CN103700662B - 一种承载基板和柔性显示器件制作方法 - Google Patents

一种承载基板和柔性显示器件制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种承载基板，用于在所述制造柔性显示器件的过程中承载柔性基板，所述制造柔性显示器件的承载基板包括基板、气体产生层，所述气体产生层位于所述基板上，所述柔性膜位于所述气体产生层上，所述气体产生层的材质能够分解并产生气体。相应地，本发明还提供一种柔性显示器件的制作方法。本发明能够在柔性膜上的显示元件制作完毕后，将柔性膜与基板分离，同时，本发明还能够灵活调整柔性膜的剥离方式，以及调节柔性膜与基板的分离力度。

Description

一种承载基板和柔性显示器件制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种承载基板和一种柔性显示器件制作方法。
背景技术
如今，柔性材料已经被逐步应用在显示技术领域中，由于柔性显示屏与传统平板显示屏相比，能够弯曲或者折叠，因此，柔性显示屏具有广阔的应用前景。
通常，是在柔性膜上制作显示元件以得到柔性显示器件，然而，在柔性膜上制作显示元件的工艺过程中所应用的高温可能会造成柔性膜变形，从而导致加工失败。因此，现有的方法通常是在刚性的玻璃基板上制作柔性膜，之后在柔性膜上制作显示元件，在显示元件制作完毕后将柔性膜与玻璃基板分离。
现有的一种将柔性膜与玻璃基板分离的方法是在玻璃基板上制作金属层、氧化物层和含有氢的半导体，通过热处理将半导体中的氢释放，使得氧化物层发生氧化还原反应，从而降低氧化物层和金属层之间的粘合力，以将柔性膜与玻璃基板剥离。现有的另一种方法是在柔性膜和玻璃基板之间加工一层热熔型树脂，剥离时，通过加热使得热熔型树脂融化柔性膜与剥离基板分离。
然而，由于在柔性膜上制作显示元件的过程中，经常会使用高温工艺，可能造成现有方法中的氢被扩散，导致后续的剥离不够充分，或者，可能造成现有方法中的热熔型树脂提前融化，导致整个柔性显示器件加工失败。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种承载基板和一种柔性显示器件制作方法，以能够在柔性膜上的显示元件制作完毕后，将柔性膜与基板分离。
为实现上述目的，本发明提供一种承载基板，用于在所述制造柔性显示器件的过程中承载柔性基板，所述制造柔性显示器件的承载基板包括基板、气体产生层，所述气体产生层位于所述基板上，所述柔性膜位于所述气体产生层上，所述气体产生层的材质能够分解并产生气体。
优选地，所述气体产生层的材料的带隙能量为2eV～7eV。
优选地，所述气体产生层的材料包括GaN或AlN，或者所述气体产生层的材料包括GaN与AlN的混合物。
优选地，所述气体产生层的材料还包括光热转换材料。
优选地，所述基板的材料的带隙能量大于7eV。
优选地，所述基板的材料为玻璃或者透明的陶瓷。
优选地，所述气体产生层的厚度为10nm～100μm。
优选地，所述气体产生层的厚度为200nm～500nm。
相应地，本发明还提供一种柔性显示器件的制作方法，所述柔性显示器件的制作方法包括：
在基板上形成气体产生层，且所述气体产生层的材质能够分解并产生气体；
在所述气体产生层上形成柔性膜；
在所述柔性膜上形成显示器件层；
使所述气体产生层的材质分解并产生气体以将所述柔性膜与所述基板分离。
优选地，所述使所述气体产生层的材质分解并产生气体，包括：用激光照射所述气体产生层，使所述气体产生层在吸收激光能量后分解并产生气体。
优选地，所述用激光照射所述气体产生层，包括：
用激光沿预定轨迹照射所述基板，使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层。
优选地，所述用激光沿预定轨迹照射所述基板，使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层，包括：
用激光从所述气体产生层的一边至与该一边相对的另一边扫描照射所述基板。
优选地，所述用激光沿预定轨迹照射所述基板，使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层，包括：
用激光从所述气体产生层的边缘至所述气体产生层的中心扫描照射所述基板。
可以看出，本发明通过在基板与柔性膜之间设置气体产生层，能够在需要剥离柔性膜时，使气体产生层分解并产生气体，从而通过气体的膨胀作用迫使柔性膜与基板分离。与现有技术相比，本发明可以使柔性膜与基板有较好的分离效果，同时，本发明中的气体产生层可以具有较好的耐热性，能够克服现有技术中，在加工显示器件的高温环境下氢被提前扩散，或者热熔型树脂融化的问题。此外，本发明能够通过控制激光的扫描方式，灵活调整柔性膜的剥离方式，还可以通过控制气体产生层的厚度，调节柔性膜与基板的分离力度。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明所提供的基板、气体产生层、柔性膜和显示器件层结构示例图；
图2为本发明所提供的柔性显示器件制作方法流程图；
图3为本发明所提供的激光照射方向示例图；
图4为本发明所提供的激光扫描方式示例图（仰视图）。
附图标记说明
101-基板；102-气体产生层；103-柔性膜；104-显示器件层；201-激光。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
作为本发明的一个方面，提供一种承载基板，该承载基板能够用于在其上制作显示器件层，具体地，可以如图1所示，该制造柔性显示器件的承载基板可以包括基板101、气体产生层102和柔性膜103，其中，气体产生层102位于基板101上，柔性膜103位于气体产生层102上，且气体产生层102能够分解并产生气体。
具体地，可以如图1所示，为了在柔性膜103上将显示器件层104加工完毕后能够将柔性膜103与基板101剥离，本发明所提供的制造柔性显示器件的承载基板中，在基板101和柔性膜103之间，制作了气体产生层102，该气体产生层102在一定条件下能够分解并且产生气体，从而能够通过气体的膨胀作用使得柔性膜103与基板101分离，具体地，激发气体产生层102使其分解并产生气体的激发条件可以根据实际需求而定。
本发明通过气体的膨胀作用使得柔性膜103与基板101分离，应用了与现有技术不同的分离原理，并且，通过气体的膨胀作用能够得到更好的分离效果。同时，本发明中的气体产生层102可以具有较好的耐热性，在制造显示器件的高温工艺环境下，气体产生层102也不会分解，能够克服现有技术中，在加工显示器件的高温环境下氢被提前扩散，或者热熔型树脂融化的问题。
更进一步地，气体产生层102的材料的带隙能量可以2eV～7eV之间。当用于制作气体产生层102的材料的带隙能量可以较小时，能够便于吸收激光的能量以分解并产生气体，优选地，气体产生层102的材料的带隙能量可以在2eV～7eV之间，且所使用的激光可以为紫外波段的激光，紫外波段的激光能量较高，足以使气体产生层102分解并产生气体。
制作气体产生层102的材料可以使用在激光照射下能够产生并释放气体的材料，优选地，用于制作气体产生层102的材料可以包括GaN或AlN，或者可以包括GaN与AlN的混合物。GaN的带隙能量为3.3eV，AlN的带隙能量为6.3eV，二者都能够在被激光照射后，吸收激光能量分解，产生气体N2以及对应的金属，从而能够通过所产生的N2的膨胀作用使得柔性膜与基板分离。同时，GaN和AlN的都具有较好的耐热性，例如，GaN的界面分解温度为900℃，而制作显示器件层104时的高温环境通常在300℃～400℃之间，因此，用GaN或AlN制成的气体产生层102能够在制作显示器件层104的高温环境中保持稳定。此外，选用GaN或者AlN或者二者的混合物制作气体产生层102，可以使得气体产生层102分解后的物质（Ga或Al）与基板101的粘附力强于与柔性膜103的粘附力，从而能够避免分解后的物质残留在柔性膜103上。
需要说明的是，在气体产生层102中还可以添加辅助材料以促进气体产生层102吸收激光的能量，例如，可以在气体产生层102中添加光热转换材料。
更进一步地，基板101的材料的带隙能量大于7eV。具体地，基板101的材料的带隙能量可以较大，使其不易于吸收激光光子的能量，通常，紫外波段的激光的光子能量在3eV～7eV之间，因此，优选地，基板101的材料的带隙能量可以大于7eV，从而使得紫外波段的激光的能量能够透过基板101而传递至气体产生层102。
优选地，基板101的材料可以为玻璃或者透明的陶瓷，玻璃或者透明的陶瓷具有较大的带隙能量，不易于吸收激光光子的能量，同时，作为透明的材料，可以使得激光能够透过基板101照射到气体产生层102。
更进一步地，本发明所提供的制造柔性显示器件的承载基板中，气体产生层的厚度为10nm～100μm。具体地，气体产生层102的厚度可以根据柔性膜103和基板101之间所需要的分离的力度来定，当需要柔性膜103和基板101之间的分离力度较大时，可以使气体产生层102的厚度较厚，从而使得气体产生层102分解后产生的气体较多；相应地，当需要柔性膜103和基板101之间的分离力度较小时，可以使气体产生层102的厚度较薄，从而使得气体产生层102分解后产生的气体较少。需要说明的是，为了避免产生的气体过多而出现爆炸现象，气体产生层102的厚度不宜过厚，可以将气体产生层102的厚度设定在10nm～100μm之间，优选地，可以使气体产生层102的厚度在200nm～500nm之间。
作为本发明的一个方面，提供一种柔性显示器件的制作方法，该方法能够利用上述本发明所提供的承载基板来制作柔性显示器件，具体地，如图2所示，该柔性显示器件的制作方法可以包括：
S1、在基板上形成气体产生层，且所述气体产生层的材质能够分解并产生气体；
S2、在所述气体产生层上形成柔性膜；
S3、在所述柔性膜上形成显示器件层；
S4、使所述气体产生层的材质分解并产生气体以将所述柔性膜与所述基板分离。
优选地，可以使用激光照射气体产生层102，使得气体产生层102在吸收激光能量后分解并产生气体。激光的光子能量较高，足以使得气体产生层102吸收后分解以产生气体，同时，激光具有定位功能，便于控制以照射气体产生层102，具体地，可以使用紫外波段的激光。
更进一步地，如图3所示，用激光照射气体产生层102时，可以用激光沿预定轨迹照射基板101（即可以如图3中箭头所示，从下往上照射基板101），使激光穿过基板101后照射气体产生层102。
优选地，可以如图4所示，用激光从气体产生层102的一边至与该一边相对的另一边扫描照射基板101（即可以如图4中所示，激光201沿箭头方向扫描照射）。
或者，也可以从气体产生层102的边缘至气体产生层102的中心扫描照射基板101。
通过上述方式，能够根据实际需要灵活的控制柔性膜103与基板101的分离方式，通过控制激光扫描照射的方式实现柔性膜103从一边到另一边与基板101分离，或者从柔性膜的103的边缘至中心与基板101分离，实现柔性基板与承载基板的多种方式的分离。
上述为对本发明所提供的制造柔性显示器件的承载基板以及相应的柔性显示器件制作方法进行的描述，可以看出，本发明通过在基板与柔性膜之间设置气体产生层，能够在需要剥离柔性膜时，使气体产生层分解并产生气体，从而通过气体的膨胀作用迫使柔性膜与基板分离。与现有技术相比，本发明中的气体产生层可以具有较好的耐热性，能够克服现有技术中，在加工显示器件的高温环境下氢被提前扩散，或者热熔型树脂融化的问题。同时，本发明能够通过控制激光的扫描方式，灵活调整柔性膜的剥离方式，还可以通过控制气体产生层的厚度，调节柔性膜与基板的分离力度。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种承载基板，用于在制造柔性显示器件的过程中承载柔性基板，其特征在于，所述制造柔性显示器件的承载基板包括基板、气体产生层，所述气体产生层位于所述基板上，所述柔性膜位于所述气体产生层上，所述气体产生层的材质能够分解并产生气体，所述气体产生层的材料的带隙能量为2eV～7eV，所述基板的材料的带隙能量大于7eV，所述气体产生层的材料包括GaN与AlN的混合物，所述气体产生层的厚度为200nm～500nm。
2.根据权利要求1所述的承载基板，其特征在于，所述气体产生层的材料还包括光热转换材料。
3.根据权利要求1所述的承载基板，其特征在于，所述基板的材料为玻璃或者透明的陶瓷。
4.一种柔性显示器件的制作方法，其特征在于，所述柔性显示器件的制作方法包括：
在基板上形成气体产生层，且所述气体产生层的材质能够分解并产生气体，所述气体产生层的材料包括GaN与AlN的混合物，所述气体产生层的厚度为200nm～500nm；
在所述气体产生层上形成柔性膜；
在所述柔性膜上形成显示器件层；
使所述气体产生层的材质分解并产生气体以将所述柔性膜与所述基板分离；其中
所述气体产生层的材料的带隙能量为2eV～7eV，所述基板的材料的带隙能量大于7eV。
5.根据权利要求4所述的柔性显示器件的制作方法，其特征在于，所述使所述气体产生层的材质分解并产生气体，包括：用激光照射所述气体产生层，使所述气体产生层在吸收激光能量后分解并产生气体。
6.根据权利要求5所述的柔性显示器件的制作方法，其特征在于，所述用激光照射所述气体产生层，包括：
用激光沿预定轨迹照射所述基板，使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层。
7.根据权利要求6所述的柔性显示器件的制作方法，其特征在于，所述用激光沿预定轨迹照射所述基板，使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层，包括：
用激光从所述气体产生层的一边至与该一边相对的另一边扫描照射所述基板。
8.根据权利要求6所述的柔性显示器件的制作方法，其特征在于，所述用激光沿预定轨迹照射所述基板，使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层，包括：
用激光从所述气体产生层的边缘至所述气体产生层的中心扫描照射所述基板。
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