JP2014070972A - 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法 - Google Patents

鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2014070972A
JP2014070972A JP2012216379A JP2012216379A JP2014070972A JP 2014070972 A JP2014070972 A JP 2014070972A JP 2012216379 A JP2012216379 A JP 2012216379A JP 2012216379 A JP2012216379 A JP 2012216379A JP 2014070972 A JP2014070972 A JP 2014070972A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
steel plate
magneto
optical element
magnetic domain
steel sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012216379A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5987610B2 (ja
Inventor
Tomohiko Ito
友彦 伊藤
Junichi Yotsutsuji
淳一 四辻
Shigehiro Takagi
重宏 高城
Hiroshi Yamaguchi
山口　　広
Kazuhiro Hanazawa
和浩 花澤
Yasunari Koga
泰成 古賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
JFE Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2012216379A priority Critical patent/JP5987610B2/ja
Application filed by JFE Steel Corp filed Critical JFE Steel Corp
Priority to PCT/JP2013/075944 priority patent/WO2014050907A1/ja
Priority to CN201380050432.7A priority patent/CN104662418B/zh
Priority to US14/425,983 priority patent/US10031068B2/en
Priority to EP13841923.9A priority patent/EP2902778B1/en
Priority to IN2054DEN2015 priority patent/IN2015DN02054A/en
Priority to KR1020157005763A priority patent/KR101722496B1/ko
Priority to RU2015110994/28A priority patent/RU2593435C1/ru
Publication of JP2014070972A publication Critical patent/JP2014070972A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5987610B2 publication Critical patent/JP5987610B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/34—Methods of heating
    • C21D1/38—Heating by cathodic discharges
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D11/00—Process control or regulation for heat treatments
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
    • C21D8/12—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
    • C21D8/12—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties
    • C21D8/1244—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties the heat treatment(s) being of interest
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
    • C21D8/12—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties
    • C21D8/1294—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties involving a localized treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/86—Investigating moving sheets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/032—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/16—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys in the form of sheets
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/34—Methods of heating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/46—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for sheet metals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/86—Investigating moving sheets
    • G01N2021/8609—Optical head specially adapted

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Manufacturing Of Steel Electrode Plates (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Abstract

【課題】磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善をすること。
【解決手段】本発明にかかる鋼板検査装置１は、検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な光学特性へ変換する磁気光学素子５と、磁気光学素子５に直線偏光を照射する光源７と、磁気光学素子５に転写された鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された直線偏光を検出する検出器１２と、鋼板と磁気光学素子５とを接触離脱するように少なくとも磁気光学素子５を駆動する駆動機構とを備えることを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法に関する。
電磁鋼板は、透磁率が高くて鉄損が少ないという磁気特性に優れた鋼板である。例えば、方向性電磁鋼板は、変圧器のコアに多く用いられている。変圧器のコアに巻かれた電線に流れる交流電流は、コアの内部に交流磁場を発生させ、一般に鋼板内に交流磁場が印加された場合には、渦電流損とヒステリシス損とが生じる。電磁鋼板は、これら渦電流損およびヒステリシス損を低減することが要請されている。
鋼板内に交流磁場が印加された際の渦電流損の発生は不可避であり、周波数が高いほど渦電流損は大きくなる。この渦電流損に影響を与える因子の一つとして鋼板の磁区の幅があり、この幅が狭いほど、渦電流損を低減することができる。このように鋼板の磁気特性と磁区の形状とは、非常に深い結びつきがあることが知られている。
そこで、方向性電磁鋼板の製造工程では、渦電流損を低減するために、磁区を細分化する手法（磁区細分化処理）が施されている。方向性電磁鋼板の磁区は圧延方向に延びており、この磁区を横切る方向に歪みを入れたり、溝を形成したりすることにより、磁区を細分化することができる。歪みを入れる方法としては、レーザや電子ビームなどを磁区を横切る方向に照射して、熱歪みを与える方法が知られている。この磁区細分化処理が適切に施されているか否か検査するために、磁区の形状などの磁区構造を観察する技術が知られている（特許文献１および２参照）。
特開２００７−１０１５１９号公報 特開２００２−２５７７１８号公報
しかしながら、従来の検査技術では、磁区細分化処理が施された鋼板の磁区構造を磁区細分化処理直後に直ちに検出することができず、別途鋼板をサンプリングしてオフラインで検査する必要があった。例えば、特許文献１に記載の検査技術では、磁性粉が溶液中を移動して磁区構造を反映した像を形成するのに時間が必要である。このため、磁区細分化処理にて不具合が発生した場合でも、不良品を製造し続けることによる歩留まりの低下が発生してしまう。また、特許文献２に記載の検査技術は、磁気光学効果を利用するものであるが、光ビームスポットを形成して、この光ビームスポットを１次元または２次元走査して磁区の検査を行うので、製造ライン上での検査としては長時間の検査時間が必要となってしまう。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善ができる鋼板検査装置、鋼板検査方法および鋼板製造方法を提供することにある。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板検査装置は、検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子と、前記磁気光学素子に直線偏光を照射する光源と、前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された前記直線偏光を検出する検出器と、前記鋼板と前記磁気光学素子とを接触離脱するように少なくとも前記磁気光学素子を駆動する駆動機構とを備えることを特徴とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板検査方法は、検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を前記鋼板に接触させる接触ステップと、前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、前記偏光面の回転から前記鋼板の磁区構造を測定する測定ステップと、前記磁気光学素子を前記鋼板から離脱させる離脱ステップとを含むことを特徴とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる鋼板製造方法は、鋼板の表面に電子ビームまたはレーザを照射する磁区細分化ステップと、前記電子ビームまたはレーザを照射した鋼板の領域に、磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を接触させる接触ステップと、前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、前記電子ビームまたはレーザを照射したことにより形成された磁区不連続部を抽出する抽出ステップと、前記磁区不連続部の平均幅を評価する幅評価ステップと、前記幅評価ステップによる評価に基づいて前記電子ビームまたはレーザの出力を増加減する出力調整ステップとを含むことを特徴とする。
本発明にかかる鋼板検査装置、鋼板検査方法および鋼板製造方法は、磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善ができるという効果を奏する。
図１は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置の配置を示す製造ライン構成図である。 図２は、鋼板検査装置の検査ユニットの内部構成例を示す模式図である。 図３は、磁気光学素子の構成例を示す断面図である。 図４は、鋼板検査装置の駆動機構の側面図である。 図５は、鋼板検査装置の駆動機構の上面図である。 図６は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置の駆動方式の変形例を説明する概略構成図である。 図７は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法を示すフローチャートである。 図８は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置および鋼板検査方法による方向性電磁鋼板の検査画像の例を示す画像である。 図９は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置を組み入れた製造ラインを示す構成図である。 図１０は、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法を示すフローチャートである。
以下に、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置、鋼板検査方法および鋼板製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態により本発明が限定されるものではない。
〔鋼板検査装置〕
図１は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の配置を示す製造ライン構成図である。図１に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、鋼板Ｓの磁区細分化処理を行う磁区細分化装置２の後段に配置される。磁区細分化装置２は、内部に電子銃３を備え、電子銃３から鋼板Ｓに電子ビームを照射することにより、鋼板Ｓの磁区を横切る方向に熱歪みを与える装置である。
鋼板検査装置１は、製造ラインの一時停止時に、検査ユニット４を駆動することにより、鋼板Ｓに接触して鋼板Ｓの磁区構造を検査する装置である。以下、図２から図５を参照しながら、鋼板検査装置１の構成例を説明する。
図２は、鋼板検査装置１の検査ユニット４の内部構成例を示す模式図である。図２に示されるように、検査ユニット４は、鋼板Ｓの磁区構造を光学特性へ変換する磁気光学素子５と、磁気光学素子５を弾性体を介して検査ユニット４に固定するホルダ６と、磁気光学素子５に直線偏光を照射して磁気光学素子５から反射される反射偏光を検出する落射光学系を備える。すなわち、検査ユニット４は、落射光学系として、光源７と、コリメータレンズ８と、偏光子（偏光フィルター）９と、ハーフミラー１０と、検光子（偏光フィルター）１１と、検出器１２と、を備える。
磁気光学素子５は、ファラデー効果と呼ばれる磁気光学効果により鋼板Ｓの磁区構造を光学特性へ変換する素子である。ファラデー効果とは、直線偏光を物質に透過させたときに、その物質が感じる磁場によって偏光面が回転する効果であり、このファラデー効果を奏する代表的な物質として磁性ガーネットが挙げられる。
検査ユニット４を駆動することにより、磁気光学素子５は鋼板Ｓに接触し、鋼板Ｓの磁区構造が磁気光学素子５に転写され、磁気光学素子５に照射される偏光の偏光面が回転する。なお、ホルダ６は、検査ユニット４を駆動して磁気光学素子５を鋼板Ｓに接触させる際の衝撃を和らげるために、弾性体を介して磁気光学素子５を検査ユニット４に固定している。
光源７は、磁気光学素子５に直線偏光を照射するためのものであり、例えば半導体レーザ光源またはＬＥＤ光源など一般的光源が用いられる。光源７は、直接的に偏光を射出する光源である必要はなく、偏光子（偏光フィルター）９と組合わせて磁気光学素子５に照射する直線偏光を発生させる。また、光源７は、偏光を平行光として射出し得るように、コリメータレンズ８など光学素子と組合わせて用いられている。
偏光子９は、光源７から射出された光線を直線偏光に変換する偏光フィルターである。偏光子９は、検光子１１との相対的角度を調整することにより、検出器１２にて検出される偏光の調整を行う。すなわち、偏光子９は、回転機構を有し、直線偏光の偏光面の角度を調整することができる。なお、検光子１１に回転機構を有した場合、偏光子９における回転機構は省略可能である。
ハーフミラー１０は、偏光子９を透過した直線偏光を磁気光学素子５へ導き、磁気光学素子５から反射される反射偏光を検出器１２へ導く光路分割手段である。検光子１１は、先述の偏光子９との相対的角度を調整することにより、検出器１２にて検出される偏光の調整を行う。検出器１２は、いわゆるＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳカメラなど一般的な２次元画像取得装置である。検出器１２にて検出された画像は、ＰＣ等の別途の画像処理手段１３により適切な画像処理を施される。
なお、図２には図示されないレンズ等の光学素子より、磁気光学素子５に照射される際の光束径が磁気光学素子５の大きさに一致するように調整されている。さらに、磁気光学素子５から検出器１２までの光学系は、テレセントリック光学系となっている。
図３は、磁気光学素子５の構成例を示す断面図である。図３に示されるように、磁気光学素子５は、鋼板Ｓに面する方向から順に、保護膜５ａ、反射膜５ｂ、磁気光学膜５ｃ、および基板５ｄにより構成される。なお、磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットを組成に含むことが好ましい。この磁気光学素子５に照射される偏光は、基板５ｄに入射され、磁気光学膜５ｃを透過し、反射膜５ｂにて反射した後、再度磁気光学膜５ｃおよび基板５ｄを透過して、磁気光学素子５から射出される。
図４および図５は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の駆動方式を説明する概略構成図である。図４は、鋼板検査装置１の駆動機構の側面図であり、図５は、鋼板検査装置１の駆動機構の上面図である。
図４および図５に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１では、鋼板Ｓの製造ラインの両脇に垂置されたレール１４に沿って検査ユニット４が上下移動可能となっている。検査ユニット４は、車輪１５によりレール１４上を移動可能に設置されており、車輪１５の車軸１６には、それぞれモータ１７が設けられている。検査ユニット４は、モータ１７の回転駆動によりレール１４に沿って上下移動する。
図４および図５に示されるように、検査ユニット４は、近接センサー１８を備えている。近接センサー１８は、検査ユニット４と鋼板Ｓの表面との距離を測定するためのセンサーである。本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、検査ユニット４が下降して磁気光学素子５を鋼板Ｓの表面に接触させる際に、鋼板Ｓの表面および磁気光学素子５が衝突により損傷を受けないように、鋼板Ｓの近傍では低速で降下する。近接センサー１８は、検査ユニット４の降下速度を低速に変更すべき高さを検知する。
なお、図４および図５に示される駆動機構は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１に適用可能な一例に過ぎない。したがって、図４および図５に示される駆動機構に限らず、ウィンチ式など他の機構を採用することも可能である。また、図４および図５に示される駆動機構は、検査ユニット４を一体として駆動しているが、検査ユニット４に含まれる一部の構成要素、例えば磁気光学素子５およびホルダ６のみを駆動する構成とすることも可能である。
〔変形例〕
図６は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の駆動方式の変形例を説明する概略構成図である。図６に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１の駆動方式の変形例は、通板中の鋼板Ｓを併走させながら鋼板Ｓの表面と磁気光学素子５とを接着させる。
図６に示されるように、検査ユニット４は、鋼板Ｓに近いレール１４ａおよび鋼板Ｓから遠いレール１４ｂの上を移動する。検査ユニット４が鋼板Ｓに近いレール１４ａを移動しているとき、検査ユニット４の磁気光学素子５は、鋼板Ｓの表面に接触し、鋼板Ｓの磁区構造を検査可能な状態となる。一方、検査ユニット４が鋼板Ｓに遠いレール１４ｂを移動しているとき、検査ユニット４の磁気光学素子５が鋼板Ｓの表面に接触しないので、検査ユニット４は、次回の検査のために鋼板Ｓの通板の上流に移動する。
なお、鋼板Ｓに近いレール１４ａと鋼板Ｓから遠いレール１４ｂとの接続方法は、図６に示されるように、切換え方式とすることもできるが、周回軌道とすることもできる。また、検査ユニット４がレール上を移動する動力は、図４および図５に示された駆動方法と同様に車輪の車軸に設けられたモータにより供給されている。なお、検査ユニット４の内部構成は、図２に示された検査ユニット４の内部構成例と同様のものとすることができる。
〔鋼板検査方法〕
以下、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法について説明する。なお、以下の説明では、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置の構成の図面などを参照しながら本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法について説明するが、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法は、これらの図面に表された構成により限定されるものではない。
図７は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法を示すフローチャートである。図７に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法は、鋼板Ｓの製造ラインが停止された状態で行なわれる（ステップＳ１１）。ただし、上記鋼板検査装置１の駆動方式の変形例のように、鋼板Ｓの製造ラインが停止しない状況での鋼板検査方法の場合は、このステップＳ１１を省略した実施形態も採用し得る。
次に、鋼板検査装置１の検査ユニット４が鋼板Ｓの表面へ降下する（ステップＳ１２）。検査ユニット４が鋼板Ｓの表面へ降下することにより、磁気光学素子５が鋼板Ｓの表面へ接触し、鋼板Ｓの磁区構造が磁気光学素子５の磁気光学膜５ｃに転写される。
その後、鋼板Ｓの磁区構造が可視化検査される（ステップＳ１３）。すなわち、磁気光学素子５に直線偏光が照射され、磁気光学素子５の磁気光学膜５ｃを直線偏光が通過することにより、ファラデー効果による偏光面の回転が発生し、検査ユニット４は、この偏光面の回転をもって鋼板Ｓの磁区構造の可視化検査を行う。
なお、可視化された鋼板Ｓの磁区構造は、ＰＣ等の別途の画像処理手段１３により適切な画像処理を施される。画像処理手段１３は、可視化された鋼板Ｓの磁区構造の画像について、磁区不連続部評価を行い、磁区と磁区不連続部の境界を検出する。さらに、画像処理手段１３は、磁気光学素子５の大きさ、測定光学系の倍率、鋼板Ｓまでの距離などをもとにして、磁区不連続部の幅を計算し、所定の幅となっているかどうかを確認する。
その後、鋼板検査装置１の検査ユニット４が鋼板Ｓの表面から上昇し（ステップＳ１４）、磁気光学素子５が鋼板Ｓの表面から離脱する。そして、鋼板Ｓの製造ラインの運転が再開される（ステップＳ１５）。
最後に、鋼板Ｓの磁区細分化処理の範囲が終了したか否かの判定を行い（ステップＳ１６）、終了していない場合（ステップＳ１６；Ｎｏ）、上記ステップＳ１１〜Ｓ１５までの処理を繰り返す。一方、鋼板Ｓの磁区細分化処理の範囲が終了した場合（ステップＳ１６；Ｙｅｓ）、鋼板検査を終了する。なお、実際に本発明の実施形態にかかる鋼板検査方法を実施した場合、上記ステップＳ１１〜Ｓ１５までの処理は１秒程度となる。
図８は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１および鋼板検査方法による方向性電磁鋼板の検査画像の例を示す画像である。なお、図８に示される画像は、方向性電磁鋼板の検査画像における圧延方向１０ｍｍ×板幅方向１０ｍｍを切り取ったものである。
図８に示される画像の取得に際し、磁気光学素子５における磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットの例としてＢｉ置換した鉄ガーネットが用いられている。そして、磁性ガーネットによるファラデー効果を視認しやすくするために、光源７は、緑色ＬＥＤ光源（波長５０５ｎｍ）と偏光フィルタと組合わせて用い、検出器１２にはＣＣＤカメラを用いた。
図８に示されるように、方向性電磁鋼板には、電子ビームまたはレーザを照射させた部分に、圧延方向を向いた主磁区を分断するように還流磁区（以下、磁区不連続部）が形成される。磁区不連続部の幅は、鉄損と良い相関があることが明らかになっている。磁区不連続部は周囲の磁区とは磁気特性が異なっており、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１および鋼板検査方法を用いれば、磁区不連続部の幅の測定を行うことができることが図８から解る。
磁区不連続部の幅が１５０μｍ〜３００μｍであるとき、鋼板の鉄損が小さくなるという実験結果がある（例えば特開２０１２−５２２３０号公報参照）。また、細分化された磁区の幅が小さくなるほど励磁した際の磁壁の移動距離が短くなり、これに伴う損失も小さくなり、例えば、磁区の幅を２００μｍ以下とすることが好ましい。このような磁区不連続部の幅や磁区の幅を評価する場合、それぞれの幅を測定してもよいが、ある区間について測定した平均値により評価するのが一般的である。図８に示される磁区不連続部の幅は約２００μｍであることが解り、適正範囲内の磁区不連続部が形成されていることが解る。このように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１および鋼板検査方法を用いれば、鋼板Ｓの品質評価が可能である。
〔鋼板製造方法〕
次に、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法について説明する。
図９は、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１を組み入れた製造ラインを示す構成図である。図９に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板検査装置１は、鋼板Ｓの磁区細分化処理を行う磁区細分化装置２の後段に配置される。磁区細分化装置２は、内部に電子銃３を備え、電子銃３から鋼板Ｓに電子ビームを照射することにより、鋼板Ｓの磁区を横切る方向に熱歪みを与える装置である。
磁区細分化装置２が鋼板Ｓの表面に磁区細分化処理を施し、磁区細分化装置２により磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの表面を鋼板検査装置１が検査する。そして、鋼板検査装置１による検査結果に基づき、制御手段１９が磁区細分化装置２を制御する。制御手段１９は、ＰＬＣなど自動制御装置またはオペレータによる手動制御の何れでも構わない。
図１０は、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法を示すフローチャートである。図１０に示されるように、本発明の実施形態にかかる鋼板製造方法では、初めに、磁区細分化装置２により磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの表面を鋼板検査装置１が可視化検査する（ステップＳ２１）。
そして、鋼板検査装置１の画像処理手段１３は、可視化された鋼板Ｓの磁区構造の画像について、磁区不連続部評価を行い、磁区と磁区不連続部の境界を検出する（ステップＳ２２）。さらに、鋼板検査装置１の画像処理手段１３は、磁気光学素子５の大きさ、測定光学系の倍率、鋼板Ｓまでの距離などに基づいて、所定範囲内に含まれる磁区不連続部の平均幅を計算する（ステップＳ２３）。
その後、制御手段１９が磁区不連続部の平均幅を評価し、平均幅が所定範囲内であるか否かを判断する（ステップＳ２４）。平均幅が所定範囲内である場合（ステップＳ２４；Ｙｅｓ）、磁区細分化処理が適正に施されているので、鋼板Ｓの製造を継続するためにステップＳ２１へ戻る。一方、平均幅が所定範囲内でない場合（ステップＳ２４；Ｎｏ）、平均幅と所定値とを比較する（ステップＳ２５）。
平均幅が所定値よりも広い場合（ステップＳ２５；平均幅広い）、制御手段１９は、磁区細分化装置２の電子銃３の電子ビームパワーを低減する指令を発し（ステップＳ２６）、既に同一条件にて磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの出荷を回避する（ステップＳ２８）。一方、平均幅が所定値よりも狭い場合（ステップＳ２５；平均幅狭い）、制御手段１９は、磁区細分化装置２の電子銃３の電子ビームパワーを増加する指令を発し（ステップＳ２７）、既に同一条件にて磁区細分化処理が施された鋼板Ｓの出荷を回避する（ステップＳ２８）。
その後、制御手段１９は鋼板Ｓの製造ラインの継続操業の可否について判断する（ステップＳ２９）。すなわち、磁区不連続部の平均幅が所定範囲から外れる要因には、電子銃３のフィラメントの寿命によるもの、または装置上の不具合の発生によるものなどがありえる。したがって、制御手段１９は、磁区不連続部の平均幅が所定範囲から外れる要因に基づいて製造ラインの継続操業の可否について判断し、継続操業が可能である場合（ステップＳ２９；Ｙｅｓ）、鋼板Ｓの製造を継続するためにステップＳ２１へ戻る。一方、継続操業が不可である場合（ステップＳ２９；Ｎｏ）、電子銃３のフィラメントの交換などのために、製造ラインを停止する。
本発明の実施形態ににかかる鋼板検査装置１は、検査対象である鋼板Ｓの磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子５と、磁気光学素子５に直線偏光を照射する光源７と、磁気光学素子５に転写された鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された直線偏光を検出する検出器１２と、鋼板と磁気光学素子５とを接触離脱するように少なくとも磁気光学素子５を駆動する駆動機構とを備えるので、磁区細分化処理の直後に鋼板の磁区構造を可視化検査することにより歩留まりの改善をすることができる。
また、本発明の実施形態にかかる磁気光学素子５は、鋼板Ｓに面する方向から順に、保護膜５ａ、反射膜５ｂ、磁気光学膜５ｃ、および基板５ｄにより構成され、直線偏光が、基板５ｄ側から入射され、反射膜５ｂにて反射されるので、入射された直線偏光が磁気光学膜５ｃを往復することにより、ファラデー効果を２倍得ることができる。また、磁気光学膜５ｃは、磁性ガーネットを組成に含むことが好ましい。
１ 鋼板検査装置
２ 磁区細分化装置
３ 電子銃
４ 検査ユニット
５ 磁気光学素子
５ａ 保護膜
５ｂ 反射膜
５ｃ 磁気光学膜
５ｄ 基板
６ ホルダ
７ 光源
８ コリメータレンズ
９ 偏光子
１０ ハーフミラー
１１ 検光子
１２ 検出器
１３ 画像処理手段
１４，１４ａ，１４ｂ レール
１５ 車輪
１６ 車軸
１７ モータ
１８ 近接センサー
１９ 制御手段

Claims (13)

  1. 検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子と、
    前記磁気光学素子に直線偏光を照射する光源と、
    前記磁気光学素子に転写された前記鋼板の磁区構造に応じて偏光面が回転された前記直線偏光を検出する検出器と、
    前記鋼板と前記磁気光学素子とを接触離脱するように少なくとも前記磁気光学素子を駆動する駆動機構と、
    を備えることを特徴とする鋼板検査装置。
  2. 前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
    前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
    ことを特徴とする請求項１に記載の鋼板検査装置。
  3. 前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項２に記載の鋼板検査装置。
  4. さらに偏光子、ハーフミラー、および検光子を備え、
    前記光源から射出された光線は、前記偏光子、前記ハーフミラー、前記磁気光学素子、前記ハーフミラー、前記検光子、および前記検出器の順に伝播されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の鋼板検査装置。
  5. 前記駆動機構は、前記光源、前記偏光子、前記ハーフミラー、前記磁気光学素子、前記検光子、および前記検出器を収容する検査ユニットを駆動することにより、前記鋼板と前記磁気光学素子とを接触離脱することを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の鋼板検査装置。
  6. 前記磁気光学素子は、弾性体を介して前記検査ユニットに固定されていることを特徴とする請求項５に記載の鋼板検査装置。
  7. 検査対象である鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を前記鋼板に接触させる接触ステップと、
    前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、
    前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、
    前記偏光面の回転から前記鋼板の磁区構造を測定する測定ステップと、
    前記磁気光学素子を前記鋼板から離脱させる離脱ステップと、
    を含むことを特徴とする鋼板検査方法。
  8. 前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
    前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
    ことを特徴とする請求項７に記載の鋼板検査方法。
  9. 前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項８に記載の鋼板検査方法。
  10. 鋼板の表面に電子ビームまたはレーザを照射する磁区細分化ステップと、
    前記電子ビームまたはレーザを照射した鋼板の領域に、鋼板の磁区構造を光学特性として検出可能な磁気光学素子を接触させる接触ステップと、
    前記磁気光学素子に直線偏光を照射する照射ステップと、
    前記磁気光学素子にて反射する直線偏光の偏光面の回転を検出する検出ステップと、
    前記電子ビームまたはレーザを照射したことにより形成された磁区不連続部を抽出する抽出ステップと、
    前記磁区不連続部の平均幅を評価する幅評価ステップと、
    前記幅評価ステップによる評価に基づいて前記電子ビームまたはレーザの出力を増加減する出力調整ステップと、
    を含むことを特徴とする鋼板製造方法。
  11. 前記出力調整ステップの後に、前記電子ビームまたはレーザの出力を増加減前の条件で製造された前記鋼板の出荷を回避する出荷回避ステップ
    をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の鋼板製造方法。
  12. 前記磁気光学素子は、前記鋼板に面する方向から順に、保護膜、反射膜、磁気光学膜、および基板により構成され、
    前記直線偏光は、前記基板側から入射され、前記反射膜にて反射される、
    ことを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載の鋼板製造方法。
  13. 前記磁気光学膜は、磁性ガーネットを組成に含むことを特徴とする請求項１２に記載の鋼板製造方法。
JP2012216379A 2012-09-28 2012-09-28 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法 Expired - Fee Related JP5987610B2 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012216379A JP5987610B2 (ja) 2012-09-28 2012-09-28 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法
CN201380050432.7A CN104662418B (zh) 2012-09-28 2013-09-25 钢板检查装置、钢板检查方法、以及钢板制造方法
US14/425,983 US10031068B2 (en) 2012-09-28 2013-09-25 Steel sheet inspection device, steel sheet inspection method, and steel sheet manufacturing method
EP13841923.9A EP2902778B1 (en) 2012-09-28 2013-09-25 Steel sheet inspection apparatus, steel sheet inspection method, and steel sheet manufacturing method
PCT/JP2013/075944 WO2014050907A1 (ja) 2012-09-28 2013-09-25 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法
IN2054DEN2015 IN2015DN02054A (ja) 2012-09-28 2013-09-25
KR1020157005763A KR101722496B1 (ko) 2012-09-28 2013-09-25 강판 검사 장치, 강판 검사 방법 및, 강판 제조 방법
RU2015110994/28A RU2593435C1 (ru) 2012-09-28 2013-09-25 Устройство для контроля стального листа, способ контроля стального листа и способ изготовления стального листа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012216379A JP5987610B2 (ja) 2012-09-28 2012-09-28 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014070972A true JP2014070972A (ja) 2014-04-21
JP5987610B2 JP5987610B2 (ja) 2016-09-07

Family

ID=50388302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012216379A Expired - Fee Related JP5987610B2 (ja) 2012-09-28 2012-09-28 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10031068B2 (ja)
EP (1) EP2902778B1 (ja)
JP (1) JP5987610B2 (ja)
KR (1) KR101722496B1 (ja)
CN (1) CN104662418B (ja)
IN (1) IN2015DN02054A (ja)
RU (1) RU2593435C1 (ja)
WO (1) WO2014050907A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170015311A (ko) * 2014-06-04 2017-02-08 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 검사 장치 및 자기 광학 결정의 배치 방법
JP2018124266A (ja) * 2017-01-31 2018-08-09 Ｊｆｅスチール株式会社 方向性電磁鋼板の加工状態評価方法、加工状態評価装置、及び製造方法

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5561335B2 (ja) * 2012-09-28 2014-07-30 Ｊｆｅスチール株式会社 電子銃異常検出装置および電子銃異常検出方法
RU2673271C2 (ru) 2014-07-03 2018-11-23 Ниппон Стил Энд Сумитомо Метал Корпорейшн Установка лазерной обработки
WO2016002036A1 (ja) 2014-07-03 2016-01-07 新日鐵住金株式会社 レーザ加工装置
CN106944743B (zh) * 2015-10-08 2020-01-03 诺威科技集团有限公司 利用激光束的电气钢板的永久性磁区微细化成形方法及成形装置
CN108369211B (zh) * 2015-12-03 2021-12-07 浜松光子学株式会社 检查装置及检查方法
CN106093182B (zh) * 2016-05-31 2019-02-01 电子科技大学 一种基于环电流的可视化漏磁检测建模方法
JP6968176B2 (ja) 2016-12-23 2021-11-17 ポスコPosco 方向性電磁鋼板の磁区微細化方法とその装置
CN114424060B (zh) * 2019-09-19 2024-09-10 杰富意钢铁株式会社 移动式检查装置、移动式检查方法及钢材的制造方法
WO2024176610A1 (ja) * 2023-02-21 2024-08-29 Ｊｆｅスチール株式会社 方向性電磁鋼板の加工状態判定方法、加工状態判定装置、製造設備の調整方法、製造方法、品質管理方法、及び製造設備

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59180355A (ja) * 1983-03-31 1984-10-13 Nippon Steel Corp 電磁鋼板のオンライン結晶粒度測定装置
JPS62102103A (ja) * 1985-10-30 1987-05-12 Hitachi Ltd 微細磁化パタ−ン計測装置
JPS62115357A (ja) * 1985-11-14 1987-05-27 Toshiba Corp 欠陥検査装置
JPH05119130A (ja) * 1991-02-04 1993-05-18 Japan Aircraft Mfg Co Ltd 磁場顕微鏡装置
JP2002257718A (ja) * 2001-02-28 2002-09-11 Nippon Steel Corp 光ビーム走査磁区検出装置
JP2012031519A (ja) * 2010-06-30 2012-02-16 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法
JP2012052230A (ja) * 2010-08-06 2012-03-15 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1246756A (en) * 1969-04-16 1971-09-22 Tokyo Shibaura Electric Co Measuring dimensions of objects
JPS59180335A (ja) * 1983-03-30 1984-10-13 Fujitsu Ltd スペクトラムアナライザ
US4919733A (en) * 1988-03-03 1990-04-24 Allegheny Ludlum Corporation Method for refining magnetic domains of electrical steels to reduce core loss
JP2665294B2 (ja) * 1992-03-30 1997-10-22 新日本製鐵株式会社 磁気光学式欠陥検出方法
JPH11293416A (ja) * 1998-04-10 1999-10-26 Nkk Corp 残留磁束密度の低い高珪素鋼板およびその製造方法
US6359686B1 (en) * 1999-06-29 2002-03-19 Corning Incorporated Inspection system for sheet material
JP3210654B1 (ja) * 2001-05-02 2001-09-17 レーザーテック株式会社 光学式走査装置及び欠陥検出装置
CN1271387C (zh) * 2002-03-07 2006-08-23 株式会社高岳制作所 偏振方向测定型两维光接收时标测定装置及使用它的表面形状测量装置
JP4223769B2 (ja) * 2002-08-30 2009-02-12 富士通株式会社 測定装置
US6934068B2 (en) * 2003-02-10 2005-08-23 Lake Shore Cryotronics, Inc. Magnetic field and electrical current visualization system
EP1569177A1 (en) * 2004-02-24 2005-08-31 Kba-Giori S.A. Method and apparatus for checking magnetizable elements
JP4764199B2 (ja) 2005-09-07 2011-08-31 新日本製鐵株式会社 磁性体の粒形状観察装置
JP5640298B2 (ja) * 2010-08-27 2014-12-17 Fdk株式会社 磁気光学探傷方法及びそれに用いる装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59180355A (ja) * 1983-03-31 1984-10-13 Nippon Steel Corp 電磁鋼板のオンライン結晶粒度測定装置
JPS62102103A (ja) * 1985-10-30 1987-05-12 Hitachi Ltd 微細磁化パタ−ン計測装置
JPS62115357A (ja) * 1985-11-14 1987-05-27 Toshiba Corp 欠陥検査装置
JPH05119130A (ja) * 1991-02-04 1993-05-18 Japan Aircraft Mfg Co Ltd 磁場顕微鏡装置
JP2002257718A (ja) * 2001-02-28 2002-09-11 Nippon Steel Corp 光ビーム走査磁区検出装置
JP2012031519A (ja) * 2010-06-30 2012-02-16 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法
JP2012052230A (ja) * 2010-08-06 2012-03-15 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170015311A (ko) * 2014-06-04 2017-02-08 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 검사 장치 및 자기 광학 결정의 배치 방법
KR102288805B1 (ko) * 2014-06-04 2021-08-12 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 검사 장치 및 자기 광학 결정의 배치 방법
JP2018124266A (ja) * 2017-01-31 2018-08-09 Ｊｆｅスチール株式会社 方向性電磁鋼板の加工状態評価方法、加工状態評価装置、及び製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2902778A4 (en) 2016-08-17
CN104662418A (zh) 2015-05-27
EP2902778B1 (en) 2020-08-05
US20150253242A1 (en) 2015-09-10
US10031068B2 (en) 2018-07-24
RU2593435C1 (ru) 2016-08-10
IN2015DN02054A (ja) 2015-08-14
CN104662418B (zh) 2018-05-15
KR20150036805A (ko) 2015-04-07
WO2014050907A1 (ja) 2014-04-03
KR101722496B1 (ko) 2017-04-03
JP5987610B2 (ja) 2016-09-07
EP2902778A1 (en) 2015-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5987610B2 (ja) 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法
JP6149370B2 (ja) 磁区不連続部検出方法
US7973922B2 (en) Optical inspection method and optical inspection apparatus
US8753903B1 (en) Methods and apparatuses for performing wafer level characterization of a plasmon element
JP5841594B2 (ja) 方向性電磁鋼板の製造方法
JP2015513683A (ja) 電気機械のステータコアを検査するための装置および方法
JP5561335B2 (ja) 電子銃異常検出装置および電子銃異常検出方法
KR20140077968A (ko) 전자기 코어 결함 테스팅 또는 el-cid 테스팅 전에 발전기 컴포넌트들을 자기소거하기 위한 방법 및 장치
US7521917B2 (en) Method and apparatus for testing material integrity
WO2019011608A1 (en) INSPECTION TOOL, LITHOGRAPHIC APPARATUS, LITHOGRAPHIC SYSTEM, INSPECTION METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
RU2673271C2 (ru) Установка лазерной обработки
JP2011069654A (ja) バルクハウゼンノイズ検査装置およびバルクハウゼンノイズ検査方法
KR101913367B1 (ko) 방향성 전기강판의 자구미세화 방법과 그 장치
JP4247491B2 (ja) 高分子材料の劣化検査方法および装置
JP6191112B2 (ja) 鋼板検査装置および鋼板検査方法
KR101584464B1 (ko) 차륜의 자분탐상용 자화 장치
JP2009301610A (ja) 磁界強度測定方法および磁界強度測定装置
TW201945868A (zh) 用於微影裝置之定位系統
WO1992021964A1 (fr) Procede de detection d'un flux magnetique et dispositif conçu a cet effet

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150825

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160426

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160620

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160712

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160725

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5987610

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees