CN104114358A - 吸附用多孔片和吸附用多孔片中使用的更换用表面层 - Google Patents

吸附用多孔片和吸附用多孔片中使用的更换用表面层 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种多层吸附用多孔片，其为通过配置到吸附单元的吸附面上而防止吸附对象物与吸附面的接触的吸附用多孔片，其具有以往所没有的构成。一种吸附用多孔片，包含具有透气性的基层和配置在基层上的表面层，表面层由树脂微粒相互粘结而成的多孔体构成，表面层的与基层侧相反的一侧的主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下，基层与表面层通过配置在该基层与该表面层之间的透气性粘合剂层接合。基层和/或表面层例如由超高分子量聚乙烯(UHMWPE)构成。

Description

吸附用多孔片和吸附用多孔片中使用的更换用表面层
技术领域
本发明涉及通过配置到吸附单元的吸附面上而防止吸附对象物与吸附面的直接接触的吸附用多孔片。另外，本发明涉及吸附用多孔片中使用的更换用表面层。
背景技术
作为对板状或片状的部件进行固定或输送的方法之一，有使该部件吸附到吸附单元的吸附面上而固定或输送的方法。该方法应用于玻璃板(例如液晶显示装置用玻璃基板)、半导体晶片、陶瓷生片等的固定、输送。此时，一般在吸附单元的吸附面上配置防止吸附单元与吸附在该单元上的吸附对象物的直接接触且具有透气性的吸附用多孔片。通过配置吸附用多孔片，能够防止例如由构成吸附对象物的材料(作为一例，为陶瓷生片中含有的陶瓷粉末)造成的吸附面的划伤、污染。吸附单元的吸附面的划伤和污染成为使之后吸附的吸附对象物产生不良的主要原因。
吸附用多孔片一般为树脂片。提出了将具有50万以上的粘度平均分子量的超高分子量聚乙烯(UHMWPE)片作为吸附用多孔片使用的方案(专利文献1)。
专利文献2中公开了一种多层吸附用多孔片。专利文献2的吸附用多孔片具备多孔层和配置在该片的至少一个面上的粒子层，粒子层的表面粗糙度(Ra)为0.5μm以下。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平8-169971号公报
专利文献2：日本特开2006-026981号公报
发明内容
发明所要解决的问题
本发明的目的在于提供具有以往所没有的构成的多层吸附用多孔片。
用于解决问题的手段
本发明的吸附用多孔片为通过配置到吸附单元的吸附面上而防止吸附对象物与所述吸附面的接触的吸附用多孔片，其包含具有透气性的基层和配置在所述基层上的表面层。所述表面层由树脂微粒相互粘结而成的多孔体构成。所述表面层的与所述基层侧相反的一侧的主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下。所述基层与所述表面层通过配置在该基层与该表面层之间的透气性粘合剂层接合。
本发明的吸附用多孔片中，通过透气性粘合剂层将基层与表面层接合，因此，能够在抑制对基层造成的损伤的同时，将两层相互分离而对表面层进行更换。着眼于要更换的表面层(吸附用多孔片中使用的更换用表面层)，本发明的吸附用多孔片中使用的更换用表面层通过与具有透气性的基层接合而形成吸附用多孔片，所述吸附用多孔片通过配置到吸附单元的吸附面上而防止吸附对象物与所述吸附面的接触，在将该多孔片配置在所述吸附面上时，所述更换用表面层成为所述形成的吸附用多孔片的与所述吸附对象物接触的面，所述表面层由树脂微粒相互粘结而成的多孔体构成，在所述表面层的一个主面上配置有将该表面层与所述基层接合的透气性粘合剂层，所述表面层的另一个主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下。
发明效果
根据本发明，能够得到具有以往所没有的构成的多层吸附用多孔片。
附图说明
图1是示意地表示本发明的吸附用多孔片的一例的截面图。
具体实施方式
图1中示出本发明的吸附用多孔片的一例。图1所示的吸附用多孔片1包含基层2和配置在基层2上的表面层3。基层2与表面层3通过配置在基层2与表面层3之间的透气性粘合剂层4接合。基层2具有透气性，表面层3由树脂微粒相互粘结而成的多孔体构成，粘合剂层4具有透气性。通过将吸附用多孔片1配置到吸附单元的吸附面上，能够在防止吸附对象物与该吸附面的直接接触的同时，将吸附对象物吸附到吸附单元上。此时，以使表面层3与吸附对象物接触的方式将吸附用多孔片1配置到吸附面上。
表面层3的与基层2侧相反的一侧的主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下。即，吸附用多孔片1在其与吸附对象物接触的面具有高表面平滑性。由此，使吸附对象物的吸附时(以下仅称为“吸附时”)吸附对象物的变形和应变的产生以及吸附用多孔片的表面形状向吸附对象物上的转印得到抑制。该效果在陶瓷生片等吸附对象物的厚度小的情况下变得特别显著。该主面的表面粗糙度(Ra)优选为0.5μm以下。
在吸附用多孔片1中，通过透气性粘合剂层4表现出的接合力(粘合力)将基层2与表面层3接合。由此，例如，能够在抑制对基层2造成的损伤的同时将基层2与表面层3相互分离，从而能够对表面层3进行更换。另外，在利用透气性粘合剂层4所具有的粘弹性对吸附用多孔片1施加强压力的吸附时，也能够减小基层2的表面的凹凸给表面层3的上述主面的平滑性带来的影响，能够维持作为吸附用多孔片的高表面平滑性。另一方面，以往的多层吸附用多孔片、例如专利文献2的吸附用多孔片中，多孔层与粒子层通过热熔合(烧结)而接合，无法得到这些效果。在以往的多层吸附用多孔片中，难以在不对多孔层和/或粒子层造成损伤的情况下将两层分离，另外，在吸附时多孔层的表面的凹凸容易对粒子层表面的平滑性造成较强的影响。
表面层3可进行更换这一点在吸附对象物的吸附时伴有加热和/或加压的情况下特别有利。例如，在陶瓷生片的吸附中，在对该片进行吸附输送并进行层叠时，为了确保层叠后的片之间的胶粘强度，有时会并用加热加压。此时，吸附用多孔片容易因热和压力而受到变形或破裂的损伤，这些损伤有集中在与陶瓷生片接触的表面附近的倾向。以往，即使只有表面受到损伤，也需要更换整个吸附用多孔片，但如果表面层3可进行更换，则不一定需要更换整个吸附用多孔片，因此，使用吸附对象物的制品的生产率提高。
表面层3由树脂微粒相互粘结而成的多孔体构成，具有透气性(与该层的主面垂直的方向的透气性)。表面层3例如通过将树脂微粒烧结而形成。构成表面层3的树脂微粒是通过例如加热所引起的熔融相互粘结(烧结)而成为多孔体的微粒。具体的例子为聚乙烯、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)、聚丙烯等的微粒。从对吸附时施加的压力的耐性(耐冲击性)优良、与吸附对象物的脱模性优良、烧结时容易保持粒子形状从而容易得到均匀且稳定的多孔体的观点出发，优选构成表面层3的树脂微粒含有UHMWPE微粒，更优选构成表面层3的树脂微粒为UHMWPE微粒。另外，UHMWPE是指粘度平均分子量为50万以上的聚乙烯。为了形成耐磨损性优良的表面层3，优选其粘度平均分子量为100万以上。
从能够抑制吸附时吸附对象物的变形等观点出发，优选表面层3的平均孔径为1～25μm。表面层3的平均孔径过度减小时，该层的透气性降低，难以作为吸附用多孔片使用。表面层3的平均孔径过度增大时，虽然透气性提高，但是难以使与吸附对象物接触的主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下。另外，树脂微粒间的粘结点的密度降低，因此，表面层3的强度降低，难以作为吸附用多孔片使用。
表面层3可以通过例如下述方法来形成：将树脂微粒分散在溶剂中制成分散液，将该分散液涂布到表面平滑的载体薄膜上而形成涂布膜，然后，通过将该涂布膜加热而进行溶剂的挥发和树脂微粒的烧结。更具体而言，表面层3可以通过例如日本特开2010-247446号公报记载的方法来形成。另外，日本特开2010-247446号公报记载的方法可以应用于使用UHMWPE微粒以外的树脂微粒的表面层3的形成。
形成表面层3所使用的树脂微粒的平均粒径优选为10～200μm，更优选为20～100μm。树脂微粒的平均粒径过度减小时，所形成的表面层3的平均孔径过度减小而无法确保充分的透气性。树脂微粒的平均粒径过度增大时，所形成的表面层3的平均孔径过度增大，难以使表面层3中与吸附对象物接触的主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下。另外，表面层3的强度降低，难以作为吸附用多孔片使用。
表面层3的厚度优选为20～500μm。表面层3的厚度过度减小时，该层的强度降低，难以作为吸附用多孔片使用。表面层3的厚度过度增大时，该层的透气性降低，难以作为吸附用多孔片使用。另外，单独使用表面层即可具有充分的强度，因此特意制成多层吸附用多孔片的优势减小。
关于基层2的构成，只要具有透气性(与该层的主面垂直的方向的透气性)并且确保能够作为吸附用多孔片1使用的柔软性，则没有限定。基层2例如为将树脂微粒烧结而形成的多孔体。这种情况下，构成基层2的树脂微粒例如为通过加热所引起的熔融相互粘结(烧结)而成为多孔体的微粒。具体的例子为聚乙烯、UHMWPE、聚丙烯等的微粒。从对吸附时所施加的压力的耐性(耐冲击性)优良、烧结时容易保持粒子形状从而容易得到均匀且稳定的基层的观点出发，优选UHMWPE微粒。这种情况下，基层2由UHMWPE构成。基层2优选含有UHMWPE，更优选由UHMWPE构成。
在基层2由多孔体构成的情况下，从降低吸附时的透气阻力的观点出发，优选基层2的平均孔径为10～50μm。基层2的平均孔径过度减小时，该层的透气性降低，难以作为吸附用多孔片使用。基层2的平均孔径过度增大时，虽然透气性增高，但基层2的强度降低，难以作为吸附用多孔片使用。
基层2例如可以通过将树脂微粒填充到模具中后进行加热处理、并利用车床等对所得到的多孔体块进行切削加工而形成。根据需要，在切削加工后，可以实施用于去除应变的热处理。模具的形状没有特别限定。通过预先准备具有与要得到的基层2的厚度对应的深度的模具，也可以省略切削加工。
基层2的形成中使用的树脂微粒的平均粒径优选为10～500μm，更优选为20～250μm。树脂微粒的平均粒径过度减小时，所形成的基层2的平均孔径过度减小，无法确保充分的透气性。树脂微粒的平均粒径过度增大时，所形成的基层2的平均孔径过度增大，该层的强度降低，难以作为吸附用多孔片使用。
基层2的厚度优选为80～5000μm。基层2的厚度过度减小时，该层的强度降低，难以作为吸附用多孔片使用。基层2的厚度过度增大时，该层的透气性降低，难以作为吸附用多孔片使用。另外，吸附时向基层的侧面漏出的漏出量增多，由此使吸附对象物的吸附变得困难。
吸附用多孔片1中，优选基层2与表面层3的平均孔径和厚度不同。即，优选吸附用多孔片1具备将具有不同的平均孔径和厚度的两个种类的层(基层2、表面层3)通过透气性粘合剂层4接合而得到的构成。
吸附用多孔片1中，优选表面层3的厚度小于基层2的厚度。这种情况下，在更换表面层3时，容易进行基层2与表面层3的分离。另外，通过使基层2的厚度相对较厚，能够实现基层2的长寿命化。
吸附用多孔片1中，优选基层2由多孔体构成，并且表面层3的平均孔径小于基层2的平均孔径。这种情况下，可实现吸附用多孔片1的透气性与表面平滑性的良好平衡。另外，在更换表面层3时将基层2与表面层3分离时，能够降低残留在基层2侧的粘合剂的比例。为了实现基层2的长寿命化，优选降低分离表面层3时残留在基层2侧的粘合剂的比例。具体而言，在将基层2与表面层3接合而得到的吸附用多孔片1的状态下的粘合剂的量设为100重量％时，优选将基层2与表面层3分离后残留在表面层3侧的粘合剂的比例为60重量％以上(残留在基层2侧的粘合剂的比例为40重量％以下)。
透气性粘合剂层4为具有透气性(与主面垂直的方向的透气性)的由粘合剂构成的层。吸附用多孔片1中，基层2与表面层3通过透气性粘合剂层4接合。由此，与利用胶粘剂或热熔合(烧结)将两层结合的情况不同，表面层3可进行更换。
通常，粘合剂自身不具有透气性，因此，透气性粘合剂层4中，优选从与基层2和表面层3的主面垂直的方向观察时，粘合剂并不是配置在整个面上，而是以能够确保吸附用多孔片1的透气性的程度以局部不存在粘合剂的状态配置。至少通过不存在粘合剂的部位来确保吸附用多孔片1的透气性。透气性粘合剂层4中，例如从与基层2和表面层3的主面垂直的方向观察时，以条纹状、点状或纤维状配置有粘合剂。这样的透气性粘合剂层4例如可以通过喷吹粘合剂而形成。此时，比起直接将粘合剂喷吹到基层2或表面层3上，更优选先喷吹到脱模薄膜上后、再将形成在脱模薄膜上的透气性粘合剂层4转印到基层2或表面层3上。在直接喷吹的情况下，粘合剂会渗透到基层2或表面层3的细孔中，难以控制配置到该层的表面上的粘合剂的量。另外，喷吹粘合剂后的层有时会发生堵塞而使透气性降低。
透气性粘合剂层4中的粘合剂的配置状态和量优选以在使用吸附用多孔片1进行吸附时不使基层2与表面层3剥离的方式进行调节。另外，如果考虑表面层3的更换，则优选以在吸附时不使基层2与表面层3剥离、但在更换时能够在尽量不对基层2造成损伤的情况下将两层分离的方式进行调节。
透气性粘合剂层4中的粘合剂的量例如为1.5～15g/m2，优选为5～10g/m2。在通过喷吹粘合剂而形成透气性粘合剂层4的情况下，该粘合剂的涂布量通常为透气性粘合剂层4中的粘合剂的量。该涂布量例如为3～15g/m2，优选为5～10g/m2。
由透气性粘合剂层4在基层2与表面层3之间产生的接合力以依据JIS Z0237规定的“180°剥离粘合力的测定方法”测定的值计优选为0.5N/25mm以上。这种情况下，可抑制吸附时基层2与表面层3的剥离。该接合力的上限没有特别限定，如果考虑表面层3的更换，则从能够抑制将两层分离时的基层2的损伤的观点出发，优选为5.0N/25mm以下。该接合力优选为0.5N/25mm以上且5.0N/25mm以下，更优选为0.5N/25mm以上且3.0N/25mm以下，进一步优选为0.6N/25mm以上且3.0N/25mm以下。
构成透气性粘合剂层4的粘合剂的种类没有特别限定。可以使用例如：丙烯酸树脂类；有机硅类；氨基甲酸酯类；乙烯-乙烯醇共聚物(EVA)类；聚烯烃类；硬链段由聚苯乙烯构成并且软链段由选自聚丁二烯、氢化(加氢)聚丁二烯、聚异戊二烯、氢化异戊二烯、聚丁烯、氢化聚丁烯、聚乙烯、聚丙烯和聚苯乙烯中的任何一种的单一或复合的链构成的苯乙烯类嵌段聚合物；合成橡胶类；聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、不飽和聚酯等聚酯类；聚酰胺类(例如二聚酸类聚酰胺)；酚类的各种粘合剂和以这些粘合剂作为主要成分的混合型粘合剂。可以更优选使用由上述成分构成的热熔剂和以上述成分作为主要成分的混合型热熔剂。
吸附用多孔片1可以使用基层2、表面层3以及透气性粘合剂层4或形成透气性粘合剂层4的粘合剂通过任意的方法来形成。例如，可以将粘合剂喷吹到基层2(或表面层3)的表面上而形成透气性粘合剂层4，并对表面层3(或基层2)进行按压而将两层接合。如上所述，优选将粘合剂喷吹到脱模薄膜上并另外形成透气性粘合剂层4，这种情况下，优选将所形成的透气性粘合剂层4先粘贴到表面层3侧上，然后将脱模薄膜剥离，再粘贴基层2。在按照该步骤形成吸附用多孔片1的情况下，由于先将表面层3粘贴到透气性粘合剂层4上，因此，透气性粘合剂层4在表面层3上粘合得比在之后粘贴的基层2上更牢固。因此，在更换表面层3时，能够降低基层2与表面层3分离后残留在基层2侧的粘合剂的比例。该效果在表面层3的平均孔径小于基层2的平均孔径的情况下更为显著，这是因为容易在表面层3侧表现出对粘合剂的锚固效果。在表面层3的更换后也能够降低粘合剂在反复使用的基层2侧残留的比例，由此，能够抑制基层2的透气性降低而难以作为吸附用多孔片使用或者由于残留在基层2的表面上的粘合剂的凹凸而在粘贴新的表面层3时使表面层3的表面平滑性降低的情况。
关于本发明的吸附用多孔片的构成，只要包含基层2和表面层3并且基层2与表面层3通过配置在基层2与表面层3之间的透气性粘合剂层4进行接合，则没有限定。本发明的吸附用多孔片可以具有基层2、表面层3和透气性粘合剂层4以外的任意层。例如，在基层2的与表面层3侧的面相反的一侧的面上配置该任意层。
本发明的更换用表面层例如由图1所示的表面层3和透气性粘合剂层4构成。如果考虑流通性，则优选进一步以与透气性粘合剂层4接触的方式配置有隔离薄膜。在使用更换用表面层时、即更换吸附用多孔片中的表面层3时，将隔离薄膜剥离而使透气性粘合剂层4露出后，在除去旧的表面层3后的基层2上以使基层2与透气性粘合剂层4接触的方式粘贴即可。
实施例
以下，通过实施例进一步详细地说明本发明。本发明不限定于以下的实施例。
首先，示出本实施例中制作的吸附用多孔片的评价方法。对于片状物品等吸附对象物的固定、输送中使用的吸附用多孔片，吸附对吸附对象物有无影响成为评价的对象。本实施例中，对于这一点、由透气性粘合剂层在基层/表面层之间产生的接合力(粘合力)、以及将表面层从基层上剥离时来自透气性粘合剂层的粘合剂以何种程度残留在表面层上进行了评价。
[表面层的表面粗糙度(Ra)]
表面层的表面粗糙度(Ra：算术平均粗糙度)依据JIS B0601：2001的规定求出。具体而言，使用触针式表面粗糙度仪(东京精密制造，SURFCOM 550A)，在触针半径为250μmR、测定速度(X轴)为0.3mm/秒、测定长度为8mm的条件下求出。另外，将5次测定的平均值作为Ra。
[吸附对吸附对象物的影响]
将所制作的吸附用多孔片裁切成100mm×100mm的尺寸后，将裁切得到的该片以使该片的基层与吸附单元的吸附面接触的方式配置到该吸附面上。接着，在该片的表面层上放置厚度为12μm的铝箔，然后，使连接在吸附单元上的真空泵工作，由此隔着吸附用多孔片将铝箔吸附在吸附单元上。在此，通过目视观察吸附时铝箔的表面状态，评价吸附对吸附对象物有无影响。
[基层与表面层的接合力(粘合力)]
所制作的吸附用多孔片中的基层与表面层的接合力依据JISZ0237规定的“180°剥离粘合力的测定方法”求出。
[将表面层从基层上剥离时粘合剂在表面层上残留的比例]
基于JIS Z0237的“180°剥离粘合力的测定方法”中规定的剥离方法，从制作的吸附用多孔片上剥离表面层，测定剥离后的基层和表面层的重量。然后，将各层在甲苯中浸渍过夜，除去残留在各层中的粘合剂。接着，将各层从甲苯中提起，充分干燥后，测定各自的重量，由该重量与最初测定的重量之差求出将基层与表面层剥离时残留在表面层侧的粘合剂的比例。
[平均孔径]
吸附用多孔片的制作中使用的基层和表面层的平均孔径通过使用压汞测孔仪(麦克默瑞提克制造，Autopore IV9510)，在汞压入压力为约4kPaMPa～约400MPa、测定模式为升压过程、测定管容积为约5cm3的条件下测定其细孔分布而求出。
接着，示出吸附用多孔片的制作中使用的基层、表面层和透气性粘合剂层的制作方法。
[表面层的制作方法A]
将粘度平均分子量450万的超高分子量聚乙烯(UHMWPE)粉末与水、分散剂(TritonX-100，罗氏应用科学制造)和增稠剂(羧甲基纤维素钠)混合，得到该粉末的分散液。此时，各材料的混合比(体积比)设定为水/UHMWPE粉末/分散剂/增稠剂＝100/60/5/2。然后，使用刮刀将所得到的分散液涂布到表面粗糙度(Ra)小于0.1μm的聚酰亚胺薄膜上，形成该分散液的涂布膜。接着，将包括聚酰亚胺薄膜和所形成的涂布膜的整个材料投入到设置为180℃的干燥机中，静置10分钟，使涂布膜烧结。然后，将通过涂布膜的烧结形成的、聚酰亚胺薄膜与UHMWPE烧结多孔体膜的层叠体从干燥机中取出并自然冷却后，将聚酰亚胺薄膜从烧结多孔体膜上剥离。接着，将所得到的烧结多孔体膜在蒸馏水中进行超声波清洗，由此将作为分散剂的表面活性剂从该膜上充分除去，得到由UHMWPE微粒相互粘结而成的多孔体构成的表面层。
[表面层的制作方法B]
将粘度平均分子量900万的UHMWPE粉末填充到外径500mm、高度600mm的圆筒形模具中，将其收容到金属制的耐压容器中并使该容器内减压至压力为1000Pa。接着，向耐压容器内导入加热水蒸气，在将该容器内的压力保持为6个大气压的状态下在165℃下加热6小时，然后缓冷，得到圆筒状的UHMWPE烧结多孔体。接着，将所得到的烧结多孔体使用车床进行切削加工，制成片。接着，对所得到的片进行除去其应变的加热处理(使用热压机的热压：加压温度130℃、载荷3.0kgf/cm2、加压保持时间1小时)，得到由UHMWPE微粒相互粘结而成的多孔体构成的表面层。
[基层的制作方法A]
依照表面层的制作方法B，得到圆筒状的UHMWPE烧结多孔体。接着，将所得到的烧结多孔体使用车床进行切削加工，制成片。接着，对所得到的片进行除去其应变的加热处理(使用热压机的热压：加压温度130℃、载荷3.0kgf/cm2、加压保持时间1小时)，得到由UHMWPE微粒相互粘结而成的多孔体构成的基层。
[基层的制作方法B]
将粘度平均分子量500万的UHMWPE粉末填充到内部具有100mm(长)×100mm(宽)×1.8mm(深度)的长方体状空间的模具中，在该模具的开放面上固定金属板而使模具内部成为密闭状态。对模具的内表面和金属板的面向模具内部的表面预先实施了脱模处理。接着，在使模具的内部保持密闭状态的情况下，在温度160℃、压力0.49MPa的条件下加热、加压，并将该状态保持5分钟。然后，缓冷至室温，得到由UHMWPE微粒相互粘结而成的多孔体构成的基层。
[透气性粘合剂层的制作方法A]
在作为脱模薄膜的聚酯薄膜(日东电工制造，RT-75G)的表面上以0.49MPa的压力以网状均匀地喷吹加热至180℃的热熔胶粘剂(安原化学制造，Hirodine5132)，制作透气性粘合剂层。
(实施例1)
使用平均粒径为35μm的UHMWPE粉末，依照表面层的制作方法A，制作厚度为200μm的表面层。另外，制作表面层时的涂布膜的厚度设定为400μm。
与上述步骤分开地，使用平均粒径为150μm的UHMWPE粉末，依照基层的制作方法A，制作厚度为1.8mm的基层。切削加工的厚度设定为1.8mm。
接着，依照透气性粘合剂层的制作方法A，制作透气性粘合剂层。此时，热熔胶粘剂在脱模薄膜上的涂布量设定为10g/m2。接着，以0.1MPa的压力将上述制作的表面层粘贴到所制作的透气性粘合剂层上。接着，从透气性粘合剂层上剥离脱模薄膜后，将上述制作的基层粘贴到该剥离脱模薄膜后的透气性粘合剂层上，得到吸附用多孔片。
(实施例2)
除了在表面层的制作中使用平均粒径为75μm的UHMWPE粉末以外，与实施例1同样操作，得到吸附用多孔片。
(实施例3)
除了将热熔胶粘剂在脱模薄膜上的涂布量设定为5g/m2来制作透气性粘合剂层以外，与实施例1同样操作，得到吸附用多孔片。
(实施例4)
除了使用平均粒径为75μm的UHMWPE粉末并且依照基层的制作方法B来制作厚度为1.8mm的基层以外，与实施例1同样操作，得到吸附用多孔片。
(实施例5)
除了将热熔胶粘剂在脱模薄膜上的涂布量设定为50g/m2来制作透气性粘合剂层以外，与实施例1同样操作，得到吸附用多孔片。
(实施例6)
除了将热熔胶粘剂在脱模薄膜上的涂布量设定为30g/m2来制作透气性粘合剂层以外，与实施例1同样操作，得到吸附用多孔片。
(比较例1)
使用平均粒径为120μm的UHMWPE粉末，依照表面层的制作方法B，制作厚度为200μm的表面层。制作表面层时的切削加工的厚设定为200μm。
与上述步骤分开地，使用平均粒径为75μm的UHMWPE粉末，依照基层的制作方法B，制作厚度为1.8mm的基层。
接着，依照透气性粘合剂层的制作方法A，制作透气性粘合剂层。此时，热熔胶粘剂在脱模薄膜上的涂布量设定为2.5g/m2。接着，以0.1MPa的压力将上述制作的表面层粘贴到所制作的透气性粘合剂层上。接着，从透气性粘合剂层上剥离脱模薄膜后，将上述制作的基层粘贴到该剥离脱模薄膜后的透气性粘合剂层上，得到吸附用多孔片。
(比较例2)
将平均粒径为35μm的UHMWPE粉末与甘油和表面活性剂混合，制备该粉末的分散液。分散液的固体成分设定为40体积％。接着，使用涂布器将所制作的分散液涂布到表面实施电晕处理后的聚酰亚胺薄膜(Kapton100H)上。通过涂布形成的涂布膜(包含溶剂)的厚度设定为100μm。
接着，在刚形成该涂布膜之后，在所形成的涂布膜上配置与实施例1同样制作的基层。接着，在基层的与涂布膜相反的一侧的面上配置聚酰亚胺薄膜。将这样得到的聚酰亚胺薄膜/涂布膜/基层/聚酰亚胺薄膜的层叠体收容到保持为150℃的干燥机中，静置30分钟。然后，从干燥机中取出层叠体，自然冷却至室温。接着，从层叠体的两个面上剥离聚酰亚胺薄膜，将剥离后的层叠体浸渍到乙醇中，萃取出残留在层叠体中的UHMWPE粉末的分散介质。此时，为了高效地萃取出分散介质，对乙醇和层叠体施加由超声波引起的振动。然后，在室温下使乙醇挥发，得到吸附多孔片。
将实施例1～6和比较例1、2中制作的吸附用多孔片的评价结果与所制作的各层的平均孔径的值一同归纳于下述表1、2中。另外，关于表2的“对吸附对象物的影响”一栏中的“良(O)”和“不合格(×)”，“良”表示在作为吸附对象物的铝箔中未观察到应变，“不合格”表示在作为吸附对象物的铝箔中确认到应变。
表1
平均孔径[μm]
实施例1、3、4、5、6的表面层 11
实施例1、2、3、5、6的基层 39
实施例2的表面层 18
实施例4、比较例1的基层 18
比较例1的表面层 30
表2
如表2所示，对于表面层的与吸附对象物接触的主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下(基于实施例2的值则为0.9μm以下)的实施例1～6和比较例2而言，在作为吸附对象物的铝箔中未观察到应变的产生，能够实施良好的吸附。与此相对，对于表面层的与吸附对象物接触的主面的表面粗糙度(Ra)为1.4μm的比较例1而言，在作为吸附对象物的铝箔中产生了应变。
另外，对于基层与表面层之间的接合力(层间接合力)为0.5N/25mm以上(基于实施例3的值则为0.6N/25mm以上)的实施例1～6而言，没有观察到因铝箔的吸附而在基层与表面层之间发生剥离、鼓起等接合不良，两层保持良好的接合状态。与此相对，对于层间接合力为0.3N/25mm的比较例1而言，确认到因铝箔的吸附而在基层与表面层之间发生了轻微的鼓起，在吸附对象物的吸附时未能维持两层充分接合的状态。
对于表面层的平均孔径比基层的平均孔径小的实施例1～6而言，确认到通过将表面层从基层上剥离，粘合剂容易残留在表面层侧。与此相对，对于表面层的平均孔径比基层的平均孔径大的比较例1而言，确认到通过将表面层从基层上剥离，粘合剂容易残留在基层侧。
其次，对于对吸附对象物的影响为良的实施例1～6和比较例2，向剥离表面层后的基层上粘贴与剥离下来的表面层相同种类的表面层，由此，再次制作吸附用多孔片。对制作的吸附用多孔片实施上述的铝箔吸附试验，结果，任何一个吸附用多孔片均能够在不产生应变的情况下吸附铝箔。另外，没有观察到因铝箔的吸附而在基层与表面层之间发生剥离、鼓起等接合不良。但是，对于实施例5而言，虽然可以没有问题地进行表面层的更换，但是在将表面层从基层上剥离的过程中，观察到表面层稍微拉伸的现象。因此，认为处于能够对表面层进行更换的层间接合力的上限附近。另一方面，对于通过加热处理将表面层设置在基层上的比较例2而言，表面层与基层熔合，无法进行表面层从基层上的剥离和表面层的更换。
产业实用性
本发明的吸附用多孔片能够用于与以往的吸附用多孔片同样的用途、例如玻璃板(例如图像显示装置中使用的玻璃基板)、半导体晶片、陶瓷生片等板状或片状的物品的吸附固定、吸附输送。
本发明可以在不脱离其意图和本质性特征的情况下应用于其他实施方式。本说明书中公开的实施方式从任何角度而言都应视为说明性的而并不限定于此。本发明的范围如所附的权利要求书而非上述说明所示，与权利要求等同的含义和范围内的所有变更均包含在本发明中。

Claims (7)

1.一种吸附用多孔片，其为通过配置到吸附单元的吸附面上而防止吸附对象物与所述吸附面的接触的吸附用多孔片，其中，
包含具有透气性的基层和配置在所述基层上的表面层，
所述表面层由树脂微粒相互粘结而成的多孔体构成，
所述表面层的与所述基层侧相反的一侧的主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下，
所述基层与所述表面层通过配置在该基层与该表面层之间的透气性粘合剂层接合。
2.如权利要求1所述的吸附用多孔片，其中，所述树脂微粒为超高分子量聚乙烯微粒。
3.如权利要求1所述的吸附用多孔片，其中，所述基层由超高分子量聚乙烯构成。
4.如权利要求1所述的吸附用多孔片，其中，由所述透气性粘合剂层在所述基层与所述表面层之间产生的接合力为0.5N/25mm以上且5.0N/25mm以下。
5.如权利要求1所述的吸附用多孔片，其中，
所述基层由多孔体构成，
所述表面层的平均孔径小于所述基层的平均孔径。
6.如权利要求1所述的吸附用多孔片，其中，所述表面层的厚度小于所述基层的厚度。
7.一种吸附用多孔片中使用的更换用表面层，其通过与具有透气性的基层接合而形成吸附用多孔片，所述吸附用多孔片通过配置到吸附单元的吸附面上而防止吸附对象物与所述吸附面的接触，
在将该多孔片配置在所述吸附面上时，所述更换用表面层成为所述形成的吸附用多孔片的与所述吸附对象物接触的面，
所述更换用表面层中，
所述表面层由树脂微粒相互粘结而成的多孔体构成，
在所述表面层的一个主面上配置有将该表面层与所述基层接合的透气性粘合剂层，
所述表面层的另一个主面的表面粗糙度(Ra)为1.0μm以下。
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