相反，但是通过使搬入在上表面上担载图案的橡皮布BL在装载基板SB之后，能够避免在装载基板SB时损坏橡皮布BL上的图案或者异物落到橡皮布BL上的不良情况。

图5A示出将基板SB以及橡皮布BL搬入装置之后的状态。在进行上述搬入动作时，上载物台71定位于向上方显著离开橡皮布保持机构300的位置，由此能够通过在上载物台71和橡皮布保持机构300之间开放得大的空间搬入基板SB。另一方面，在搬入橡皮布BL时，通过使各手对301～306定位于上升的位置，能够通过用于支撑橡皮布BL的下表面的搬送用手搬入橡皮布BL。另外，通过使各手对位于相同高度，能够将橡皮布BL保持为水平姿势。

当这样搬入基板SB以及橡皮布BL时，上载物台71下降，使基板SB和橡皮布BL隔开规定的间隙接近并相向（步骤S103）。为了实现该目的，优选在搬入之前测量基板SB以及橡皮布BL的厚度。如图5B所示，此时调整的基板SB和橡皮布BL之间的间隙G例如为数百μm左右。

接着，执行用于使基板SB和橡皮布BL对位的定位调整（步骤S104）。例如能够如下面那样进行定位调整。在基板SB以及橡皮布BL的彼此相向的两处以上的位置上分别预先形成定位标记，通过定位照相机381、382分别拍摄在被搬入装置并接近配置的基板SB和橡皮布BL上分别形成的定位标记。由此，掌握基板SB和橡皮布BL之间的相对的位置关系，因此通过定位机构37使定位载物台30移动来使上述位置关系与预先规定的位置关系一致，从而对基板SB和橡皮布BL之间的相对位置进行调整。

为了将形成在橡皮布BL上的图案转印至基板SB的恰当位置，只要对基板SB和橡皮布BL、更具体地说对基板SB和橡皮布BL上的图案进行相对的对位即可。另外，能够在两处以上设置定位标记，并通过多个定位照相机分别拍摄上述定位标记来进行定位调整，从而能够进行更高精度的对位。尤其是，对于围绕Z轴的旋转方向上的位置偏移，例如利用在基板SB上距离远的两点、例如利用设置在对角附近的两个定位标记来进行定位调整是有效的。

接着，使转印辊部5的转印辊501定位于规定的初始位置（步骤S105）。如图5B所示，转印辊501的初始位置是，在上下方向上从橡皮布BL向下方离开的位置，并且是在Y方向上位于第一手对301和第二手对302之间并位于基板SB的-Y侧端部的正下方的位置。此外，转印辊501可以从最初就位于该位置，另外也可以在搬入橡皮布BL等时从橡皮布保持机构300退避，而在搬入之后移动至初始位置。

然后，转印辊501向上方移动来与橡皮布BL的下表面相抵接（步骤S106），如图5C所示，推起橡皮布BL来使该橡皮布BL与基板SB相抵接。将橡皮布BL下表面中的转印辊501此时所抵接的位置称为“抵接开始位置”。在橡皮布BL上担载有图案时，图案紧贴在基板SB上。接着，转印辊501保持与橡皮布BL相抵接的状态开始向+Y方向移动（步骤S107），然后以恒定速度向+Y方向移动。由此，橡皮布BL和基板SB相抵接的区域向+Y 方向扩展。

将从转印辊501观察的+Y侧称为转印辊501移动（行进）的移动方向（行进方向）的前方或者下游侧。另外，将从转印辊501观察的-Y侧称为转印辊501的移动方向的后方或者上游侧。

接着，使位于转印辊501的上游侧的第一手对301的吸附垫上升至图3C所示的吸附位置，并供给来自负压供给部92的负压来开始通过吸附垫进行吸附，并且使第一手对301开始下降（步骤S108）。通过一边利用吸附垫强有力地吸附橡皮布BL一边使手对301下降，如图6A所示那样将橡皮布BL的-Y侧端部拉向下方。由此，橡皮布BL和基板SB之间从基板SB的-Y侧端部开始逐渐地分离，两者开始剥离。

之后，转印辊501向+Y方向移动，但是在前方，各手对302～306支撑着橡皮布BL下表面，与转印辊501的移动发生干涉。为了避免上述情况，使各手对按照转印辊501的移动情况下降，使各手对退避至不与转印辊501发生干涉的退避位置。具体如下。

对应于第N手对（N=2～5），将用于规定应该使该手对开始下降的时机的转印辊501的位置预先规定为下降开始位置。该下降开始位置意味着，若在向+Y方向移动的转印辊501到达该下降开始位置时开始使第N手对下降，则能够使第N手对在转印辊501到达之前退避至不与转印辊501发生干涉的退避位置。

各手对具有如下功能，即，通过从下方与橡皮布BL相抵接来将橡皮布BL保持为水平姿势，并且将橡皮布BL与基板SB之间的间隙G保持为恒定。因此，若使手对下降的时机过早，则因橡皮布BL弯曲而产生间隙变动。为了避免上述情况，优选下降开始位置为，在转印辊501和手对之间不产生干涉的范围内尽量接近手对的位置。

当转印辊501到达这样设定的下降开始位置（步骤S109）时，使与该下降开始位置相对应的第N手对开始下降（步骤S110）。在即将开始下降之前解除通过设置在该手对上的吸附孔进行的吸附。由此，能够防止橡皮布BL追随手对的下降而发生弯曲的情况。若通过利用了弹性构件的吸附垫进行吸附，则从停止供给负压起到完全解除吸附为止存在时间延迟，由此手对可能以吸附橡皮布BL的状态下降，但是通过由吸附孔进行吸附能够避免该问题。

图6A示出第二手对302下降至退避位置的状态。退避位置是如手上表面位于比转印辊501的支撑机架502的下表面更靠下方那样的手在Z方向上的位置。构成第二手对302的手321、326的前端部在X方向上彼此分离，因此转印辊501的支撑脚503能够通过手之间的间隙移动。并且，转印辊501以及支撑机架502通过手的上方。因此，避免转印辊501和第二手对302之间的干涉。

通过这样使第二手对302退避，能够使转印辊501进一步向+Y方向移动。在转印辊501通过之后，使第二手对302再次上升来再次抵接于橡皮布BL的下表面上（步骤S111）。上升的同时，第二手对302的手321、326的吸附垫向吸附位置移动，开始供给来自负压供给部92的负压。由此，再次抵接于橡皮布BL的下表面上的第二手对302，通过吸附垫比分离之前更强有力地吸附橡皮布BL。在开始通过吸附垫吸附之后，第二手对302再次下降。由此，在转印辊501的上游侧进一步向下方拉动橡皮布BL，进一步进行与基板SB之间的剥离。

对于在更下游侧配置的手对也同样。即，直到转印辊501到达比基板SB的+Y侧端部更靠+Y侧的结束位置为止，反复进行步骤S109～S111的处理（步骤S112），从而在转印辊501接近对应于该手对而设定的下降开始位置的时机，使各手对303～305从橡皮布BL下表面离开并下降至退避位置。然后，在转印辊501通过之后，各手对303～305再次上升来吸附橡皮布BL之后，再度向下方移动。就下降之后的手对而言，在该手对到达从基板SB向下方充分离开的位置且橡皮布BL开始被位于更靠下游侧的手对剥离，则停留在该位置也可。

图6B示出在转印辊501通过之后第二手对302朝向橡皮布BL上升，另一方面随着转印辊501接近而第三手对303下降至退避位置的状态。另外，图6C示出转印辊501通过第三手对303的位置且第三手对303朝向橡皮布BL上升，另一方面位于转印辊501的前方的第四手对304开始向退避位置下降的状态。

另外，图7A示出在转印辊501通过之后第四手对304上升，另一方面第五手对305朝向退避位置下降并且第三手对303一边吸附橡皮布BL一边下降的状态。而且，图7B示出转印辊501通过第五手对305的位置来到达基板SB的+Y侧端部附近的状态。在该状态下，大致结束从橡皮布BL向基板SB转印图案的动作。

如图7C所示，当转印辊501到达基板SB的+Y侧端部或者比该位置更靠+Y侧的结束位置时，结束橡皮布BL对整个基板SB的抵接以及剥离。为了维持橡皮布BL的姿势直到转印辊501到达基板SB的+Y侧端部为止，需要在比基板SB的+Y侧端部更靠+Y侧支撑橡皮布BL的第六手对306。

当转印辊501到达结束位置(步骤S112)时，使转印辊501停止移动(步骤S113)，并且使转印辊501下方移动来与橡皮布BL分离。这里，将橡皮布BL下表面中的、转印辊501最后所抵接的位置称为“抵接结束位置”。而且，各手对301～306定位于相同的高度。

在该时刻，橡皮布BL与基板SB完全分离，橡皮布BL处于被橡皮布保持机构300的各手对301～306支撑的状态。当结束剥离时，解除通过手对的吸附垫进行的吸附，使吸附垫后退至后退位置(步骤S114)。然后，上载物台71向上方离开，将转印图案之后的基板SB以及橡皮布BL分别搬出(步骤S115)，从而结束转印处理。

在从转印辊501侧观察转印处理中的各手对的动作时则如下。在转印辊501的移动方向上的前方侧，位于最跟前即最上游侧的手对在转印辊501接近至规定距离时下降，从而让出转印辊501的移动路线。另一方面，在转印辊501的后方即、移动方向上的上游侧，下降至退避位置的手对上升来再次抵接于橡皮布BL上，通过吸附并拉动橡皮布BL来使该橡皮布BL与基板SB剥离。

这样，随着转印辊501的移动，在转印辊501的移动方向上的前方(下游侧)使手对依次下降，从而确保转印辊501的移动路线。另外，在转印辊501和橡皮布BL相抵接的抵接位置上，将担载在橡皮布BL的上表面上的图案按压于基板SB上，从而将图案转印至基板SB。另一方面，在转印辊501的移动方向上的后方(上游侧)，通过手对一边吸附保持紧贴在基板SB上的橡皮布BL一边向下方拉动该橡皮布BL，从而使该橡皮布BL与基板SB剥离。这样，在转印辊501的上游侧以及下游侧，与该转印辊501的移动同步地使各手对上下移动，从而在本实施方式中能够同时进行从橡皮布BL向基板SB转印图案的动作和从基板SB剥离橡皮布BL的动作。

在这期间，在转印辊501的移动方向（行进方向）上的下游侧，在转印辊501即将到达之前，手对支撑橡皮布BL，从而能够恰当地维持橡皮布BL和基板SB之间的间隙。因此，能够防止因间隙变动而使橡皮布BL的推起量发生变化导致图案的转印位置偏移的情况。即，该转印装置1能够在不损伤图案的情况下良好地从橡皮布BL向基板SB转印图案。

另外，在转印辊501的移动方向上的上游侧，从位于上游侧的手对开始依次一边吸附保持橡皮布BL一边下降，从而使橡皮布BL与基板SB剥离。从橡皮布BL的上游侧朝向下游侧向一个方向进行剥离，另外通过手对的下降速度来控制剥离的进行速度，因此能够良好地进行基板SB和橡皮布BL之间的剥离，防止因剥离的进行速度变动而引起的图案的损伤。因此，该转印装置1能够在不损伤图案的情况下良好地使进行了图案转印之后的橡皮布BL与基板SB剥离。

尤其，随着转印辊501的移动（行进），通过在转印辊501的上游侧最接近转印辊501的手对吸附橡皮布BL来使其与基板SB剥离，从而能够使基板SB和橡皮布BL在转印辊501和橡皮布BL相抵接的抵接区域的上游侧端部、即已剥离区域和未剥离区域之间的边界所形成的角（例如图6C中的角θ）大致恒定。由此，能够一边将使两者分离的剥离力保持大致恒定一边进行剥离。这样能够防止因剥离力变动而应力集中作用于图案的局部的情况，能够更良好地进行剥离。

即，在本实施方式中，手311～366兼备如下功能：在转印辊501的移动方向上的前方（下游）侧，维持橡皮布BL的姿势以及橡皮布BL与基板SB之间的间隙的功能；在转印辊501的移动方向上的后方（上游）侧，使橡皮布BL与基板SB剥离的作为剥离单元的功能。另外，转印辊501兼备如下功能：使橡皮布BL与基板SB接触来转印图案的作为本来的转印辊的功能；用于控制在转印辊501的移动方向上的上游侧执行的基板SB和橡皮布BL之间的剥离的进行的作为剥离控制辊的功能。

并且，在本实施方式中，将从橡皮布BL向基板SB转印图案的动作和使转印之后的两者剥离的动作并行进行。由此，能够在短时间内连续高效地结束从转印至剥离的一系列图案形成工艺，从而能够提高图案形成的生产率。另外，能够利用一体的装置进行转印和剥离，与在不同的装置进行上述 两种处理的以往的装置相比，能够使装置的占用面积大幅度变小。尤其是，由于手以及转印辊分别兼备用于转印的功能和用于剥离的功能，因此能够用与仅执行转印或者剥离的一个功能的装置相同程度的尺寸实现两个功能。

如上面说明，在本实施方式中，橡皮布BL相当于本发明的“担载体”，用于担载作为“被转印物”的图案的橡皮布BL的上表面相当于“担载面”，该橡皮布BL的下表面相当于“另一面”。并且，基板SB相当于本发明的“转印介质”，基板SB的下表面相当于“转印面”。另外，在本实施方式中，X方向相当于本发明的“第一方向”，另一方面，Y方向相当于“第二方向”。

另外，在上述实施方式中，各手对301～306分别发挥本发明的“保持部”的功能，作为这些集合体的橡皮布保持机构300相当于本发明的“担载体保持单元”。另外，升降机构312、317、322、327、332、337、342、347、352、357、362、367以及手升降控制部94作为一体来发挥本发明的“保持部驱动机构”的功能。并且，手311的上表面311a相当于本发明的“抵接面”，贯通孔311b发挥本发明的“凹部”的功能，另外，贯通孔311c以及吸附垫313发挥本发明的“吸附部”的功能。另外，在上述实施方式中，转印辊501发挥本发明的“辊构件”的功能。

另外，在上述实施方式中，图4的步骤S102相当于本发明的“第一工序”，步骤S101、S103相当于本发明的“第二工序”。另外，步骤S106相当于本发明的“第三工序”。另外，步骤S107、步骤S108、S110相当于本发明的“第四工序”，另一方面，S111相当于本发明的“第五工序”。而且，步骤S104相当于本发明的“第六工序”。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离其宗旨的范围内能够进行除了上述内容之外的各种变更。例如，在上述实施方式中，使由沿着X方向排列的一对升降手单元形成的手单元对沿着Y方向排列多对。这是基于需要使转印辊501的支撑脚503通过而形成的结构，并不限定于这样的结构。例如也可以具有如下结构。

图8A以及8B是示出本发明的转印装置的其它结构例的图。在图8A所示的例子中，设置有两个沿着Y方向延伸的导轨201、201，并且导轨201、201在X方向上的位置不同，用于分别支撑转印辊202的两端部的支撑构件 203分别与导轨201相卡合。通过这样的机构，能够使转印辊202沿着Y方向移动。在该情况下，不需要在手之间形成使转印辊的支撑脚通过的空间。因此，能够通过沿着X方向连续延伸的手211～216支撑橡皮布BL。并且，随着转印辊202移动而使沿着Y方向排列的多个手211～216升降，从而能够与上述实施方式同样地进行转印处理。

另外，在图8B的例子中，具有与上述实施方式同样的辊单元50，但是代替沿着X方向延伸的手，通过沿着X方向排列多个的支撑构件221支撑橡皮布BL。在设置在各支撑构件221的上表面上的凹部内具有吸附垫222。一边将沿着X方向排列的多个支撑构件221维持为相同高度，一边使沿着Y方向排列的各支撑构件221依次升降，从而能够与上述实施方式同样地进行转印处理。这样，用于保持橡皮布BL的保持部不仅能由沿着X方向延伸的构件实现，也可以由沿着X方向排列的多个构件实现。

另外，例如，在上述实施方式中，在朝向基板SB推起橡皮布BL之前进行定位调整，但是也可以省略该处理。即，在能够在搬入基板SB以及橡皮布BL时确保充分的位置精度的情况或不需要高的对位精度的情况下，也可以省略定位调整。另外，在图案成形工序中使用本装置的情况下，若形成在橡皮布BL上的定位标记采用与图案相同的材料且与图案同时进行图案成形，则不会在应该转印至基板SB的图案和定位标记之间产生位置偏移。因此，不需在图案成形工序中精密地对版和橡皮布进行对位，从而能够省略定位调整。

另外，例如，在上述实施方式中，在进行剥离之后搬出基板SB和橡皮布BL，但是有时将橡皮布BL留置于装置内是有效的。即，在本转印装置1中进行通过版对橡皮布BL上的图案形成材料进行图案成形的图案成形工序和将进行了图案成形的图案从橡皮布BL转印至基板SB的转印工序的情况下，在留置进行了图案成形的橡皮布BL的状态下搬出版，接着搬入基板SB来进行转印，这样不需在这期间搬出橡皮布BL。

另外，例如如图6B所示那样，在上述实施方式中，在暂时与橡皮布分离的手对再次抵接于橡皮布之前，在该手对的下游侧与该手对相邻的手对开始下降。另一方面，也可以考虑在暂时下降的手对再次抵接于橡皮布之后使下一手对开始下降的方式，来代替上述方式。这些应该主要根据装置的机构 上的限制，例如手的升降速度以及行程、排列间距、转印辊的尺寸和移动速度等来适当选择，本发明并不限定于某个方式。

另外，例如，在上述实施方式中，设置共计6对手对来作为本发明的保持部，但是保持部的数量并不限定于此，能够根据橡皮布（担载体）的尺寸和刚性来适当进行增减。其中，为了保持转印辊不抵接的担载体的两端部的姿势，优选在转印辊的移动范围的上游侧以及下游侧分别设置最少一个保持部。另外，为了顺畅地在转印辊移动的过程中维持橡皮布的姿势以及顺畅地从基板剥离橡皮布，优选在转印辊的移动范围内设置至少两个保持部。当然能够通过使保持部的数量变多来进行细致的姿势控制以及剥离控制，但是这样使保持部的排列间距变小。因此，需要使几个保持部同时下降，从而可能降低使数量变多的意义，另外，当然使控制变得复杂。

另外，例如，在上述实施方式中，在手311等上设置有用于以比较小的吸附力吸附保持所搬入的橡皮布BL的发挥吸附孔的功能的贯通孔311c。例如也可以在使吸附垫313后退至贯通孔311b内的后退位置来使该吸附垫313与橡皮布BL下表面分离的状态下作用负压，从而使贯通孔311b发挥吸附孔的功能来代替上述结构。

另外，上述实施方式的控制部9具有负压供给部92，但是在例如能够利用工厂设备等外部所供给的负压的情况下，控制部9也可以不具有负压供给部。

本发明能够适用于从担载被转印物的担载体向转印介质转印该被转印物的技术中。尤其，能够以良好的品质且短时间内进行通过使担载体和转印介质紧贴之后剥离担载体和转印介质进行的被转印物的转印，另外，能够使装置变小。此外，被转印物并不限定于图案，例如也可以是保护膜、抗蚀膜这样的薄膜。

Claims (13)

1.一种转印装置，其特征在于，

具有：

担载体保持单元，其具有多个保持部，多个所述保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载有被转印物，

保持部驱动机构，其使多个所述保持部分别独立地向与所述另一面接近的方向以及从所述另一面离开的方向移动，

转印介质保持单元，其保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向，

辊构件，其呈辊状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向，通过与所述另一面相抵接来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而一边使所述被转印物抵接于所述转印面，一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向移动；

多个所述保持部沿着所述第二方向排列，在多个所述保持部上分别设置有用于吸附所述另一面的吸附部，

随着所述辊构件的移动，各所述保持部依次从所述担载体离开并移动至不与所述辊构件发生干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持部之后，所述保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面，一边通过所述吸附部吸附所述担载体，一边向从所述担载体离开的方向移动。

2.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于，

所述保持部驱动机构使在所述第二方向上且在所述辊构件的下游侧与所述另一面抵接的所述保持部中的最上游侧的所述保持部，从所述担载体离开并移动至所述退避位置，在所述辊构件通过最上游侧的所述保持部之后，使最上游侧的所述保持部再次抵接于所述另一面，另一方面，所述保持部驱动机构使在所述第二方向上且在所述辊构件的上游侧与所述另一面抵接的所述保持部，从上游侧依次一边维持所述吸附部对所述另一面的吸附，一边向从所述担载体离开的方向移动。

3.根据权利要求1或2所述的转印装置，其特征在于，

所述辊构件在抵接开始位置抵接于所述担载体，并移动至抵接结束位置，其中，该抵接开始位置是指，在所述第二方向上比所述另一面的上游侧端部靠下游的位置，该抵接结束位置是指，在所述第二方向上比所述另一面的下游侧端部靠上游且比所述抵接开始位置靠下游的位置，

在所述抵接开始位置和所述抵接结束位置之间设置有多个所述保持部，而且，在所述第二方向上并在所述抵接开始位置的上游侧以及所述抵接结束位置的下游侧分别设置有至少一个所述保持部。

4.根据权利要求1或2所述的转印装置，其特征在于，

在各所述保持部中，在通过所述保持部驱动机构使所述保持部移动而从所述担载体离开之前，所述吸附部解除吸附，在所述保持部再次抵接所述担载体之后，所述吸附部再次进行吸附。

5.根据权利要求4所述的转印装置，其特征在于，

所述吸附部在再次抵接之后，以比解除之前更强的吸附力吸附所述另一面。

6.根据权利要求5所述的转印装置，其特征在于，

各所述保持部具有沿着所述第一方向延伸且与所述另一面相抵接的抵接面，并且在该抵接面上设置有用于配设作为所述吸附部的吸附垫的凹部，所述吸附垫能够在后退位置和吸附位置之间进退，所述后退位置是指，与所述抵接面相比后退至所述凹部内的位置，所述吸附位置是指，前进至与所述抵接面同一个面或者从所述抵接面进一步前进的位置。

7.根据权利要求1或2所述的转印装置，其特征在于，

在各所述保持部上沿着所述第一方向设置有多个所述吸附部。

8.一种转印方法，其特征在于，

包括：

第一工序，使多个保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载有被转印物；

第二工序，保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向；

第三工序，使辊构件与所述另一面相抵接，来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而使所述被转印物抵接于所述转印面，所述辊构件形成为辊状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向；

第四工序，使所述辊构件一边与所述另一面相抵接一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向上移动，并且，随着所述辊构件的移动，使多个所述保持部依次从所述担载体离开而移动至不与所述辊构件干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持体之后，使该保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面；

第五工序，一边通过抵接于所述另一面的所述保持部保持所述担载体，一边使所述保持部向从所述担载体离开的方向移动。

9.根据权利要求8所述的转印方法，其特征在于，

在所述第四工序中，使在所述第二方向上且在所述辊构件的下游侧与所述另一面相抵接的所述保持部中的最上游侧的所述保持部，从所述担载体离开并移动至所述退避位置，在所述辊构件通过最上游侧的所述保持部之后，使最上游侧的所述保持部再次抵接于所述另一面，另一方面，使在所述第二方向上且在所述辊构件的上游侧与所述另一面相抵接的所述保持部，从上游侧依次一边保持所述担载体一边向从所述担载体离开的方向移动。

10.根据权利要求8或9所述的转印方法，其特征在于，

在执行所述第四工序的过程中执行所述第五工序。

11.根据权利要求8或9所述的转印方法，其特征在于，

各所述保持部通过吸附来保持所述另一面，在所述第四工序中，所述保持部在从所述担载体离开之前解除吸附，所述保持部在再次抵接所述担载体之后再次进行吸附。

12.根据权利要求11所述的转印方法，其特征在于，

各所述保持部在再次抵接所述担载体之后以比解除之前更强的吸附力吸附所述担载体的所述另一面。

13.根据权利要求8或9所述的转印方法，其特征在于，

在所述第二工序和所述第三工序之间还包括第六工序，在第六工序中，使多个所述保持部一体地在与所述担载面平行的方向上移动，来对所述担载体和所述转印介质进行对位。