CN104052426B - 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体 - Google Patents

振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体 Download PDF

Info

Publication number
CN104052426B
CN104052426B CN201410087903.8A CN201410087903A CN104052426B CN 104052426 B CN104052426 B CN 104052426B CN 201410087903 A CN201410087903 A CN 201410087903A CN 104052426 B CN104052426 B CN 104052426B
Authority
CN
China
Prior art keywords
arm
vibrating
vibrating element
length
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410087903.8A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
CN104052426A (zh
Inventor
山田明法
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to CN201810861640.XA priority Critical patent/CN109067379B/zh
Publication of CN104052426A publication Critical patent/CN104052426A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104052426B publication Critical patent/CN104052426B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21—Crystal tuning forks
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21—Crystal tuning forks
    • H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
CN201410087903.8A 2013-03-14 2014-03-11 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体 Active CN104052426B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810861640.XA CN109067379B (zh) 2013-03-14 2014-03-11 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013052489A JP6349622B2 (ja) 2013-03-14 2013-03-14 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2013-052489 2013-03-14

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810861640.XA Division CN109067379B (zh) 2013-03-14 2014-03-11 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104052426A CN104052426A (zh) 2014-09-17
CN104052426B true CN104052426B (zh) 2018-08-10

Family

ID=51504865

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410087903.8A Active CN104052426B (zh) 2013-03-14 2014-03-11 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
CN201810861640.XA Active CN109067379B (zh) 2013-03-14 2014-03-11 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810861640.XA Active CN109067379B (zh) 2013-03-14 2014-03-11 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

Country Status (5)

Country Link
US (2) US9344058B2 (enExample)
JP (1) JP6349622B2 (enExample)
KR (1) KR20140113383A (enExample)
CN (2) CN104052426B (enExample)
TW (1) TWI604693B (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6349622B2 (ja) * 2013-03-14 2018-07-04 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6155897B2 (ja) * 2013-06-24 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体
KR101724488B1 (ko) * 2015-12-11 2017-04-07 현대자동차 주식회사 Mems 공진기
JP2019102826A (ja) * 2017-11-28 2019-06-24 京セラ株式会社 音叉型水晶振動素子及び圧電デバイス
CN108309236B (zh) * 2018-01-15 2021-08-27 新绎健康科技有限公司 人体平衡评估方法及系统
US10732195B2 (en) 2018-01-26 2020-08-04 Honeywell International Inc. Vibrating beam accelerometer
WO2020213213A1 (ja) * 2019-04-18 2020-10-22 株式会社村田製作所 共振装置及び共振装置製造方法
CN114826183A (zh) * 2021-01-29 2022-07-29 精工爱普生株式会社 振动元件的制造方法
CN115629268B (zh) * 2022-12-19 2023-03-28 天津伍嘉联创科技发展股份有限公司 一种测试音叉石英谐振器晶体参数的方法及系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102651640A (zh) * 2011-02-25 2012-08-29 精工爱普生株式会社 压电振动元件、具有压电振动元件的压电装置及电子设备
CN102739189A (zh) * 2011-03-29 2012-10-17 日本电波工业株式会社 音叉型压电振动片及压电装置

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2057473C2 (de) 1970-11-23 1982-04-08 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Lichtempfindliches Gemisch
JPS52129395A (en) * 1976-04-23 1977-10-29 Seiko Instr & Electronics Ltd Tuner fork type peizoelectric resonatpr
JPH01236808A (ja) 1988-03-17 1989-09-21 Matsushima Kogyo Co Ltd 捩水晶振動子
JP3135317B2 (ja) 1991-11-08 2001-02-13 セイコーインスツルメンツ株式会社 捩り水晶振動子
US6894428B2 (en) * 2001-01-15 2005-05-17 Seiko Epson Corporation Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic device
JP2004266765A (ja) * 2003-03-04 2004-09-24 Seiko Epson Corp 音叉型振動片及び圧電デバイス
JP4356366B2 (ja) 2003-06-10 2009-11-04 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器
JP4026074B2 (ja) * 2003-06-30 2007-12-26 有限会社ピエデック技術研究所 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器
JP4265499B2 (ja) 2004-05-12 2009-05-20 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4548148B2 (ja) 2005-02-24 2010-09-22 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4414987B2 (ja) * 2006-07-27 2010-02-17 日本電波工業株式会社 圧電振動子の製造方法、圧電振動子及び電子部品
ATE453954T1 (de) 2007-07-19 2010-01-15 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Piezoelektrischer resonator mit optimierten bewegungsfähigkeiten
JP4539708B2 (ja) * 2007-11-02 2010-09-08 エプソントヨコム株式会社 圧電振動片、圧電振動子および加速度センサ
WO2009116523A1 (ja) * 2008-03-18 2009-09-24 シチズンホールディングス株式会社 圧電デバイス
JP5175128B2 (ja) * 2008-04-04 2013-04-03 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片および圧電デバイス
JP4594412B2 (ja) 2008-05-22 2010-12-08 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP5135566B2 (ja) * 2008-10-14 2013-02-06 有限会社ピエデック技術研究所 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器及びそれらの製造方法
JP4709260B2 (ja) * 2008-10-16 2011-06-22 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP5509647B2 (ja) * 2009-03-26 2014-06-04 セイコーエプソン株式会社 振動片
JP4609586B2 (ja) * 2009-06-10 2011-01-12 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器
JP5341647B2 (ja) 2009-07-10 2013-11-13 リバーエレテック株式会社 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器
JP5565154B2 (ja) 2009-09-11 2014-08-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、および電子機器
JP5565163B2 (ja) * 2009-10-08 2014-08-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、および電子機器
JP5789914B2 (ja) * 2010-02-05 2015-10-07 セイコーエプソン株式会社 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス
US8283988B2 (en) * 2010-02-25 2012-10-09 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device
US20110227658A1 (en) * 2010-03-16 2011-09-22 Seiko Epson Corporation Resonator element, piezoelectric device, and electronic device
US8692632B2 (en) * 2010-03-17 2014-04-08 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device
JP5504999B2 (ja) 2010-03-17 2014-05-28 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器
JP2012129904A (ja) 2010-12-17 2012-07-05 Seiko Epson Corp 電子機器
JP5062784B2 (ja) * 2010-03-31 2012-10-31 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス
JP5123987B2 (ja) 2010-05-28 2013-01-23 日本電波工業株式会社 圧電デバイス、および圧電デバイスの周波数調整方法
JP2011250228A (ja) 2010-05-28 2011-12-08 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電デバイス、および圧電デバイスの周波数調整方法
EP2395661A1 (fr) 2010-06-10 2011-12-14 The Swatch Group Research and Development Ltd. Résonateur thermocompensé aux premier et second ordres
JP2012039226A (ja) 2010-08-04 2012-02-23 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 音叉型の圧電振動片および圧電デバイス
JP5584728B2 (ja) 2012-05-18 2014-09-03 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片および振動デバイス
JP6349622B2 (ja) * 2013-03-14 2018-07-04 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6281254B2 (ja) * 2013-11-16 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102651640A (zh) * 2011-02-25 2012-08-29 精工爱普生株式会社 压电振动元件、具有压电振动元件的压电装置及电子设备
CN102739189A (zh) * 2011-03-29 2012-10-17 日本电波工业株式会社 音叉型压电振动片及压电装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN109067379B (zh) 2022-05-17
JP2014179803A (ja) 2014-09-25
US9654083B2 (en) 2017-05-16
US9344058B2 (en) 2016-05-17
KR20140113383A (ko) 2014-09-24
TW201440427A (zh) 2014-10-16
CN109067379A (zh) 2018-12-21
CN104052426A (zh) 2014-09-17
US20160277005A1 (en) 2016-09-22
TWI604693B (zh) 2017-11-01
JP6349622B2 (ja) 2018-07-04
US20140265736A1 (en) 2014-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104052426B (zh) 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
CN104079263B (zh) 振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体
KR20140118840A (ko) 진동 소자, 진동자, 발진기, 전자 기기 및 이동체
CN104242860B (zh) 振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体
JP2014200051A (ja) 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
CN104660206A (zh) 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
CN104242866B (zh) 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
CN104660208A (zh) 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
CN104753491B (zh) 振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体
CN104300933A (zh) 振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体
JP2014200050A (ja) 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
CN104242858A (zh) 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
CN104660169A (zh) 振动元件、振子、振荡器、电子设备及移动体
JP7635863B2 (ja) 振動素子、振動子および発振器
JP6521148B2 (ja) 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6816805B2 (ja) 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2015097361A (ja) 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2015002549A (ja) 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6614227B2 (ja) 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2019115079A (ja) 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant