JPS63261249A - シ−ト状物の真空吸着装置 - Google Patents
シ−ト状物の真空吸着装置Info
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- JPS63261249A JPS63261249A JP62095859A JP9585987A JPS63261249A JP S63261249 A JPS63261249 A JP S63261249A JP 62095859 A JP62095859 A JP 62095859A JP 9585987 A JP9585987 A JP 9585987A JP S63261249 A JPS63261249 A JP S63261249A
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Landscapes
- Holders For Sensitive Materials And Originals (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、自動製図機や製版カメラ等の写真製版機器
などにおいて、各種サイズの用紙類やフィルム類などの
シート状物をテーブル本体の上面板などを形成する吸着
板に吸着保持するのに使用されるシート状物の真空吸着
装置に関する。
などにおいて、各種サイズの用紙類やフィルム類などの
シート状物をテーブル本体の上面板などを形成する吸着
板に吸着保持するのに使用されるシート状物の真空吸着
装置に関する。
例えば、写真製版工程に汎用される自動描画機は、感光
性フィルムに画像を露光描画したり、カッティングヘッ
ドを装着してピールオフフィルムをカットして多重密着
露光用のトリミングマスクを作成する等多用されている
が、使用される用紙やフィルムは種々の規格サイズがあ
り、作業にあたっては、その都度所要のフィルム等を真
空吸着装置により描画テーブル上に吸着保持する必要が
ある。
性フィルムに画像を露光描画したり、カッティングヘッ
ドを装着してピールオフフィルムをカットして多重密着
露光用のトリミングマスクを作成する等多用されている
が、使用される用紙やフィルムは種々の規格サイズがあ
り、作業にあたっては、その都度所要のフィルム等を真
空吸着装置により描画テーブル上に吸着保持する必要が
ある。
この種の真空吸着装置は、従来は、吸着板の内部に形成
された空隙を垂直隔壁によって複数の内室に区画し、吸
着板の表面に前記各内室まで貫通する吸着孔を多数穿設
することにより複数の吸着エリアを形成し、切替え装置
によって各内室を適宜選択して真空ポンプ等の真空吸引
源に流路接続することにより、用紙・フィルム類のサイ
ズに応じた所要の吸着エリアを作用させるようにしてい
る。
された空隙を垂直隔壁によって複数の内室に区画し、吸
着板の表面に前記各内室まで貫通する吸着孔を多数穿設
することにより複数の吸着エリアを形成し、切替え装置
によって各内室を適宜選択して真空ポンプ等の真空吸引
源に流路接続することにより、用紙・フィルム類のサイ
ズに応じた所要の吸着エリアを作用させるようにしてい
る。
従来の、シート状物の真空吸着装置は上記したような構
成となっているので、吸着エリアの位置及び大きさはそ
の装置に固定的であって、1つの装置では限られた数種
類のサイズの用紙・フィルム類にしか対応することがで
きない。従って、用紙・フィルム類を所定サイズ以外の
ものに変更したい場合には、装置全体を取り替えてしま
う必要があり、ユーザにとっても装置のメーカにとって
も非能率的でコストが高くつくので実用化されていない
。
成となっているので、吸着エリアの位置及び大きさはそ
の装置に固定的であって、1つの装置では限られた数種
類のサイズの用紙・フィルム類にしか対応することがで
きない。従って、用紙・フィルム類を所定サイズ以外の
ものに変更したい場合には、装置全体を取り替えてしま
う必要があり、ユーザにとっても装置のメーカにとって
も非能率的でコストが高くつくので実用化されていない
。
また、上述のトリミングマスクを作成する場合、カッ手
イングヘッドによりピールオフフィルムのピール層に所
要の形の刻みを入れた後ピール層を剥がして作成される
が、最近では同時に原画フィルムの画像位置とトリミン
グマスクの剥がされた部分との位置合わせのために同一
規格のピン穴を切り抜き加工されることがある。
イングヘッドによりピールオフフィルムのピール層に所
要の形の刻みを入れた後ピール層を剥がして作成される
が、最近では同時に原画フィルムの画像位置とトリミン
グマスクの剥がされた部分との位置合わせのために同一
規格のピン穴を切り抜き加工されることがある。
ところが、描画テーブルは、従来アルミニウムなどの金
属材料や樹脂が使用され、その表面(吸着面)は平滑に
仕上げられているためカッターの刃先が損傷したり、栢
脂テーブルに傷がついて吸着性が悪くなったりするとい
う問題がある。
属材料や樹脂が使用され、その表面(吸着面)は平滑に
仕上げられているためカッターの刃先が損傷したり、栢
脂テーブルに傷がついて吸着性が悪くなったりするとい
う問題がある。
この発明は、以上のような現況に鑑みてなされたもので
あって、1つの部材のみを簡単に取り替えるだけで、そ
の部材を予め複数種類用意しておきさえすれば、あるい
は比較的簡単な作業により吸着エリアの位置及び大きさ
に対するあらゆる要求に応えることができるようなシー
ト状物の真空吸着装置を提供することを技術的課題とす
る。
あって、1つの部材のみを簡単に取り替えるだけで、そ
の部材を予め複数種類用意しておきさえすれば、あるい
は比較的簡単な作業により吸着エリアの位置及び大きさ
に対するあらゆる要求に応えることができるようなシー
ト状物の真空吸着装置を提供することを技術的課題とす
る。
各種サイズのフィルム等の形状に対応した吸着溝と吸着
孔を有する吸着マットと、その吸着マットを上面に装着
し、各通気溝と個別に連通ずる連通穴を有する吸着板と
、真空吸引源と切替え的に各吸引穴と、空気路を接続す
る流路切替手段とにより上記課題を達成した。すなわち
、下面が平滑面に形成された薄板状体からなり、下面側
に、各種サイズの被吸着シート状物の形状に対応して所
要の形状の通気溝が相互に交差しないよう形成され、か
つ上面から前記各通気溝に貫通する複数の吸着孔が前記
の通気溝内に列設され、平滑面に形成された吸着板上面
に密接状態で取替え自在に装着される吸着マットと、こ
の吸着マットの前記各通気溝に個別に連通ずる、吸着板
に穿設された複数の連通穴と、これら各連通穴に個別に
接続された複数の通気管路と、これら各通気管路が接続
され、それら各通気管路を介して前記各連通穴を選択的
に真空吸引源に流路接続する流路切替え手段とからなる
ことを特徴とするものである。
孔を有する吸着マットと、その吸着マットを上面に装着
し、各通気溝と個別に連通ずる連通穴を有する吸着板と
、真空吸引源と切替え的に各吸引穴と、空気路を接続す
る流路切替手段とにより上記課題を達成した。すなわち
、下面が平滑面に形成された薄板状体からなり、下面側
に、各種サイズの被吸着シート状物の形状に対応して所
要の形状の通気溝が相互に交差しないよう形成され、か
つ上面から前記各通気溝に貫通する複数の吸着孔が前記
の通気溝内に列設され、平滑面に形成された吸着板上面
に密接状態で取替え自在に装着される吸着マットと、こ
の吸着マットの前記各通気溝に個別に連通ずる、吸着板
に穿設された複数の連通穴と、これら各連通穴に個別に
接続された複数の通気管路と、これら各通気管路が接続
され、それら各通気管路を介して前記各連通穴を選択的
に真空吸引源に流路接続する流路切替え手段とからなる
ことを特徴とするものである。
吸着マットの各通気溝は、吸着板上面に装着されると各
々個別に、連通穴と連通するとともに吸着板面で閉塞さ
れた空気路を形成し、流路切替え手段により連通穴が真
空吸引源と選択接続され、その連通穴と連通ずる通気溝
及び吸着孔に吸引力が働き、吸着孔の配された範囲内の
シート状物が吸着マットに吸着される。各通気溝は各吸
着マット毎に所要の任意のサイズ−・形状に形成される
。また、吸着マットは、その平滑な下面が吸着板の平滑
な下面と隙間なく密着する。
々個別に、連通穴と連通するとともに吸着板面で閉塞さ
れた空気路を形成し、流路切替え手段により連通穴が真
空吸引源と選択接続され、その連通穴と連通ずる通気溝
及び吸着孔に吸引力が働き、吸着孔の配された範囲内の
シート状物が吸着マットに吸着される。各通気溝は各吸
着マット毎に所要の任意のサイズ−・形状に形成される
。また、吸着マットは、その平滑な下面が吸着板の平滑
な下面と隙間なく密着する。
以下、この発明の好適な実施例について図面を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
第1図はこの発明の1実施例の、シート状物の真空吸着
装置の一部を概略的に表わした部分断面正面図である。
装置の一部を概略的に表わした部分断面正面図である。
この真空吸着装置は、吸着板10の平滑な上面に装着さ
れる吸着マット12、吸着板10に穿設された複数の連
通穴14、これら各連通穴14にそれぞれ継手16を介
して接続された複数の通気管路18、並びにこれら通気
管路18が接続される流路切替え装置20から構成され
ている。そして、流路切替え装置20は吸引管路24を
介して真空ポンプ26に流路接続されており、吸着エリ
ア切替えつまみ22を切替え操作することにより、複数
の通気管路18のうちの所要のものを真空ポンプ26に
連通させる。尚、吸着エリア切替えに対する空気回路の
接続対応の詳細は後述する。
れる吸着マット12、吸着板10に穿設された複数の連
通穴14、これら各連通穴14にそれぞれ継手16を介
して接続された複数の通気管路18、並びにこれら通気
管路18が接続される流路切替え装置20から構成され
ている。そして、流路切替え装置20は吸引管路24を
介して真空ポンプ26に流路接続されており、吸着エリ
ア切替えつまみ22を切替え操作することにより、複数
の通気管路18のうちの所要のものを真空ポンプ26に
連通させる。尚、吸着エリア切替えに対する空気回路の
接続対応の詳細は後述する。
第2図、第3図は、各々吸着マットを下面(通気溝形成
側)から見た平面図を示し、各々異なる吸着エリアを3
つずつ有する。すなわち、第2図においては、その面積
の小さい順にA工、A2.A3の3種類のサイズのシー
ト状物28の輪郭に対応した角枠状の通気溝30が3本
(3〇−1,30−2,3O−3)相互に交差しないよ
うに形成されている。尚、これら吸着エリアの数は、説
明のために3つとしたが、必ずしもこの数に限ることは
ないし、通気溝の形状も角枠状のみに限るものではない
。すなわち、通気溝は他の吸着エリアの通気溝と交差し
なければ、任意の所要の形に形成することができる。そ
れは通気溝、ひいては吸着孔の分布を適宜槽やすことに
より、シート状物をより一様に吸着できるからである。
側)から見た平面図を示し、各々異なる吸着エリアを3
つずつ有する。すなわち、第2図においては、その面積
の小さい順にA工、A2.A3の3種類のサイズのシー
ト状物28の輪郭に対応した角枠状の通気溝30が3本
(3〇−1,30−2,3O−3)相互に交差しないよ
うに形成されている。尚、これら吸着エリアの数は、説
明のために3つとしたが、必ずしもこの数に限ることは
ないし、通気溝の形状も角枠状のみに限るものではない
。すなわち、通気溝は他の吸着エリアの通気溝と交差し
なければ、任意の所要の形に形成することができる。そ
れは通気溝、ひいては吸着孔の分布を適宜槽やすことに
より、シート状物をより一様に吸着できるからである。
この通気溝30の形成位置には、上面から通気溝30ま
で垂直方向に貫通する吸着孔32が同様の角枠状に多数
列設されており、これら吸着孔32の3つの列により大
きさの異なる3つの吸着エリアが吸着マット12上に形
成される。
で垂直方向に貫通する吸着孔32が同様の角枠状に多数
列設されており、これら吸着孔32の3つの列により大
きさの異なる3つの吸着エリアが吸着マット12上に形
成される。
第3図は、第2図と異なる吸着エリアをその面積の小さ
い順にA4、A5、A6を有する吸着マットで、通気溝
30、吸着孔32は第2図の場合と同様に形成されてい
る。各吸着マットの同等位置には、ピン穴34.34′
が形成されており、それらピン穴34.34′ に対
応して第1図のように吸着板10に穿設されている位置
決めピン36にピン穴34.34′ を嵌入し係合させ
ることにより、吸着マット12を吸着板10上の一定位
置に装着する。
い順にA4、A5、A6を有する吸着マットで、通気溝
30、吸着孔32は第2図の場合と同様に形成されてい
る。各吸着マットの同等位置には、ピン穴34.34′
が形成されており、それらピン穴34.34′ に対
応して第1図のように吸着板10に穿設されている位置
決めピン36にピン穴34.34′ を嵌入し係合させ
ることにより、吸着マット12を吸着板10上の一定位
置に装着する。
第1図はこのときの状態をも表わしており、−’/
− 吸着板10の各連通穴14は、吸着マット12の各サイ
ズの通気溝30と各々単独に連通ずるような位置に形成
されている。
− 吸着板10の各連通穴14は、吸着マット12の各サイ
ズの通気溝30と各々単独に連通ずるような位置に形成
されている。
第2図、第3図のH2S H2、H,はそれぞれの連通
穴14の位置を吸着マット12の通気溝30と対応して
示したもので、各々個別に、吸着エリアの小さい順の通
気溝30に対応している。
穴14の位置を吸着マット12の通気溝30と対応して
示したもので、各々個別に、吸着エリアの小さい順の通
気溝30に対応している。
また、流路切替え装置20もこの順に対応してSl、S
2、S3の3段階に切替えすることができるようになっ
ている。注目すべきことは、例えばS3を選択するとそ
れに対応する連通穴H3だけでなく、Sl、S2に対応
する連通穴H□、H2も真空ポンプと連通ずるように、
つまり、選択された吸着サイズ以下の吸着エリアに対応
する連通穴が全て真空ポンプと連通ずるようになってい
ることであり、これはシート状物が一様に吸着されるよ
うにするためである。
2、S3の3段階に切替えすることができるようになっ
ている。注目すべきことは、例えばS3を選択するとそ
れに対応する連通穴H3だけでなく、Sl、S2に対応
する連通穴H□、H2も真空ポンプと連通ずるように、
つまり、選択された吸着サイズ以下の吸着エリアに対応
する連通穴が全て真空ポンプと連通ずるようになってい
ることであり、これはシート状物が一様に吸着されるよ
うにするためである。
尚、本実施例では流路切替装置20は3段階であるが、
必要に応じて任意の段階数に設定できるのは当然であり
、例えば本実施例で5段階切替としてもよい。唯、この
場合は余分の段位置(ステップ)では連通穴と対応する
通気溝がないため連通穴は吸着マットで閉塞されるので
シート状物の吸着には関与しないだけの事である。
必要に応じて任意の段階数に設定できるのは当然であり
、例えば本実施例で5段階切替としてもよい。唯、この
場合は余分の段位置(ステップ)では連通穴と対応する
通気溝がないため連通穴は吸着マットで閉塞されるので
シート状物の吸着には関与しないだけの事である。
また、連通穴は各吸着エリアの通気溝に対して1ケ所で
なく2ケ所以上であってもよい。この場合は流路切替え
装置20の当該切替位置にて、通気管路18を分岐し各
連通穴に設けた継手に接続するようにすればよい。吸着
板10の上面は平滑面に形成されてお、す、吸着マット
12の、例えば軟質塩化ビニル材からなる下面と密接す
ることにより、吸着マット12の通気溝30の下部開口
面がその吸着板10上面により閉塞されて通気路が形成
される。
なく2ケ所以上であってもよい。この場合は流路切替え
装置20の当該切替位置にて、通気管路18を分岐し各
連通穴に設けた継手に接続するようにすればよい。吸着
板10の上面は平滑面に形成されてお、す、吸着マット
12の、例えば軟質塩化ビニル材からなる下面と密接す
ることにより、吸着マット12の通気溝30の下部開口
面がその吸着板10上面により閉塞されて通気路が形成
される。
次に、この真空吸着装置によりシート状物を吸着板上に
吸着固定する操作について説明する。
吸着固定する操作について説明する。
まず、吸着マット12を吸着板10上にピン穴34及び
位置決めピン36により位置決めして張設し、吸着マッ
ト12上面にシート状物28を、適当な吸着エリアを選
定しそのサイズに対応する吸着工リアに合わせて載置し
、選定された吸着エリアの切替位置に流路切替え装置2
oの吸着エリア切替えつまみ22を合わせる。この状態
において真空ポンプ26を作動させると、吸引管路24
、流路切替え装置20、通気管路18.連通穴14、並
びに通気溝30により形成された通気路を介して、選定
された吸着エリア以下の吸着エリアを形成する多数の吸
着穴32を通じ空気を吸引する。この真空吸引力によっ
てシート状物28が吸着穴32に吸着されて、シート状
物28が吸着マット12の上面に固定される。また、吸
着を始める時、吸着エリア切替っまみ22を最初は最小
エリアの位置に合わせ、真空ポンプ作動後、所要の吸着
エリアまで一段ずつ切替えるようにすると、シート状物
は小さいエリアから次第に大きいエリアに吸着されるの
で、各エリアの通気溝間に空気溜りが生じにくくなるの
で、より一層な吸着ができる。
位置決めピン36により位置決めして張設し、吸着マッ
ト12上面にシート状物28を、適当な吸着エリアを選
定しそのサイズに対応する吸着工リアに合わせて載置し
、選定された吸着エリアの切替位置に流路切替え装置2
oの吸着エリア切替えつまみ22を合わせる。この状態
において真空ポンプ26を作動させると、吸引管路24
、流路切替え装置20、通気管路18.連通穴14、並
びに通気溝30により形成された通気路を介して、選定
された吸着エリア以下の吸着エリアを形成する多数の吸
着穴32を通じ空気を吸引する。この真空吸引力によっ
てシート状物28が吸着穴32に吸着されて、シート状
物28が吸着マット12の上面に固定される。また、吸
着を始める時、吸着エリア切替っまみ22を最初は最小
エリアの位置に合わせ、真空ポンプ作動後、所要の吸着
エリアまで一段ずつ切替えるようにすると、シート状物
は小さいエリアから次第に大きいエリアに吸着されるの
で、各エリアの通気溝間に空気溜りが生じにくくなるの
で、より一層な吸着ができる。
また、異なるサイズのシート状物28に対しては吸着エ
リア切替えつまみ22を操作し、そのサイズの吸着エリ
アに合わせてシート状物28を吸着マット12上に載置
する。また、その吸着マットの吸着エリアのいずれにも
適合しないサイズのシート状物に対しては、そのサイズ
の吸着エリアを有する別の吸着マットに取り替え、上述
と同様に操作する。
リア切替えつまみ22を操作し、そのサイズの吸着エリ
アに合わせてシート状物28を吸着マット12上に載置
する。また、その吸着マットの吸着エリアのいずれにも
適合しないサイズのシート状物に対しては、そのサイズ
の吸着エリアを有する別の吸着マットに取り替え、上述
と同様に操作する。
次に、本発明を自動描画機に適用した場合は、上述の真
空吸着装置の効果のみならず、吸着マットを更に実効的
に構成することができることを説明する。
空吸着装置の効果のみならず、吸着マットを更に実効的
に構成することができることを説明する。
第4図はその発明の1実施例を示し、吸着マットの縦断
面図である。この吸着マットは、上層40、中間層41
及び下層42の3層からなり、上層及び下層はそれぞれ
軟質合成樹脂材、例えば軟質塩化ビニルからなる薄板状
で形成され、中間層41は例えば硬質塩化ビニルからな
る薄板状体で形成されておりそれら3枚の薄板状体を互
いに接着して真空吸着マットが構成されている。
面図である。この吸着マットは、上層40、中間層41
及び下層42の3層からなり、上層及び下層はそれぞれ
軟質合成樹脂材、例えば軟質塩化ビニルからなる薄板状
で形成され、中間層41は例えば硬質塩化ビニルからな
る薄板状体で形成されておりそれら3枚の薄板状体を互
いに接着して真空吸着マットが構成されている。
中間層41を硬質素材で形成しているのは、真空吸着マ
ット全体として成る程度の保形性を持たせて取り扱い易
くするためである。そして、上層40を形成している軟
質塩化ビニル薄板状体の表面には細かなしわのようなシ
ボ加工を施している。真空吸着マットの下層42は前述
の実施例と同じく軟質素材で形成されているので、その
下面と吸着板IO上面とはその間に隙間を生じるような
ことなく完全に密着する。
ット全体として成る程度の保形性を持たせて取り扱い易
くするためである。そして、上層40を形成している軟
質塩化ビニル薄板状体の表面には細かなしわのようなシ
ボ加工を施している。真空吸着マットの下層42は前述
の実施例と同じく軟質素材で形成されているので、その
下面と吸着板IO上面とはその間に隙間を生じるような
ことなく完全に密着する。
従って、ピールオフフィルムにピン穴を切り抜き加工す
るときのように、シート状物28の厚さをわずかに超え
て真空吸着マット10の表層に達する程度の深さにまで
カッター刃で切り込んでも、真空吸着マットの上層40
は軟質素材で形成されているため、カッター刃の先端が
損傷するようなことはない。また、真空吸渭マットの上
層40の表面にはシボ加工が施さねていることから、カ
ッター刃でその上層40の表層部分に刻線してもその跡
は殆ど識別できない。この発明の真空吸着マットは上述
したような構成を有しているが、この・発明の範囲は上
記説明並びに図面の内容によって限定されるものではな
く、用紙を逸脱しない範囲で種々の変形例を包含し得る
。例えば、真空吸着マットの材質としては、上記実施例
はほんの1例であって、同等の作用をなすものであれば
どのような素材を使用してもよい。また、真空吸着マッ
トは、3層構造である必要はなく、取扱いにはやや不便
となるが全体を軟質合成樹脂材、または、剛性のある合
成樹脂や金属等で形成するようにしても差し支えないし
、更に表面の通気溝形成部を上述のような塩化ビニルの
ような軟質の合成樹脂とする2層構造でもよい。
るときのように、シート状物28の厚さをわずかに超え
て真空吸着マット10の表層に達する程度の深さにまで
カッター刃で切り込んでも、真空吸着マットの上層40
は軟質素材で形成されているため、カッター刃の先端が
損傷するようなことはない。また、真空吸渭マットの上
層40の表面にはシボ加工が施さねていることから、カ
ッター刃でその上層40の表層部分に刻線してもその跡
は殆ど識別できない。この発明の真空吸着マットは上述
したような構成を有しているが、この・発明の範囲は上
記説明並びに図面の内容によって限定されるものではな
く、用紙を逸脱しない範囲で種々の変形例を包含し得る
。例えば、真空吸着マットの材質としては、上記実施例
はほんの1例であって、同等の作用をなすものであれば
どのような素材を使用してもよい。また、真空吸着マッ
トは、3層構造である必要はなく、取扱いにはやや不便
となるが全体を軟質合成樹脂材、または、剛性のある合
成樹脂や金属等で形成するようにしても差し支えないし
、更に表面の通気溝形成部を上述のような塩化ビニルの
ような軟質の合成樹脂とする2層構造でもよい。
さらにまた、真空吸着マットの取替えを行なう必要がな
いような場合には、真空吸着マットの下面側には通気溝
を形成しないで、吸着板の上面に通気溝を形成するよう
にしてもよいし、真空吸着マットを吸着板上面に接着す
るようにしてもよい。
いような場合には、真空吸着マットの下面側には通気溝
を形成しないで、吸着板の上面に通気溝を形成するよう
にしてもよいし、真空吸着マットを吸着板上面に接着す
るようにしてもよい。
この発明は以上説明したように構成されかつ作用するの
で、この発明の真空吸着装置によりシーl−状物の吸着
を行なうときは、従来の装置では限られた数種類のシー
ト状物にしか対応することができなかったのに対し、吸
着マットを取り替えるといった簡単な作業を行なうだけ
で。
で、この発明の真空吸着装置によりシーl−状物の吸着
を行なうときは、従来の装置では限られた数種類のシー
ト状物にしか対応することができなかったのに対し、吸
着マットを取り替えるといった簡単な作業を行なうだけ
で。
あらゆる種類のシート状物に対応することができ、また
この発明の真空吸着マットを、カッティングヘッドを備
えた自動描画機に使用してその真空吸着装置を構成する
ときは、カッター刃の先端を何ら傷めることなく、シー
ト状物に貫通孔を切抜き加工することができるようにな
る。
この発明の真空吸着マットを、カッティングヘッドを備
えた自動描画機に使用してその真空吸着装置を構成する
ときは、カッター刃の先端を何ら傷めることなく、シー
ト状物に貫通孔を切抜き加工することができるようにな
る。
第1図はこの発明の1実施例を示し、シート状物の真空
吸着装置の一部を概略的に表わした部分断面正面図であ
り、第2図はこの真空吸着装置の構成部材の1つである
吸着マットを下面方向から見た図、第3図は同じく別の
吸着マットを同様に示した図である。 第4図はこの発明に使用する真空吸着マットの中央部分
を省略して表わした縦断面図である。 10・・吸着板、 12.12′・・・吸着マッ
ト、14・・・連通穴、 16・・・継手、1B
・・通気管路、 2o・・・流路切替え装置、22
・・・吸着エリア切替つまみ、 24・・・吸引管路、 26・・・真空ポンプ、2
8・・・シート状物、 30.30−1.30−2.3o−3・・・通気溝、3
2.32′・・・吸着孔、 34・・・位置決め用のピ
ン穴、40・・・上層(軟質塩化ビニル薄板状体)、4
1・・・中間層(硬質塩化ビニル薄板状体)、42・・
・下層(硬質塩化ビニル薄板状体)。
吸着装置の一部を概略的に表わした部分断面正面図であ
り、第2図はこの真空吸着装置の構成部材の1つである
吸着マットを下面方向から見た図、第3図は同じく別の
吸着マットを同様に示した図である。 第4図はこの発明に使用する真空吸着マットの中央部分
を省略して表わした縦断面図である。 10・・吸着板、 12.12′・・・吸着マッ
ト、14・・・連通穴、 16・・・継手、1B
・・通気管路、 2o・・・流路切替え装置、22
・・・吸着エリア切替つまみ、 24・・・吸引管路、 26・・・真空ポンプ、2
8・・・シート状物、 30.30−1.30−2.3o−3・・・通気溝、3
2.32′・・・吸着孔、 34・・・位置決め用のピ
ン穴、40・・・上層(軟質塩化ビニル薄板状体)、4
1・・・中間層(硬質塩化ビニル薄板状体)、42・・
・下層(硬質塩化ビニル薄板状体)。
Claims (1)
- 下面が平滑面に形成された薄板状体からなり、下面側に
、各種サイズの被吸着シート状物の形状に対応して所要
の形状の通気溝が相互に交差しないよう形成され、かつ
上面から前記各通気溝に貫通する複数の吸着孔が前記の
通気溝内に列設され、平滑面に形成された吸着板上面に
密接状態で取替え自在に装着される吸着マットと、この
吸着マットの前記各通気溝に個別に連通する、吸着板に
穿設された複数の連通穴と、これら各連通穴に個別に接
続された複数の通気管路と、これら各通気管路が接続さ
れ、それら各通気管路を介して前記各連通穴を選択的に
真空吸引源に流路接続する流路切替え手段とからなるシ
ート状物の真空吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62095859A JPS63261249A (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | シ−ト状物の真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62095859A JPS63261249A (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | シ−ト状物の真空吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63261249A true JPS63261249A (ja) | 1988-10-27 |
JPH0451814B2 JPH0451814B2 (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=14149088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62095859A Granted JPS63261249A (ja) | 1987-04-18 | 1987-04-18 | シ−ト状物の真空吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63261249A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04106551A (ja) * | 1990-08-27 | 1992-04-08 | Orc Mfg Co Ltd | 自動露光装置および投入ステージ |
WO2001016654A1 (fr) * | 1999-09-01 | 2001-03-08 | Sanei Giken Co., Ltd. | Table de systeme d'exposition supportant un substrat |
USRE43736E1 (en) | 2002-09-27 | 2012-10-16 | Gerber Scientific International, Inc. | Perforated vacuum hold down surface |
WO2013121796A1 (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | 日東電工株式会社 | 吸着用多孔質シートおよび吸着用多孔質シートに用いる交換用表面層 |
TWI613449B (zh) * | 2016-12-30 | 2018-02-01 | 致茂電子股份有限公司 | 吸附式測試裝置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3762816A (en) * | 1972-03-31 | 1973-10-02 | Western Blue Print Co | Photoreproduction apparatus with auxiliary film holder |
JPS56145044U (ja) * | 1980-03-31 | 1981-11-02 |
-
1987
- 1987-04-18 JP JP62095859A patent/JPS63261249A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3762816A (en) * | 1972-03-31 | 1973-10-02 | Western Blue Print Co | Photoreproduction apparatus with auxiliary film holder |
JPS56145044U (ja) * | 1980-03-31 | 1981-11-02 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2001016654A1 (fr) * | 1999-09-01 | 2001-03-08 | Sanei Giken Co., Ltd. | Table de systeme d'exposition supportant un substrat |
USRE43736E1 (en) | 2002-09-27 | 2012-10-16 | Gerber Scientific International, Inc. | Perforated vacuum hold down surface |
WO2013121796A1 (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | 日東電工株式会社 | 吸着用多孔質シートおよび吸着用多孔質シートに用いる交換用表面層 |
TWI613449B (zh) * | 2016-12-30 | 2018-02-01 | 致茂電子股份有限公司 | 吸附式測試裝置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0451814B2 (ja) | 1992-08-20 |
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