CN104249895B - 物品保管设备以及物品保管方法 - Google Patents

物品保管设备以及物品保管方法 Download PDF

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Abstract

在非活性气体下对收容物品进行保管的物品保管设备中，能够进行恰当的物品管理。物品保管设备具备：具有收纳部的保管架、对收纳部搬送容器的搬送部、对收纳于收纳部的容器分别供给非活性气体的气体供给部、以及显示装置。显示装置与保管架中的收纳部的排列对应地显示显示区划，并且在显示区划分别显示非活性气体的供给状态。

Description

物品保管设备以及物品保管方法
技术领域
本发明涉及对物品进行保管的物品保管设备以及物品保管方法。
背景技术
在日本特开平8-73010号公报(专利文献1)中，公开有如上所述的对物品进行保管的物品保管设备的一例。专利文献1的装置是自动仓库中的搬送系统所涉及的装置，在此种装置中，根据来自用户的指定来控制物品的移动(包括搬入以及搬出)。在专利文献1中，在控制用工作站的CRT显示器显示保管架的布局，并且在物品实际上收纳在保管架的情况下，在画面上对应的保管架位置显示物品对象。而且，以如下方式构成，即，用户通过鼠标操作来在CRT显示器上进行物品移动目的地的指示操作。如此，通过导入直觉上容易理解的指示输入方法，来谋求物品的移动目的地指示操作的容易化。
发明内容
用于解决问题的方案
然而，在专利文献1的装置中，与保管架的布局一同显示于CRT显示器的只限于物品对象。因此，在适用于特定的物品保管设备(例如在非活性气体下保管收容在气密性容器内的物品的设备)的情况下，仅凭专利文献1的技术，用户不一定能够进行恰当的移动目的地指示操作。即，在专利文献1中，显示于CRT显示器的仅仅是与实际的保管架的既定位置处的物品有无相关的信息，因而例如有可能在对物品进行收容的容器内以比较高的浓度残留氧、水蒸气的情况下进行搬出指示。
因此，期望实现在非活性气体下保管收容在容器内的物品的物品保管设备中实现恰当的物品管理的技术。
本发明所涉及的物品保管设备具备以下：
保管架，其具有规则地排列的多个收纳部；
搬送部，其将气密性的容器相对于所述收纳部搬入以及搬出；
气体供给部，其按照预先规定的供给型式(pattern)分别对收纳于所述收纳部的所述容器供给非活性气体；
显示装置，其显示包含所述搬送部以及所述气体供给部的系统的工作状态；
在此，所述显示装置与所述保管架中的多个所述收纳部的排列对应地显示多个显示区划，并且在多个所述显示区划分别显示所述非活性气体对收纳于对应的所述收纳部的所述容器的供给状态。
根据上述构成，从气体供给部对在保管架的收纳部收纳的容器分别供给非活性气体。因此，能够在非活性气体下保管收容在容器内的物品。此时，在显示系统整体的工作状态的显示装置，对于收纳于收纳部的容器也分别显示非活性气体的供给状态。因此，能够对用户提供与容器内是否恰当地供给有非活性气体相关的信息。由此，例如能够抑制在物品的保管方面不合乎需要的气体以比较高的浓度残存于容器内的状态下进行物品的搬出指示那样的事态，能够进行恰当的物品管理。另外，在上述构成中，非活性气体对各容器的供给状态分别显示于构成与保管架中的多个收纳部的排列对应的排列的多个显示区划。因此，直觉上容易把握与在实际的保管架的各个位置收纳的各容器有关的非活性气体的供给状态。因而，能够通过对用户而言容易的形态来进行恰当的物品管理。
本发明所涉及的物品保管设备的技术特性还能够适用于物品保管方法，本发明能够使此种方法也成为权利的对象。在该物品保管方法中，也能够获得上述物品保管设备的作用效果。
即，本发明所涉及的物品保管方法是利用物品保管设备的方法，所述物品保管设备具备：
保管架，其具有规则地排列的多个收纳部；
搬送部，其将气密性的容器相对于所述收纳部搬入以及搬出；
气体供给部，其按照预先规定的供给型式分别对收纳于所述收纳部的所述容器供给非活性气体；以及
显示装置，其显示包含所述搬送部以及所述气体供给部的系统的工作状态，
包括利用所述显示装置执行的以下工序：
供给状态显示工序，与所述保管架中的多个所述收纳部的排列对应地显示多个显示区划，并且在多个所述显示区划分别显示所述非活性气体对收纳于对应的所述收纳部的所述容器的供给状态。
以下，说明本发明的优选实施方式的形态。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地，所述显示装置作为所述供给状态的一种，显示驱气(purge)进度，所述驱气进度表示已供给的所述非活性气体的量相对于所述容器的容积的比例。
在系统中能够定量地算出的，已供给非活性气体量相对于容器容积的比例与容器内包含的气体被新供给的非活性气体置换的比例大概一致。根据上述构成，直觉上容易把握容器内包含的气体实际上被非活性气体置换的比例(驱气比例)。因此，能够使用户容易地了解基于非活性气体的驱气完成之前的剩余时间的推测值。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地，所述显示装置在利用所述搬送部对所述收纳部搬入了所述容器的情况下，将该容器作为对象来显示所述驱气进度。
在对收纳部搬入容器的时间点，与其以后的任意时间点相比较，有较高可能性在容器内以比较高的浓度含有非活性气体以外的气体。因此，对容纳部搬入容器之后最初进行的容器容积量的非活性气体的初期供给是非常重要的。基于该点，根据上述构成，在重要度高的非活性气体的初期供给时，能够使用户容易地了解驱气完成之前的剩余时间的推测值。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地，所述供给型式包含以所述非活性气体的供给时期和目标流量的组合互不相同的方式设定的多个供给阶段，所述显示装置作为所述供给状态的一种，以与各个供给阶段对应的不同色彩来显示对所述容器适用的该时间点的所述供给阶段为哪个。
根据该构成，能够根据对应的色彩来使用户容易地了解对收纳于各收纳部的容器适用的该时间点的供给阶段。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地，所述气体供给部以在利用所述搬送部对所述收纳部搬入所述容器之前的既定期间能够供给所述非活性气体以用于进行供气喷嘴的净化的方式构成，所述供气喷嘴嵌合于在所述容器设置的供气口，所述显示装置作为所述供给状态的一种，以与分别表示多个所述供给阶段的色彩不同的色彩来显示用于所述供气喷嘴的净化的所述非活性气体的供给为执行中的状态。
根据该构成，能够根据对应的色彩来使用户容易地了解非活性气体为供给中以用于进行供气喷嘴的净化的状态。另外，能够根据色彩的变化来使用户容易地了解供气喷嘴的洗净完成的状态。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地，还具备存货期间取得部，所述存货期间取得部取得存货期间，所述存货期间为所述容器搬入所述收纳部之后的经过时间，所述显示装置在与特定的所述容器有关的存货期间超过预先规定的基准存货期间的情况下，在与收纳有所述容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述基准存货期间的超过的警告信息。
根据该构成，在存在存货期间超过基准存货期间的容器的情况下，能够使用户容易地了解该事实。因此，例如在如收容物品具有即使在非活性气体气氛下也会老化劣化的性质的情况下，能够抑制由保管架中的长时间放置引起的收容物品劣化的进行。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地，还具备识别信息取得部，所述识别信息取得部取得收纳于所述收纳部的所述容器的识别信息，所述显示装置在所述识别信息取得部未能取得与特定的所述容器有关的识别信息的情况下，在与收纳有该容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述识别信息的未取得的警告信息。
根据该构成，在存在未取得固有的识别信息的容器的情况下，能够使用户容易地了解该事实。因此，能够在早期发现例如用于读取容器识别信息的机器的硬故障。另外，例如在基于固有的识别信息来管理与该容器有关的非活性气体的供给历史的情况下，能够抑制在未进行适当的历史管理的情况下搬出该容器那样的事态。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地，在所述供给状态显示工序中，作为所述供给状态的一种，显示驱气进度，所述驱气进度表示已供给的所述非活性气体的量相对于所述容器的容积的比例。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地，在所述供给状态显示工序中，在利用所述搬送部对所述收纳部搬入了所述容器的情况下，将该容器作为对象来显示所述驱气进度。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地，所述供给型式包含以所述非活性气体的供给时期和目标流量的组合互不相同的方式设定的多个供给阶段，
在所述供给状态显示工序中，优选地，作为所述供给状态的一种，以与各个供给阶段对应而不同的色彩来显示对所述容器适用的该时间点的所述供给阶段为哪个。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地，所述气体供给部以在利用所述搬送部对所述收纳部搬入所述容器之前的既定期间能够供给所述非活性气体以用于进行供气喷嘴的净化的方式构成，所述供气喷嘴嵌合于在所述容器设置的供气口，
在所述供给状态显示工序中，优选地，作为所述供给状态的一种，以与分别表示多个所述供给阶段的色彩不同的色彩来显示所述非活性气体的供给为执行中以用于进行所述供气喷嘴的净化的状态。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地，所述物品保管设备还具备存货期间取得部，所述存货期间取得部取得存货期间，所述存货期间为所述容器搬入所述收纳部之后的经过时间，作为利用所述显示装置执行的工序，还包括以下工序，即在与特定的所述容器有关的存货期间超过预先规定的基准存货期间的情况下，在与收纳有该容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述基准存货期间的超过的警告信息。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地，所述物品保管设备还具备识别信息取得部，所述识别信息取得部取得收纳于所述收纳部的所述容器的识别信息，作为利用所述显示装置执行的工序，还包含以下工序，即在所述识别信息取得部未能取得与特定的所述容器有关的识别信息的情况下，在与收纳有该容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述识别信息的未取得的警告信息。
附图说明
图1是物品保管设备的侧视图；
图2是物品保管设备的正视图；
图3是收纳部的立体图；
图4是表示非活性气体的供给状态的示意图；
图5是表示非活性气体的供给型式的示意图；
图6是示出管理用运算装置的构成的框图；
图7是表示在显示装置显示的图像的示意图；
图8是各状态象征对象的说明图；
图9是驱气进度的表现形态的说明图；
图10是表示在显示装置显示的图像的示意图；
图11是表示在显示装置显示的图像的示意图；
图12是显示区划的构成的说明图。
具体实施方式
1.第一实施方式
参照附图说明本发明所涉及的物品保管设备的第一实施方式。在本实施方式中，以物品保管设备1为例进行说明，物品保管设备1以在非活性气体下保管收容在容器40内的物品的方式构成。此种物品保管设备1能够例如设置在洁净室内使用。
如图1以及图2所示，物品保管设备1具备具有多个收纳部11的保管架10、以及对收纳部11搬入以及搬出容器40的搬送部20。另外，如图4所示，物品保管设备1具备对收纳于收纳部11的容器40分别供给非活性气体的气体供给部30。另外，物品保管设备1具备进行搬送部20以及气体供给部30的动作控制的控制装置H。在本实施方式中，控制装置H以基于来自设于操作桌HS的工作站等管理用运算装置50的指令来控制搬送部20以及气体供给部30的方式构成。
容器(搬送容器)40在搬送物品时将该物品收容于内部。作为搬送物品，能够能够广泛地适用于工业制品、食品、医药品等。作为优选的适用对象，例示了由半导体晶片构成的半导体基板、由层叠有金属薄膜的玻璃板等构成的掩模版(reticle)基板等基板B。作为收容基板B(参照图4)的容器40，例如能够使用称为FOUP(Front Opening Unified Pod，前端开口统一盒)的容器，利用该FOUP，能够适合地收容半导体晶片。此种容器40能够为符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体设备与材科协会)标准的合成树脂制的气密容器。
如图4所示，容器40具备形成为长方体状的壳体41和相对于该壳体41装卸自如的盖体(未图示)。壳体41在前表面具有用于存取基板B的开口部，该开口部随着盖体的装卸而开闭。容器40以在盖体安装于壳体41的状态下，内部空间密闭为气密状态的方式构成。在壳体41内部，设有在宽度方向两侧从下方支持所收容的基板B的一对支持体42。在此，为了收容多个基板B，多组支持体42隔开既定间隔以沿上下方向排列的方式设置。
容器40在其上表面具备顶凸缘43，顶凸缘43由提升式的搬送车21抓持。容器40在其底面具有多个(在本例中为3个)卡合槽(未图示)。在收纳部11的支持部12设置的定位销13(参照图3)卡合于该卡合槽。容器40在通过定位销13与卡合槽的卡合而定位的状态下收纳于收纳部11。
如图4所示，容器40在其底部具有供气口45，供气口45用于注入从气体供给部30供给的非活性气体。在供气口45设有注入侧开闭阀(未图示)。注入侧开闭阀由弹簧等施力部件向闭阀侧施力，若供给的非活性气体的喷出压力变为设定为比大气压高的值的设定开阀压以上，则由于该压力而开阀。另外，容器40在其底部具有排气口46，排气孔46用于排出存在于内部空间的气体。在排气孔46设有排出侧开闭阀。排出侧开闭阀由弹簧等施力部件向闭阀侧施力，若容器40的内压变为设定为比大气压高的值的设定开阀压以上，则由于该压力而开阀。
如图1以及图2所示，保管架10具有规则地排列的多个收纳部11。多个收纳部11按照预先规定的规则(在本例中为纵横地)排列。即，多个收纳部11沿上下方向排列，并且在上下方向的各位置处沿左右方向排列。在多个收纳部11分别收纳容器40。在本实施方式中，设有2个此种保管架10，成对的2个保管架10以隔着构成搬送部20的堆垛起重机(stackercrane)24相向的方式设置。这些一对的保管架10分别称为“库(bank)”。一对保管架10与堆垛起重机24在区划壁18处设置于外周部被覆盖的保管空间K内。
如图3以及图4所示，多个收纳部11分别具备从下方支持所载置的容器40的支持部12。支持部12形成为上下方向的尺寸相对于宽度方向以及进深方向的尺寸小的板状。支持部12为了形成后述移载装置29所具备的支持体29A上下地通过的空间，以俯视形状(从上下方向看的形状)成为U字状的方式形成。在支持部12的上表面，以朝上方突出的方式设有多个(在本例中为3个)定位销13。如上所述，在该定位销13与容器40底面的卡合槽卡合的状态下，容器40得到定位。
在支持部12的上表面，设有多个(在本例中为2个)第一传感器S1。第一传感器S1例如能够由压敏传感器等构成。第一传感器S1检测容器40是否载置于支持部12(换言之，容器40是否收纳于收纳部11)。在该意义上，第一传感器S1还能够称为“存货传感器”。由第一传感器S1得到的检测结果的信息输入至控制装置H以及管理用运算装置50。
如图3以及图4所示，支持部12具有供气喷嘴15，供气喷嘴15用于将从气体供给部30供给的非活性气体供给至容器40内部。在该供气喷嘴15，连接有从后述质量流控制器32延伸的供给配管33。另外，支持部12具有使从容器40内部排出的气体通流的排气喷嘴16。在该排气喷嘴16，连接有相反侧的端部开放的排气管35。在载置于支持部12的容器40得到定位的状态下，供气喷嘴15连通于容器40的供气口45，排气喷嘴16连通于排气口46。
如图1所示，搬送车21在本例中作为提升式搬送车构成。搬送车21沿在设有物品保管设备1的设施的天花板部铺设的导轨Rg行走。搬送车21设置在区划壁18外(保管空间K外)。搬送车21在抓持设于容器40的顶凸缘43的状态下对传送带22搬入以及搬出该容器40。传送带22在贯通区划壁18的状态下设置，承担在保管空间K的内部与外部之间移动容器40的作用。即，传送带22作为出入库部(出入库传送带)来起作用。
在本实施方式中，搬送部20由堆垛起重机24构成。堆垛起重机24具备能够沿行走轨道Rr行走的行走台车25、竖立设置于行走台车25的柱(mast)26、以及能够在由该柱26引导的状态下升降移动的升降台28。此外，行走轨道Rr设置于一对保管架10之间(各库之间)的地面。另外，在划定保管空间K的区划壁18的天花板部，与行走轨道Rr平行地设有上部导轨(未图示)。堆垛起重机24以设于柱26上端部的上部框27沿上部导轨滑动且移动的方式构成。
如图1所示，在升降台28装备有在与收纳部11之间移载容器40的移载装置29。移载装置29具有从下方支持容器40的板状支持体29A。支持体29A以能够进入和后退到突出到收纳部11内部的突出位置和后退到升降台28侧的后退位置的方式构成。具备移载装置29的堆垛起重机24对收纳部11以及传送带22进行卸货处理以及捧起处理，以进行对各自的移载作业。在此，卸货处理是将载置于支持体29A的容器40卸下的处理，捧起处理是将容器40捧起并载置于支持体29A的处理。
堆垛起重机24与移载装置29相互协作，以进行将容器40搬入(收纳)到收纳部11的入库作业。另外，移载装置29与堆垛起重机24相互协作，以进行将容器40从收纳部11搬出(取出)的出库作业。堆垛起重机24以及移载装置29由起重机控制器Hc(参照图4)控制各自的动作，以恰当地进行它们的出入库作业。由此，收容基板B的容器40分别个别地收纳于多个收纳部11，并从多个收纳部11分别个别地取出。此外，在堆垛起重机24装备有检测行走路径上的行走位置的行走位置检测装置和检测升降台28的升降位置的升降位置检测装置。起重机控制器Hc基于这些检测结果来控制堆垛起重机24的运转。
气体供给部30对收纳于收纳部11的容器40分别供给非活性气体。在此，非活性气体是指对收容于容器40的物品(在本例中为基板B)而言的反应性低(实质上不发生成为问题的化学反应)的气体。在本实施方式中，气体供给部30作为非活性气体来供给氮气。此外，作为非活性气体，还可以使用氩气、氪气等稀有气体。
气体供给部30具有连接于气罐等非活性气体供给源(未图示)的流入配管31、质量流控制器32和供给配管33。它们装备于保管架10的各收纳部11(也参照图2)。对各收纳部11的流入配管31、质量流控制器32、以及供给配管33相互串联地连接，它们的各组相对于非活性气体供给源相互并联地连接。以下，着眼于对1个收纳部11的配管系统来进行说明。流入配管31的一端连接于非活性气体供给源(未图示)。流入配管31的另一端连接于质量流控制器32的流入侧端口32i。在质量流控制器32，装备有测量在其内部流路流动的非活性气体流量的流量传感器、对非活性气体流量进行变更调节的流量调节阀、以及控制该流量调节阀的动作的内部控制部(未图示)。
内部控制部基于流量传感器的检测结果的信息来控制流量调节阀的动作，以将非活性气体的流量(换言之，对容器40的供给流量)调整为后述目标流量V。由此，质量流控制器32承担控制非活性气体对容器40的供给流量的作用。在质量流控制器32的喷出侧端口32o，连接有供给配管33的一端。供给配管33的另一端连接于设于支持部12的供气喷嘴15。此外，在供给配管33，介入安装有手动操作式的开闭阀34。设置该开闭阀34以用于在用于更换供气喷嘴15等维护时，强制停止非活性气体的供给。
从非活性气体供给源供给，并由质量流控制器32调整了供给流量的非活性气体经由供给配管33到达供气喷嘴15。在此，如上所述，在载置于支持部12的容器40得到定位的状态下，供气喷嘴15连通于容器40的供气口45，排气喷嘴16连通于排气口46。由此，在从气体供给部30供给既定压力的非活性气体时，使容器40内部的气体从排气口46排出到外部，并且从供气口45对容器40内部注入非活性气体。
气体供给部30以关于非活性气体的供给模式，能够切换模式到第一模式和第二模式的方式构成。第一模式是按照预先规定的供给型式P(参照图5)来供给非活性气体的模式(自动供给模式)。第二模式是与供给型式Ｐ无关地基于人为操作来供给非活性气体的模式(手动供给模式)。它们能够基于物品保管设备１的用户(操作者)的指示来对多个收纳部１１中的各个(分别收纳的多个容器４０中的各个)择一地选择。
在选择第二模式时，用户对对象的收纳部１１实时地指定非活性气体的供给流量。另一方面，在选择第一模式时，基于通过预先设定的2个以上的参数确定的供给型式P来自动控制非活性气体的供给流量。作为此种供给型式P，在本实施方式中，准备了保管用、喷嘴洗净用、以及管线洗净用这三种供给型式。另外，作为保管用的供给型式P，准备了互不相同的4个供给型式。即，在本实施方式中，如图5所示，准备了保管用的4个供给型式P1～P4、喷嘴洗净用的1个供给型式P5、以及管线洗净用的1个供给型式P6这共计6个供给型式P。
非活性气体的按照保管用的4个供给型式P1～P4的供给在由一对第一传感器S1检测到容器40的情况下进行。在本实施方式中，保管用的供给型式P1～P4分别包含以非活性气体的供给时期和目标流量V的组合互不相同的方式设定的多个供给阶段F。供给型式P1～P4至少包含以预先规定的第一目标流量V1供给非活性气体的第一供给阶段F1、以及以设定为比第一目标流量V1小的值的第二目标流量V2供给非活性气体的第二供给阶段F2。供给型式P1～P4可以还包含使非活性气体的供给休止(换言之，以设定为零的第三目标流量供给非活性气体)的第三供给阶段F3。
第一供给型式(第一保管用供给型式)P1包含第一供给阶段F1和第二供给阶段F2各一个。在第一供给型式P1中，在容器收纳完成时间点(在图5中以(A)表示的时间点)之后第一设定时间t1期间，以第一目标流量V1供给非活性气体，之后，以第二目标流量V2持续供给非活性气体。此外，容器收纳完成时间点是容器40对收纳部11的收纳完成的时间点。在本实施方式中，将在一对第一传感器S1检测到容器40的存在之后，设定时间(例如2秒)经过的时间点作为容器收纳完成时间点。
第二供给型式(第二保管用供给型式)P2包含一个第一供给阶段F1和一个以上的第二供给阶段F2以及第三供给阶段F3。在第二供给型式P2中，在容器收纳完成时间点之后第一设定时间t1期间，以第一目标流量V1供给非活性气体，之后，以第二目标流量V2间歇地供给非活性气体。即，在第二供给型式P2中，在第一设定时间t1的经过后，反复进行第二设定时间t2的以第二目标流量V2进行的非活性气体供给、以及第三设定时间t3的非活性气体的供给停止。
第三供给型式(第三保管用供给型式)P3包含第一供给阶段F1和第二供给阶段F2各一个以上。第三供给型式P3为上述第一供给型式P1在每个预先规定的第一周期T1反复进行的型式。即，在第三供给型式P3中，在容器收纳完成时间点之后第一设定时间t1期间，以第一目标流量V1供给非活性气体，之后，在第二设定时间t2期间，以第二目标流量V2供给非活性气体。而且，将其作为基本型式，该基本型式周期性地反复进行(T1＝t1＋t2)。
第四供给型式(第四保管用供给型式)P4包含第一供给阶段F1、第二供给阶段F2、和第三供给阶段F3各一个以上。第四供给型式P4为上述第二供给型式P2在每个预先规定的第二周期T2反复进行的型式。即，在第四供给型式P4中，在容器收纳完成时间点之后第一设定时间t1期间，以第一目标流量V1供给非活性气体，之后反复进行第二设定时间t2的以第二目标流量V2进行的非活性气体的供给、以及第三设定时间t3的非活性气体的供给停止。而且，将其作为基本型式，该基本型式周期性地反复进行(T1＝t1＋N•(t2+t3)；N表示自然数)。
此外，关于这些保管用的供给型式P1～P4，用户能够监视基板B的保管状态等，并且适当地设定变更各参数(V1、V2、t1、t2、t3、T1、T2)。而且，用户能够根据保管的基板B来选择以最佳的参数规定的最佳供给型式P。
非活性气体的按照第五供给型式(喷嘴洗净用供给型式)P5的供给在容器40搬入传送带22的定时进行。在第五供给型式P5中，在容器搬入时间点(在图5中以(B)表示的时间点)之后第四设定时间t4期间，以第四目标流量V4持续供给非活性气体。
非活性气体的按照第六供给型式(管线洗净用供给型式)P6的供给在保管架10的设置时等，在收到来自用户的开始指令的定时进行。在第六供给型式P6中，在开始指令时间点(在图5中以(C)表示的时间点)之后第五设定时间t5期间，以第五目标流量V5持续供给非活性气体。
第五供给型式P5以及第六供给型式P6中的各参数(V4、V5、t4、t5)预先设定为基准值。第四目标流量V4以及第五目标流量V5设定为比保管用的供给型式P1～P4中的第一目标流量V1小，且比第二目标流量V2大的值。第五目标流量V5设定为比第四目标流量V4小的值。另外，第五设定时间t5设定为比第四设定时间t4大的值。
此外，作为各参数的代表性设定值，例如例示以下。
第一目标流量V1；40～60[L/min]
第二目标流量V2；1～10[L/min]
第四目标流量V4；25～35[L/min]
第五目标流量V5；15～25[L/min]
第四设定时间t4；1～10[s]
第五设定时间t5；900～3000[s]
第一设定时间t1、第二设定时间t2、第三设定时间t3、以及第二周期T2可任意地设定。
基于这些第一至第四供给型式P1～P4，气体供给部30以在容器40收纳于收纳部11的状态下，能够供给非活性气体以使容器40内为适于保管基板B的非活性气氛的方式构成。另外，基于第五供给型式P5，气体供给部30以在利用搬送部20将容器40收纳于收纳部11之前的既定期间(收纳前供给期间)能够供给非活性气体以用于进行供气喷嘴15的净化的方式构成。另外，基于第六供给型式P6，气体供给部30以在保管架10的设置后的既定期间(收纳后供给期间)能够供给非活性气体以用于进行从非活性气体供给源到供气喷嘴15的配管系统的净化的方式构成。
如图4所示，在装备于控制装置H的操作桌HS设有管理用运算装置50。管理用运算装置50作为核心部件具备CPU等运算处理部，用于对输入的数据进行各种处理的多个功能部由硬件或软件(程序)或其双方构成。
如图6所示，管理用运算装置50具备输入受理部51、管理控制部52、存货期间取得部53、识别信息取得部54、以及显示控制部55。另外，管理用运算装置50与键盘61、指点器62、显示装置63、以及数据库DB连接。另外，管理用运算装置50以能够取得由第一传感器S1、第二传感器S2、以及第三传感器S3得到的检测结果的信息的方式构成。此外，在本实施方式中，本发明所涉及的物品保管方法的各工序通过管理用运算装置50与显示装置63的协作来执行。
第一传感器(存货传感器)S1如上所述地设于支持部12，以检测收纳部11中的容器40的存在与否。第二传感器S2设置于从搬送车21到堆垛起重机24的搬送路径中的既定位置，以检测赋予容器40的ID(容器ID)等识别信息。第二传感器S2能够由例如读取设于容器40既定位置的IC标签所存储的信息的标签读出器(tag reader)等构成。另外，第二传感器S2还可以由读取条形码(包含一维条形码以及二维条形码)的条形码读出器等构成。在该意义上，第二传感器S2还能够称为“读取传感器”。第三传感器S3设置于气体供给部30中的既定位置，以检测非活性气体的实际供给流量。第三传感器S3能够由设于上述质量流控制器32的流量传感器构成。
键盘61例如为JIS标准排列等一般的键盘，输入字符、数字等。指点器62例如为鼠标、跟踪板(track pad)等，输入坐标位置、既定操作等。显示装置63为CRT、液晶等显示器，在显示画面显示各种图像、字符等。此外，还可以使用与触摸面板一体化的显示装置63，在该情况下，还可以省略键盘61以及指点器62中的至少一方的设置。在数据库DB数据库化并存放有与保管架10的各种式样对应的，与多个收纳部11的排列(布局)有关的信息。
输入受理部51受理来自键盘61以及指点器62(根据情况，或者是带触摸面板功能的显示装置63)的输入。
管理控制部52管理来自气体供给部30的非活性气体的供给状态。管理控制部52例如管理非活性气体的供给模式，在选择了第一模式(自动供给模式)的情况下，还管理非活性气体的供给型式P。另外，管理控制部52在选择了保管用的供给型式P1～P4的情况下，还管理各参数(V1、V2、t1、t2、t3、T1、T2)。管理控制部52基于经由键盘61以及指点器62等而输入的用户的指定来管理供给模式、供给型式P、各参数。这些信息传递至控制装置H以及驱气控制器Hp，基于此来控制非活性气体从气体供给部30的供给。此外，管理控制部52对多个收纳部11(多个容器40)分别进行上述供给状态管理。
另外，管理控制部52以如下方式构成，即，在选择了保管用的供给型式P1～P4的情况下，能够从驱气控制器Hp取得该时间点的供给阶段F所涉及的信息。在本实施方式中，管理控制部52将从驱气控制器Hp取得的，非活性气体的对各容器40的供给阶段F所涉及的信息传递至显示控制部55。管理控制部52将非活性气体的对各容器40的供给模式P所涉及的信息也传递至显示控制部55。
存货期间取得部53取得存货期间，存货期间为容器40收纳于收纳部11之后的经过时间。存货期间取得部53基于由第一传感器S1得到的检测结果的信息来取得存货期间。存货期间取得部53例如利用第一传感器S1检测容器40收纳于收纳部11的时间点，并且通过以该容器收纳完成时间点为起点的计数计时器来取得存货期间。
识别信息取得部54取得收纳于收纳部11的容器40的识别信息(容器ID)。识别信息取得部54基于由第二传感器S2得到的检测结果来取得容器ID。
由存货期间取得部53取得的存货期间的信息、由识别信息取得部54取得的容器ID的信息传递至管理控制部52。管理控制部52基于这些信息，还进行容器40的保管期间、与保管对象的容器40相关的非活性气体的供给历史(驱气历史)的管理。管理控制部52例如判定与各容器40有关的存货期间是否在预先规定的基准存货期间(例如，1周)以内，并进行容器40的保管期间的妥当性判定。另外，管理控制部52例如判定是否由识别信息取得部54(第二传感器S2)恰当地取得到了容器ID，并进行保管对象的容器40的适当的驱气历史管理的可否判定。管理控制部52将这些判定结果所涉及的信息传递至显示控制部55。
显示控制部55对显示装置63的画面的显示图像(包含文本)进行绘图控制。显示控制部55例如在设定于显示装置63画面的第一显示区域A1(参照图7)对用于受理物品保管设备1的控制用应用程序中的各种命令的菜单图像进行绘图控制。另外，显示控制部55例如在第二显示区域A2对表示包含搬送部20以及气体供给部30的系统整体的工作状态(运转状态、气压、氧浓度、存货状态等)的图像进行绘图控制。另外，显示控制部55例如在第三显示区域A3对表示保管架10的多个收纳部11所收纳的各容器40的状态的图像进行绘图控制。另外，显示控制部55在指点器62所指示的画面上的位置对指针(光标)的图像进行绘图控制。显示控制部55还可以在设定于显示装置63画面的其他显示区域(第四显示区域)对更详细地表示每个保管架10的存货状态等的图像进行绘图控制。
以下，参照表示实际显示的形态的图7来说明在第三显示区域A3显示的表示各容器40的状态的图像。此外，在此，设想选择了第一模式(自动供给模式)的状态。在本发明中，在第三显示区域A3，与保管架10的多个收纳部11的排列(纵横排列)对应地显示多个显示区划C。各显示区划C为矩形状(在本例中为正方形状)。它们在画面内沿上下方向排列，并且在上下方向的各位置处沿左右方向排列。此外，根据情况，有时在特定的位置不设置收纳部11，在此种情况下，在对应的位置不显示显示区划C。
在多个显示区划C，分别显示非活性气体对对应的收纳部11所收纳的容器40的供给状态(以下称为“气体供给状态”)。在本实施方式中，气体供给状态显示为以视觉上能够识别的形态来象征多个状态的状态象征对象Os。另外，在本实施方式中，各显示区划C的整体为状态象征对象Os。
在第一模式(自动供给模式)中，如上所述，基于多个供给型式P来管理来自气体供给部30的气体供给状态。另外，在选择了保管用的供给型式P1～P4的情况下，它们还包含多个供给阶段F。在本实施方式中，保管用的供给型式P1～P4中的各供给阶段F和保管用以外的供给型式P5、P6作为互不相同的气体供给状态，以视觉上能够识别的形态来显示。具体而言，它们是使与各自对应的状态象征对象Os的色彩互不相同而显示的(还参照图8)。
例如，在对各收纳部11所收纳的容器40选择了保管用的供给型式P1～P4的情况下，作为对该容器40的气体供给状态的一种，该时间点的供给阶段F以根据该供给阶段F而不同的色彩来表现。另外，在选择了喷嘴洗净用的第五供给型式P5的情况下，作为对该容器40的气体供给状态的一种，为用于供气喷嘴15的净化的气体供给中的状态以与分别表示多个供给阶段F的色彩进一步不同的色彩来表现。而且，在选择了管线洗净用的第六供给型式P6的情况下，作为对该容器40的气体供给状态的一种，为用于管线整体的净化的气体供给中的状态以与分别表示多个供给阶段F以及喷嘴洗净中的色彩进一步不同的色彩来表现。
此外，在本实施方式中，在各收纳部11未收纳容器40的情况、非活性气体的供给无效的情况也作为气体供给状态的一种以与上述进一步不同的色彩来表现。另外，在本实施方式中，在关于特定容器40的保管期间的适当性、保管对象的容器40的驱气历史管理的适当性得到否定的判定结果时，这些事实也以与上述进一步不同的色彩来表现。在该情况下，以表示这些事实的色彩表现的状态象征对象Os还能够看作分别表示基准存货期间的超过以及容器ID的未取得的“警告信息”的一种。而且，在本实施方式中，关于非活性气体对特定收纳部11的供给，在实际流量相对于目标流量V不足的情况、用户强制停止了气体供给的情况下，这些事实也以与上述进一步不同的色彩来表现。
如此，在本实施方式中，对收纳于各收纳部11的容器40的气体供给状态根据供给型式P、供给阶段F、以及各种非适当状态，通过色彩互不相同的状态象征对象Os来表现。另外，这些状态象征对象Os以构成与保管架10中的多个收纳部11的排列对应的排列的方式显示于第三显示区域A3。因此，用户直觉上容易把握与在实际的保管架10的各个位置(收纳部11)收纳的各容器40有关的气体供给状态。因而，用户能够容易且恰当地进行基板B的保管管理。
在本实施方式中，在处于第一供给阶段F1状态的容器40之中，对满足特定条件的容器40，作为气体供给状态的一种，进一步显示驱气进度。驱气进度表示已供给非活性气体量相对于容器40容积的比例。另外，驱气进度与容器40内包含的既存的气体被新供给的非活性气体置换的比例大概一致。作为特定条件，例示“是利用搬送部20对收纳部11新收纳的容器40”。即，根据本发明的优选的一个实施方式，在对收纳部11收纳了新的容器40的情况下，以该新收纳的容器40为对象来显示驱气进度。换言之，对于各容器40，仅以最初的(第一次的)第一供给阶段F1为对象来显示驱气进度。
如图9所示，在本实施方式中，驱气进度通过使与第一供给阶段F1对应的状态象征对象Os为动态形态来表现。即，驱气进度由其面积(或上下或左右地相向的两边的长度)随时间变化而渐增的状态象征对象Os来表现。状态象征对象Os以从第一供给阶段F1的开始时间点(容器收纳完成时间点)的面积或边长为零的状态变为第一供给阶段F1的完成时间点(第一设定时间t1的经过时间点)的面积或边长为最大的状态的方式变化。
作为一个形态，优选地，状态象征对象Os以在各时间点的面积或边长的相对于各最大值的比例与驱气进度一致的方式连续地变化。或者，状态象征对象Os还可以以在各时间点的面积或边长的相对于各最大值的比例与驱气进度大概一致的方式阶段性地变化。如此，用户直觉上容易把握最初在容器40内包含的空气、水蒸气等气体由非活性气体置换的比例。另外，能够容易地了解利用非活性气体进行的驱气完成之前的剩余时间的推测值。
在本实施方式中，对与各显示区划C对应的收纳部11(容器40)的气体供给状态在各时间点仅以一对保管架10(库)中的一个为对象来显示。而且，成为显示对象的保管架10能够基于人为操作来变更。用户能够通过利用在第三显示区域A3的上部显示的架选择下拉菜单(参照图7)来指定期望的保管架10，从而显示对与该保管架10相关的各收纳部11(容器40)的气体供给状态。
在第三显示区域A3的上部，与架选择下拉菜单邻接地显示有级别(level)选择下拉菜单。用户能够通过利用级别选择下拉菜单来指定期望的显示级别，从而以对应的详细度显示各种信息。此外，在本实施方式中说明的显示形态为“简易级别”，能够以非常简单且能够容易了解的状态提供对用户而言有益的信息(与各容器40有关的气体供给状态)。
2.第二实施方式
参照附图说明本发明所涉及的物品保管设备的第二实施方式。在本实施方式中，在第三显示区域A3显示的信息的详细度与上述第一实施方式不同。关于其以外的点，与上述第一实施方式相同。此外，本实施方式的显示形态是详细度比在上述第一实施方式中说明的“简易级别”高的“标准级别”。
如图10所示，显示区划C为矩形状(在本例中为长方形状)，各显示区划C整体为表示对各收纳部11(容器40)的气体供给状态的状态象征对象Os。在本实施方式中，与状态象征对象Os重叠，显示与系统的管理状态有关的信息(管理信息)。作为此种管理信息，例示例如架编号(保管架10中的各收纳部11的识别编号)、非活性气体的流量、入库之后的经过时间、收纳于各收纳部11的容器40的容器ID等。用户能够通过利用在第三显示区域A3的上部显示的信息选择下拉菜单来指定期望的管理信息，从而与各收纳部11(容器40)对应地显示该管理信息。在本实施方式中，能够以简单且能够容易了解的状态提供对用户而言有益的信息(与各容器40有关的气体供给状态以及各种管理信息)。
3.第三实施方式
参照附图说明本发明所涉及的物品保管设备的第三实施方式。在本实施方式中，在第三显示区域A3显示的信息的详细度与上述第一以及第二实施方式不同。关于其以外的点，与上述第一以及第二实施方式相同。此外，本实施方式的显示形态是详细度比在上述第二实施方式中说明的“标准级别”高的“详细级别”。
如图11所示，显示区划C为矩形状(在本例中为长方形状)。在本实施方式中，表示对各收纳部11(容器40)的气体供给状态的状态象征对象Os以占据各显示区划C的一部分的方式显示。具体而言，如图12扩大所示，状态象征对象Os显示于在显示区划C中央部设定的，相对于显示区划C整体位似比1：2左右大小的中央区域。关于该状态象征对象Os的显示形态，除了不对应于警告以及异常这一点，与上述第一实施方式相同。
在本实施方式中，作为气体供给状态的一种，在供给型式P以及供给阶段F等之外，还显示非活性气体的供给模式。即，在各显示区划C，在状态象征对象Os之外，还显示模式象征对象Om，模式象征对象Om表示非活性气体对对应的容器40的供给模式。模式象征对象Om显示于在下方邻接于所述中央区域的下方区域。该下方区域沿显示区划C的下边设定。由此，模式象征对象Om在相对于状态象征对象Os在下方邻接的位置处沿显示区划C的下边显示。
在本实施方式中，第一模式(自动供给模式)和第二模式(手动供给模式)作为互不相同的气体供给状态，以视觉上能够识别的形态显示。具体而言，它们使与各自对应的模式象征对象Om的色彩互不相同来显示。另外，在本实施方式中，非活性气体的供给无效的情况也以与分别表示多个供给模式的色彩进一步不同的色彩来表现。而且，关于非活性气体对特定收纳部11的供给，在实际流量相对于目标流量V不足的情况、用户强制停止了气体供给的情况下，这些事实也分别作为警告以及异常，以与上述进一步不同的色彩来表现。
在本实施方式中，还与气体供给状态分开地显示与系统管理状态有关的信息(管理信息)。这些管理信息显示于在上方邻接于所述中央区域的上方区域。该上方区域沿显示区划C的上边设定。由此，管理信息在相对于状态象征对象Os在上方邻接的位置处沿显示区划C的上边显示。此外，关于管理信息的显示形态以及内容，除了不与状态象征对象Os重叠这一点，与上述第二实施方式相同。
在本实施方式中，在关于特定容器40的保管期间的适当性、保管对象的容器40的驱气历史管理的适当性得到否定的判定结果的情况下，与气体供给状态分开地显示表示这些事实的警告信息。另外，在本实施方式中，关于非活性气体对特定收纳部11的供给，在实际流量相对于目标流量V不足的情况、用户强制停止了气体供给的情况下，也显示表示这些事实的警告信息。在本实施方式中，警告信息以图案化的图标I的形态来表示。图标I在显示区划C的中央部处与状态象征对象Os重叠地显示。另外，在本实施方式中，图标I的图案为根据各种警告内容而不同的图案。在图12中，例示出分别象征基准存货期间的超过、容器ID的未取得、实际流量的不足、以及强制停止的图案相互不同的图标I。
如此，在本实施方式中，对收纳于各收纳部11的容器40的气体供给状态根据供给型式P、供给阶段F、以及供给模式，以色彩互不相同的状态象征对象Os和色彩互不相同的模式象征对象Om的组合来表现。而且，除此之外，在存在各种非适当状态的情况下，该事实也以图案互不相同的图标I来通知。这些状态象征对象Os、模式象征对象Om、以及图标I一起显示在以构成与保管架10中的多个收纳部11的排列对应的排列的方式排列的显示区划C。因此，用户能够容易且详细地获得实际的保管架10的各个位置(收纳部11)的各种有益信息(气体供给状态、供给模式、以及各种警告等信息)。
4.其他实施方式
最后，说明本发明所涉及的物品保管设备的其他实施方式。此外，在以下各实施方式中公开的构成只要不产生矛盾，则还能够与在其他实施方式中公开的构成组合来适用。
(1)在上述各实施方式中，说明了通过动态形态的状态象征对象Os来表现驱气进度的例子。然而，本发明的实施方式不限定于此。例如，还可以与状态象征对象Os分开地显示象征驱气进度的对象(进度象征对象)。或者，还可以用文本(例如以百分比显示来表示的数值)来显示驱气进度。在该情况下，表示驱气进度的对象或文本例如还可以与状态象征对象Os重叠地显示。
(2)在上述各实施方式中，说明了仅以对各收纳部11(各容器40)的最初的第一供给阶段F1为对象来显示驱气进度的例子。然而，本发明的实施方式不限定于此。例如在适用包含多个第一供给阶段F1的供给型式P的情况下，还可以对第二次以后的第一供给阶段F1也显示驱气进度。另外，还可以不显示此种驱气进度，关于处于第一供给阶段F1状态的收纳部11(容器40)，以一样的形态来显示所对应的状态象征对象Os。或者，还可以不限于第一供给阶段F1，关于其他有限期间的阶段(第二供给阶段F2)也显示该期间的进度。
(3)在上述各实施方式中，说明了与供给型式P、供给阶段F、以及各种非适当状态对应地，通过色彩互不相同的状态象征对象Os来表现它们的例子。然而，本发明的实施方式不限定于此。例如，还可以以仅与供给型式P以及供给阶段F对应而不同的方式设定状态象征对象Os的色彩。另外，还可以以仅与管理用的供给型式P1～P4的供给阶段F对应而不同的方式设定状态象征对象Os的色彩。
(4)在上述各实施方式中，示出6个供给型式P的具体例并进行了说明。然而，这些只是例示，本发明的实施方式不限定于此。决定供给型式P的参数的指令内容以及个数能够任意地设定，为了进行非活性气体的供给，还可以适用与上述说明轮廓(profile)不同的其他供给型式。
(5)在上述各实施方式中，说明了通过状态象征对象Os、模式象征对象Om或图标I作为图形(图案)来显示供给模式、供给型式P、供给阶段F以及警告等的例子。然而，本发明的实施方式不限定于此。例如，供给模式、供给型式P、供给阶段F、以及警告中的一个以上还可以用文本来显示。
(6)关于其他构成，也应该理解，在本说明书中公开的实施方式在所有方面为例示，本发明的范围不由它们限定。若是本领域技术人员，则能够容易地理解，能够在不脱离本发明的主旨的范围内适当地进行改变。因而，在不脱离本发明的主旨的范围内改变的其他实施方式也当然包含在本发明的范围。
产业上的利用可能性
本发明能够利用于对物品进行保管的物品保管设备以及物品保管方法。
符号说明
1 物品保管设备
10 保管架
11 收纳部
15 供气喷嘴
20 搬送部
30 气体供给部
40 容器
45 供气口
50 管理用运算装置
52 管理控制部
53 存货期间取得部
54 识别信息取得部
55 显示控制部
63 显示装置
V 目标流量
P 供给型式
F 供给阶段
C 显示区划
Os 状态象征对象
Om 模式象征对象
I 图标(警告信息)。

Claims (14)

1.一种物品保管设备，具备以下：
保管架，其具有规则地排列的多个收纳部；
搬送部，其将气密性的容器相对于所述收纳部搬入以及搬出；
气体供给部，其按照预先规定的供给型式分别对收纳于所述收纳部的所述容器供给非活性气体；
显示装置，其显示包含所述搬送部以及所述气体供给部的系统的工作状态；
其特征在于：
所述显示装置与所述保管架中的多个所述收纳部的排列对应地显示多个显示区划，并且在多个所述显示区划分别通过以视觉上能够识别的形态象征多个状态的状态象征对象的形态来显示所述非活性气体对收纳于对应的所述收纳部的所述容器的供给状态，并且作为所述供给状态的一种，通过使所述状态象征对象随时间变化而渐增的形态来显示驱气进度，所述驱气进度表示已供给的所述非活性气体的量相对于所述容器的容积的比例。
2.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于：
所述显示装置在利用所述搬送部对所述收纳部搬入了所述容器的情况下，将该容器作为对象来显示所述驱气进度。
3.根据权利要求1或2所述的物品保管设备，其特征在于：
所述供给型式包含以所述非活性气体的供给时期和目标流量的组合互不相同的方式设定的多个供给阶段，
所述显示装置作为所述供给状态的一种，以与各个供给阶段对应而不同的色彩来显示对所述容器适用的该时间点的所述供给阶段为哪个。
4.一种物品保管设备，具备以下：
保管架，其具有规则地排列的多个收纳部；
搬送部，其将气密性的容器相对于所述收纳部搬入以及搬出；
气体供给部，其按照预先规定的供给型式分别对收纳于所述收纳部的所述容器供给非活性气体；
显示装置，其显示包含所述搬送部以及所述气体供给部的系统的工作状态；
其特征在于：
所述供给型式包含以所述非活性气体的供给时期和目标流量的组合互不相同的方式设定的多个供给阶段，
所述显示装置与所述保管架中的多个所述收纳部的排列对应地显示多个显示区划，并且在多个所述显示区划，作为所述非活性气体对收纳于对应的所述收纳部的所述容器的供给状态的一种，分别以与各个供给阶段对应而不同的色彩来显示对所述容器适用的该时间点的所述供给阶段为哪个。
5.根据权利要求3或4所述的物品保管设备，其特征在于：
所述气体供给部以在利用所述搬送部对所述收纳部搬入所述容器之前的既定期间，能够供给所述非活性气体以用于进行供气喷嘴的净化的方式构成，所述供气喷嘴嵌合于在所述容器设置的供气口，
所述显示装置作为所述供给状态的一种，以与分别表示多个所述供给阶段的色彩不同的色彩来显示用于所述供气喷嘴的净化的所述非活性气体的供给为执行中的状态。
6.根据权利要求1或4所述的物品保管设备，其特征在于：
还具备存货期间取得部，所述存货期间取得部取得存货期间，所述存货期间为所述容器搬入所述收纳部之后的经过时间，
所述显示装置在与特定的所述容器有关的存货期间超过预先规定的基准存货期间的情况下，在与收纳有该容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述基准存货期间的超过的警告信息。
7.根据权利要求1或4所述的物品保管设备，其特征在于：
还具备识别信息取得部，所述识别信息取得部取得收纳于所述收纳部的所述容器的识别信息，
所述显示装置在所述识别信息取得部未能取得与特定的所述容器有关的识别信息的情况下，在与收纳有该容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述识别信息的未取得的警告信息。
8.一种利用物品保管设备的物品保管方法，
所述物品保管设备具备：
保管架，其具有规则地排列的多个收纳部；
搬送部，其将气密性的容器相对于所述收纳部搬入以及搬出；
气体供给部，其按照预先规定的供给型式分别对收纳于所述收纳部的所述容器供给非活性气体；以及
显示装置，其显示包含所述搬送部以及所述气体供给部的系统的工作状态，
所述物品保管方法包括利用所述显示装置执行的以下工序：
供给状态显示工序，与所述保管架中的多个所述收纳部的排列对应地显示多个显示区划，并且在多个所述显示区划分别通过以视觉上能够识别的形态象征多个状态的状态象征对象的形态来显示所述非活性气体对收纳于对应的所述收纳部的所述容器的供给状态，并且作为所述供给状态的一种，通过使所述状态象征对象随时间变化而渐增的形态来显示驱气进度，所述驱气进度表示已供给的所述非活性气体的量相对于所述容器的容积的比例。
9.根据权利要求8所述的物品保管方法，其特征在于：
在所述供给状态显示工序中，在利用所述搬送部对所述收纳部搬入了所述容器的情况下，将该容器作为对象来显示所述驱气进度。
10.根据权利要求8或9所述的物品保管方法，其特征在于：
所述供给型式包含以所述非活性气体的供给时期和目标流量的组合互不相同的方式设定的多个供给阶段，
在所述供给状态显示工序中，作为所述供给状态的一种，以与各个供给阶段对应而不同的色彩来显示对所述容器适用的该时间点的所述供给阶段为哪个。
11.一种利用物品保管设备的物品保管方法，
所述物品保管设备具备：
保管架，其具有规则地排列的多个收纳部；
搬送部，其将气密性的容器相对于所述收纳部搬入以及搬出；
气体供给部，其按照预先规定的供给型式分别对收纳于所述收纳部的所述容器供给非活性气体；以及
显示装置，其显示包含所述搬送部以及所述气体供给部的系统的工作状态，
所述供给型式包含以所述非活性气体的供给时期和目标流量的组合互不相同的方式设定的多个供给阶段，
所述物品保管方法包括利用所述显示装置执行的以下工序：
与所述保管架中的多个所述收纳部的排列对应地显示多个显示区划，并且在多个所述显示区划，作为所述非活性气体对收纳于对应的所述收纳部的所述容器的供给状态的一种，分别以与各个供给阶段对应而不同的色彩来显示对所述容器适用的该时间点的所述供给阶段为哪个。
12.根据权利要求10或11所述的物品保管方法，其特征在于：
所述气体供给部以在利用所述搬送部对所述收纳部搬入所述容器之前的既定期间，能够供给所述非活性气体以用于进行供气喷嘴的净化的方式构成，所述供气喷嘴嵌合于在所述容器设置的供气口，
在该供给状态显示工序中，作为所述供给状态的一种，以与分别表示多个所述供给阶段的色彩不同的色彩来显示用于所述供气喷嘴的净化的所述非活性气体的供给为执行中的状态。
13.根据权利要求8或11所述的物品保管方法，其特征在于：
所述物品保管设备还具备存货期间取得部，所述存货期间取得部取得存货期间，所述存货期间为所述容器搬入所述收纳部之后的经过时间，
作为利用所述显示装置执行的工序，还包含以下工序：
在与特定的所述容器有关的存货期间超过预先规定的基准存货期间的情况下，在与收纳有该容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述基准存货期间的超过的警告信息的工序。
14.根据权利要求8或11所述的物品保管方法，其特征在于：
所述物品保管设备还具备识别信息取得部，所述识别信息取得部取得收纳于所述收纳部的所述容器的识别信息，
作为利用所述显示装置执行的工序，还包含以下工序：
在所述识别信息取得部未能取得与特定的所述容器有关的识别信息的情况下，在与收纳有该容器的所述收纳部对应的所述显示区划还显示表示所述识别信息的未取得的警告信息的工序。
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