CN104662418B - 钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法。本发明涉及的钢板检查装置(1)的特征在于,具备:将作为检查对象的钢板(S)的磁畴构造转换为作为光学特性能够检测的光学特性的磁光元件(5)、向磁光元件(5)照射直线偏振光的光源(7)、对与转印到磁光元件(5)的钢板(S)的磁畴构造对应地使偏振面旋转后的直线偏振光进行检测的检测器(12)、以及至少驱动磁光元件(5)以使钢板(S)与磁光元件(5)接触分离的驱动机构。由此,在磁畴细分化处理不久之后对钢板的磁畴构造进行可视化检查由此能够改善成品率。
Description
技术领域
本发明涉及钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法。
背景技术
电磁钢板(electrical steel sheet)是透磁率(magnetic permeability)高铁损少的磁特性优良的钢板。例如,晶粒取向电磁钢板(grain oriented electrical steelsheet)多被用于变压器的铁芯。在缠绕于变压器的铁芯的电线中流动的交流电流使铁芯的内部产生交流磁场。一般来说,在向钢板内施加了交流磁场的情况下,会产生涡流损耗(eddy current loss)与磁滞损耗(hysteresis loss)。对于电磁钢板而言,要求减少上述涡流损耗以及磁滞损耗。
向钢板内施加了交流磁场时的涡流损耗的产生是不可避的,频率越高涡流损耗越大。作为对该涡流损耗造成影响的因素之一,具有钢板的磁畴(magnetic domain)的宽度,该宽度越狭窄,越能减少涡流损耗。这样,公知钢板的磁特性与磁畴的形状有非常深的关系。
因此,在晶粒取向电磁钢板的制造工序中,为了降低涡流损耗而实施将磁畴细分化的方法(磁畴细分化(magnetic domain refining)处理)。晶粒取向电磁钢板的磁畴沿轧制方向延伸,通过在将该磁畴横切的方向上加入变形、形成槽,能够将磁畴细分化。作为加入变形的方法,公知有将激光、电子束等向横切磁畴的方向进行照射,从而给予热变形的方法。为了检查是否适当地实施了该磁畴细分化处理,公知有观察磁畴的形状等磁畴构造(magnetic domain structure)的检查技术(参照专利文献1以及2)。
专利文献1:日本特开2007-101519号公报
专利文献2:日本特开2002-257718号公报
然而,在现有的检查技术中,不能在磁畴细分化处理不久之后立即检测实施了磁畴细分化处理的钢板的磁畴构造,而需要将钢板另行取样进行离线检查。例如,在专利文献1所记载的检查技术中,磁粉在溶液中移动而形成反映磁畴构造的图像是需要时间的。因此,即使在磁畴细分化处理中产生不良情况的情况下,也会因为持续制造不合格产品而产生成品率的降低。另外,专利文献2所记载的检查技术虽然是利用磁光效应的技术,但形成光束点、并对该光束点进行一维或者二维扫描来进行磁畴的检查,所以作为在生产线上的检查,需要长时间的检查时间。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的,其目的在于提供一种在磁畴细分化处理不久之后对钢板的磁畴构造进行可视化检查由此能够改善成品率的钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法。
为了解决上述课题实现上述目的,本发明涉及的钢板检查装置的特征在于,具备:能够将作为检查对象的钢板的磁畴构造作为光学特性检测的磁光元件(magnetoopticdevice);向上述磁光元件照射直线偏振光的光源;对与转印到上述磁光元件的上述钢板的磁畴构造对应地使偏振面旋转后的上述直线偏振光进行检测的检测器;以及至少驱动上述磁光元件以使上述钢板与上述磁光元件接触分离的驱动机构。
为了解决上述课题实现上述目的,本发明涉及的钢板检查方法的特征在于,包括:接触步骤,在该步骤中,使能够将作为检查对象的钢板的磁畴构造作为光学特性检测的磁光元件与上述钢板接触;照射步骤,在该步骤中,向上述磁光元件照射直线偏振光;检测步骤,在该步骤中,检测被上述磁光元件反射的直线偏振光的偏振面的旋转;测定步骤,在该步骤中,根据上述偏振面的旋转来测定上述钢板的磁畴构造;以及分离步骤,在该步骤中,使上述磁光元件从上述钢板分离。
为了解决上述课题实现上述目的,本发明涉及的钢板制造方法的特征在于,包括:磁畴细分化步骤,在该步骤中,向钢板的表面照射电子束或者激光;接触步骤,在该步骤中,使能够将钢板的磁畴构造作为光学特性检测的磁光元件、与照射了上述电子束或者激光的钢板的区域接触;照射步骤,在该步骤中,向上述磁光元件照射直线偏振光;检测步骤,在该步骤中,检测被上述磁光元件反射的直线偏振光的偏振面的旋转;抽取步骤,在该步骤中,抽取通过照射了上述电子束或者激光而形成的磁畴不连续部;宽度评价步骤,在该步骤中,评价上述磁畴不连续部的平均宽度;以及输出调整步骤,在该步骤中,根据上述宽度评价步骤的评价来增减上述电子束或者激光的输出。
本发明涉及的钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法,起到在磁畴细分化处理不久之后对钢板的磁畴构造进行可视化检查由此能够改善成品率的效果。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式涉及的钢板检查装置的配置的生产线结构图。
图2是表示钢板检查装置的检查单元的内部构成例的示意图。
图3是表示磁光元件的构成例的剖视图。
图4是钢板检查装置的驱动机构的侧视图。
图5是钢板检查装置的驱动机构的俯视图。
图6是对本发明的实施方式涉及的钢板检查装置的驱动方式的变形例进行说明的示意结构图。
图7是表示本发明的实施方式涉及的钢板检查方法的流程图。
图8是表示基于本发明的实施方式涉及的钢板检查装置以及钢板检查方法的晶粒取向电磁钢板的检查图像的例子的图像。
图9是表示组装有本发明的实施方式涉及的钢板检查装置的生产线的结构图。
图10是表示本发明的实施方式涉及的钢板制造方法的流程图。
具体实施方式
以下,根据附图对本发明的实施方式涉及的钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法进行详细地说明。此外,并不通过以下说明的实施方式来限定本发明。
钢板检查装置
图1是表示本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1的配置的生产线结构图。如图1所示,本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1配置于进行钢板S的磁畴细分化处理的磁畴细分化装置2的后段。磁畴细分化装置2是内部具备电子枪3,并通过从电子枪3向钢板S照射电子束而在横切钢板S的磁畴的方向上给予热变形的装置。
钢板检查装置1是在生产线暂停时,通过驱动检查单元4而与钢板S接触来检查钢板S的磁畴构造的装置。以下,参照图2~图5对钢板检查装置1的构成例进行说明。
图2是表示钢板检查装置1的检查单元4的内部构成例的示意图。如图2所示,检查单元4具备将钢板S的磁畴构造转换为光学特性的磁光元件5、经由弹性体将磁光元件5固定在检查单元4的支架6、以及向磁光元件5照射直线偏振光并检测从磁光元件5反射的反射偏振光的落射光学系统。即、检查单元4具备光源7、准直透镜8、偏光镜(偏振滤光镜)9、半透半反镜10、检偏镜(偏振滤光镜)11、以及检测器12,作为落射光学系统。
磁光元件5是通过被称为法拉第效应的磁光效应将钢板S的磁畴构造转换为光学特性的元件。法拉第效应是在使直线偏振光透过物质时,通过该物质所感知的磁场来旋转偏振面的效应,作为起到该法拉第效应的代表性的物质,能够列举磁性石榴石(magneticgarnet)。
通过驱动检查单元4,从而磁光元件5与钢板S接触,将钢板S的磁畴构造转印于磁光元件5,使照射于磁光元件5的偏振光的偏振面旋转。此外,支架6为了缓和驱动检查单元4使磁光元件5与钢板S接触时的冲击,而经由弹性体将磁光元件5固定于检查单元4。
光源7是用于向磁光元件5照射直线偏振光的光源,使用例如半导体激光光源或者LED光源等普通光源。光源7无需为直接地射出偏振光的光源,其与偏光镜(偏振滤光镜)9组合产生向磁光元件5照射的直线偏振光。另外,光源7以能够将偏振光作为平行光射出的方式与准直透镜8等光学元件组合使用。
偏光镜9是将从光源7射出的光线转换为直线偏振光的偏振滤光镜。偏光镜9通过调整与检偏镜11的相对角度,来进行由检测器12检测的偏振光的调整。即、偏光镜9具有旋转机构,能够调整直线偏振光的偏振面的角度。此外,在检偏镜11具有旋转机构的情况下,能够省略偏光镜9中的旋转机构。
半透半反镜10是将透过了偏光镜9的直线偏振光导入磁光元件5、并将从磁光元件5反射的反射偏振光导入检测器12的光路分离机构。检偏镜11通过调整与前述偏光镜9的相对角度,进行由检测器12检测的偏振光的调整。检测器12是所谓的CCD照相机或者CMOS照相机等普通的二维图像取得装置。由检测器12检测出的图像被PC等其他图像处理机构13实施适当的图像处理。
此外,通过在图2中未图示的透镜等光学元件,将照射于磁光元件5时的光束直径调整为与磁光元件5的大小一致。此外,磁光元件5到检测器12的光学系统形成为远心光学系统。
图3是表示磁光元件5的构成例的剖视图。如图3所示,磁光元件5沿面对钢板S的方向依次具有保护膜5a、反射膜5b、磁光膜(magnetooptic film)5c、以及基板5d。此外,磁光膜5c优选为组成中包含磁性石榴石。照射于该磁光元件5的偏振光射入基板5d,透过磁光膜5c,被反射膜5b反射,之后,再次透过磁光膜5c以及基板5d,从磁光元件5射出。
图4以及图5是对本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1的驱动方式进行说明的示意结构图。图4是钢板检查装置1的驱动机构的侧视图,图5是钢板检查装置1的驱动机构的俯视图。
如图4以及图5所示,在本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1中,检查单元4能够沿着垂置于钢板S的生产线的两侧的轨道14上下移动。检查单元4被设置为能够通过车轮15在轨道14上移动,在车轮15的车轴16分别设置有马达17。检查单元4通过马达17的旋转驱动而沿着轨道14上下移动。
如图4以及图5所示,检查单元4具备接近传感器18。接近传感器18是用于测定检查单元4与钢板S的表面之间的距离的传感器。本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1在检查单元4下降而使磁光元件5与钢板S的表面接触时,在钢板S的附近以低速下降,以便钢板S的表面以及磁光元件5由于碰撞而受到损伤。接近传感器18检测应该将检查单元4的下降速度变更为低速的高度。
此外,图4以及图5所示的驱动机构只不过是能够用于本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1的一个例子。因此,并不局限于图4以及图5所示的驱动机构,还能够采用绞盘式等其他机构。另外,图4以及图5所示的驱动机构虽然将检查单元4作为一体进行驱动,但也能够构成为只驱动检查单元4所包含的一部分的构成要件,例如只驱动磁光元件5以及支架6。
变形例
图6是对本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1的驱动方式的变形例进行说明的示意结构图。如图6所示,在本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1的驱动方式的变形例中,一边使通板中的钢板S并行一边使钢板S的表面与磁光元件5接触。
如图6所示,检查单元4在接近钢板S的轨道14a以及远离钢板S的轨道14b之上移动。当检查单元4在接近钢板S的轨道14a移动时,检查单元4的磁光元件5与钢板S的表面接触,而成为能够检查钢板S的磁畴构造的状态。另一方面,当检查单元4在远离钢板S的轨道14b移动时,检查单元4的磁光元件5不与钢板S的表面接触,所以检查单元4为了下次检查而向钢板S的通板的上游移动。
此外,如图6所示,接近钢板S的轨道14a与远离钢板S的轨道14b的连接方法虽然可以是切换方式,但也可以为环绕轨道。另外,检查单元4在轨道上移动的动力与图4以及图5所示的驱动方法同样,通过设置于车轮的车轴的马达来供给。此外,检查单元4的内部结构可以与图2所示的检查单元4的内部构成例相同。
钢板检查方法
以下,对本发明的实施方式涉及的钢板检查方法进行说明。此外,在以下的说明中,虽然参照本发明的实施方式涉及的钢板检查装置的结构的附图等来对本发明的实施方式涉及的钢板检查方法进行说明,但本发明的实施方式涉及的钢板检查方法并不被这些附图表示的结构所限定。
图7是表示本发明的实施方式涉及的钢板检查方法的流程图。如图7所示,本发明的实施方式涉及的钢板检查方法在钢板S的生产线停止后的状态下进行(步骤S11)。其中,如上述钢板检查装置1的驱动方式的变形例那样,对于钢板S的生产线不停止的状况下的钢板检查方法的情况而言,还能够采用省略了该步骤S11的实施方式。
接下来,钢板检查装置1的检查单元4下降至钢板S的表面(步骤S12)。通过检查单元4下降至钢板S的表面,从而磁光元件5与钢板S的表面接触,将钢板S的磁畴构造转印于磁光元件5的磁光膜5c。
之后,对钢板S的磁特性(磁畴构造)进行可视化检查(步骤S13)。即、向磁光元件5照射直线偏振光,使直线偏振光通过磁光元件5的磁光膜5c,由此产生基于法拉第效应的偏振面的旋转,检查单元4借助该偏振面的旋转来进行钢板S的磁畴构造的可视化检查。
此外,被可视化的钢板S的磁畴构造被PC等另外的图像处理机构13实施适当的图像处理。图像处理机构13对被可视化的钢板S的磁畴构造的图像,进行磁畴不连续部评价,并检测磁畴与磁畴不连续部的边界。此外,图像处理机构13基于磁光元件5的大小、测定光学系统的倍率、以及到钢板S的距离等,来计算磁畴不连续部的宽度,确认是否成为规定的宽度。
之后,钢板检查装置1的检查单元4从钢板S的表面上升(步骤S14),磁光元件5从钢板S的表面分离。然后,钢板S的生产线的运转重新开始(步骤S15)。
最后,进行对钢板S的磁畴细分化处理的加工范围是否结束的判定(步骤S16),在未结束的情况下(步骤S16;否),反复进行上述步骤S11~S15的处理。另一方面,在钢板S的磁畴细分化处理的加工范围结束后的情况下(步骤S16;是),结束钢板检查。此外,在实际实施了本发明的实施方式涉及的钢板检查方法的情况下,上述步骤S11~S15的处理为1秒左右。
图8是表示基于本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1以及钢板检查方法的晶粒取向电磁钢板的检查图像的例子的图像。此外,图8中所示的图像是截取晶粒取向电磁钢板的检查图像上的轧制方向10mm×板宽方向10mm的图像。
在取得图8中所示的图像时,磁光元件5上的磁光膜5c使用进行了Bi置换的铁石榴石作为磁性石榴石的例子。而且,为了易于辨认基于磁性石榴石的法拉第效应,光源7将绿色LED光源(波长505nm)与偏振滤光镜组合使用,并且检测器12使用CCD照相机。
如图8所示,在晶粒取向电磁钢板上,在照射了电子束或者激光的部分,以断开朝向轧制方向的主磁畴的方式形成有闭合磁畴(closure domain)(以下,磁畴不连续部)。清楚可知磁畴不连续部的宽度与铁损有良好的相关性。磁畴不连续部与周围的磁畴的磁特性不同,从图8可看出,若使用本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1以及钢板检查方法,则能够进行磁畴不连续部的宽度的测定。
具有如下实验结果:当磁畴不连续部的宽度为150μm~300μm时,钢板的铁损变小(例如参照日本特开2012-52230号公报)。另外,被细分化的磁畴的宽度越小,励磁时的磁壁的移动距离越短,与此相伴的损失也越小,例如,优选为使磁畴的宽度为200μm以下。在评价这种磁畴不连续部的宽度、磁畴的宽度的情况下,虽然可以测定各自的宽度,但一般通过针对某个区间测定出的平均值来进行评价。可知图8中所示的磁畴不连续部的宽度约为200μm,并可知形成有适当范围内的磁畴不连续部。这样,若使用本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1以及钢板检查方法,则能够进行钢板S的品质评价。
钢板制造方法
接下来,对本发明的实施方式涉及的钢板制造方法进行说明。
图9是表示组装有本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1的生产线的结构图。如图9所示,本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1配置于进行钢板S的磁畴细分化处理的磁畴细分化装置2的后段。磁畴细分化装置2是内部具备电子枪,并通过从电子枪3向钢板S照射电子束而在横切钢板S的磁畴的方向上给予热变形的装置。
磁畴细分化装置2在钢板S的表面实施磁畴细分化处理,钢板检查装置1检查被磁畴细分化装置2实施了磁畴细分化处理的钢板S的表面。而且,控制机构19根据钢板检查装置1的检查结果来控制磁畴细分化装置2。控制机构19可以是PLC等自动控制装置或者由操作人员实施的手动控制中的任一种。
图10是表示本发明的实施方式涉及的钢板制造方法的流程图。如图10所示,在本发明的实施方式涉及的钢板制造方法中,首先,钢板检查装置1对被磁畴细分化装置2实施了磁畴细分化处理的钢板S的磁特性(磁畴构造)进行可视化检查(步骤S21)。
然后,钢板检查装置1的图像处理机构13对被可视化了的钢板S的磁畴构造的图像,进行磁畴不连续部评价,检测磁畴与磁畴不连续部的边界(步骤S22)。此外,钢板检查装置1的图像处理机构13根据磁光元件5的大小、测定光学系统的倍率、以及到钢板S的距离等,计算规定范围内所包含的磁畴不连续部的平均宽度(步骤S23)。
之后,控制机构19评价磁畴不连续部的平均宽度,判断平均宽度是否在规定宽度范围内(步骤S24)。在平均宽度在规定宽度范围内的情况下(步骤S24;是),因为适当地实施了磁畴细分化处理,所以为了继续钢板S的制造而返回至步骤S21。另一方面,在平均宽度不在规定宽度范围内的情况下(步骤S24;否),对平均宽度与规定宽度进行比较(步骤S25)。
在平均宽度比规定值宽的情况下(步骤S25;平均宽度宽),控制机构19发出降低磁畴细分化装置2的电子枪3的电子束功率的指令(步骤S26),避免已经在相同条件下实施了磁畴细分化处理的钢板S的出厂(步骤S28)。另一方面,在平均宽度比规定值窄的情况下(步骤S25;平均宽度窄),控制机构19发出增加磁畴细分化装置2的电子枪3的电子束功率的指令(步骤S27),避免已经在相同条件下实施了磁畴细分化处理的钢板S的出厂(步骤S28)。
之后,控制机构19对钢板S的生产线的继续操业(重新开始)的可否进行判断(步骤S29)。即、在磁畴不连续部的平均宽度从规定宽度范围内偏离的重要因素中,会存在基于电子枪3的灯丝的寿命的因素、或者基于装置上的不良情况的产生的因素等。因此,控制机构19根据磁畴不连续部的平均宽度从规定宽度范围内偏离的重要因素而对生产线的继续操业的可否进行判断,在能够继续操业的情况下(步骤S29;是),为了继续钢板S的制造而返回至步骤S21。另一方面,在不能够继续操业的情况下(步骤S29;否),为了电子枪3的灯丝的更换等而将生产线停止。
本发明的实施方式涉及的钢板检查装置1具备能够将作为检查对象的钢板S的磁畴构造作为光学特性检测的磁光元件5、向磁光元件5照射直线偏振光的光源7、对与转印到磁光元件5的钢板S的磁畴构造对应地使偏振面旋转后的直线偏振光进行检测的检测器12、以及至少驱动磁光元件5以使钢板S与磁光元件5接触分离的驱动机构,所以在磁畴细分化处理不久之后对钢板S的磁畴构造进行可视化检查,由此能够改善成品率。
另外,本发明的实施方式涉及的磁光元件5沿面对钢板S的方向依次具有保护膜5a、反射膜5b、磁光膜5c、以及基板5d,直线偏振光从基板5d侧射入并被反射膜5b反射,所以射入的直线偏振光在磁光膜5c往复,由此能够取得两倍的法拉第效应。另外,磁光膜5c优选为组成中包含磁性石榴石。
工业上的利用可行性
如以上那样,本发明涉及的钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法能够用于在磁畴细分化处理不久之后对钢板的磁畴构造进行可视化检查的处理。
附图标记说明:
1...钢板检查装置;2...磁畴细分化装置;3...电子枪;4...检查单元;5...磁光元件;5a...保护膜;5b...反射膜;5c...磁光膜;5d...基板;6...支架;7...光源;8...准直透镜;9...偏光镜;10...半透半反镜;11...检偏镜;12...检测器;13...图像处理机构;14、14a、14b...轨道15...车轮;16...车轴;17...马达;18...接近传感器;19...控制机构。
Claims (13)
1.一种钢板检查装置,其特征在于,具备:
能够将作为检查对象的钢板的磁畴构造作为光学特性检测的磁光元件;
向所述磁光元件照射直线偏振光的光源;
对与转印到所述磁光元件的所述钢板的磁畴构造对应地使偏振面旋转后的所述直线偏振光进行检测的检测器;以及
至少驱动对所述磁光元件加以收容的检查单元、以使所述钢板与所述磁光元件接触分离的驱动机构,
所述驱动机构能使所述检查单元分别在接近所述钢板的轨道上和远离所述钢板的轨道上移动,通过使所述检查单元在离所述钢板近的轨道上移动,一边使通板中的所述钢板并行,一边使所述钢板的表面与所述磁光元件接触。
2.根据权利要求1所述的钢板检查装置,其特征在于,
所述磁光元件沿面对所述钢板的方向依次具有保护膜、反射膜、磁光膜、以及基板,
所述直线偏振光从所述基板侧射入并被所述反射膜反射。
3.根据权利要求2所述的钢板检查装置,其特征在于,
所述磁光膜的组成中包含磁性石榴石。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的钢板检查装置,其特征在于,还具备偏光镜、半透半反镜、以及检偏镜,
从所述光源射出的光线按照所述偏光镜、所述半透半反镜、所述磁光元件、所述半透半反镜、所述检偏镜、以及所述检测器的顺序传播。
5.根据权利要求4所述的钢板检查装置,其特征在于,
所述驱动机构通过驱动收容有所述光源、所述偏光镜、所述半透半反镜、所述磁光元件、所述检偏镜、以及所述检测器的检查单元,而使所述钢板与所述磁光元件接触分离。
6.根据权利要求5所述的钢板检查装置,其特征在于,
所述磁光元件经由弹性体固定于所述检查单元。
7.一种钢板检查方法,其特征在于,包括:
接触步骤,在该步骤中,使能够将作为检查对象的钢板的磁畴构造作为光学特性检测的磁光元件与所述钢板接触;
照射步骤,在该步骤中,向所述磁光元件照射直线偏振光;
检测步骤,在该步骤中,检测被所述磁光元件反射的直线偏振光的偏振面的旋转;
测定步骤,在该步骤中,根据所述偏振面的旋转来测定所述钢板的磁畴构造;以及
分离步骤,在该步骤中,使所述磁光元件从所述钢板分离,
所述接触步骤中,使用能使对所述磁光元件加以收容的检查单元分别在接近所述钢板的轨道上和远离所述钢板的轨道上移动的驱动机构,通过使所述检查单元在离所述钢板近的轨道上移动,一边使通板中的所述钢板并行,一边使所述钢板的表面与所述磁光元件接触。
8.根据权利要求7所述的钢板检查方法,其特征在于,
所述磁光元件沿面对所述钢板的方向依次具有保护膜、反射膜、磁光膜、以及基板,
所述直线偏振光从所述基板侧射入并被所述反射膜反射。
9.根据权利要求8所述的钢板检查方法,其特征在于,
所述磁光膜的组成中包含磁性石榴石。
10.一种钢板制造方法,其特征在于,包括:
磁畴细分化步骤,在该步骤中,向钢板的表面照射电子束或者激光;
接触步骤,在该步骤中,使能够将钢板的磁畴构造作为光学特性检测的磁光元件、与照射了所述电子束或者激光的钢板的区域接触;
照射步骤,在该步骤中,向所述磁光元件照射直线偏振光;
检测步骤,在该步骤中,检测被所述磁光元件反射的直线偏振光的偏振面的旋转;
抽取步骤,在该步骤中,抽取通过照射了所述电子束或者激光而形成的磁畴不连续部;
分离步骤,在该步骤中,使所述磁光元件从所述钢板分离;
宽度评价步骤,在该步骤中,评价所述磁畴不连续部的平均宽度;以及
输出调整步骤,在该步骤中,根据所述宽度评价步骤的评价来增减所述电子束或者激光的输出,
所述接触步骤中,使用能使对所述磁光元件加以收容的检查单元分别在接近所述钢板的轨道上和远离所述钢板的轨道上移动的驱动机构,通过使所述检查单元在离所述钢板近的轨道上移动,一边使通板中的所述钢板并行,一边使所述钢板的表面与所述磁光元件接触。
11.根据权利要求10所述的钢板制造方法,其特征在于,
在所述输出调整步骤之后,还包括出厂避免步骤,在该步骤中,避免在增减所述电子束或者激光的输出之前的条件下制造出的所述钢板的出厂。
12.根据权利要求10或11所述的钢板制造方法,其特征在于,
所述磁光元件沿面对所述钢板的方向依次具有保护膜、反射膜、磁光膜、以及基板,
所述直线偏振光从所述基板侧射入并被所述反射膜反射。
13.根据权利要求12所述的钢板制造方法,其特征在于,
所述磁光膜的组成中包含磁性石榴石。
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