JP5639137B2 - ガス発生材及びマイクロポンプ - Google Patents

Description

本発明は、ガス発生材及び該ガス発生材を備えるマイクロポンプに関する。

近年、小型であり、かつ携帯性に優れる分析装置として、マイクロ流体デバイスを用いた分析装置が用いられてきている。このマイクロ流体デバイスを用いた分析装置では、マイクロ流路内でサンプルの送液、希釈、濃縮及び分析等を行うことができる。

上記マイクロ流体デバイスでは、マイクロ流路内におけるサンプルの送液等のために、マイクロポンプが設けられている。例えば、特許文献１には、光酸発生剤と、酸刺激ガス発生剤とを含む光応答性ガス発生材料を用いたマイクロポンプが開示されている。また、特許文献１では、メタクリル酸メチル・アクリルアミド共重合体等のバインダー樹脂に、光酸発生剤と酸刺激ガス発生剤とを配合した光応答性ガス発生材料も開示されている。

また、特許文献２，３には、マイクロポンプの用途は開示されていないが、気体発生剤を含む組成物が開示されている。

特許文献２には、気体発生剤を含む層が貼り付けられるガラス板の表面を、シランカップリング剤により表面処理することが記載されている。特許文献２では、ガス発生剤を含む層に、シランカップリング剤は配合されていない。

特許文献３には、気体発生剤を含む層と、アミノ系シランカップリング剤を含む層とを備える多層シートが開示されている。特許文献３では、多層シートの各層は異なる組成物を用いて形成されており、ガス発生剤とアミノ系シランカップリング剤とは異なる層において別々に用いられている。

特開２０１０−８９２５９号公報 特開２００５−１９７６３０号公報 特開２００６−１２８６２１号公報

バインダー樹脂中にガス発生剤を配合して、ガス発生材を得た場合には、該ガス発生材の接着対象部材に対する接着性が低くなることがある。また、上記ガス発生材では、ガスの発生量が高いことが望まれる。

本発明の目的は、接着対象部材に対する接着性が高く、更にシランカップリング剤を含んでいても、単位時間あたりのガス発生量が多いガス発生材を提供することである。また、本発明は、上記ガス発生材を備えるマイクロポンプを提供する。

本発明の広い局面によれば、バインダー樹脂と、アゾ化合物又はアジド化合物であるガス発生剤と、アミノ基を有するシランカップリング剤とを含む、ガス発生材が提供される。

本発明に係るガス発生材のある特定の局面では、前記アジド化合物は、スルフォニルアジド基又はアジドメチル基を有する。

本発明に係るガス発生材のある特定の局面では、該ガス発生材は、光増感剤をさらに含む。

本発明に係るガス発生材のある特定の局面では、前記光増感剤が、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含む。

本発明に係るガス発生材のある特定の局面では、前記ガス発生剤１００質量部に対して、前記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量が０．０００１質量部以上、１質量部以下である。

本発明の広い局面によれば、上述したガス発生材と、マイクロ流路が形成された基材とを備え、前記ガス発生材は、前記ガス発生材において発生したガスが前記マイクロ流路に供給されるように配されている、マイクロポンプが提供される。

本発明に係るガス発生材は、バインダー樹脂と、アゾ化合物又はアジド化合物であるガス発生剤と、アミノ基を有するシランカップリング剤とを含むので、接着対象部材に対する接着性を高くすることができる。さらに、本発明に係るガス発生材では、シランカップリング剤を含んでいても、単位時間あたりのガス発生量を多くすることができる。

本発明の第１の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。 本発明の第２の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。

また、実施形態において参照する図面は、模式的に記載されており、図面に描画された物体の寸法の比率等は、現実の物体の寸法の比率等とは異なる場合がある。具体的な物体の寸法の比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。

図１は、本発明の第１の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。図１に示すマイクロポンプ１は、板状の基材１０を備える。基材１０を構成する材料としては、樹脂、ガラス及びセラミックス等が挙げられる。基材１０を構成する樹脂としては、有機シロキサン化合物、ポリメタクリレート樹脂及びポリオレフィン樹脂等が挙げられる。上記ポリオレフィン樹脂としては、環状ポリオレフィン樹脂等が挙げられる。上記有機シロキサン化合物の具体例としては、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）及びポリメチル水素シロキサン等が挙げられる。

基材１０には、主面１０ａに開口しているマイクロ流路１０ｂが形成されている。

「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体に所謂マイクロ効果が発現する形状寸法に形成されている流路をいう。具体的には、「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体が、表面張力と毛細管現象との影響を強く受け、通常の寸法の流路を流れる液体とは異なる挙動を示す形状寸法に形成されている流路をいう。

主面１０ａの上には、フィルム状のガス発生材１１ａが貼り付けられている。マイクロ流路１０ｂの開口は、ガス発生材１１ａにより覆われている。このため、ガス発生材１１ａに光又は熱等の外部刺激が加わることによりガス発生材１１ａから発生したガスは、マイクロ流路１０ｂに導かれる。

ガス発生材１１ａの厚みは特に限定されない。ガス発生材１１ａの厚みは好ましくは５μｍ以上、より好ましくは１０μｍ以上、好ましくは５ｍｍ以下、より好ましくは５００μｍ以下である。

ガス発生材１１ａは、ガスバリア層１２により覆われている。ガスバリア層１２により、ガス発生材１１ａにおいて発生したガスが、主面１０ａとは反対側に流出することが抑えられ、マイクロ流路１０ｂに効率的に供給される。このため、ガスバリア層１２は、ガス発生材１１ａにおいて発生したガスの透過性が低い層であることが好ましい。

ガスバリア層１２を構成する材料としては、ポリアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ナイロン樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及びガラス等が挙げられる。

ガスバリア層１２の厚みは、ガスバリア層１２の材質等によって適宜変更でき、特に限定されない。ガスバリア層１２の厚みは、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２５μｍ以上、好ましくは１ｍｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。光を透過させる場合に、ガスバリア層１２は、紫外線領域の光の減衰が起きにくい層であることが好ましい。

ガス発生材１１ａは、フィルムであることが好ましい。なお、フィルムにはテープ及びシートが含まれる。

ガス発生材１１ａは、バインダー樹脂と、アゾ化合物又はアジド化合物であるガス発生剤と、アミノ基を有するシランカップリング剤とを含む。ガス発生材１１ａは、第三級アミンを含むことが好ましい。ガス発生材１１ａは、光増感剤を含むことが好ましい。

以下、上記ガス発生材に用いられる各成分の詳細を説明する。

（バインダー樹脂）
上記ガス発生材は上記バインダー樹脂を含む。上記ガス発生材がバインダー樹脂を含むことによって、上記ガス発生材を錠剤状、微粒子状及びフィルム状等の形態とすることが容易になる。上記ガス発生材が錠剤状、微粒子状及びフィルム状等の形態であると、上記ガス発生材を接着対象部材に接着させることができる。また、上記ガス発生剤を上記ガス発生材中に強固に保持することができる。上記バインダー樹脂は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記バインター樹脂は特に限定されない。上記バインダー樹脂として、上記ガス発生剤及び上記アミノ基を有するシランカップリング剤を上記ガス発生材中に保持することが可能である適宜のバインダー樹脂が用いられる。上記バインター樹脂として、ポリ（メタ）アクリレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリエーテル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド及びポリイミド等の高分子材料を用いることができる。これらの高分子材料を構成するモノマーの共重合体を用いてもよく、これらの高分子材料を併用してもよい。なかでも、ガスの発生効率がより一層高くなるため、上記バインダー樹脂は、上記ポリ（メタ）アクリレートであることが好ましい。すなわち、上記バインダー樹脂は、（メタ）アクリル重合体であることが好ましい。なお、上記（メタ）アクリル重合体には、（メタ）アクリル共重合体が含まれる。

上記バインダー樹脂のＳＰ値は好ましくは７以上、好ましくは１０．５以下である。上記バインダー樹脂のＳＰ値が上記下限以上及び上記上限以下であると、ガス発生剤との相溶性がより一層良好になる。

上記ＳＰ値（溶解度パラメータ）は、Ｆｅｄｏｒｓ法（Ｒ．Ｆ．Ｆｅｄｏｒｓ，Ｐｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，１４，１４７（１９７４））を用いて算出可能である。

上記ポリ（メタ）アクリレートを構成する（メタ）アクリレートモノマーは、鎖状化合物及び環状化合物のいずれであってもよい。上記鎖状化合物としては、（メタ）アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−メチルヘキシル、及び（メタ）アクリル酸ラウリル等が挙げられる。上記環状化合物としては、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、及び（メタ）アクリル酸イソボロニル等が挙げられる。これらのなかでも、（メタ）アクリル酸メチルが好ましい。

上記ポリ（メタ）アクリレートは、例えば、（メタ）アクリレートモノマーと、（メタ）アクリレートモノマーと共重合可能なビニルモノマーとの共重合体であってもよい。上記ビニルモノマーとしては、特に限定されず、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、（無水）マレイン酸、（無水）フマル酸、カルボキシアルキル（メタ）アクリレート類（カルボキシエチルアクリレートなど）のカルボキシル基含有ビニルモノマー；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレートなどの水酸基含有ビニルモノマー；（メタ）アクリロニトリル、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、Ｎ−ビニルラウリロラクタム、（メタ）アクリロイルモルホリン、（メタ）アクリルアミド、ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノメチル（メタ）アクリレートなどの窒素含有ビニルモノマー等が挙げられる。上記ビニルモノマーは１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記（メタ）アクリレートモノマーと上記ビニルモノマーとの組合せとしては、特に限定されず、（メタ）アクリル酸ブチルと（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸ブチルと（メタ）アクリルアミド、及び（メタ）アクリル酸とＮ−イソプロピル（メタ）アクリルアミドとの組合せ等が挙げられる。（メタ）アクリレートモノマーとビニルモノマーとの共重合比（質量比）は、９８：２〜５１：４９の範囲内であることが好ましい。

ガスの発生効率をより一層高めるために、上記ポリ（メタ）アクリレートは、ポリメチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸ブチル・（メタ）アクリル酸共重合体、及び（メタ）アクリル酸ブチル・（メタ）アクリルアミド共重合体からなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。また、ガスの発生効率を更に一層高めるために、上記ポリ（メタ）アクリレートは、アミノ基又はカルボニル基を有することが好ましい。

上記バインダー樹脂は、紫外光吸収帯を有することが好ましい。上記バインダー樹脂の紫外光吸収帯は、ガス発生剤及び光増感剤の紫外光吸収帯よりも短波長であることが好ましい。

上記バインダー樹脂の重量平均分子量は、好ましくは５万以上、より好ましくは６０万以上、好ましくは２００万以下、より好ましく１６０万以下である。上記バインダー樹脂の重量平均分子量が上記下限以上であると、バインダー樹脂自体の凝集力の低下が抑えられ、上記ガス発生剤及び上記アミノ基を有するシランカップリング剤を上記ガス発生材中に、強固に保持することができる。上記バインダー樹脂の重量平均分子量が上記上限以下であると、上記ガス発生材を各種の形態に加工することが容易になる。

上記バインダー樹脂は、粘接着性を有することが好ましい。上記バインダー樹脂が粘接着性を有する場合には、上記ガス発生材に粘接着性を付与することができる。このため、上記マイクロポンプに上記ガス発生材を容易に配置することができる。例えば、粘接着性を有するフィルム状のガス発生材は、上記マイクロポンプの基板面又は基板内部の壁面に容易に貼り付けることができる。

上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記バインダー樹脂の含有量は、好ましくは１０質量部以上、より好ましくは２０質量部以上、更に好ましくは３０質量部以上、好ましくは３００質量部以下、より好ましくは２００質量部以下、更に好ましくは１５０質量部以下である。

（ガス発生剤）
上記ガス発生材は上記ガス発生剤を含む。上記ガス発生剤は、アゾ化合物又はアジド化合物である。上記ガス発生剤は、熱又は光等の外部刺激が加わった際にガスを発生させる。上記アゾ化合物又は上記アジド化合物は、特に限定されず、公知のアゾ化合物又はアジド化合物であってもよい。上記ガス発生剤は、上記アゾ化合物であることが好ましく、上記アジド化合物であることも好ましい。上記ガス発生剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記ガス発生剤として用いられる上記アゾ化合物の具体例としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジサルフェイトジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾイリン−２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミダイン）ハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシアシル）−２−メチル−プロピオンアミダイン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カルボキシエチル）アミダイン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミドオキシム）、ジメチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル−２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、及び２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。これらのアゾ化合物は、特定の波長域の光又は熱等の外部刺激を受けることにより窒素ガスを発生させる。

上記アゾ化合物は、衝撃によっては気体を発生しないことから、取り扱いが極めて容易である。上記アゾ化合物は、連鎖反応を起こして爆発的に気体を発生させることもない。上記アゾ化合物を用いれば、光の照射を中断することで気体の発生を中断させることもできる。このため、上記アゾ化合物を上記ガス発生剤として用いることによりガス発生量の制御が容易である。

上記ガス発生剤として用いられる上記アジド化合物としては、例えば、スルフォニルアジド基又はアジドメチル基を有するアジド化合物が挙げられる。上記アジド化合物は、スルフォニルアジド基又はアジドメチル基を有することが好ましい。上記アジド化合物は、スルフォニルアジド基を有することが好ましく、アジドメチル基を有することも好ましい。

上記スルフォニルアジド基を有する化合物の好ましい例としては、例えば、下記式（１）で表される化合物が挙げられる。

上記式（１）において、Ｒ^１〜Ｒ^５はそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、炭化水素基、炭化水素基に置換基が結合した基又はアルコキシ基である。上記式（１）中のＲ^１〜Ｒ^５は同一であってもよく、異なっていてもよい。上記炭化水素基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよく、環状であってもよい。上記炭化水素基は、飽和の炭化水素基であってもよく、不飽和の炭化水素基であってもよい。上記アルコキシ基は、置換基を有していてもよく、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。

上記式（１）において、Ｒ^１〜Ｒ^５の内の少なくとも１つの基は、炭化水素基又は炭化水素基に置換基が結合した基であることが好ましく、炭化水素基であることがより好ましい。Ｒ^１〜Ｒ^５が炭化水素基又は炭化水素基に置換基が結合した基である場合に、該炭化水素基の炭素数は１以上、好ましく３以上、より好ましくは６以上、好ましくは３０以下、より好ましくは２０以下、更に好ましくは１８以下である。また、上記炭化水素基に置換基が結合した基における置換基としては、ハロゲン原子等が挙げられる。

上記式（１）のＲ^１〜Ｒ^５において、上記アルコキシ基の炭素数は１以上、好ましくは３以上、より好ましくは６以上、好ましくは２０以下、より好ましくは１６以下、更に好ましくは１２以下である。また、上記アルコキシ基が置換基を有する場合に、該置換基としては、ハロゲン原子等が挙げられる。

上記式（１）において、Ｒ^３は、アミド基、炭化水素基、炭化水素基に置換基が結合した基又はアルコキシ基であることが好ましい。また、上記式（１）において、Ｒ^１，Ｒ^２，Ｒ^４及びＲ^５はそれぞれ、水素原子であることが好ましい。

アジドメチル基を有するアジド化合物としては、例えば、グリシジルアジドポリマーが挙げられる。上記グリシジルアジドポリマーとしては、側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルが好ましい。

側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルの好ましい例としては、例えば、下記式（２−１）で表されるアジド化合物が挙げられる。

Ｈ（Ｂ）_ｑ（Ａ）_ｎＯＲ^１Ｏ（Ａ）_ｍ（Ｂ）_ｒＨ （２−１）

上記式（２−１）中、ｍ＋ｎ＝２〜２０、ｍ≧１、ｎ≧１、ｑ＋ｒ＝１０〜３５、ｑ≧５、ｒ≧５であり、Ａは、−ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＯＣＨ_２ＣＨ_２−、又はＯＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）−であり、Ｂは、−ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_２Ｎ_３）Ｏ−であり、Ｒ^１は、−ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）−、−［（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｘＣＨ_２ＣＨ_２］−、又は［（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｙＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２］−である。上記Ｒ^１におけるｘは１０〜２５、ｙは５〜２０である。

側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルの好ましい他の例としては、例えば、下記式（２−２）で表されるアジド化合物が挙げられる。

上記式（２−２）において、ｍは、１〜２０の整数、ｌ＋ｎは、７〜５０の整数である。ｍは、好ましくは３以上、好ましくは１５以下である。ｌ＋ｎは、好ましくは１０以上、好ましくは３０以下である。

側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルの好ましい他の例としては、例えば、下記式（２−３）で表されるアジド化合物が挙げられる。

上記式（２−３）において、ｍ１、ｍ２及びｍ３はぞれぞれ１〜２０の整数であり、ｎ１、ｎ２及びｎ３はそれぞれ１〜２０の整数である。

上記アジド化合物は、上記式（１）、（２−１）、（２−２）又は（２−３）で表されるアジド化合物であることが好ましい。上記アジド化合物は、上記式（１）で表されるアジド化合物であることが好ましく、上記式（２−１）、（２−２）又は（２−３）で表されるアジド化合物であることも好ましい。

上述したアジド化合物は、特定の波長域の光、熱、超音波又は衝撃等の外部刺激を受けることにより分解して、窒素ガスを発生させる。

上記ガス発生材において、上記ガス発生剤の含有量は、好ましくは１０質量％以上、より好ましくは１５質量％以上、更に好ましくは２０質量％以上、好ましくは９０質量％以下、より好ましくは７５質量％以下、更に好ましくは６０質量％以下である。

上記ガス発生材は、アミノ基を有するシランカップリング剤を含む。上記アミノ基を有するシランカップリング剤の使用により、上記ガス発生材の接着対象部材に対する接着力が高くなるだけでなく、シランカップリング剤を用いたことに伴う上記ガス発生材から発生するガスの発生量の低下を抑えることもできる。すなわち、上記アミノ基を有するシランカップリング剤を用いた場合には、アミノ基を有さないシランカップリング剤を用いた場合と比べて、上記ガス発生材の接着対象部材に対する接着力が効果的に高くなり、更に上記ガス発生材から発生するガスの発生量の低下が効果的に抑えられる。すなわち、上記アミノ基を有するシランカップリング剤を用いることで、単位時間あたりのガス発生量にほとんど影響しなくなる。このことは、本発明者らにより初めて見出された。上記第三級アミンは、珪素原子を含まないことが好ましく、シランカップリング剤ではないことが好ましい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤は、上記第三級アミンではないことが好ましい。

上記アミノ基を有するシランカップリング剤の具体例としては、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ，Ｎ’−ビス［（３−トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン及びＮ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。これら以外のアミノ基を有するシランカップリング剤を用いてもよい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記アミノ基を有さないシランカップリング剤としては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシ基を有するシランカップリング剤、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネート基を有するシランカップリング剤、及び３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等の（メタ）アクリロイル基を有するシランカップリング剤等が挙げられる。

上記ガス発生材において、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量は、好ましくは０．０００１質量部以上、より好ましくは０．０００３質量部以上、好ましくは１質量部以下、より好ましくは０．３質量部以下である。上記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量が上記下限以上であると、ガス発生材の接着対象部材に対する接着力がより一層高くなる。上記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量が上記上限以下であると、余剰の上記アミノ基を有するシランカップリング剤によるガス発生量の低下がより一層抑えられる。

上記ガス発生材では、上記第三級アミンと上記光増感剤とを含むことにより、上述の窒素ガスの発生がスムーズに行われ、ガス発生量を増加させることが可能となる。

（第三級アミン）
上記ガス発生材は、第三級アミンを含むことが好ましい。上記第三級アミンは特に限定されない。上記第三級アミンとしては、環状アミン、トリアルキルアミン及び芳香族アミン等が挙げられる。上記環状アミン及び上記芳香族アミンはそれぞれ、第三級アミンの構造を有する。

上記第三級アミンは、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。上記ガス発生材は、環状アミン、トリアルキルアミン、及び芳香族アミンからなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。上記第三級アミンは、環状アミンであることが好ましく、トリアルキルアミンであることが好ましく、芳香族アミンであることも好ましい。上記環状アミンは、芳香族骨格を除く環状骨格を有し、芳香族骨格を有さない。上記トリアルキルアミンは、環状骨格及び芳香族骨格を有さない。上記芳香族アミンは、芳香族骨格を有し、芳香族骨格を除く環状骨格を有さない。

上記環状アミンの炭素数は、好ましくは６以上、好ましくは２０以下である。上記環状アミンの具体例としては、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン（ＤＡＢＣＯ）、ジアザビシクロウンデセン（ＤＢＵ）、及びジアザビシクロノネン（ＤＢＮ）等が挙げられる。

上記トリアルキルアミンの３つのアルキル基は同一であってもよく、異なっていてもよい。上記トリアルキルアミンの３つのアルキル基の炭素数はそれぞれ１以上、好ましくは２以上、好ましくは２０以下、より好ましくは６以下である。上記トリアルキルアミンの具体例としては、トリメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミン、トリプロピルアミン及びトリブチルアミン等が挙げられる。

上記芳香族アミンの具体例としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノトルイジン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノトルイジン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノベンゼン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゼン、及びＮ，Ｎ、Ｎ’Ｎ’−テトラメチル−ｐ−フェニレンジアミン等が挙げられる。

上記第三級アミンを用いる場合には、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記第三級アミンの含有量は、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは０．５質量部以上、更に好ましくは１質量部以上、好ましくは５０質量部以下、より好ましくは４０質量部以下、更に好ましくは３０質量部以下である。上記第三級アミンの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、上記ガス発生材における単位時間あたりのガス発生量が効果的に多くなり、保存安定性が効果的に高くなる。

（光増感剤）
上記ガス発生材は、光増感剤を含むことが好ましい。上記光増感剤は、ガス発生剤への光による刺激を増幅する効果を有する。よって、上記ガス発生材が光増感剤を含むことにより、少ない光照射量によって、ガスを発生させ、放出させることができる。また、より広い波長領域の光によって、ガスを発生させ、放出させることができる。上記光増感剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記光増感剤は特に限定されない。上記光増感剤として、公知の光増感剤を使用することができる。上記光増感剤としては、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物及びアクリドン化合物等が挙げられる。

上記チオキサントン化合物の具体例としては、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、及び２，４−ジエチルチオキサントン等が挙げられる。

上記フェノチアジン化合物の具体例としては、フェノチアジン、２−クロロフェノチアジン、２−メチルチオフェノチアジン、２−メトキシフェノチアジン、及び２−（トリフルオロメチル）フェノチアジン等が挙げられる。

上記アントラセン化合物の具体例としては、アントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９−カルボキシアントラセン、２−アントラセンカルボン酸、１−アントラセンカルボン酸、１，８−アントラセンジカルボン酸ジメチル、（１Ｒ，２Ｒ）−２−（アントラセン−２，３−ジカルボキシイミド）シクロヘキサンカルボン酸、１−アミノアントラセン、２−アントラセンボロン酸、９−クロロメチルアントラセン、９，１０−ジメトキシアントラセン−２−スルホン酸ナトリウム、ベンゾアントレン、ベンゾ［ａ］アントラセン−７，１２−ジオン、ジベンゾ［ａ，ｃ］アントラセン、１，２，３，４−ジベンゾアントラセン、９−ブロモアントラセン、９，１０−ビス（クロロメチル）アントラセン、７−ブロモベンゾ［ａ］アントラセン、１，８−ビス（ヒドロキシメチル）アントラセン、９，１０−ビス（３，５−ジヒドロキシフェニル）アントラセン、１−ブロモアントラセン、２−ブロモアントラセン、９，１０−ビス（ジエチルホスホノメチル）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ジフェニルアントラセン、２−ｔ−ブチルアントラセン、９−クロロメチルアントラセン、９−シアノアントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、２−クロロアントラセン、ジベンゾ［ａ，ｈ］アントラセン、９，１０−ジブロモアントラセン、９，１０−ジメチルアントラセン、９，１０−ジヒドロアントラセン、７，１２−ジメチルベンゾ［ａ］アントラセン、９，１０−ジシアノアントラセン、９，１０−ジフェニルアントラセン、２，３−ジメチルアントラセン、２，６−ジブロモアントラセン、１，５−ジブロモアントラセン、（１１Ｒ，１２Ｒ）−９，１０−ジヒドロ−９，１０−エタノアントラセン−１１，１２−ジアミン、９，１０−ジヒドロ−９，１０−ビス（２−カルボキシエチル）−Ｎ−（４−ニトロフェニル）−１０，９−（エポキシイミノ）アントラセン−１２−カルボキサミド、９，１０−ジ（１−ナフチル）アントラセン、９，１０−ジ（２−ナフチル）アントラセン、１，８−ジヨードアントラセン、９−（ヒドロキシメチル）アントラセン、２−（ヒドロキシメチル）アントラセン、９−（２−ヒドロキシエチル）アントラセン、９−メチルアントラセン、７−メチルベンゾ［ａ］アントラセン、２，３−ベンゾアントラセン、ジベンゾ［ｄｅ，ｋｌ］アントラセン、９−フェニルアントラセン、９，１０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、１−アニリノアントラセン、２−アニリノアントラセン、１，４，９，１０−テトラヒドロキシアントラセン、１，８，９−トリヒドロキシアントラセン、（Ｒ）−（−）−α−（トリフルオロメチル）−９−アントラセンメタノール、（Ｓ）−（＋）−α−（トリフルオロメチル）−９−アントラセンメタノール、及び９，１０−ジヒドロ−９，１０−［１，２］ベンゼノアントラセン等が挙げられる。

上記アクリドン化合物の具体例としては、１０−メチル−９（１０Ｈ）アクリドン、９（１０Ｈ）−アクリドン、及び１０−ブチル−２−クロロ−９（１０Ｈ）−アクリドン等が挙げられる。

単位時間あたりのガス発生量を多くするために、上記光増感剤は、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。上記光増感剤は、チオキサントン化合物であることが好ましく、フェノチアジン化合物であることが好ましく、アントラセン化合物であることが好ましく、アクリドン化合物であることも好ましい。

上記光増感剤としては、アルコキシ基を有する多環芳香族化合物も挙げられる。上記多環芳香族化合物は、アルコキシ基を２つ以上有していてもよい。なかでも、グリシジル基又は水酸基を含むアルコキシ基を有する多環芳香族化合物が好ましい。この多環芳香族化合物は、アルコキシ基の一部がグリシジル基又は水酸基で置換されているアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物であることが好ましい。このような光増感剤は、高い耐昇華性を有し、高温下で使用することができる。また、アルコキシ基の一部がグリシジル基又は水酸基で置換されることにより、上記ガス発生材中における溶解性が高まり、ブリードアウトが抑えられる。

上記光増感剤として用いられる上記多環芳香族化合物の好ましい例としては、アントラセン骨格を有する多環芳香族化合物等が挙げられる。上記アントラセン骨格を有する多環芳香族化合物は、アルコキシ基を有するアントラセン化合物であり、アントラセン誘導体等である。また、アルコキシ基を有する多環芳香族化合物のアルコキシ基の炭素数は１以上、好ましくは１８以下、より好ましくは８以下である。

上記アルコキシ基を有する多環芳香族化合物の具体例としては、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９−メトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９−エトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、９−イソプロポキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、９−ベンジルオキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、９−（α−メチルベンジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、及び２−エチル−９，１０−ジ（２−カルボキシエトキシ）アントラセン等が挙げられる。

上記グリシジル基又は水酸基を含むアルコキシ基を有する多環芳香族化合物の具体例としては、９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、９−（グリシジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、９−（２−ビニルオキシエトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、９−（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシブトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−ブトキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−（２−エチルヘキシルオキシ）プロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−アリロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロポキシ）アントラセン、及び９，１０−ジ（２，３−ジヒドロキシプロポキシ）アントラセン等が挙げられる。

上記光増感剤は、光重合開始剤として一般に知られている材料であってもよい。このような光増感剤としては、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化される化合物が挙げられる。このような光増感剤の具体例としては、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン化合物；ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール化合物；フォスフィンオキシド化合物；ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン等のチタノセン化合物；ベンゾフェノン；ミヒラーケトン；クロロチオキサントン；ドデシルチオキサントン；ジメチルチオキサントン；ジエチルチオキサントン；α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン；２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等が挙げられる。上記光増感剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

上記光増感剤を用いる場合に、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記光増感剤の含有量は、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは０．５質量部以上、好ましくは５０質量部以下、より好ましくは３０質量部以下である。また、上記光増感剤の含有量は、上記バインダー樹脂１００質量部に対して、好ましくは０．５質量部以上、より好ましくは１質量部以上、好ましくは３０質量部以下、より好ましくは１５質量部以下である。上記光増感剤の含有量が上記下限以上であると、充分な光増感効果が得られる。上記光増感剤の含有量が上記上限以下であると、光増感剤に由来する残存物が少なくなり、充分にガスが発生されやすくなる。

上記第三級アミンと上記光増感剤とを併用する場合には、上記光増感剤に対して上記第三級アミンが当モルとなるように配合することが好ましい。また、ガス発生に際して、上記第三級アミンは消費されないと考えられるため、上記第三級アミンは、上記ガス発生剤のモル当量よりも少ない量で配合することができる。上記ガス発生剤において、上記第三級アミンのモル当量は、上記ガス発生剤のモル当量以下であることが好ましい。

なお、ここでいう当量とは、アミン中の窒素原子１個を１当量とし、光増感剤１分子を１当量とする。

（他の成分）
上記ガス発生材は、架橋剤、粘着剤及び無機充填材等を含んでもいてもよい。上記ガス発生材は、上記架橋剤を含むことがより好ましい。但し、上記ガス発生材は、上記架橋剤を含んでいなくてもよい。上記架橋剤の使用により、上記ガス発生材の接着力がより一層高くなる。

（他の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。

図２に示すマイクロポンプ２は、ガス発生材１１ｂの形状及び基材１０の形状において、上記の実施形態に係るマイクロポンプ１と異なる。

第２の実施形態では、マイクロ流路１０ｂは、基材１０内に形成されたポンプ室１０ｃに接続されている。ガス発生材１１ｂは、ブロック状に形成されており、ポンプ室１０ｃ内に配されている。

第２の実施形態に係るマイクロポンプ２においても、マイクロポンプ１と同様に、高出力かつ長駆動時間を実現することができる。

以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に何ら限定されず、要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。

（バインダー樹脂の合成例）
ｎ−ブチルアクリレート（日本触媒社製）９７質量部と、アクリル酸（日本触媒社製）３質量部と、イルガキュア９０７（長瀬産業社製）０．０５質量部と、酢酸エチル２００質量部とを混合して、混合物を得た。次に、この混合物に、紫外線を４時間照射して、アクリル共重合体であるバインダー樹脂Ａを作製した。バインダー樹脂Ａの重量平均分子量は、約７０万であった。得られたバインダー樹脂ＡのＳＰ値は７以上、１０．５以下の範囲内である。

（実施例１）
バインダー樹脂Ａ１００質量部と溶剤である酢酸エチル５６７重量部とを配合した。バインダー樹脂Ａ１００質量部（但し、溶剤である酢酸エチル５６７質量部をバインダー樹脂Ａと共に配合してある）と、ガス発生剤であるＧＡＰ４００６（グリシジルアジドポリマー、日油社製）１１０質量部と、アミノ基を有するシランカップリング剤であるＮ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＭ−６０２）０．００１質量部と、第三級アミンであるトリプロピルアミン（トリｎ−プロピルアミン）２質量部と、光増感剤である２−イソプロピルチオキサントン（ＤＫＳＨジャパン社製のＩＰＸ）３．５質量部と、架橋剤であるＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−１，３−ベンゼンジ（メタンアミン）（綜研化学社製のＥ−ＡＸ トルエン５％液）０．５質量部とを混合し、フィルム状に加工した。このフィルムを１１０℃で５分間加熱して、溶剤である酢酸エチルを除去した。これを離型ＰＥＴフィルムで保護し、常温で一日（２４時間）保管して、フィルム状のガス発生材を得た。

得られたフィルム状のガス発生材を用いて、上記第１の実施形態のマイクロポンプ１と実質的に同様の構成を有するマイクロポンプを作製した。

なお、マイクロ流路１０ｂの断面形状は、０．５ｍｍ角の矩形状とした。マイクロ流路１０ｂの長さは、８００ｍｍとした。マイクロ流路１０ｂの先端は大気に開放した状態とした。ガス発生材は、直径０．６ｃｍサイズで、厚み５０μｍのフィルム状とした。

（実施例２〜１４及び比較例１〜６）
配合成分の種類及び配合量（単位は質量部）を下記の表１，２に示すように変更したこと以外は実施例１と同様にして、ガス発生材を得て、マイクロポンプを作製した。なお、実施例２〜１４では、アミノ基を有するシランカップリング剤を用いた。比較例１，２，４，６では、アミノ基を有さないシランカップリング剤を用いた。比較例３，６では、シランカップリング剤を用いなかった。

また、用いたシランカップリング剤の種類は、以下の通りである。

Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＭ−６０２）
Ｎ，Ｎ−ビス［（３−トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミン（Ｇｅｌｅｓｔ製）
３−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＭ−９０３）
３−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＥ−９０３）
（３−トリメトキシシリルプロピル）ジエチレントリアミン（Ｇｅｌｅｓｔ製のＳＩＴ８３９８．０、９５％、Ｈ_２ＮＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）
ｎ−ブチルアミノプロピルトリメトキシシラン（Ｇｅｌｅｓｔ製のＳＩＢ１９３２．２、Ｃ_４Ｈ_９ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）
ビス（トリエトキシシリルプロピル）アミン（Ｇｅｌｅｓｔ製のＳＩＢ１８２４．５、９５％、［（Ｃ_２Ｈ_５Ｏ）_３ＳｉＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２］_２ＮＨ）
ビス（トリメトキシシリルプロピル）アミン（Ｇｅｌｅｓｔ製のＳＩＢ１８３３、９５％、［（ＣＨ_３Ｏ）_３ＳｉＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２］_２ＮＨ）
ビス［（３−トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミン（Ｇｅｌｅｓｔ製のＳＩＢ１８３４．０、６２％、溶剤：メタノール、（ＣＨ_３Ｏ）_３ＳｉＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）
Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルトリメトキシシラン（Ｇｅｌｅｓｔ製のＳＩＡ０５９１．０、Ｈ_２ＮＣＨ_２ＣＨ_２ＮＨＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｓｉ（ＯＣＨ_３）_３）
３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＥ−４０３）
３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＥ−５０２）

（評価）
（１）ガス発生量
ガス発生量の測定では、３８０ｎｍの紫外線ＬＥＤ（ナイトレイドセミコンダクター社製のＮＳ３７５Ｌ−５ＲＦＳ）で１２０秒間照射したときのガスの発生量を測定した。ガス発生量の測定方法は、マイクロ流路１０ｂとメスピペットとをシリコンチューブでつなぎ、この中を水で充填し、その後、ガス発生材に紫外線を照射し、発生したガスによるメスピペットの体積変化を読み取る方法とした。

（２）接着力
引張試験機（島津製作所製：ＡＧ−ＩＳ）を用いて、１８０度ピール剥離を行うことにより接着力を評価した。測定条件は、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離幅２５ｍｍ及び測定温度２３℃の条件である。

（３）アンカー
セロファンテープの糊面と得られたフィルム状のガス発生材の糊面とを互いに貼り合わせ、９０度剥離を行い、剥離強度を測定した。測定方法は接着力の測定に準じる。

結果を下記の表１，２に示す。なお、実施例１〜４のガス発生材では、第三級アミンを用いていることから、２４時間経過後及び１０日経過後でも、ガスの発生量の低下は少なく、また２４時間経過後のガス発生量（μＬ）を基準（１００％）として、１０日経過後の相対的なガス発生量（ガス発生量の増減）（％）は９０％以上、１０５％以下の範囲内であり、保存安定性に優れていた。

１，２…マイクロポンプ
１０…基材
１０ａ…主面
１０ｂ…マイクロ流路
１０ｃ…ポンプ室
１１ａ、１１ｂ…ガス発生材
１２…ガスバリア層

Claims (6)

1. バインダー樹脂と、
   アゾ化合物又はアジド化合物であるガス発生剤と、
   アミノ基を有するシランカップリング剤とを含む、ガス発生材。
2. 前記アジド化合物は、スルフォニルアジド基又はアジドメチル基を有する、請求項１に記載のガス発生材。
3. 光増感剤をさらに含む、請求項１又は２に記載のガス発生材。
4. 前記光増感剤が、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含む、請求項３に記載のガス発生材。
5. 前記ガス発生剤１００質量部に対して、前記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量が０．０００１質量部以上、１質量部以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のガス発生材。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のガス発生材と、
   マイクロ流路が形成された基材とを備え、
   前記ガス発生材は、前記ガス発生材において発生したガスが前記マイクロ流路に供給されるように配されている、マイクロポンプ。

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