JPH04307552A - プリント基板自動露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，自動的にプリント基板
の露光を行うプリント基板自動露光装置に関する。

【０００２】

【従来技術】従来のプリント基板自動露光装置は，図６
に示すごとく，透明アクリル板等の透明板からなる露光
ステージ９１と，該露光ステージ９１の表面周縁に設け
られゴム等からなる環状シール材９１１と，露光ステー
ジ９１の表面において環状シール材９１１よりも内側に
設けられ，プリント基板８の厚みよりも若干大きな厚み
を有するスペーサ９１２とを有する。また，プリント基
板８を吸着搬送して露光ステージ９１上に密着させるト
ラバーサ９４と，該トラバーサ９４の下面に設けられて
プリント基板８を真空吸着する吸着板９５とを有する。

【０００３】上記露光ステージ９１は，ベース９２の上
部に装着されている。また，該ベース９２内には，紫外
線ランプ９３を収納している。また，上記スペーサは，
硬質プラスチックにより作製している。該スペーサは，
露光すべきプリント基板の厚みに応じて交換している。 一方，上記トラバーサ９４は，接続ダクト９６を介して
真空ポンプ（図示略）に接続している。また，上記吸着
板９５は，アルミニウムにより作製されている。該吸着
板９５には，多数の真空吸引孔９５０を設けており，こ
れらの真空吸引孔９５０は上記接続ダクト９６に連通さ
れている。なお，図６において，７は露光用のマスクフ
ィルムを示す。

【０００４】

【解決しようとする課題】しかしながら，従来のプリン
ト基板自動露光装置においては，図７に示すごとく，プ
リント基板８を露光ステージ９１の表面に押し付けて密
着させる際に，該プリント基板８のレジストフィルム８
１とマスクフィルム７との間に隙間Ｓが生ずる。これは
，前記吸着板９５がアルミニウムにより作製されており
，面圧がプリント基板８の微小な凹凸に対して均等にか
からず，上記隙間Ｓを生ずるからである。その結果，解
像度が上がらず，上記レジストフィルム８１が乱反射状
態８１０で露光されてしまう。本発明は，かかる従来の
問題点に鑑み，解像度を向上させることができる，プリ
ント基板自動露光装置を提供しようとするものである。

【０００５】

【課題の解決手段】本発明は，透明板からなる露光ステ
ージと，該露光ステージの表面周縁に設けられゴム等か
らなる環状シール材と，露光ステージの表面において上
記環状シール材よりも内側に設けられたスペーサと，プ
リント基板を吸着搬送して上記露光ステージ上に密着さ
せるトラバーサと，該トラバーサの下面に設けられプリ
ント基板を真空吸着する吸着板とからなり，上記吸着板
には，吸着面に凹凸を有する弾性シートを装着してなり
，また上記露光ステージは，環状シール材よりも内側に
真空吸引孔を有していることを特徴とするプリント基板
自動露光装置にある。

【０００６】本発明において最も注目すべきことは，プ
リント基板全体を隙間なくマスクフィルムに密着させる
ために，吸着板の吸着面に対して，弾力性を有する通気
性の弾性シートを装着したことにある。更には，密着性
を一層向上させるために，露光ステージには環状シール
材よりも内側に真空吸引孔を設けたことにある。上記弾
性シートは，真空引きをムラなく短時間に完了させるた
めの凹凸を有する。また，該弾性シートは，通気性を有
する。この通気性は，弾性シートに小孔を設けること，
或いは弾性シートを網目状のものとすることなどにより
付与する。該弾性シートとしては，ゴムシート（実施例
参照），軟質の合成樹脂シートなどがある。

【０００７】また，上記真空吸引孔は，真空ポンプに接
続する。これにより，露光ステージ側及びトラバーサ側
の両方から同時に真空引きを行うことが可能となる。こ
れにより，プリント基板とマスクフィルムとを一層密着
させることができる。また，上記スペーサは，プリント
基板の厚みよりも大きい厚みを有する網目状の弾性シー
トとすることが望ましい。これにより，真空吸引時には
スペーサをプリント基板厚み相当の厚さまで弾性変形さ
せることが可能となる。そのため，プリント基板の厚み
が少々変わっても，従来のようなスペーサ交換作業が不
要となる。

【０００８】

【作用及び効果】本発明においては，露光時には，トラ
バーサにより上記ゴムシートを介してプリント基板を吸
着搬送して露光ステージ上に密着させる。そして，トラ
バーサ側及び露光ステージ側の両方から真空引きを行う
。このとき，吸着板に装着したゴムシートが弾性変形す
る。そのため，面圧がプリント基板の微小な凹凸に対し
て均等にかかり，プリント基板全体が隙間なくマスクフ
ィルムに密着する。また，ゴムシートの吸着面に設けた
凹凸により，真空引きがムラなく，かつ短時間に完了す
る。それ故，本発明によれば，解像度を向上させること
が可能な，プリント基板自動露光装置を提供することが
できる。

【０００９】

【実施例】実施例１ 本発明の実施例１にかかるプリント基板自動露光装置に
つき，図１〜図４を用いて説明する。本例においては，
弾性シートとして，ゴムシートを用いている。本例装置
は，透明板からなる露光ステージ９１と，該露光ステー
ジ９１の表面周縁に設けられたゴムなどからなる環状シ
ール材９１１と，露光ステージ９１の表面において環状
シール材９１１よりも内側に設けられたスペーサ９１２
とを有する。また，プリント基板８を吸着搬送して露光
ステージ９１上に密着させるトラバーサ９４と，該トラ
バーサ９４の下面に設けられプリント基板８を真空吸着
する吸着板９５とを有する。該吸着板９５には，吸着面
１０に凹凸を有する通気性のゴムシート１を装着してあ
る。また，露光ステージ９１は，環状シール材９１１よ
りも内側に真空吸引孔２を有している。上記スペーサ９
１２は，硬質プラスチック板を用いた。

【００１０】上記ゴムシート１は，図４に示すごとく，
凹部１１と凸部１２とを有している。また，該ゴムシー
ト１は，通気孔１３を有しており，全体形状が網目状と
なっている。そして，該ゴムシート１は，図１及び図４
に示すごとく，接着面１５により吸着板９５の下面に貼
着してある。また該ゴムシート１の下面には，上記吸着
面１０を有している。該吸着面１０は，上記凸部１２の
側（図１の下面，図４の上面）に形成してある。また，
上記真空吸引孔２は，図１及び図２に示すごとく，環状
シール材９１１の内側の四隅に配設してある。その他は
，前記従来例と同様である。

【００１１】本例装置は，上記のように構成されている
ので，次の作用効果を呈する。即ち，プリント基板８の
露光に当たっては，図３に示すごとく，まずトラバーサ
９４によりプリント基板８を吸着搬送して露光ステージ
９１上に下降させる。これにより，プリント基板８のレ
ジストフィルムとマスクフィルム７とが重なり合う状態
となる。次に，トラバーサ９４側及び露光ステージ９１
側の両方から同時に真空引きを行う。両者からの真空引
きは，それぞれ上記網目状のゴムシート１，真空吸引孔
９５０，２を介して行う。

【００１２】このとき，吸着板９５の下面に貼着したゴ
ムシート１が弾性変形する。そのため，面圧がプリント
基板８の微小な凹凸に対して均等にかかり，プリント基
板全体が隙間なくマスクフィルム７に密着する。また，
ゴムシート１の吸着面１０に設けた凹部１１及び凸部１
２により，真空引きがムラなくかつ短時間に完了する。 真空吸引後，紫外線ランプ９３（図６参照）より紫外線
を照射して露光を行う。このように，本例によれば，プ
リント基板自動露光装置の解像度を大幅に向上させるこ
とができる。

【００１３】実施例２ 本例のプリント基板自動露光装置につき，図５を用いて
説明する。本例においては，前記実施例１に示した硬質
プラスチック製のスペーサ９１２に代えて，ゴム製のス
ペーサ３を用いる。該スペーサ３は，プリント基板８の
厚みよりも大きい厚みを有し，実施例１に示したゴムシ
ート１と同様の網目状のものである（図４参照）。また
，該スペーサ３は，トラバーサ９４側のゴムシート１と
接触する凸面３２と，露光ステージ９１に載置する裏面
３３とを有する。その他は，前記実施例１と同様である
。

【００１４】本例装置は，上記のように構成されている
ので，次の作用効果を呈する。即ち，真空吸引時には，
図５に示すごとく，スペーサ３がプリント基板８の厚み
に相当する厚さまで弾性変形する。そのため，厚みの異
なる全てのプリント基板に対して，スペーサ３を使用す
ることができる。したがって，従来のようにプリント基
板の厚みに応じてスペーサを交換する作業が不要となる
。また，スペーサ３の表面が凹凸状となっているため，
真空引きが容易となる。このように，本例によれば，ス
ペーサの交換作業が不要となった分だけ，プリント基板
の生産性が大幅に向上する。そして，プリント基板のコ
ストダウンを図ることができる。また，前記実施例１と
同様の作用効果も得ることができる。

【００１５】実施例３ 本例は，上記実施例１，実施例２及び従来例の装置にお
いて，その自動露光時の解像度につき実験したものであ
る。その実験結果を表１〜表３に示す。表１は，実施例
１にかかるプリント基板自動露光装置についての実験結
果であって，トラバーサの吸着板にゴムシートを装着し
，またスペーサの材質として従来例と同様の硬質プラス
チックを用いたものである。同表は，プリント基板の厚
みを種々に変え，またスペーサの厚みを一定（０．８ｍ
ｍ）としたものである。

【００１６】表２は，実施例２にかかるプリント基板自
動露光装置についての実験結果であって，トラバーサの
吸着板とスペーサの両方にゴムシートを用いたものであ
る。同表は，プリント基板の厚みを種々に変え，またス
ペーサの厚みを一定（３．０ｍｍ）としたものである。 表３は，比較例としてのプリント基板自動露光装置につ
いての実験結果であって，トラバーサにゴムシートを装
着せず，またスペーサの材質として硬質プラスチックを
用いたものである。なお，各表に示す解像度は，１００
μｍ解像の度合を表し，○は優れた解像度，△はやや劣
った解像度，×は劣った解像度をそれぞれ表している。

【００１７】次に，考察を示す。表１に示すごとく，実
施例１のプリント基板自動露光装置においては，厚みが
０．１〜０．５ｍｍのプリント基板につき，優れた解像
度を得ることができることが分かる。しかし，厚みの大
きなプリント基板においては，十分な解像度を得ること
ができない。また，上記表２に示すごとく，実施例２の
プリント基板自動露光装置においては，厚みの小さなプ
リント基板はもちろんのこと，厚みの大きなプリント基
板においても，解像度が改善されていることが分かる。 これは，トラバーサ側及びスペーサの両方にゴムシート
を用いたためである。また，上記表３に示すごとく，比
較例としてのプリント基板自動露光装置においては，厚
みの小さいプリント基板と厚みの大きなプリント基板に
つき，十分な解像度が出ないことが分かる。このことか
らも知られるように，従来装置においては，基板厚みが
変わる毎にスペーサの厚みを変える必要がある。

【００１８】

【表１】

【００１９】

【表２】

【００２０】

【表３】

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１にかかるプリント基板自動露光装置の
トラバーサの部分断面側面図。

【図２】実施例１の露光ステージの平面図。

【図３】実施例１のプリント基板自動露光装置の作用を
説明するための要部側面図。

【図４】実施例１のゴムシートの部分断面裏面斜視図。

【図５】実施例３のスペーサの作用を説明するための要
部側面図。

【図６】従来のプリント基板自動露光装置の概略側面図
。

【図７】従来のプリント基板自動露光装置の作用説明図
。

【符号の説明】

１．．．ゴムシート， １０．．．吸着面， ２．．．真空吸引孔， ３．．．スペーサ， ８．．．プリント基板， ９１．．．露光ステージ， ９１１．．．環状シール材， ９１２．．．スペーサ， ９４．．．トラバーサ， ９５．．．吸着板，

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　透明板からなる露光ステージと，該露
   光ステージの表面周縁に設けられゴム等からなる環状シ
   ール材と，露光ステージの表面において上記環状シール
   材よりも内側に設けられたスペーサと，プリント基板を
   吸着搬送して上記露光ステージ上に密着させるトラバー
   サと，該トラバーサの下面に設けられプリント基板を真
   空吸着する吸着板とからなり，上記吸着板には，吸着面
   に凹凸を有する通気性の弾性シートを装着してなり，ま
   た上記露光ステージは，環状シール材よりも内側に真空
   吸引孔を有していることを特徴とするプリント基板自動
   露光装置。
2. 【請求項２】　　請求項１において，上記スペーサは，
   プリント基板の厚みよりも大きい厚みを有する網目状の
   弾性シートであることを特徴とするプリント基板自動露
   光装置。