CN103717553A - 气体发生材料及微型泵 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种每单位时间的气体产生量多且保存稳定性高的气体发生材料。本发明的气体发生材料(11a)含有作为偶氮化合物或叠氮化合物的气体发生剂、叔胺、光敏剂及粘合剂树脂。

Description

气体发生材料及微型泵
技术领域
本发明涉及一种气体发生材料及具备其的微型泵。
背景技术
近年来，作为小型且携带性优异的分析装置，开始采用使用了微型液体仪器的分析装置。在使用了该微型流体器件的分析装置中，可以在微流路内进行样品的输送、稀释、浓缩及分析等。
在上述微型流体器件中，为了在微流路内进行样品的输送等，设置有微型泵。例如专利文献1中公开了一种使用光响应性气体发生材料的微型泵。
另外，在专利文献2中公开了一种气体发生剂，其含有在侧链上具有叠氮甲基及羟基的脂肪族聚醚。在专利文献3中公开了一种含有缩水甘油基叠氮聚合物的组合物。非专利文献1涉及末端羟基聚醚，并公开了在侧链上具有甲基叠氮基的缩水甘油基叠氮基聚合物(GAP)及其制造方法。
另外，在专利文献4、5中虽未公开微型泵的用途，但公开有一种含有气体发生剂的组合物。
在专利文献4中记载了利用硅烷偶联剂对玻璃板表面进行表面处理，所述玻璃板贴附有含气体发生剂的层。专利文献4中，含有气体发生剂的层未混合硅烷偶联剂。
专利文献5中公开了一种多层片材，其具备含有气体发生剂的层和含有氨基类硅烷偶联剂的层。在专利文献5中，多层片材的各层使用不同组合物而形成，气体发生剂和氨基类硅烷偶联剂分别被用于不同的层。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010-89259号公报
专利文献2：日本特开平8-310888号公报
专利文献3：日本特开平8-109093号公报
专利文献4：日本特开2005-197630号公报
专利文献5：日本特开2006-128621号公报
非专利文献
非专利文献1：工业火药Vol.51，No.4，1990，P.216-217
发明内容
发明要解决的课题
近年来，伴随微型液体仪器的复杂化等，期望推进微型泵结构简单化及小型化，高密度地安装微型泵。
本发明的主要目的在于，提供一种单位时间的气体产生量多且保存稳定性高的气体发生材料。另外，本发明提供一种具备所述气体发生材料的微型泵。
用于解决课题的方法
本发明的气体发生材料含有气体发生剂、叔胺、光敏剂及粘合剂树脂，所述气体发生剂为偶氮化合物或叠氮化合物。
所述叔胺优选含有选自环状胺、三烷基胺及芳香族胺中的至少一种。
所述叔胺的含量优选相对于100质量份所述气体发生剂为0.1质量份以上且50质量份以下。
所述叠氮化合物优选具有磺酰基叠氮基或叠氮基甲基。
所述光敏剂的含量优选相对于100质量份所述气体发生剂为0.1质量份以上且50质量份以下。
所述光敏剂优选含有选自噻吨酮化合物、吩噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物中的至少一种。
本发明的气体发生材料优选进一步含有硅烷偶联剂。
本发明的微型泵具备所述气体发生材料和形成有微流路的基体材料。所述气体发生材料以所述气体发生材料产生的气体被供给于所述微流路的方式进行配置。
发明效果
根据本发明，可以提供一种单位时间的气体产生量多且保存稳定性高的气体发生材料。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式中的微型泵的概略剖面图；
图2是变形例中的微型泵的概略剖面图；
图3是表示实施例19及比较例3～5中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图4是表示实施例20及比较例6中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图5是表示实施例21及比较例7中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图6是表示实施例22及比较例8中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图7是表示实施例23及比较例9中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图8是表示实施例24及比较例10中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图9是表示实施例25及比较例11中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图10是表示实施例26及比较例12中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
图11是表示实施例27及比较例13～15中制作的微型泵的气体产生量(累积值)的图表；
符号说明
1，2...微型泵
10...基体材料
10a...主面
10b...微流路
10c...泵室
11a、11b...气体发生材料
12...气体阻隔层
具体实施方式
下面，对实施本发明的优选方式的一个例子进行说明。但是，下述的实施方式仅为例示。本发明并不受下述的实施方式任何限定。
另外，实施方式中参照的附图属于示意性的记载，附图中所描绘的物体的尺寸比例等有时与现实中物体的尺寸比例等并不相同。具体的物体的尺寸比例等应参考以下的说明来判断。
图1是第一实施方式中的微型泵的概略剖面图。如图1所示，微型泵1具备板状的基体材料10。基体材料10例如可以由树脂、玻璃及陶瓷等构成。作为构成基体材料10的树脂，例如可举出：有机硅氧烷化合物、聚甲基丙烯酸酯树脂及环状聚烯烃树脂等。作为上述有机硅氧烷化合物的具体例，可举出：聚二甲基硅氧烷(PDMS)及聚甲基氢化硅氧烷等。
基体材料10中形成有在主面10a上开口的微流路10b。
所谓“微流路”是指形成为使得在微流路中流通的液体表现出所谓微观效果的形状尺寸的流路。具体而言，所谓“微流路”是指形成为如下的形状尺寸的流路，所述形状尺寸使得在微流路中流通的液体强烈地受到表面张力和毛细管现象的影响，从而表现出与在通常尺寸的流路中流通的液体不同的行为。
在主面10a上贴附有膜状气体发生材料11a。微流路10b的开口被该气体发生材料11a覆盖。因此，通过对气体发生材料11a施加光或热等外部刺激而由气体发生材料11a产生的气体被导入微流路10b。
气体发生材料11a的厚度没有特别限定，例如优选为5μm以上，更优选为10μm以上，优选为5mm以下，更优选为500μm以下。
气体发生材料11a由气体阻隔层12覆盖。利用该气体阻隔层12，可抑制气体发生材料11a中产生的气体向与主面10a的相反的一侧流出，可有效地供给于微流路10b。因此，气体阻隔层12优选为对气体发生材料11a中产生的气体的透过性低的层。
气体阻隔层12例如可以由聚丙烯酸树脂、聚烯烃树脂、聚碳酸酯树脂、氯乙烯树脂、ABS树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)树脂、尼龙树脂、聚氨酯树脂、聚酰亚胺树脂及玻璃等构成。
需要说明的是，气体阻隔层12的厚度根据气体阻隔层12的材质等的不同而不同，但例如优选为10μm以上，更优选为25μm以上，优选为1mm以下，更优选为100μm以下。气体阻隔层12优选为在使光透过的情况下不易引起紫外线区域的光发生衰减的层。
气体发生材料11a含有气体发生剂。上述气体发生剂为偶氮化合物或叠氮化合物。上述气体发生剂在施加热或光等的外部刺激时产生气体。上述偶氮化合物或上述叠氮化合物没有特别限定，可以为公知的偶氮化合物或叠氮化合物。上述气体发生剂优选为上述偶氮化合物，也优选为上述叠氮化合物。上述气体发生剂可以单独使用，也可以并用2种以上。
作为可用作上述气体发生剂的上述偶氮化合物的具体例，例如可举出：2，2’-偶氮双(N-环己基-2-甲基丙酰胺)、2，2’-偶氮双[N-(2-甲基丙基)-2-甲基丙酰胺]、2，2’-偶氮双(N-丁基-2-甲基丙酰胺)、2，2’-偶氮双[N-(甲基乙基)-2-甲基丙酰胺]、2，2’-偶氮双(N-己基-2-甲基丙酰胺)、2，2’-偶氮双(N-丙基-2-甲基丙酰胺)、2，2’-偶氮双(N-乙基-2-甲基丙酰胺)、2，2’-偶氮双{2-甲基-N-[1，1-双(羟甲基)-2-羟乙基]丙酰胺}、2，2’-偶氮双{2-甲基-N-[2-(1-羟丁基)]丙酰胺}、2，2’-偶氮双[2-甲基-N-(2-羟乙基)丙酰胺]、2，2’-偶氮双[N-(2-丙烯基)-2-甲基丙酰胺]、2，2’-偶氮双[2-(5-甲基-2-咪唑啉-2-基)丙烷]二盐酸盐(ジハイドロクロライド)、2，2’-偶氮双[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]二盐酸盐、2，2’-偶氮双[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]二硫酸盐二水合物(2，2′-Azobis[2-(2-imidazolin-2-yl)propane]DisulfateDihydrate)、2，2’-偶氮双[2-(3，4，5，6-四氢嘧啶-2-基)丙烷]二盐酸盐、2，2’-偶氮双{2-[1-(2-羟乙基)-2-咪唑啉-2-基]丙烷}二盐酸盐、2，2’-偶氮双[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]、2，2’-偶氮双(2-甲基丙酰胺)盐酸盐、2，2’-偶氮双(2-氨基丙烷)二盐酸盐、2，2’-偶氮双[N-(2-羧基酰基)-2-甲基-丙酰胺]、2，2’-偶氮双{2-[N-(2-羧基乙基)酰胺(アミダイン)]丙烷}、2，2’-偶氮双(2-甲基丙酰胺肟)、2，2’-偶氮双(2-甲基丙酸二甲酯)、2，2’-偶氮二异丁酸二甲酯、4，4’-偶氮双(4-氰基碳酸(カルボニツクアシツド))、4，4’-偶氮双(4-氰基戊酸)及2，2’-偶氮双(2，4，4-三甲基戊烷)等。这些偶氮化合物通过接受特定的波长域的光或热等外部刺激而产生氮气。
需要说明的是，上述偶氮化合物不会因冲击而产生气体，因此，极其容易操作。另外，上述偶氮化合物不会发生连锁反应而爆发性地产生气体。若使用上述偶氮化合物，则可以通过中断光的照射来中断气体的产生。因此，通过将上述偶氮化合物用作上述气体发生剂，容易控制气体产生量。
作为可用作上述发生剂的上述叠氮化合物，例如可举出：具有磺酰基叠氮基或叠氮基甲基的叠氮化合物。上述叠氮化合物优选具有磺酰基叠氮基或叠氮基甲基。上述叠氮化合物优选具有磺酰基叠氮基，也优选具有叠氮基甲基。
作为上述具有磺酰基叠氮基的化合物的优选的例子，例如可举出：下述式(1)所示的化合物。
[化学式1]
上述式(1)中，R1～R5分别为氢原子、卤原子、氨基、酰胺基、烃基、在烃基上键合了取代基的基团或烷氧基。上述式(1)中的R1～R5可以相同，也可以不同。上述烃基可以为直链状，也可以为支链状，还可以为环状。上述烃基可以为饱和的烃基，也可以为不饱和的烃基。上述烷氧基可以具有取代基，可以为直链状，也可以为支链状。
在上述式(1)中，R1～R5中的至少一个基团优选为烃基或在烃基上键合有取代基的基团，更优选为烃基。在R1～R5为烃基或在烃基上键合有取代基的基团的情况下，该烃基的碳原子数为1以上，优选为3以上，更优选为6以上，优选为30以下，更优选为20以下，进一步优选为18以下。另外，作为上述在烃基上键合有取代基的基团中的取代基，可举出卤原子等。
在上述式(1)的R1～R5中，上述烷氧基的碳原子数为1以上，优选为3以上，更优选为6以上，优选为20以下，更优选为16以下，进一步优选为12以下。另外，在上述烷氧基具有取代基的情况下，作为该取代基，可举出卤原子等。
在上述式(1)中，R3优选为酰胺基、烃基、在烃基上键合有取代基的基团或烷氧基。另外，在上述式(1)中，R1，R2，R4及R5分别优选为氢原子。
作为具有叠氮基甲基的叠氮化合物，例如可举出：缩水甘油基叠氮基聚合物。作为上述缩水甘油基叠氮基聚合物，优选在侧链具有叠氮基甲基且在末端具有羟基的脂肪族聚醚。
作为在侧链具有叠氮基甲基且在末端具有羟基的脂肪族聚醚的优选例子，例如可举出：下述式(2-1)所示的叠氮化合物。
H(B)q(A)nOR1O(A)m(B)rH  (2-1)
上述式(2-1)中，m+n＝2～20、m≥1、n≥1、q+r＝10～35、q≥5、r≥5，A为-OCH2CH2CH2CH2-、-OCH2CH2-或-OCH2CH(CH3)-，B为-CH2CH(CH2N3)O-，R1为-CH2CH2-、-CH2CH2CH2CH2-、-CH2CH(CH3)-、-[(CH2CH2O)xCH2CH2]-、或-[(CH2CH2CH2CH2O)y CH2CH2CH2CH2]-。上述R1中的x为10～25、y为5～20。
另外，作为在侧链具有叠氮基甲基且在末端具有羟基的脂肪族聚醚的其他优选例子，例如可举出：下述式(2-2)所示的叠氮化合物。
[化学式2]
Figure BDA00002722922500071
在上述式(2-2)中，m为1～20的整数，1+n为7～50的整数。m优选为3以上且优选为15以下。1+n优选为10以上且优选为30以下。
另外，作为在侧链具有叠氮基甲基且在末端具有羟基的脂肪族聚醚的其它优选例子，例如可举出：下述式(2-3)所示的叠氮化合物。
[化学式3]
Figure BDA00002722922500072
上述式(2-3)中，m1、rn2及m3分别为1～20的整数，n1、n2及n3分别为1～20的整数。
上述叠氮化合物优选为上述式(1)、(2-1)、(2-2)或(2-3)所示的叠氮化合物。上述叠氮化合物优选为上述式(1)所示的叠氮化合物，也优选为上述式(2-1)、(2-2)或(2-3)所示的叠氮化合物。
上述的叠氮化合物通过接受特定的波长范围的光、热、超声波或冲击等外部刺激来进行分解，产生氮气。
在气体发生材料11a中，上述气体发生剂的含量优选为10质量％以上、更优选为15质量％以上、进一步优选为20质量％以上，优选为90质量％以下，更优选为70质量％以下，进一步优选为60质量％以下。上述气体发生剂的含量为上述下限以上时，可以得到充分的气体产生量。气体发生材料11a需要含有叔胺、光敏剂及粘合剂树脂，因此，上述气体发生剂的优选的上限为90质量％左右。
在气体发生材料11a中，通过含有上述叔胺和上述光敏剂，顺利地进行上述的氮气的产生，并可以增加气体产生量。
气体发生材料11a含有叔胺。上述叔胺的种类没有特别的限定。作为上述叔胺，可举出环状胺、三烷基胺及芳香族胺等。上述环状胺及上述芳香族胺分别具有叔胺的结构。
上述叔胺可以仅含有1种，也可以含有多种。气体发生材料11a优选含有选自环状胺、三烷基胺及芳香族胺中的至少一种。上述叔胺优选为环状胺、三烷基胺和芳香族胺。上述环状胺不具有芳香族骨架而具有除芳香族骨架以外的环状骨架。上述三烷基胺不具有环状骨架及芳香族骨架。上述芳香族胺具有芳香族骨架，不具有除芳香族骨架以外的环状骨架。
上述环状胺的碳原子数优选为6以上且优选为20以下。作为上述环状胺的具体例，可举出：1，4-二氮杂双环[2.2.2.]辛烷(DABCO)、二氮杂双环十一碳烯(DBU)及二氮杂双环壬烯(DBN)等。
上述三烷基胺的3个烷基可以相同，也可以不同。上述三烷基胺的3个烷基的碳原子数分别为1以上，优选为2以上，优选为20以下，更优选为6以下。作为上述三烷基胺的具体例，可举出：三甲胺、N，N-二乙基甲胺、N，N-二甲基乙胺、三乙胺、N，N-二甲基丙胺、三丙胺及三丁胺等。
作为上述芳香族胺的具体例，可举出：N，N-二甲基氨基甲苯胺、N，N-二乙基氨基甲苯胺、N，N-二甲基氨基苯、N，N-二乙基氨基苯及N，N，N’N’-四甲基-对苯二胺等。
从提高在气体发生材料11a中的溶解性、以及进一步提高与其它成分的混合性，且得到均质的膜状的气体发生材料的观点考虑，上述叔胺优选在23℃下为液态。
上述叔胺的含量优选相对于100质量份上述气体发生剂为0.1质量份以上，更优选为0.5质量份以上，进一步优选为1质量份以上，优选为50质量份以下，更优选为40质量份以下，进一步优选为30质量份以下。上述叔胺的含量为上述下限以上及上述上限以下时，气体发生材料11a中单位时间的气体产生量明显变多，保存稳定性明显变高。
气体发生材料11a含有光敏剂。上述光敏剂具有增大光对气体发生剂产生的刺激的效果，因此，气体发生材料11a通过含有光敏剂，可以利用少量的光照射量，产生并放出气体。另外，可以利用更广波长范围的光，产生并放出气体。上述光敏剂可以单独使用，也可以并用2种以上。
上述光敏剂的种类没有特别限定。作为上述光敏剂，可以使用公知的光敏剂。作为上述光敏剂，例如可举出：噻吨酮化合物、吩噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物等。上述噻吨酮化合物具有噻吨酮骨架。上述吩噻嗪化合物具有吩噻嗪骨架。上述蒽化含物具有蒽骨架。上述吖啶酮化合物具有吖啶酮骨架。
作为上述噻吨酮化合物的具体例，可举出噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮及2，4-二乙基噻吨酮等。
作为上述吩噻嗪化合物的具体例，可举出：吩噻嗪、2-氯吩噻嗪、2-甲基硫代吩噻嗪、2-甲氧基吩噻嗪及2-(三氟甲基)吩噻嗪等。
作为上述蒽化合物的具体例，可举出：蒽、9，10-二乙氧基蒽、9，10-二丙氧基蒽、9，10-二丁氧基蒽、9-羧基蒽、2-蒽羧酸、1-蒽羧酸、1，8-蒽二羧酸二甲酯、(1R，2R)-2-(蒽-2，3-二羧基酰亚胺)环己烷羧酸、1-氨基蒽、2-蒽硼酸、9-氯甲基蒽、9，10-二甲氧基蒽-2-磺酸钠、苯并蒽、苯并[a]蒽-7，12-二酮、二苯并[a，c]蒽、1，2，3，4-二苯并蒽、9-溴蒽、9，10-双(氯甲基)蒽、7-溴苯并[a]蒽、1，8-双(羟甲基)蒽、9，10-双(3，5-二羟基苯基)蒽、1-溴蒽、2-溴蒽、9，10-双(二乙基膦甲基)蒽、2-溴-9，10-二苯基蒽、2-叔丁基蒽、9-氯甲基蒽、9-氰基蒽、1-氯-9，10-双(苯基乙炔基)蒽、2-氯蒽、二苯并[a，h]蒽、9，10-二溴蒽、9，10-二甲基蒽、9，10-二氢蒽、7，12-二甲基苯并[a]蒽、9，10-二氰基蒽、9，10-二苯基蒽、2，3-二甲基蒽、2，6-二溴蒽、1，5-二溴蒽、(11R，12R)-9，10-二氢-9，10-桥亚乙基蒽-11，12-二胺、9，10-二氢-9，10-双(2-羧基乙基)-N-(4-硝基苯基)-10，9-(环氧基亚氨基)蒽-12-羧酰胺、9，10-二(1-萘基)蒽、9，10-双(2-萘基)蒽、1，8-二碘蒽、9-(羟甲基)蒽、2-(羟甲基)蒽、9-(2-羟乙基)蒽、9-甲基蒽、7-甲基苯并[a]蒽、2，3-苯并蒽、二苯并[de，k1]蒽、9-苯基蒽、9，10-双(苯基乙炔基)蒽、1-苯胺基蒽、2-苯胺基蒽、1，4，9，10-四羟基蒽、1，8，9-三羟基蒽、(R)-(-)-α-(三氟甲基)-9-蒽甲醇、(S)-(+)-α-(三氟甲基)-9-蒽甲醇及9，10-二氢-9，10-[1，2]苯并蒽等。
作为上述吖啶酮化合物的具体例，可举出10-甲基-9(10H)吖啶酮、9(10H)-吖啶酮及10-丁基-2-氯-9(10H)-吖啶酮等。
为了增加单位时间的气体产生量，上述光敏剂优选含有选自噻吨酮化合物、吩噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物中的至少一种。上述光敏剂优选为噻吨酮化合物，优选为吩噻嗪化合物，优选为蒽化合物，也优选为吖啶酮化合物。
另外，作为上述光敏剂，也可举出具有烷氧基的多环芳香族化合物。上述多环芳香族化合物也可以具有2个以上的烷氧基。其中，优选具有其烷氧基上含有缩水甘油基或羟基的多环芳香族化合物。该多环芳香族化合物优选为取代烷氧基多环芳香族化合物，其具有所述烷氧基的一部分被缩水甘油基或羟基取代的烷氧基。这样的光敏剂具有高的耐升华性，可以在高温下使用。另外，通过将烷氧基的一部分用缩水甘油基及羟基取代，可以提高在气体发生材料11a中的溶解性，并可抑制渗出(Bleed Out)。
作为可用作上述光敏剂的上述多环芳香族化合物的优选例子，可举出具有蒽骨架的多环芳香族化合物等。上述具有蒽骨架的多环芳香族化合物为具有烷氧基的蒽化合物或蒽衍生物等。另外，具有烷氧基的多环芳香族化合物的烷氧基的碳原子数为1以上，优选为18以下，更优选为8以下。
作为上述具有烷氧基的多环芳香族化合物的具体例，可举出：9，10-二甲氧基蒽、2-乙基-9，10-二甲氧基蒽、2-叔丁基-9，10-二甲氧基蒽、2，3-二甲基-9，10-二甲氧基蒽、9-甲氧基-10-甲基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽、2-叔丁基-9，10-二乙氧基蒽、2，3-二甲基-9，10-二乙氧基蒽、9-乙氧基-10-甲基蒽、9，10-二丙氧基蒽、2-乙基-9，10-二丙氧基蒽、2-叔丁基-9，10-二丙氧基蒽、2，3-二甲基-9，10-二丙氧基蒽、9-异丙氧基-10-甲基蒽、9，10-二丁氧基蒽、9，10-二苄氧基蒽、2-乙基-9，10-二苄氧基蒽、2-叔丁基-9，10-二苄氧基蒽、2，3-二甲基-9，10-二苄氧基蒽、9-苄氧基-10-甲基蒽、9，10-二α-甲基苄氧基蒽、2-乙基-9，10-二-α-甲基苄氧基蒽、2-叔丁基-9，10-二-α-甲基苄氧基蒽、2，3-二甲基-9，10-二-α-甲基苄氧基蒽、9-(α-甲基苄氧基)-10-甲基蒽、9，10-二(2-羟基乙氧基)蒽及2-乙基-9，10-二(2-羧基乙氧基)蒽等。
作为上述具有含有缩水甘油基或羟基的烷氧基的多环芳香族化合物的具体例，可举出：9，10-二(缩水甘油氧基)蒽、2-乙基-9，10-二(缩水甘油氧基)蒽、2-叔丁基-9，10-二(缩水甘油氧基)蒽、2，3-二甲基-9，10-二(缩水甘油氧基)蒽、9-(缩水甘油氧基)-10-甲基蒽、9，10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、2-乙基-9，10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、2-叔丁基-9，10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、2，3-二甲基-9，10-二(2-乙烯氧基乙氧基)蒽、9-(2-乙烯氧基乙氧基)-10-甲基蒽、9，10-二(3-甲基-3-氧杂环丁基甲氧基)蒽、2-乙基-9，10-二(3-甲基-3-氧杂环丁基甲氧基)蒽、2-叔丁基-9，10-二(3-甲基-3-氧杂环丁基甲氧基)蒽、2，3-二甲基-9，10-二(3-甲基-3-氧杂环丁基甲氧基)蒽、9-(3-甲基-3-氧杂环丁基甲氧基)-10-甲基蒽、9，10-二(对环氧苯基甲氧基)蒽、2-乙基-9，10-二(对环氧苯基甲氧基)蒽、2-叔丁基-9，10-二(对环氧苯基甲氧基)蒽、2，3-二甲基-9，10-二(对环氧苯基甲氧基)蒽、9-(对环氧苯基甲氧基)-10-甲基蒽、9，10-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、2-乙基-9，10-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、2-叔丁基-9，1-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、2，3-二甲基-9，10-二(对乙烯基苯基甲氧基)蒽、9-(对乙烯基苯基甲氧基)-10-甲基蒽、9，10-二(2-羟基乙氧基)蒽、9，10-二(2-羟基丙氧基)蒽、9，10-二(2-羟基丁氧基)蒽、9，10-二(2-羟基-3-丁氧基丙氧基)蒽、9，10-二(2-羟基-3-(2-乙基己氧基)丙氧基)蒽、9，10-二(2-羟基-3-烯丙氧基丙氧基)蒽、9，10-二(2-羟基-3-苯氧基丙氧基)蒽及9，10-二(2，3-二羟基丙氧基)蒽等。
上述光敏剂可以是作为光聚合引发剂通常已知的材料。作为这样的光敏剂，例如可举出：通过照射250～800nm波长的光来而被活化的化合物。作为这样的光敏剂的具体例，可举出：甲氧基苯乙酮等苯乙酮化合物；苯偶姻丙醚、苯偶姻异丁醚等苯偶姻醚化合物；苄基二甲基缩酮、苯乙酮二乙基缩酮等缩酮化合物；氧化膦化合物；双(η5-环戊二烯基)二茂钛等二茂钛化合物；二苯甲酮；米氏酮；氯噻吨酮；十二烷基噻吨酮；二甲基噻吨酮；-二乙基噻吨酮；α-羟基环己基苯酮；2-羟甲基苯基丙烷等。上述光敏剂可以单独使用，也可以并用2种以上。
上述光敏剂的含量优选相对于100质量份上述气体发生剂为0.1质量份以上，更优选为0.5质量份以上，优选为50质量份以下，更优选为30质量份以下。另外，上述光敏剂的含量优选相对于100质量份下述粘合剂树脂为0.5质量份以上，更优选为1质量份以上，优选为30质量份以下，更优选为15质量份以下。上述光敏剂的含量为上述下限以上时，可以得到充分的感光效果。上述光敏剂的含量为上述上限以下时，来自光敏剂的残留物变少，容易充分地产生气体。
关于上述叔胺和上述光敏剂的配合量，优选上述叔胺与上述光敏剂为等摩尔的方式配合。另外，在气体产生时，一般认为上述叔胺未被消耗，因此，上述叔胺的配合量可以比上述气体发生剂的摩尔当量少。在气体发生材料11a中，上述叔胺的摩尔当量优选为上述气体发生材料的摩尔当量以下。
需要说明的是，在此所谓的当量，将胺中的1个氮原子作为1当量，将光敏剂1分子作为1当量。
气体发生材料11a可以进一步含有粘合剂树脂。在气体发生材11a含有粘合剂树脂的情况下，容易将气体发生材料11a制成药片状、微粒状及膜状等形态。另外，可以将气体发生剂牢固地保持在气体发生材料11a中。上述粘合剂树脂可以单独使用，也可以并用2种以上。
上述粘合剂树脂没有特别限定。作为上述粘合剂树脂，可使用可以将上述气体发生剂、上述叔胺及上述光敏剂保持在气体发生材料11a中的适宜的粘合剂树脂，作为上述粘合剂树脂，例如可以使用聚(甲基)丙烯酸酯、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚醚、聚氨酯、聚碳酸酯、聚酰胺及聚酰亚胺等高分子材料。另外，可以使用构成这些高分子材料的单体的共聚物，也可以组合使用这些高分子材料。其中，上述聚(甲基)丙烯酸酯可以进一步提高气体的产生效率，因此，优选作为粘合剂树脂。即，上述粘合剂树脂优选为(甲基)丙烯酸聚合物。需要说明的是，上述(甲基)丙烯酸聚合物中含有(甲基)丙烯酸共聚物。
上述粘合剂树脂的SP值优选为7以上且优选为10.5以下。上述粘合剂树脂的SP值为上述下限以上及上述上限以下时，相容性变得进一步良好。
上述SP值(溶解度参数)可以使用Fedors法(R.F.Fedors，PoIym.Eng.Sci.，14，147(1974))算出。
构成上述聚(甲基)丙烯酸酯的(甲基)丙烯酸酯单体可以为链状化合物及环状化合物中的任一种。作为上述链状化合物，可举出：(甲基)丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-甲基己酯及(甲基)丙烯酸月桂酯等。作为上述环状化合物，可举出：(甲基)丙烯酸环己酯及(甲基)丙烯酸异冰片酯等。其中，优选(甲基)丙烯酸甲酯。
上述聚(甲基)丙烯酸酯例如可以为(甲基)丙烯酸酯单体和可以与(甲基)丙烯酸酯单体共聚合的乙烯单体形成的共聚物。作为上述乙烯单体没有特别限定，例如可举出：(甲基)丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸(酐)、富马酸(酐)、(甲基)丙烯酸羧基烷基酯类(丙烯酸羧基乙酯等)的含羧基乙烯基单体；(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、己内酯改性(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯等含羟基乙烯基单体；(甲基)丙烯腈、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基己内酰胺、N-乙烯基月桂内酰胺、(甲基)丙烯酰基吗啉、(甲基)丙烯酰胺、二甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-异丙基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲基氨基甲酯等含氮乙烯基单体等。上述乙烯基单体可以单独使用，也可以并用2种以上。
作为上述(甲基)丙烯酸酯单体和上述乙烯单体的组合，没有特别限定，可举出例如：(甲基)丙烯酸丁酯和(甲基)丙烯酸的组合、(甲基)丙烯酸丁酯和(甲基)丙烯酰胺的组合及(甲基)丙烯酸和N-异丙基(甲基)丙烯酰胺的组合等。(甲基)丙烯酸酯单体和乙烯基单体的共聚比(质量比)优选在98∶2～51∶49的范围内。
为了进一步提高气体的产生效率，作为上述聚(甲基)丙烯酸酯，优选选自聚(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯-(甲基)丙烯酸共聚物及(甲基)丙烯酸丁酯-(甲基)丙烯酰胺共聚物中的至少1种。另外，为了进一步提高气体的产生效率，上述聚(甲基)丙烯酸酯优选具有氨基或羰基。
上述粘合剂树脂优选具有紫外光吸收带。上述粘合剂树脂的紫外光吸收带优选与气体发生剂及光敏剂的紫外光吸收带相比为短波长。
为了进一步提高气体的产生效率，上述粘合剂树脂可以具有光分解性。
上述粘合剂树脂的重均分子量优选为5万以上，更优选为60万以上，优选为200万以下，更优选为160万以下。上述粘合剂树脂的重均分子量为上述下限以上时，可以抑制粘合剂树脂自身的凝聚力的降低，可以将上述气体发生剂、上述叔胺及上述光敏剂牢固地保持在气体发生材料11a中。上述粘合剂树脂的重均分子量为上述上限以下时，可以将气体发生材料11a容易地加工成各种形态。
上述粘合剂树脂优选具有粘接性。在上述粘合剂树脂具有粘接性的情况下，可以对气体发生材料11a赋予粘接性。因此，可以容易地在微型泵1上配置气体发生材料11a。例如具有粘接性的膜状的气体发生材料11a可以容易地贴附在微型泵1的基板面或基板内部的壁面上。
在气体发生材料11a含有上述粘合剂树脂的情况下，上述粘合剂树脂的含量例如优选相对于上述气体发生剂100质量份为10质量份以上，更优选为20质量份以上，进一步优选为30质量份以上，优选为300质量份以下，更优选为200质量份以下，进一步优选为150质量份以下。
气体发生材料11a优选含有100质量份的上述气体发生剂和相对于上述气体发生剂100质量份为0.1质量份以上且50质量份以下的上述叔胺、0.1质量份以上且50质量份以下的上述光敏剂、11质量份以上且300质量份以下的上述粘合剂树脂，并且，就气体发生材料11a而言，在该气体发生材料11a 100质量％中，上述气体发生剂的含量为10质量％以上且90质量％以下。
气体发生材料11a优选含有硅烷偶联剂。通过使用上述硅烷偶联剂，气体发生材料11a对粘接对象部件的粘接力进一步变高。上述硅烷偶联剂可以仅使用1种，也可以组合使用2种以上。
气体发生材料11a更优选含有具有氨基的硅烷偶联剂。通过使用上述具有氨基的硅烷偶联剂，不仅气体发生材料11a对粘接对象部件的粘接力进一步变高，而且也可以抑制由于使用硅烷偶联剂导致的由气体发生材料11a产生的气体发生量降低。即，在使用上述具有氨基的硅烷偶联剂的情况下，与使用不具有氨基的硅烷偶联剂的情况相比，气体发生材料11a对粘接对象部件的粘接力有效地变高，进而可有效地抑制由气体发生材料11a产生的气体产生量的降低。即通过使用上述具有氨基硅烷偶联剂，即使上述气体发生材料含有硅烷偶联剂，也几乎不影响单位时间的气体产生量。这由本发明人首次发现。上述叔胺优选不含有硅原子，优选不是硅烷偶联剂。上述具有氨基的硅烷偶联剂优选不是上述叔胺。
作为上述具有氨基的硅烷偶联剂的具体例，可举出：N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N，N’-双[(3-三甲氧基甲硅烷基)丙基]乙二胺、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷及N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷等。也可以使用这些以外的具有氨基的硅烷偶联剂。上述具有氨基的硅烷偶联剂可以单独使用，也可以组合使用2种以上。
作为上述不具有氨基的硅烷偶联剂，可举出：3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷等具有环氧基的硅烷偶联剂；3-异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷等具有异氰酸酯基的硅烷偶联剂及3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷等具有(甲基)丙烯酰基的硅烷偶联剂等。
在气体发生材料11a中，相对于上述气体发生剂100质量份，上述硅烷偶联剂的含量及上述具有氨基的硅烷偶联剂的含量分别优选为0.0001质量份以上，更优选为0.0003质量份以上，优选为1质量份以下，更优选为0.3质量份以下。上述硅烷偶联剂及上述具有氨基的硅烷偶联剂的含量为上述下限以上时，气体发生材料11a对粘接对象部件的粘接力进一步变高。上述硅烷偶联剂及上述具有氨基的硅烷偶联剂的含量为上述上限以下时，可以进一步抑制因过量的上述硅烷偶联剂及上述具有氨基的硅烷偶联剂引起的气体产生量降低。
另外，气体发生材料11a也可以含有交联剂、粘合剂及无机填充材料等。气体发生材料11a更优选含有上述交联剂。但是，气体发生材料11a也可以不含上述交联剂。通过使用上述交联剂，气体发生材料11a的粘合力进一步变高。
(变形例)
图2为上述的实施方式的变形例中的微型泵的概略剖面图。
本变形例的微型泵2在气体发生材料11b的形状及基体材料10的形状中与上述的实施方式中的微型泵1不同。
在本变形例中，微流路10b与基体材料10内所形成的泵室10c连接。气体发生材料11b形成为块状，配置在泵室10c内。
对本实施方式的微型泵2而言，也可以与上述微型泵1同样地实现高功率且长时间运作。
以下，基于具体的实施例对本发明更详细地进行说明。但本发明不受以下的实施例任何限定，可以在不改变宗旨的范围内进行适宜变更并进行实施。
(粘合剂树脂的合成例)
如下所述地合成实施例及比较例中使用的粘合剂树脂。混合丙烯酸正丁酯(日本触媒株式会社制)97质量份、丙烯酸(日本触媒株式会社制)3质量份、Irgacure 907(长濑产业公司制)0.05质量份、乙酸乙酯200质量份，得到混合物。接着，对该混合物照射4小时紫外线，制作作为丙烯酸共聚物的粘合剂树脂A。粘合剂树脂A的重均分子量约为70万。得到的粘合剂树脂A的SP值在7以上且10.5以下的范围内。
(实施例1)
配合粘合剂树脂A190质量份和作为溶剂的乙酸乙酯380质量份。混合粘合剂树脂A190质量份(这里，已将作为溶剂的乙酸乙酯380质量份与粘合剂树脂A一起进行配合)、作为气体发生剂的GAP 4006(缩水甘油基叠氮聚合物、日油公司制)100质量份、作为叔胺的三丙胺(三正丙胺)10质量份、作为光敏剂的2，4-二乙基噻吨酮(日本化药公司制造的DETX-S)3.5质量份、作为交联剂的TETRAD-X(三菱气体化学公司制)1质量份，加工成膜状。将该膜在110℃下加热5分钟，除去作为溶剂的乙酸乙酯。用脱模PET膜对其进行保护，在常温下保管一天(24小时)，得到膜状的气体发生材料。需要说明的是，实施例1中用作交联剂的TETRAD-X用下述式(X)表示。
[化学式4]
Figure BDA00002722922500161
使用得到的膜状的气体发生材料，制作与上述第一实施方式的微型泵1实质上具有同样的构成的微型泵。
需要说明的是，微流路10b的剖面形状设为0.5mm见方的矩形。微流路10b的长度设为800mm。微流路10b的前端设为对大气开放的状态。气体发生材料设为直径0.6cm大小且厚度50μm的膜状。
接着，对得到的微型泵分别测定经过24小时后及经过10天后的气体产生量(μL)。将经过24小时后的气体产生量(μL)作为基准(100％)，求出经过10天后的相对气体产生量(气体产生量的增减)(％)。后述的实施例及比较例也进行同样的评价。
需要说明的是，在气体产生量的测定中，测定用380nm的紫外线LED(Nitride Semiconductors Co.，Ltd.制造的NS375L-5RFS)照射2分钟时的气体产生量。气体产生量的测定方法采用如下方法：用硅软管连接微流路10b和刻度移液管并在其中填充水，然后，对气体发生材料照射紫外线，读取因产生的气体引起的刻度移液管的体积变化。
(实施例2～18及比较例1、2)
以下述的表1、2所示的那样变更配合成分的种类及配合量(单位为质量份)，除此以外，与实施例1同样地制作微型泵。需要说明的是，在比较例1中，未使用叔胺。在比较例2中，未使用叔胺和交联剂。
另外，使用的叔胺的种类如下所述。
三丙胺(三正丙胺)
1，4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷(DABCO)
二氮杂双环十一碳烯(DBU)
二氮杂双环壬烯(DBN)
N，N-二乙基氨基-对甲苯胺
将配合组成及评价结果示于下述的表1、2。
Figure BDA00002722922500181
Figure BDA00002722922500191
(实施例19)
由紫外线LED(Nitride Semiconductors Co.，Ltd.制的NS375L-5RFS)对与实施例1同样地制作的微型泵照射380nm的光，测定气体产生量(μL)。
(比较例3)
与实施例19同样，对与比较例1同样地制作的微型泵照射来自紫外线LED的380nm的光，测定气体产生量(μL)。
(实施例20～26及比较例4、5)
使用下述表3、4所示的种类的光敏剂及胺，除此之外，与实施例19同样地，对与实施例19同样地制作的微型泵照射来自紫外线LED的380nm的光，测定气体产生量(μL)。
(比较例6～12)
使用下述表4所示的种类的光敏剂但不使用胺，除此以外，与实施例19同样地，对与实施例19同样地制作的微型泵照射来自紫外线LED的380nm的光，测定气体产生量(μL)。
将实施例19～26的结果示于下述表3中，将比较例3～12的结果示于下述表4中。另外，将实施例19及比较例3、4、5的结果示于图3，将实施例20及比较例6的结果示于图4，将实施例21及比较例7的结果示于图5，将实施例22及比较例8的结果示于图6，将实施例23及比较例9的结果示于图7，将实施例24及比较例10的结果示于图8，将实施例25及比较例11的结果示于图9，将实施例26及比较例12的结果示于图10。需要说明的是，表3、4及图3～10所示的气体产生量为累积值。
Figure BDA00002722922500211
Figure BDA00002722922500221
(实施例27)
对与实施例1同样地制作的6个微型泵分别测定在制造后经过1天后、经过3天后、经过6天后、经过9天后、经过16天后及经过30天后照射2分钟来自紫外线LED的380nm的光时的气体产生量(μL)。
(比较例13)
对与比较例4同样地制作的6个微型泵分别测定在制造后经过1天后、经过3天后、经过6天后及经过9天后照射2分钟来自紫外线LED的380nm的光时的气体产生量(μL)。
(比较例14)
对与比较例5同样地制作6个微型泵分别测定在制造后经过1天后、经过3天后、经过6天后及经过9天后照射2分钟来自紫外线LED的380nm的光时的气体产生量(μL)。
(比较例15)
使用十二胺代替三丙胺，除此以外，与实施例1同样地制作6个微型泵，对所述6个微型泵分别测定在制造后经过1天后、经过3天后、经过6天后及经过9天后照射2分钟来自紫外线LED的380nm的光时的气体产生量(μL)。
将实施例27及比较例13，14，15的结果示于下述的表5及图11中。需要说明的是，表5及图11所示的气体产生量为累积值。由实施例27和比较例13～15的对比表明，含有叔胺的气体发生材料与含有伯胺及仲胺的气体发生材料相比，保存稳定性优异。
[表5]
Figure BDA00002722922500231
(实施例28)
配合粘合剂树脂A100质量份和作为溶剂的乙酸乙酯567质量份。混合粘合剂树脂A100质量份(其中，可以将作为溶剂的乙酸乙酯567质量份和粘合剂树脂A一起进行配合)、作为气体发生剂的DBSN(4-十二烷基苯磺酸磺酰叠氮东洋纺公司制)50质量份、作为叔胺的三丙胺(三正丙胺)3.5质量份、作为光敏剂的(DKSH日本公司制造的IPX)2质量份、作为交联剂的(综研化学公司制造的E-AX甲苯5％液体)0.5质量份，加工成膜状。将该膜在110℃下加热5分钟除去作为溶剂的乙酸乙酯。用脱模PET膜对其进行保护，在常温下保管一天(24小时)，得到膜状的气体发生材料。使用得到的气体发生材料，与实施例1同样地得到微型泵。
(实施例29～31)
以下述表6所示的那样变更配合成分的种类及配合量(单位为质量份)，除此以外，与实施例28同样地得到气体发生材料，制作微型泵。在实施例30、31中，作为气体发生剂，使用GAP5003(缩水甘油叠氮聚合物、日油公司制)。
对实施例28～31中得到的微型泵进行与实施例1同样的评价。将评价结果示于下述表6。需要说明的是，实施例28～31的气体发生材料与实施例1～27同样地使用叔胺，因此，即使经过24小时及经过10天后，气体的发生量的降低也很少，另外，将经过24小时后的气体产生量(μL)作为基准(100％)，经过10天后的相对气体产生量(气体产生量的增减)(％)在95％以上且105％以下的范围内，保存稳定性优异。
[表6]
Figure BDA00002722922500241
(实施例32)
配合粘合剂树脂A100质量份和作为溶剂的乙酸乙酯567质量份。混合粘合剂树脂A100质量份(这里，已将作为溶剂的乙酸乙酯567质量份和粘合剂树脂A一起进行配合)、作为气体发生剂的GAP 4006(缩水甘油基叠氮聚合物、日油公司制)110质量份、作为具有氨基的硅烷偶联剂的N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷(信越化学工业公司制的KBM-602)0.001质量份、作为叔胺的三丙胺(三正丙胺)2质量份、作为光敏剂的(DKSH日本公司制的IPX)3.5质量份、作为交联剂的(综研化学公司制造的E-AX甲苯5％液体)0.5质量份，加工成膜状。将该膜在110℃下加热5分钟，除去作为溶剂的乙酸乙酯。用脱模PET膜对其进行保护，在常温下保管一天(24小时)，得到膜状的气体发生材料。使用得到的气体发生材料，与实施例1同样地得到微型泵。
(实施例33～38)
以下述表7所示的那样变更配合成分的种类及配合量(单位为质量份)，除此以外，与实施例32同样地得到气体发生材料，制作微型泵。需要说明的是，在实施例33～35中，使用具有氨基的硅烷偶联剂，在实施例36、37中，使用不具有氨基的硅烷偶联剂。在实施例38中，未使用硅烷偶联剂。
另外，使用的硅烷偶联剂的种类如下所述。
N，N-双[(3-三甲氧基甲硅烷基)丙基]乙二胺(Gelest公司制)
3-氨基丙基三甲氧基硅烷(信越化学工业公司制造的KBM-903)
3-氨基丙基三乙氧基硅烷(信越化学工业公司制造的KBE-903)
3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷(信越化学工业公司制造的KBE-403)
3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷(信越化学工业公司制造的KBE-502)
关于实施例32～38，对以下评价项目进行评价。
(1)气体产生量
在气体产生量的测定中，对用380nm的紫外线LED(Nitride SemiconductorsCo.，Ltd.制造的NS375L-5RFS)照射120秒时的气体产生量进行测定。需要说明的是，气体产生量的测定方法与实施例1相同。
(2)粘接力
使用拉伸试验机(岛津制作所制：AG-IS)，通过进行180度剥离来评价粘接力。测定条件为剥离速度300mm/分钟、剥离幅宽25mm及测定温度23℃的条件。
(3)锚固
将透明纸带的胶面和得到的膜状的气体发生材料的胶面互相贴合，进行90度剥离，测定剥离强度。测定方法依据粘接力的测定。
将结果示于下述的表7。需要说明的是，实施例32～38的气体发生材料使用叔胺，因此，即使经过24小时后及经过10天后，气体的发生量的降低也很少，另外，将经过24小时后的气体产生量(μL)作为基准(100％)，经过10天后的相对的气体产生量(气体产生量的增减)(％)在90％以上且105％以下的范围内，保存稳定性优异。
Figure BDA00002722922500261

Claims (13)

1.一种气体发生材料，其含有气体发生剂、叔胺、光敏剂及粘合剂树脂，所述气体发生剂为偶氮化合物或叠氮化合物。
2.如权利要求1所述的气体发生材料，其中，所述叔胺含有选自环状胺、三烷基胺及芳香族胺中的至少一种。
3.如权利要求1或2所述的气体发生材料，其中，所述叔胺的含量相对于100质量份所述气体发生剂为0.1质量份以上且50质量份以下。
4.如权利要求1或2所述的气体发生材料，其中，所述叠氮化合物具有磺酰基叠氮基或叠氮甲基。
5.如权利要求1或2所述的气体发生材料，其中，所述光敏剂的含量相对于100质量份所述气体发生剂为0.1质量份以上且50质量份以下。
6.如权利要求1或2所述的气体发生材料，其中，所述光敏剂含有选自噻吨酮化合物、吩噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物中的至少一种。
7.如权利要求1或2所述的气体发生材料，其还含有硅烷偶联剂。
8.一种微型泵，其具备权利要求1或2中任一项所述的气体发生材料和形成有微流路的基体材料，
所述气体发生材料以使得所述气体发生材料中产生的气体供给于所述微流路的方式进行配置。
9.如权利要求8所述的微型泵，其中，在所述气体发生材料中，所述叔胺的含量相对于100质量份所述气体发生剂为0.1质量份以上且50质量份以下。
10.如权利要求8所述的微型泵，其中，所述叠氮化合物具有磺酰基叠氮基或叠氮甲基。
11.如权利要求8所述的微型泵，其中，在所述气体发生材料中，所述光敏剂的含量相对于100质量份所述气体发生剂为0.1质量份以上且50质量份以下。
12.如权利要求8所述的微型泵，其中，所述光敏剂含有选自噻吨酮化合物、吩噻嗪化合物、蒽化合物及吖啶酮化合物中的至少一种。
13.如权利要求8所述的微型泵，其中，所述气体发生材料还含有硅烷偶联剂。
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