CN104160445A - 信息记录介质用玻璃基板及其制造方法 - Google Patents

Abstract

在对重叠的多张玻璃材料板的内周端面进行研磨的工序中使用的研磨用刷子(80)中，使由多根刷毛材料(83)构成的刷毛束(81)螺旋状植入轴心部件(82)的外周面，多根刷毛材料(83)以如下方式植入轴心部件(82)：在与研磨用刷子(80)的旋转轴(85)平行的方向上，与刷毛材料(83)植入轴心部件(82)的植入基部(R1)的宽度(W1)相比，由从该植入基部(R1)延伸的多根刷毛材料(83)各自的前端形成的区域(R2)的宽度(W2)较小。

Description

信息记录介质用玻璃基板及其制造方法

技术领域

本发明涉及信息记录介质用玻璃基板及其制造方法，尤其是，涉及作为信息记录介质的一部分而被搭载在硬盘驱动器(HDD：Hard Disk Drive：硬盘驱动器)等的信息记录装置中的信息记录介质用玻璃基板及其制造方法。

背景技术

在硬盘驱动器等的信息记录装置的内部，搭载有信息记录介质(磁盘)。信息记录介质是通过在中央具有孔的圆盘状的玻璃基板的主表面上，成膜有磁性记录用的磁性记录层而制造出的。

在信息记录介质的制造中使用的玻璃基板称作信息记录介质用玻璃基板(以下，也简单称作玻璃基板)。例如在日本特开2007-098484号公报(专利文献1)和日本特开2007-245319号公报(专利文献2)中公开了信息记录介质用玻璃基板的制造方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-098484号公报

专利文献2：日本特开2007-245319号公报

发明内容

发明要解决的问题

随着计算机等的使用用途和使用环境的扩展，对信息记录介质(磁盘)要求的耐冲击性或对防止产生溶出物的要求也具有逐渐增高的趋势。在信息记录介质的内周端面存在细微裂纹的情况下，信息记录介质的耐冲击性下降。为了提高耐冲击性，构成信息记录介质的玻璃材料板的内周端面需要通过研磨加工而形成为足够平滑。

通常，为了得到高平滑度，玻璃基板(玻璃材料板)的内周端面在通过研削加工进行研削后，使用研磨浆料和研磨用刷子进行研磨。出于提高制造效率等的观点，在对玻璃材料板的内周端面进行研磨加工时，有时玻璃材料板在多个玻璃材料板彼此重叠的状态下成批地进行研磨处理。

本发明的目的在于提供一种信息记录介质用玻璃基板及其制造方法，即使在对多个玻璃材料板成批地进行研磨处理的情况下，也能够将多个玻璃材料板的内周端面研磨得更为平滑。

用于解决问题的手段

基于本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法具有如下工序：准备具有内周端面的多张玻璃材料板；准备将由多根刷毛材料构成的刷毛束螺旋状地植入轴心部件的外周面而成的研磨用刷子；在重叠了多张上述玻璃材料板后，配置上述研磨用刷子，使得处于重叠状态的多张上述玻璃材料板的上述内周端面与上述刷毛束的前端彼此相对；以及使上述研磨用刷子旋转，使上述刷毛束相对于处于重叠状态的多张上述玻璃材料板的上述内周端面滑动，来研磨多张上述玻璃材料板的上述内周端面，多根上述刷毛材料以如下方式植入上述轴心部件：在与上述研磨用刷子的旋转轴平行的方向上，与多根上述刷毛材料植入上述轴心部件的植入基部的宽度相比，由从该植入基部延伸的多根上述刷毛材料各自的前端形成的区域的宽度较小。

优选的是，多根上述刷毛材料以如下方式植入上述轴心部件：在与上述研磨用刷子的旋转轴平行的方向上，多根刷毛材料的95％以上的上述刷毛材料的前端位于上述植入基部的宽度方向的以中心线为基准±40％以内的范围内，所述植入基部沿着与上述轴心部件的表面垂直的方向延伸。

优选的是，多根上述刷毛材料以如下方式植入上述轴心部件：在与上述研磨用刷子的旋转轴平行的方向上，上述刷毛束的前端呈圆弧状。

基于本发明的信息记录介质用玻璃基板是使用基于本发明的上述信息记录介质用玻璃基板的制造方法而制造出的。

发明效果

根据本发明，能够得到一种信息记录介质用玻璃基板及其制造方法，即使在对多个玻璃材料板成批地进行研磨处理的情况下，也能够将多个玻璃材料板的内周端面研磨得更为平滑。

附图说明

图1是示出具有使用实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法而制造出的玻璃基板的信息记录装置的立体图。

图2是示出通过实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法而制造出的玻璃基板的俯视图。

图3是沿着图2中的III-III线的方向观察的剖视图。

图4是示出具有通过实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法而制造出的玻璃基板的信息记录介质的俯视图。

图5是沿着图4中的V-V线的方向观察的剖视图。

图6是示出实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的流程图。

图7是示出在实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序中使用的研磨用刷子的立体图。

图8是示出在实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序中使用的研磨用刷子的侧视图。

图9是示意性将在实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序中使用的研磨用刷子放大示出的侧视图。

图10是将实施方式中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序(内周端面研磨工序)被实施的情况放大而示出的侧视图。

图11是将在比较例中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序中使用的研磨用刷子放大而示意性示出的侧视图。

图12是将实施比较例中的信息记录介质用玻璃基板的制造方法的端面研磨工序(内周端面研磨工序)的情况放大而示出的侧视图。

图13是示出与实施方式相关的实施例和比较例的条件和结果的图。

图14是示意性示出在与实施方式相关的比较例1中使用的研磨用刷子的侧视图。

图15是示意性示出在与实施方式相关的比较例2中使用的研磨用刷子的侧视图。

图16是示意性示出在与实施方式相关的实施例1、2中使用的研磨用刷子的侧视图。

图17是将在与实施方式相关的实施例1、2中使用的研磨用刷子放大而示意性示出的侧视图。

图18是示意性示出在与实施方式相关的比较例3中使用的研磨用刷子的侧视图。

图19是示意性示出在与实施方式相关的实施例3中使用的研磨用刷子的侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图，对基于本发明的实施方式和各实施例进行说明。在实施方式和各实施例的说明中，在没有提及个数、数量等的情况下，除了特别进行记载的情况以外，本发明的范围不是必须限定于该个数、数量等。在实施方式和各实施例的说明中，对于相同部件和相当部件，有时标注相同的参照编号，且不再反复重复的说明。

[实施方式]

(信息记录装置30)

首先，参照图1，对信息记录装置30进行说明。图1是示出信息记录装置30的立体图。信息记录装置30具有通过实施方式中的信息记录介质用玻璃基板(以下，简单称作玻璃基板)的制造方法而制造出的玻璃基板1来作为信息记录介质10。

具体而言，信息记录装置30具有信息记录介质10、壳体20、磁头滑块21、悬架22、臂23、垂直轴24、音圈(voice coil)25、音圈电机26、钳夹部件27和固定螺钉28。在壳体20的上表面上，设置有主轴电机(未图示)。

磁盘等信息记录介质10通过钳夹部件27和固定螺钉28，以能够旋转的方式固定于上述主轴电机。信息记录介质10被该主轴电机以例如数千rpm的转速旋转驱动。信息记录介质10是在玻璃基板1上形成化学强化层12(参照图5)和磁性记录层14(参照图4和图5)而制造出的，详细情况将参照图4和图5在后面描述。

臂23被安装为能够绕垂直轴24摆动。在臂23的前端，安装有形成为板簧(单侧固定梁)状的悬架22。在悬架22的前端，以夹着信息记录介质10的方式安装有磁头滑块21。

在臂23的与磁头滑块21相反的一侧，安装有音圈25。音圈25被设置在壳体20上的磁体(未图示)夹持着。由音圈25和该磁体构成了音圈电机26。

向音圈25提供规定的电流。臂23借助由流过音圈25的电流和上述磁体的磁场产生的电磁力的作用，绕垂直轴24摆动。通过臂23的摆动，悬架22和磁头滑块21也沿箭头AR1方向摆动。磁头滑块21沿信息记录介质10的半径方向在信息记录介质10的正面上和反面上往复移动。设置在磁头滑块21上的磁头(未图示)进行寻道动作。

在进行该寻道动作的同时，磁头滑块21由于伴随信息记录介质10的旋转而产生的空气流，受到上浮力。利用该上浮力与悬架22的弹性力(按压力)之间的平衡，磁头滑块21相对于信息记录介质10的表面保持一定的上浮量而行进。通过该行进，设置在磁头滑块21上的磁头能够对信息记录介质10内的规定磁道进行信息(数据)的记录和再现。如上所述，构成了搭载有玻璃基板1来作为构成信息记录介质10的部件的一部分的信息记录装置30。

(玻璃基板1)

图2是示出通过基于本实施方式的信息记录介质用玻璃基板的制造方法而制造出的玻璃基板1的俯视图。图3是沿着图2中的III-III线的方向观察的剖视图。

如图2和图3所示，在信息记录介质10(参照图4和图5)中，作为信息记录介质的一部分来使用的玻璃基板1(信息记录介质用玻璃基板)具有主表面2、主表面3、内周端面4、孔5和外周端面6，并整体形成为圆盘状。孔5被设置为从一个主表面2朝另一个主表面3贯通。在主表面2与内周端面4之间以及主表面3与内周端面4之间，分别形成有倒角部7。在主表面2与外周端面6之间以及主表面3与外周端面6之间，形成有倒角部8(斜面部)。

玻璃基板1的大小例如为0.8英寸、1.0英寸、1.8英寸、2.5英寸或3.5英寸。出于防止破损的观点，玻璃基板的厚度例如为0.30mm～2.2mm。本实施方式中的玻璃基板的大小设为：外径约64mm，内径约20mm，厚度约0.8mm。玻璃基板的厚度是指根据在玻璃基板上的作为点对象的任意多个点处测定出的值的平均而计算出的值。

(信息记录介质10)

图4是示出具有玻璃基板1作为信息记录介质的信息记录介质10的俯视图。图5是沿着图4中的V-V线的方向观察的剖视图。

如图4和图5所示，信息记录介质10包含玻璃基板1、化学强化层12和磁性记录层14。化学强化层12形成为覆盖玻璃基板1的主表面2、3、内周端面4和外周端面6。磁性记录层14形成为覆盖化学强化层12的在主表面2、3上的规定区域。在玻璃基板1的内周端面4上形成化学强化层12，在内周端面4的内侧形成孔15。利用孔15，将信息记录介质10固定于设置在壳体20(参照图1)上的主轴电机上。

在图5示出的信息记录介质10中，在形成于主表面2上的化学强化层12和形成于主表面3上的化学强化层12这双方(双面)上，形成有磁性记录层14。磁性记录层14可以仅设置在形成于主表面2上的化学强化层12上(单面)，也可以设置在形成于主表面3上的化学强化层12上(单面)。

磁性记录层14是通过在玻璃基板1的主表面2、3上的化学强化层12上，旋涂分散有磁性粒子的热固化性树脂而形成的(旋涂法)。磁性记录层14可以通过对玻璃基板1的主表面2、3上的化学强化层12实施的溅射法或无电解镀法等来形成。

关于磁性记录层14的膜厚，在旋涂法的情况下为约0.3μm～1.2μm，在溅射法的情况下为约0.04μm～0.08μm，在无电解镀法的情况下为约0.05μm～0.1μm。出于薄膜化和高密度化的观点，用溅射法或者无电解镀法来形成磁性记录层14较好。

作为用于磁性记录层14的磁性材料，适当的是，为了得到高保持力，以结晶各向异性性较高的Co为主成分，为了调整残留磁通密度，附加地使用加入了Ni或Cr的Co系合金等。

为了提高磁头的光滑度，可以在磁性记录层14的表面薄薄地涂覆润滑剂。作为润滑剂，例如可举出用氟利昂类等的溶剂稀释作为液体润滑剂的全氟聚醚(PFPE)而得到的润滑剂。

可以根据需要，对磁性记录层14设置基底层或者保护层。信息记录介质10中的基底层根据磁性膜的种类来进行选择。作为基底层的材料，例如可举出从Cr、Mo、Ta、Ti、W、V、B、Al或Ni等非磁性金属中选出的至少一种以上的材料。

对磁性记录层14设置的基底层不限于单层，也可以设为层叠相同种类或不同种类的层而成的多层结构。例如，可以设为Cr/Cr、Cr/CrMo、Cr/CrV、NiAl/Cr、NiAl/CrMo或NiAl/CrV等的多层基底层。

作为防止磁性记录层14的磨损和腐蚀的保护层，例如可举出Cr层、Cr合金层、碳层、氢化碳层、氧化锆层或二氧化硅层。这些保护层能够与基底层和磁性膜等一起，利用内联型溅射装置来连续地形成。这些保护层可以设为单层，或者设为由相同种类或不同种类的层构成的多层结构。

可以在上述保护层上形成其它保护层，或者，替代上述保护层而形成其它保护层。例如，替代上述保护层，在Cr层上，在用酒精类的溶剂稀释四烷氧基硅烷得到的产物中，分散地涂覆胶态二氧化硅微粒子并进行烧结，形成氧化硅(SiO2)层。

(玻璃基板的制造方法)

接下来，使用图6所示的流程图，对本实施方式中的玻璃基板(信息记录介质用玻璃基板)的制造方法(S100)进行说明。本实施方式中的玻璃基板的制造方法(S100)具有玻璃材料板准备工序(S10)、氧化铝研磨工序(S20)、取心(coreing)加工工序(S30)、端面研削工序(S40)、端面研磨工序(S50)、磨削加工工序(S60)、抛光加工工序(S70)和化学强化工序(S80)。

对经过化学强化工序(S80)得到的玻璃基板实施磁性记录层成膜工序(S200)。经过磁性记录层成膜工序(S200)，得到了信息记录介质10(参照图4和图5)。以下，依次对构成玻璃基板的制造方法(S100)的各工序S10～S80的详细情况进行说明，在以下的说明中，有时没有对在各工序S10～S80之间适当进行的简易清洗进行详细记载。

(S10：玻璃材料板准备工序)

首先，准备规定张数的构成玻璃基板的大致圆盘状的玻璃材料板。玻璃材料板例如是使用上模、下模、体模来直接对熔融玻璃进行模压而得到的。此时，也可以替代直接模压法，利用研削磨具从使用下拉(down draw)法或浮式法形成的片状玻璃中进行切割，从而得到圆板状的玻璃材料板。

(S20：氧化铝研磨工序)

接下来，对规定张数的玻璃材料板实施氧化铝研磨处理。该氧化铝研磨处理的目的在于提高尺寸精度和形状精度。氧化铝研磨处理是使用磨削装置进行的。使用粒度#400的氧化铝磨粒，将负荷设定为100kg左右，使内转齿轮和外转齿轮旋转，由此，对收纳在支架内的玻璃材料板的两个主表面进行研磨。

(S30：取心加工工序)

接下来，使用圆筒状的磨具，在规定张数的玻璃材料板的中心部分别形成孔。该孔对应于图2和图3中的孔5，在将信息记录介质10固定于主轴电机时使用该孔。

(S40：端面研削工序)

在端面研削工序(S40)中，使用研削用的磨具，分别对规定张数的玻璃材料板的内周端面和外周端面进行研削，进而，对内周端面和外周端面实施规定的倒角加工。通过这些加工，玻璃材料板1的内周端面4被研削为具有倒角部7的规定形状，玻璃材料板1的外周端面6被研削为具有倒角部8的规定形状。

(S50：端面研磨工序)

接下来，实施使用氧化铈等研磨浆料的端面研磨工序(S50)。端面研磨工序(S50)包含内周端面研磨工序(S51)和外周端面研磨工序(S52)。

参照图7，在进行内周端面研磨工序(S51)时，使用研磨用刷子80(研磨部件)。研磨用刷子80是将由多根刷毛材料构成的刷毛束81螺旋状地植入圆柱状的轴心部件82的外周面而构成的。关于研磨用刷子80的更详细的结构，将参照图9和图10在后面描述。

参照图8，如图8所示，实施内周端面4和外周端面的研削处理的玻璃材料板1例如每批400张，在重叠成块状(块体9)的状态下用规定的固定夹具(未图示)进行固定。最好在相邻的玻璃材料板1彼此之间设置间隔物等。

在将多个玻璃材料板1定位和固定后，在内周端面4的内侧配置研磨用刷子80，使得处于重叠状态的多张玻璃材料板1的内周端面4与刷毛束81的前端彼此相对。在该状态下，使研磨用刷子80旋转，使刷毛束81相对于处于重叠状态多张玻璃材料板1的内周端面4滑动，来研磨多张玻璃材料板1的内周端面4。

参照图9，此处，在本实施方式中的内周端面研磨工序(S51)中使用的研磨用刷子80是如下构成的。如上所述，研磨用刷子80的刷毛束81由多根刷毛材料83、83构成。多根刷毛材料83、83以如下方式植入轴心部件82：在与研磨用刷子80的旋转轴85平行的方向上，与多根刷毛材料83、83植入轴心部件82的植入基部R1的宽度W1相比，由从该植入基部R1延伸的多根刷毛材料83、83各自的前端形成的区域R2的宽度W2较小。

优选的是，多根刷毛材料83、83最好以如下方式植入轴心部件82：在与研磨用刷子80的旋转轴85平行的方向上，多根刷毛材料83、83中的95％以上刷毛材料的前端位于植入基部R1的宽度方向的以中心线81C为基准±40％以内的范围Q、Q(沿与中心线81C平行的方向进行投影的情况下的范围)内，所述植入基部R1沿着与轴心部件82的表面垂直的方向延伸。

参照图10，在使用研磨用刷子80来研磨处于重叠状态的多张玻璃材料板1的内周端面4时，多个刷毛材料83、83各自的毛尖与玻璃材料板1的内周端面4和倒角部7抵接。多个刷毛材料83、83各自的毛尖在与玻璃材料板1的内周端面4和倒角部7接触时，集中于窄小范围内，从而能够在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间定期地施加强负荷。由此，能够有效地去除残留在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间的残渣88(研磨屑)，从而确保对倒角部7的优良加工率。

参照图11，与此相对，在比较例中的研磨用刷子80Z中，多根刷毛材料83、83以相对于轴心部件82的表面垂直立起的方式进行植入，且被配置为彼此具有大致均等的间隔。

参照图12，在使用研磨用刷子80Z来研磨处于重叠状态的多张玻璃材料板1的内周端面4时，研磨用刷子80Z的刷毛材料83因与内周端面4和倒角部7抵接而向外侧扩展。多个刷毛材料83、83各自的毛尖在与玻璃材料板1的内周端面4和倒角部7接触时，不能集中到窄小范围内。仅在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间始终施加一定的较弱的负荷，而不能定期地施加与本实施方式的研磨用刷子80不同的较强的负荷。其结果是，难以有效地去除残留在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间的残渣88(研磨屑)。

因此，根据本实施方式中的玻璃基板的制造方法中使用的研磨用刷子80，多个刷毛材料83、83各自的毛尖在与玻璃材料板1的内周端面4和倒角部7接触时，集中于窄小范围内，从而能够在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间定期地施加强负荷。由此，能够有效地去除残留在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间的残渣88(研磨屑)，从而确保对倒角部7的优良加工率。

在外周端面研磨工序(S52)中，使用与研磨用刷子80相同的刷子。在进行外周端面研磨工序(S52)时，与内周端面研磨工序(S51)同样，在将多张玻璃材料板1重叠的状态下研磨外周端面6。在端面研磨工序(S50)中，可以在将块体9(参照图8)和研磨用刷子80完全浸渍于研磨液中的状态下实施研磨处理，也可以一边使研磨浆料流入(流过)内周端面4或外周端面6与研磨用刷子80之间，一边实施研磨处理。

(S60：磨削加工工序)

再次参照图6，对经过端面研磨工序(S50)后的玻璃材料板1(玻璃材料板1)进行清洗，然后进行磨削加工。将磨粒的粒度变更为更小的磨粒后，对玻璃材料板1的主表面2、3进行使用了磨削装置的磨削加工。

(S70：抛光加工工序)

对经过磨削加工工序(S60)后的玻璃材料板1进行清洗，然后进行抛光加工。使用研磨装置(硬质和软质的研磨垫(pad))，对玻璃材料板1的主表面2、3进行抛光加工。

(S80：化学強化工序)

接下来，对结束了清洗工序的玻璃材料板1实施化学强化处理。准备化学强化处理槽，在其中注入混合硝酸钾(60％)和硝酸钠(40％)而成的化学强化液。将化学强化液加热到300℃～400℃，并将清洗完的玻璃材料板1预热到200℃～300℃。

在化学强化液中，将玻璃材料板1浸渍3小时～4小时。在进行浸渍时，优选的是，为了使玻璃材料板1的表面整体被化学强化，以利用各个端面来保持多个玻璃材料板1的方式，在将多个玻璃材料板1收纳于保持架等的状态下进行浸渍。

玻璃材料板1中包含的锂、钠离子等的碱金属离子被离子半径比这些离子大的钾离子等的碱金属离子所置换(离子交换法)。由于因离子半径不同而产生的变形，在被进行离子交换的区域中产生压缩应力，将玻璃材料板的两主表面强化。

在结束了以上各工序后，玻璃材料板1上残存的附着物消失，玻璃材料板1使用950kHz的高频进行超声波清洗，或者使用碱性洗剂进行清洗。然后，使用IPA蒸汽对玻璃材料板1进行干燥。通过以上方式，得到了本实施方式中的玻璃基板。

通过去除经过化学强化工序后残留在玻璃基板1的主表面上的附着物，减少了在使用玻璃基板1(参照图2和图3)制造出的磁盘等的信息记录介质10(参照图4和图5)上产生磁头碰撞的情况。如上所述，构成了本实施方式中的玻璃基板的制造方法(S100)。

(S200：磁性薄膜形成工序)

对完成了化学强化处理的玻璃基板的两个主表面(或者任意一个主表面)形成磁性记录层。磁性记录层例如是通过如下方式形成的：将由Cr合金构成的紧密附着层、由CoFeZr合金构成的软磁性层、由Ru构成的配向控制基底层、由CoCrPt合金构成的垂直磁性记录层、由C系构成的保护层和F系构成的润滑层依次成膜。通过形成磁性记录层，能够得到图4和图5所示的信息记录介质10。

(作用/效果)

如上所述，在本实施方式中的玻璃基板的制造方法中，研磨用刷子80的多个刷毛材料83、83各自的毛尖在与玻璃材料板1的内周端面4和倒角部7接触时，集中于窄小范围内，能够在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间定期地施加强负荷。由此，能够有效地去除残留在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间的残渣88(研磨屑)，确保对倒角部7的优良加工率。

[实验例]

参照图13，对作为实施例的基于上述实施方式的实施例1～3以及与它们对应的比较例1～3进行实验。在实施例1～3和比较例1～3中，对玻璃材料板准备工序、确保平坦度的氧化铝研磨工序、取心加工工序和端面研削工序设置与上述的实施方式相同的条件。

作为内周端面研磨工序中的内周端面的研磨条件，设为一次加工张数为400张的块体9，将具有螺旋状的刷毛束81的研磨用刷子80的转速设定为4000rpm，将块体9的转速设定为30rpm。玻璃材料板1的孔5的内径为20.01mm，研磨加工时间为20min。在研磨时，使研磨浆料流过内周端面4与研磨用刷子80之间。关于在内周端面研磨工序中使用的研磨刷子，如后述那样，在实施例1～3和比较例1～3中分别使用不同的刷子。在外周端面研磨中，设为刷子研磨，并使用了氧化铈。氧化铈的浓度设为15wt％。

在磨削加工中，实施例1～3和比较例1～3同样进行基于双面研磨机和金刚石片固定磨粒的研削。在抛光加工工序中，实施例1～3和比较例1～3同样，作为第1抛光加工工序(P1)，使用了氧化铈磨粒和硬质聚氨酯垫，作为第2抛光加工工序(P2)，使用了胶态二氧化硅磨粒和硬质皮革(スウェード)垫。然后，对所得到的玻璃材料板1进行化学强化，得到玻璃基板。

(比较例1)

参照图13和图14，在比较例1中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的长度L为4mm，刷毛材料83的植入范围R为1.5mm，刷毛材料83的毛尖范围Q为1.05mm。根据植入范围R和毛尖范围Q而计算出的Q/R比为70％。作为刷毛束81的毛尖形状，呈放射状。

(比较例2)

参照图13和图15，在比较例2中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的长度L为4mm，刷毛材料83的植入范围R为1.5mm，刷毛材料83的毛尖范围Q为0.75mm。根据植入范围R和毛尖范围Q而计算出的Q/R比为50％。作为刷毛束81的毛尖形状，呈平坦状。

(实施例1)

参照图13、图16和图17，在实施例1中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的长度L为4mm，刷毛材料83的植入范围R为1.5mm，刷毛材料83的毛尖范围Q为0.60mm。根据植入范围R和毛尖范围Q而计算出的Q/R比为40％。作为刷毛束81的毛尖形状，呈如圆弧89(参照图17)所描绘那样的曲线状(圆弧状)。

(实施例2)

参照图13、图16和图17，与实施例1同样，在实施例2中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的长度L为4mm，刷毛材料83的植入范围R为1.5mm。在实施例2中，刷毛材料83的毛尖范围Q为0.45mm。根据植入范围R和毛尖范围Q而计算出的Q/R比为30％。作为刷毛束81的毛尖形状，与实施例1同样，呈如圆弧89(参照图17)所描绘那样的曲线状(圆弧状)。

(比较例3)

参照图13和图18，在比较例3中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的长度L为4mm，刷毛材料83的植入范围R为1.2mm，刷毛材料83的毛尖范围Q为0.60mm。根据植入范围R和毛尖范围Q而计算出的Q/R比为50％。作为刷毛束81的毛尖形状，呈平坦状。

(实施例3)

参照图13和图19，在实施例3中使用的研磨用刷子的刷毛材料83的长度L为4mm，刷毛材料83的植入范围R为1.5mm，刷毛材料83的毛尖范围Q为0.60mm。根据植入范围R和毛尖范围Q而计算出的Q/R比为40％。作为刷毛束81的毛尖形状，呈平坦状。

针对根据实施例1～3和比较例1～3而得到的玻璃材料板1，进行内周端面4的倒角部7(倒角面)的检查。作为检查方法，使用AFM(比克(ビーコ)公司制Dimension3100和计测软件NanoScope7.2)，对内周端面4的倒角部7进行粗糙度计测，对表面粗糙度Ra的值为1.0nm以上的玻璃材料板1的比例进行调査，将对应的玻璃材料板1的比例为10％以上的情况评价为B，将小于10％且6％以上的情况评价为A，将小于6％的情况评价为S。

此外，对玻璃材料板1实施成膜处理，形成信息记录介质10，将其组装到实际的信息记录装置30(硬盘驱动器)中，针对各条件，进行每批50台的读写试验，来确认良品率。

如图13所示，其结果是，在实施例1～3中，倒角部7的状态均评价为A或评价为S，与此相对，在比较例1～3中均评价为B。此外，在实施例1、2中，得到比实施例3更好的评价。可以认为：由于刷毛束81的毛尖形状呈曲线状(圆弧状)，刷毛材料83的前端部分深入到倒角部7、7之间的深处，从而能够均匀地研磨倒角部7。

此外可以认为：在比较例1、2、3中，由于玻璃材料板1的内周端面4不充分的研磨，使得溶出物产生并附着于玻璃材料板1的表面，在成膜后的信息记录介质10中成为缺陷，使记录特性产生异常。

此外，在毛尖范围Q与实施例1相等且毛尖范围Q与植入范围R相等的比较例3中，与实施例1相比，得到不优选的结果。这被认为是由于刷毛材料83的毛尖在碰到玻璃材料板1时会倒向特定的方向、从而使研磨率下降的结果。

此外，在实施例3中，通过在植入方法上想办法，将作为刷毛束81的前端部分设为平坦状。端面检查的结果评价为A，但记录特性试验稍低于实施例1。通过调査原因，结果发现：在实施例3中，尽管倒角部7的粗糙度达到合格水平，但是在主表面附近和内周端面4附近，粗糙度的值有偏差。这被认为是由于：与实施例3的情况相比，在实施例1中，集中在前端的刷毛材料83的毛尖更好地进入到倒角部7的间隙。

因此，根据本实施例的结果可知，根据上述的实施方式中的研磨用刷子80，研磨用刷子80的多个刷毛材料83、83各自的毛尖在与玻璃材料板1的内周端面4和倒角部7接触时，集中于窄小范围内，从而能够在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间定期地施加强负荷。由此可知，残留在相邻的玻璃材料板1的倒角部7、7彼此之间的残渣(研磨屑)被有效地去除，从而能够确保对倒角部7的优良加工率。

以上，对基于本发明的各实施方式和各实施例进行了说明，但是本次所公开的各实施方式和各实施例在全部方面只是例示而不是限制。本发明的技术的范围由权利要求书表示，意在包含与权利要求书等同的含义和范围内的全部变更。

标号说明

1  玻璃基板(玻璃材料板)；2、3  主表面；4  内周端面；5、15  孔；6  外周端面；7、8  倒角部；9  块体；10  信息记录介质；12  化学强化层；14  磁性记录层；20  壳体；21  磁头滑块；22  悬架；23  臂；24  垂直轴；25  音圈；26  音圈电机；27  钳夹部件；28  固定螺钉；30  信息记录装置；80；80Z  研磨用刷子；81  刷毛束；81C  中心线；82  轴心部件；83  刷毛材料；85  旋转轴；88  残渣；89  圆弧；Q  毛尖范围；R  植入范围；R1  植入基部；R2  区域。

Claims (4)

1.一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，具有如下工序：

准备具有内周端面的多张玻璃材料板；

准备将由多根刷毛材料构成的刷毛束螺旋状地植入轴心部件的外周面而成的研磨用刷子；

在重叠了多张所述玻璃材料板后，配置所述研磨用刷子，使得处于重叠状态的多张所述玻璃材料板的所述内周端面与所述刷毛束的前端彼此相对；以及

使所述研磨用刷子旋转，使所述刷毛束相对于处于重叠状态的多张所述玻璃材料板的所述内周端面滑动，来研磨多张所述玻璃材料板的所述内周端面，

多根所述刷毛材料以如下方式植入所述轴心部件：在与所述研磨用刷子的旋转轴平行的方向上，与多根所述刷毛材料植入所述轴心部件的植入基部的宽度相比，由从该植入基部延伸的多根所述刷毛材料各自的前端形成的区域的宽度较小。

2.根据权利要求1所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

多根所述刷毛材料以如下方式植入所述轴心部件：在与所述研磨用刷子的旋转轴平行的方向上，多根刷毛材料中的95％以上的所述刷毛材料的前端位于所述植入基部的宽度方向的以中心线为基准±40％以内的范围内，所述植入基部沿着与所述轴心部件的表面垂直的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

多根所述刷毛材料以如下方式植入所述轴心部件：在与所述研磨用刷子的旋转轴平行的方向上，所述刷毛束的前端呈圆弧状。

4.一种信息记录介质用玻璃基板，其是使用权利要求1～3中的任意一项所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法而制造出的。