CN103415829A - 制造两个以上图形化基板的方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种工艺简单且效率高的两个以上图形化基板的制造方法及两个以上图形化基板的制造装置。本发明提供一种两个以上图形化基板的制造方法，其包括：1）在一个基板板面上配置至少两个基板的步骤；2）在印刷板板面上配置印刷板的步骤，所述印刷板包括至少两个与将要形成于一个基板上的图形单元相对应的凹状图形单元；3）在印刷滚筒上涂布墨水的步骤；4）使所述印刷板与涂布有所述墨水的印刷滚筒接触，从而在所述印刷滚筒上形成至少两个图形单元的步骤；以及5）通过一次工艺将所述印刷滚筒上的至少两个图形单元分别转印到至少两个待印刷基板的步骤。另外，本发明提供一种两个以上图形化基板的制造装置，其包括：印刷滚筒；用于对所述印刷滚筒涂布墨水的涂布机；至少包括两个与将要形成于一个待印刷基板上的图形单元相对应的凹状图形单元的印刷板；用于支撑所述印刷板的印刷板板面；以及用于支撑两个以上待印刷基板的基板板面。

Description

制造两个以上图形化基板的方法及制造装置

技术领域

本发明涉及一种工艺简单且效率高的制造两个以上图形化基板的方法、及两个以上图形化基板的制造装置。本申请要求2011年3月9日向韩国专利局提交的韩国专利申请第10-2011-0021131的优先权，在此引入其全部内容作为参考。

背景技术

随着在显示领域中进行着新的市场研发和技术开发，正开发着LCD、LED、PDP、AMO、LED等多种形式的新显示产品。

尤其是在这些显示产品中的3D与触摸屏的结合，以用户中心的界面体现和娱乐功能的体现，已经在显示领域中成为了必须的应用。

以PDA作为起发点，触摸屏面板用于ATM（自动取款机）、无人售票机、移动电话机、导航、电视天气预报、练歌厅及电子游戏厅等的游戏机等。

根据驱动原理，透明输入器触摸面板包括光学式、电容式、超声波式、电阻式、电磁式等，而且触控面板可根据其原理及使用而对其用法及特性分类。

移动电话机、游戏机、PDA、导航等的移动设备主要采用电阻式触摸面板，这是因为由于电阻式触摸面板的轻量、薄型、节能、廉价等特点。

另外，售票机或者ATM、电子游戏厅的游戏机等由非指定多数人使用的装置采用的是光学式或者电容式、超声波式触摸面板。

搭载LCD的触摸面板中，具有90%以上的压倒性市场占有率的是电阻式触摸面板，但苹果公司的iphone采用的是电容式触摸面板。

电阻式、电容式、超声波式触摸面板在面上涂有一定量的导体和感应材料。尤其是在电阻式、电容式触摸面板中使用了ITO（铟锡氧化物）薄膜等半导体膜，因此反射率高。

光学式触摸面板的表面并不涂有层叠物，这在光学方面上是有利的。

一般来说，电阻式触摸面板通过配置在电极之间的压力传感器来感应细微压力，且与电容式触摸面板相比具有费用低廉、文件制作以及手写识别的优点，另外有外观容易受损、难以实现多点触摸的缺点。

与其相反，电容式触摸面板通过识别人体微小电流的原理而驱动，且具有良好反应速度和耐擦伤性的优点，能够实现多点触摸，并且因具有回应电流的结构而具有高透明度，但是具有制造费用高、文件制作及手写识别方面上差的缺点。

在电容式触摸面板中，作为保护层可以使用PET薄膜或者玻璃，特别地，玻璃型电容式触摸面板中使用的是强化玻璃（tempered glass）。

采用电容式触摸面板的显示产品的种类和其厂家，均具有结构和制造工艺上的差异，不过大多数是在钢化玻璃上形成使用ITO的电极图形，或者在钢化玻璃形成用于隐藏输入部周围的电路布线的边框（Bezel）图形。

在触摸面板的钢化玻璃上形成的边框图形可以通过已知的光刻法或丝网印刷法来形成。

但是，采用光刻法时虽然能够得到均匀且精密的边框图形，但需要经过涂层-曝光-显影-烧结步骤，因此需要大量费用。

尤其是，无法在大尺寸的钢化玻璃基板形成图形后剪切成所希望大小和形状而使用，因此，先剪切成规定规格和大小之后，利用已钢化处理的每张玻璃基板来制造，导致其制造效率非常低。

另外，当采用丝网印刷时，能够以很快的速度容易地形成边框图形，但图形的厚度为5μm以上，且厚度的均匀性差。

发明内容

解决问题

本发明的目的在于，提供一种效率高、工艺简单的两个以上图形化基板的制造方法，及两个以上图形化基板的制造装置。

解决方案

本发明的两个以上图形化基板的制造方法，其包括：1）在一个基板板面上配置至少两个基板的步骤；2）在印刷板板面上配置印刷板的步骤，所述印刷板包括至少两个与将要形成于一个基板上的图形单元相对应的凹状图形单元；3）在印刷滚筒上涂布墨水的步骤；4）使所述印刷板与涂布有所述墨水的印刷滚筒接触，从而在所述印刷滚筒上形成至少两个图形单元的步骤；以及5）通过一次工艺将所述印刷滚筒上的至少两个图形单元分别转印到至少两个待印刷基板的步骤。

另外，本发明的两个以上图形化基板的制造装置，其包括：印刷滚筒；用于对所述印刷滚筒涂布墨水的涂布机；包括至少两个与将要形成于一个待印刷基板上的图形单元相对应的凹状图形单元的印刷板；用于支撑所述印刷板的印刷板板面；以及用于支撑两个以上待印刷基板的基板板面。

发明效果

根据本发明的两个以上图形化基板的制造方法来形成图形，将能够解决在大型基板形成两个以上图形难以用划片（scribing）来剪切的问题、和在小型基板重复形成图形时效率低的问题。

附图说明

图1是示意性地表示反向胶印（reverse offset printing）工艺的图。

图2和图3是表示形成了根据已知的方法使用黑色矩阵（blackmatrix）墨水的边框图形的基板的图。

图4是形成有多个边框图形形状的槽的印刷板的俯视图及剖面图。

图5是表示具备一个印刷板的印刷板板面和具备多个基板的基板板面的、印刷前后的图。

图6是表示根据本发明实施例通过一次工艺制造多个具有边框图形的基板的工艺的图。

图7是表示根据本发明实施例在由多个主体构成的基板板面的每个主体上分别形成基板从而制造具有边框图形的基板的装置的图。

图8是表示使用机器臂将基板配置在基板板面上的过程的图。

图9是根据本发明实施例的具备夹具和对准器的基板板面的俯视图。

图10是根据本发明实施例在基板板面上平行布置两个以上基板的过程的图。

图11是表示根据本发明实施例的多种形态的夹具的图。

图12是表示印刷滚筒移动到印刷板或基板上来转印图形的期间被施加印刷压力的图。

图13是根据本发明实施例的具备对准键的印刷板板面和基板板面的俯视图。

图14是根据本发明实施例的多种形态的对准键的图。

具体实施方式

反向胶印工艺如下：在对胶布（blanket）涂布墨水后，通过印刷板除去并不期望的图形部，之后通过将残留于胶布图形部转印到基板，由此来形成微图形。

反向胶印工艺正试图适用于滤色镜、电磁屏蔽滤波器（Electromagneticshieldingfilter，EMIfilter）、TFT布线、微图形基板等的形成中。

通过反向胶印工艺，能够得到均匀且精密的图形，并且可以提供能够一次性制造大量基板的图形形成方法。

在下述图1，示出了所述反向胶印工艺的普通方法。

反向胶印工艺例如可用于形成触摸面板用黑色矩阵图形。与LCD用黑色矩阵相比，触摸面板用黑色矩阵图形是相当简单的图形，因此能够通过所述反向胶印工艺容易地形成。

当使用已知的反向胶印工艺时，根据基板的大小大致分为两种方法，分别是使用大型基板的情况、和使用小型基板的情况。

首先，图2表示使用大型基板时形成图形的待印刷基板。

在使用大型基板时，可以像本发明那样通过一次工艺制作两个以上图形单元。但是，在使用大型基板时，多个图形单元形成在一个基板上，因此存在形成图形后需要用划片剪切的问题。

另外，在形成图形后并经过划片工艺时，已形成的图形有可能受损。

尤其是，当将钢化玻璃基板作为触摸面板用基板来使用时，将会存在如下问题。

钢化玻璃可以通过回火（Tempering）的热处理方法来制作。所谓的回火热处理是，将玻璃板加热至接近软化温度的670℃-710℃并对其进行压缩，用冷却空气快速冷却，从而使玻璃表面部压缩、变形，并使内部张力变形的方法。

另外，钢化玻璃也可以通过根据离子交换法的化学处理方法来制作。所谓的离子交换法是，将玻璃浸渍于熔融盐中，使熔融盐中的大离子置换玻璃表面上的小离子来填充玻璃表面，从而产生压缩力的方法。

此外，钢化玻璃也可以通过叠层强化方法来制作。将多张玻璃重叠在一起以使成为类似三明治的形态，从而在冷却时允许内部玻璃比外部玻璃收缩更多，从而对外部玻璃施加压缩力。

不过，上述的任意方法都难以重新切断钢化玻璃而使用。即，应在对玻璃进行钢化处理前切断成预定的大小及形状。

在钢化玻璃的表面上形成有能够承受住外部负载的压缩应力，并在玻璃内部形成抗拉应力以抵消该压缩应力，从而维持均衡。

因切断而产生外部裂纹时，并不是在所期望的切断方向上破裂，而是立刻碎裂成小碎片，因此，在制造触摸面板时，一般通过上述加工处理方法来对切断成预定的形状和规格的玻璃进行钢化处理后使用。

即，如所述图2所示，当使用大型基板时，难以制造用钢化玻璃基板的触摸面板。

其次，图3表示当使用小型基板时形成有图形的待印刷基板。

使用小型基板是为了解决当使用所述大型基板时存在问题而提出的，其能够解决在图形形成后需要剪切基板的问题。

但是，如图3所示，当使用小型基板时，通过一次工艺在基板上形成一个图形单元，这种情况下大量生产时其效率非常低。

为此，本发明提供一种两个以上图形化基板的制造方法及其制造装置，以突出使用大型基板时和使用小型基板时的优点。

下面，对本发明进行更详细的说明。

根据本发明的两个以上图形化基板的制造方法包括：

1）在一个基板板面上配置至少两个基板的步骤；

2）在印刷板板面上配置印刷板的步骤，所述印刷板包括至少两个与将要形成于一个基板上的图形单元相对应的凹状图形单元；

3）在印刷滚筒上涂布墨水的步骤；

4）使所述印刷板与涂布有所述墨水的印刷滚筒接触，从而在所述印刷滚筒上形成至少两个图形单元的步骤；以及

5）通过一次工艺将所述印刷滚筒上的至少两个图形单元分别转印到至少两个待印刷基板的步骤。

根据本发明的两个以上图形化基板的制造方法包括：1）在一个基板板面上配置至少两个基板的步骤；和2）在印刷板板面上配置印刷板的步骤，所述印刷板包括至少两个与将要形成于一个基板上的图形单元相对应的凹状图形单元。

就1）在一个基板板面上配置至少两个基板的步骤；和2）在印刷板板面上配置印刷板的步骤，所述印刷板包括至少两个与将要形成于一个基板上的图形单元相对应的凹状图形单元而言，其顺序替换。

为了在印刷滚筒上形成图形单元，印刷板形成有凹状图形单元。

所述印刷板可以制作成在一个基板上具有多个图形单元的槽形状。

根据本发明的图形化基板的制造方法是用于通过一次工艺制作两个以上图形化基板。

为此，从生产图形化基板的效率方面考虑，所述印刷板优选包括两个以上凹状图形单元，并更优选包括四个以上凹状图形单元。

图4表示的是形成有多个边框图形形状的槽的印刷板的俯视图及剖面图。

用于制造所述印刷板的基板优选为玻璃（glass）基板。

所述2）步骤的印刷板制造方法可以使用金属沉积、光刻胶图形化（photoresist patterning）、蚀刻（etching）、剥离（stripping）来制造的通常的湿式蚀刻法，及采用激光消融（laserablation）或者激光切割（lasercutting）等干式蚀刻法，但并不限于此。

如图5和图6所示，所述基板可以在由一个主体构成的基板板面上放置多个基板而配置，另外，如图7所示，也可以在每个由多个主体构成的基板板面上放置基板而配置。

此时，优选使用机器臂（robot arm）来移动基板。

图8是表示使用机器臂在基板板面配置基板的过程的图。

图8的表示第一个过程的图中示出了转移装置。在转移装置中，可以形成有向一个方向移动对象的滚轮、第一组和第二组的定位销（alignerpin）。

定位销是通过上下运动将要转移的对象配置于指定位置的构件。

若第一基板转移到转移装置上，则第一组的定位销上升，从而可以将第一基板配置于指定位置。

另外，若第二基板转移到转移装置，则第二组的定位销上升，从而可以将第二基板配置于其他指定位置。

将以这种方式配置于各个位置的基板通过使用机器臂移动到基板板面上的指定位置。

所述1）步骤可以包括如下步骤：利用形成于基板板面的夹具、对准器以及用于控制它们的控制部来对齐基板。

通过在所述基板板面上安装夹具和对准器，能够使基板板面上的基板的位置与指定位置对齐。

本发明与现有技术不同，能够通过一次工艺在两个以上基板上印刷图形。由于印刷板和基板是多个，因此在正确的位置排列印刷板和基板很重要。

夹具是指固定构件，其使基板板面上的基板可被放置于指定位置，且可具有多种形态。

另外，对准器是指用于对齐基板位置的构件，通过操作对准器，使基板紧贴于夹具而对齐。

对准器可以由具有棒形形状等的构件和设置于基板板面上的孔构成，该构件在基板板面上前后或左右运动，该孔允许该构件上下或左右运动。

图9是表示具备夹具和对准器的基板板面的图。

图10是在安装有夹具和对准器的基板板面上平行布置的两个以上基板的过程的图。

参照图10对所述过程进行说明，通过机器臂将两个以上基板转移到具备夹具和对准器的基板板面上后，对准器在上下或左右方向上进行移动，使得基板紧贴于夹具。

图11是表示根据本发明实施例的多种形态的夹具的图。

根据本发明的两个以上图形化基板的制造方法包含3）在印刷滚筒上涂布墨水的步骤。

在对印刷滚筒涂布墨水时，使用涂布机对胶布（blanket）涂布墨水。胶布可以由聚二甲基硅氧烷（polydimethylsiloxane，PDMS）橡胶材质构成。

涂布于所述印刷滚筒的所述墨水可以是彩色图形用墨水、黑色矩阵图形用墨水组合物，但优选为作为在触摸面板的钢化玻璃上形成的边框图形来使用的黑色矩阵图形用墨水组合物。但并不限于此，可以包含用于该领域的所有墨水。

通常，胶布由表面印刷层、支撑层、缓冲层构成，并可进一步具备底层以确保所述层之间的附着力。所述表面印刷层是直接存放墨水而实现转印的层，可以由PDMS来制作。

所述支撑层起到支撑所述表面印刷层和所述缓冲层的作用，并可以由PET薄膜来制作。

另外，在所述表面印刷层的表面不均匀的情况下，所述缓冲层起到弥补这些厚度差的作用，且与表面印刷层相同地可以由PDMS来制作。

作为用于在印刷滚筒涂布墨水的涂布机，优选使用一般的狭缝式涂布机。

例如，在印刷滚筒以10mm/s-150mm/s的速度旋转期间，可以通过狭缝式涂布机在喷出墨水的同时将墨水均匀地涂布于胶布。

根据本发明的两个以上图形化基板的制造方法包含4）在所述印刷板上，使所述印刷板与涂布有所述墨水的印刷滚筒接触，从而在所述印刷滚筒上形成至少两个图形单元的步骤。

印刷滚筒沿着其行进方向与形成有两个以上凹状图形单元的印刷板接触，从而在印刷滚筒上残留将会形成于待印刷基板上的图形的墨水。

优选地，驱动涂布了所述墨水的印刷滚筒，优选同时或分开进行采用伺服马达的旋转驱动和采用线性马达的线性驱动。

在所述3）步骤中，在完成墨水的涂布之后，印刷滚筒通过线性马达进行线性驱动而向印刷板板面前移动，之后通过伺服马达的驱动进行旋转，从而将所述印刷滚筒的位置调整为已涂布的墨水在整个印刷板上实现转印。

其后，同时驱动印刷滚筒的伺服马达和线性马达，使得印刷滚筒同时进行旋转运动和线性运动，从而使得印刷滚筒接触并滚向印刷板。

此时，印刷滚筒的线性运动的行进速度优选为10mm/s-200mm/s。

另外，为了顺利进行图形的转印，印刷压力优选在10μm-50μm的范围内。

如图12所示，这里的印刷压力以印刷滚筒的胶布与印刷板或基板相接触的点为基准（0μm）而压下去的深度表示。即，压下去的深度越大，就表示施加的印刷压力越大。

根据本发明的两个以上图形化基板的制造方法包含5）通过一次工艺将所述印刷滚筒上的至少两个图形单元分别转印到至少两个待印刷基板的步骤。

在所述4）步骤中从胶布中除去在印刷板中并不期望的图形部后，在所述5）步骤中，印刷滚筒通过线性马达进行线性驱动而向基板板面前移动后，通过伺服马达的驱动进行旋转，从而将所述印刷滚筒的位置调整为墨水在整个基板上实现转印。

其后，同时驱动印刷滚筒的伺服马达和线性马达，使得印刷滚筒同时进行旋转和线性运动，从而使印刷滚筒接触并滚向基板。

此时，印刷滚筒的线性运动的行进速度优选为10mm/s-200mm/s。

另外，为了顺利进行图形的转印，印刷压力优选在10μm-50μm的范围内。

所述基板作为待印刷图形单元的对象，可使用玻璃或塑料基板。

尤其是，触摸面板用基板优选为钢化玻璃基板。

在触摸面板中的触摸动作有可能导致擦伤使基板受损，因此优选使用耐擦伤性强的钢化玻璃和保护薄膜。

本发明的两个以上图形化基板的制造方法，在经过上述的工艺使多个图形单元分别转印于相对应的待印刷基板后，可以进一步包含6）烧结已转印所述图形单元的基板。

为了仅突显使用使用大型基板时和使用小型基板时的优点，本发明使用两个以上基板，从而使在图形形成前分别转印出一个图形单元，更优选使用四个以上基板。

所述多个基板由以一个或多个主体构成的基板板面所支撑。

图6是形成有一个印刷板的印刷板板面和形成有多个基板的基板板面的俯视图，图7是表示分别对在多个主体构成的基板板面上形成基板的装置的图。

所述基板优选为触摸面板用基板。

另外，所述基板的材质优选为钢化玻璃。

另外，所述图形单元优选采用黑色矩阵来形成。

另外，所述图形单元优选为触摸面板的边框图形。

当采用边框图形时，图形的形状很简单，因此能够通过反向胶印工艺来容易地形成。

另外，本发明提供一种两个以上图形化基板的制造装置，其包括：印刷滚筒、用于对所述印刷滚筒涂布墨水的涂布机、包括至少两个与将要形成于一个待印刷基板上的图形单元相对应的凹状图形单元的印刷板、用于支撑所述印刷板的板面、以及用于支撑两个以上待印刷基板板面。

参照图6，所述两个以上图形化基板的制造装置由用于对印刷滚筒涂布墨水的涂布机、印刷滚筒、印刷板和用于支撑印刷板的印刷板板面、基板和用于支撑基板的基板板面构成。

通过涂布机在印刷滚筒涂布墨水，印刷滚筒沿着其行进方向与形成有两个以上凹状图形单元的印刷板接触，从而在印刷滚筒上残留将会形成于待印刷基板上的图形的墨水。

仅留下在待印刷的基板上形成图案的墨水的印刷滚筒是经过基板并能够在基板上转印图形化墨水的装置。

所述印刷板板面和基板板面可分别包含两个以上对准键（alignkey）。

对准键是指在移动印刷板板面和基板板面时，能够使它们排列在相对应的位置而识别位置的标识，利用对准键识别印刷板板面和基板板面的相对位置后，使两个板面向对应的位置移动。

此时，在印刷板板面和基板板面上安装的对准键可以如图13所示分别安装两个以上而使用，对准键的形状也可以如图14所示具有多种形状。

另外，所述基板板面可以包含夹具、对准器（aligner）以及用于控制它们的控制部。

所述夹具是使基板能够放置于指定位置而形成的元件，因此夹具的高度优选考虑基板厚度而形成，可使用厚度为200-1000μm的基板，由此夹具的高度可形成为100-500μm。

夹具的高度在100μm以上才不会使夹具弯曲，从而容易在基板板面上安装夹具。另外，当夹具的高度在500μm以下时，才能够在图形转印时防止由印刷滚筒的胶布和夹具的接触而引起印刷滚筒的胶布的损伤和污染。

作为所述夹具的材质，可使用不受有机溶剂影响的不锈钢（SUS）。

所述控制部是用于控制夹具和对准器的装置，可使用在本技术领域中使用的控制部。

根据本发明的图形化基板的制造方法的目的在于，通过一次工艺制作两个以上图形化基板，为此所述印刷板还包括两个以上凹状图形单元。

从生产图形化基板的效率方面考虑，所述印刷板优选包括四个以上凹状图形单元。

待印刷基板优选为触摸面板用基板。

另外，所述待印刷基板的材质优选为钢化玻璃。

另外，所述图形单元优选采用黑色矩阵来形成。

另外，所述图形单元优选为触摸面板的边框图形。

用于支撑所述待印刷基板的板面可由一个主体构成，以支撑两个以上待印刷基板，但也可以包括与所述待印刷基板相同数量的主体。

图6表示由一个主体构成以使基板板面支撑两个以上基板的装置，图7表示包括具有与多个基板相对应数目的主体的基板板面的装置。

Claims (22)

1.一种两个以上图形化基板的制造方法，其包括：

1）在一个基板板面上配置至少两个基板的步骤；

2）在印刷板板面上配置印刷板的步骤，所述印刷板包括至少两个与将要形成于一个基板上的图形单元相对应的凹状图形单元；

3）在印刷滚筒上涂布墨水的步骤；

4）使所述印刷板与涂布有所述墨水的印刷滚筒接触，从而在所述印刷滚筒上形成至少两个图形单元的步骤；以及

5）通过一次工艺将所述印刷滚筒上的至少两个图形单元分别转印到至少两个待印刷基板的步骤。

2.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，在1）步骤中，使用机器臂来移动所述基板。

3.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，1）步骤包括利用形成于基板板面上的夹具、对准器以及用于控制所述夹具和对准器的控制部来对齐基板的步骤。

4.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，所述印刷板包括至少四个凹状图形单元。

5.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，在4）步骤或5）步骤中的所述印刷滚筒的驱动中，同时或分开进行采用伺服马达的旋转驱动和采用线性马达的线性驱动。

6.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，所述基板为触摸面板用基板。

7.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，所述基板为钢化玻璃制成。

8.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，所述图形单元采用黑色矩阵墨水来形成。

9.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，所述图形单元为触摸面板的边框图形。

10.权利要求1所述的两个以上图形化基板的制造方法，其进一步包括：6）烧结已转印所述图形单元的基板。

11.一种两个以上图形化基板的制造装置，其包括：

印刷滚筒；

用于对所述印刷滚筒涂布墨水的涂布机；

包括至少两个与将要形成于一个待印刷基板上的图形单元相对应的凹状图形单元的印刷板；

用于支撑所述印刷板的印刷板板面；和

用于支撑两个以上待印刷基板的基板板面。

12.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，所述印刷板包括至少四个凹状图形单元。

13.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，所述待印刷基板为触摸面板用基板。

14.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，所述待印刷基板为钢化玻璃制成。

15.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，使用黑色矩阵墨水来形成所述图形单元。

16.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，所述图形单元为触摸面板的边框图形。

17.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，所述印刷板板面和基板板面分别具备两个以上对准键。

18.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，所述基板板面具备夹具、对准器以及用于控制所述夹具和对准器的控制部。

19.权利要求18所述的两个以上图形化基板的制造装置，其中，所述夹具的材质为不锈钢。

20.权利要求18所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，所述夹具的高度为100-500μm。

21.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，用于支撑所述待印刷基板的板面由一个主体构成，以支撑两个以上待印刷基板。

22.权利要求11所述的两个以上图形化基板的制造方法，其中，用于支撑所述待印刷基板的板面包括与所述待印刷基板相同数量的主体。

Images