CN102541345A - 形成曲面触摸传感器的方法和系统 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及形成曲面触摸传感器的方法和系统。公开了一种为触摸传感器形成曲面触摸表面的方法。该方法可以包括在柔性基板处于平坦状态时在柔性基板上沉积和图案化导电薄膜以形成至少一个触摸传感器图案。根据某些实施例，该方法可以包括在具有预定曲率的至少一个曲面成形基板上支撑处于平坦状态的柔性基板；以及对导电薄膜进行退火处理或者类似退火的高热量处理，其中退火处理可以导致柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的预定曲率。根据一个实施例，所述至少一个曲面成形基板可以包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与第一预定曲率互补的第二预定曲率的第二成形基板。

Description

形成曲面触摸传感器的方法和系统
技术领域
本公开总体上涉及触摸传感器的形成，特别涉及形成具有曲面柔性基板的触摸传感器。
背景技术
近年来，使用触摸传感器的输入设备(例如，轨迹板、触摸屏等)已日渐普及。在便携式计算设备(例如，膝上型计算机)中，输入设备通常是轨迹板(也被称为触摸板)。通过轨迹板，当手指沿着轨迹板的表面移动时输入指针(即，光标)的移动通常对应于用户手指(或者触控笔)的相对移动。
在手持式个人数字助理(PDA)或者移动设备的情况下，输入设备趋向于使用触摸感测显示屏。当使用触摸屏时，用户可以通过使用触控笔或手指直接点击屏幕上的对象来在显示屏上做出选择。触摸屏可以包括触摸传感器面板(其可以是具有触摸感测表面的透明面板)和可以部分地或者全部位于面板后面、或者与面板集成在一起的诸如液晶显示屏(LCD)的显示设备，从而触摸感测表面可以覆盖显示设备的可视区域的至少一部分。触摸屏可以允许用户通过使用手指、触控笔或者其它物体在常由显示设备显示的用户界面(UI)所指示的位置上触摸该触摸传感器面板来执行各种功能。一般而言，触摸屏可以识别触摸事件和触摸事件在触摸传感器面板上的位置，并且计算系统接着可以依据触摸事件发生时出现的显示来解释触摸事件，而此后可以基于触摸事件执行一个或更多个动作。
触摸传感器面板通常可以非常薄，并且可以包括其上层叠(或者沉积或形成)有图案化薄膜的基板。然而，由于基板和薄膜的期望厚度，在制造期间因为损坏触摸传感器面板组件的风险而可能出现困难。
例如，当通过沉积薄膜来处理柔性基板时，转变温度(在该温度点上基板可能翘曲或者变形)可能相对较低。通常，例如，柔性塑料基板的任何处理需要低于150℃，否则其可能变形。然而，在高温(150℃以上)对薄膜退火却常常是所期望的，因为其能提高薄膜的电阻率和光学特性。因此，在附着于柔性塑料基板时对薄膜退火可能导致基板中不期望的变形。
发明内容
目前公开的实施例涉及解决与现有技术中存在的一个或更多个问题相关的问题，并且提供当结合附图来参考下面的详述时将变得明显的附加特征。
该实施例涉及具有曲面基板的触摸传感器的形成。本申请所述的实施例涉及形成触摸表面的方法，其中可以在柔性基板处于平坦状态时在柔性基板上沉积和图案化导电薄膜以形成触摸传感器图案。其后，处于平坦状态的柔性基板可以与具有预定曲率的至少一个曲面成形基板相结合。可以对(沉积在柔性基板上的)导电薄膜进行高温退火，这可以导致柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的预定曲率。
本申请所述的实施例涉及形成曲面触摸表面的方法。该方法可以包括在柔性基板处于平坦状态时在柔性基板上沉积和图案化导电薄膜以形成至少一个触摸传感器图案。根据某些实施例，该方法可以包括在具有预定曲率的至少一个曲面成形基板上支撑处于平坦状态的柔性基板；以及对导电薄膜进行退火处理或者类似退火的高热量处理，其中退火处理可以导致柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的预定曲率。
根据一个实施例，所述至少一个曲面成形基板可以包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与第一预定曲率互补(complement)的第二预定曲率的第二成形基板。
通过例如在处于平坦状态的基板上沉积和图案化薄膜并且接着例如在该基板与成形基板相结合时对薄膜退火，可以将该基板弯曲成其期望的曲率。此外，薄膜可以获得退火处理的优点(例如，增加的强度和导电率以及提高的光学特性)而不会使基板产生不期望的翘曲或者变形。
附图说明
参照下列附图详细描述根据一个或更多个各个实施例的本公开。仅仅出于例示的目的而提供了附图，并且附图仅示出本公开的示例性实施例。提供这些附图以有助于读者对本公开的理解，其不应当被视为对于本发明的宽度、保护范围或适用性的限制。应当注意的是，为了清楚和便于说明起见，这些附图没有必要按比例进行描绘。
图1例示了根据本申请所述的一个实施例的示例性触摸传感器面板的叠层(stackup)。
图2A例示了根据本申请所述的一个实施例的具有曲面覆盖玻璃的触摸传感器面板。
图2B例示了根据本申请所述的一个实施例的等壁厚(constantwall)触摸传感器面板。
图3例示了根据本申请所述的一个实施例的形成具有曲面基板的触摸传感器的示例性处理。
图4A例示了根据本申请所述的各个实施例的可以包括具有曲面基板的触摸传感器的示例性移动电话。
图4B例示了根据本申请所述的各个实施例的可以包括具有曲面基板的触摸传感器的示例性数字媒体播放器。
图4C例示了根据本申请所述的各个实施例的可以包括具有曲面基板的触摸传感器的示例性个人计算机。
图5例示了根据本申请所述的各个实施例的包括具有曲面基板的一个或更多个触摸传感器的示例性计算系统。
具体实施方式
在下面的实施例描述中，参照了构成该实施例的一部分的附图，并且其中以能够实施的说明性特定实施例的方式来示出。应当理解的是，可以使用其它实施例，并且在不脱离所公开的实施例的保护范围的前提下可以做出结构改变。
该实施例涉及具有曲面基板的触摸传感器的形成。本申请所述的实施例涉及形成触摸表面的方法，其中可以在柔性基板上沉积和图案化导电薄膜以形成触摸传感器图案，而柔性基板处于平坦状态。其后，处于平坦状态的柔性基板可以与具有预定曲率的至少一个曲面成形基板相结合。可以对(沉积在柔性基板上的)导电薄膜进行高温退火，这可以导致柔性基板符合该至少一个曲面成形基板的预定曲率。
通过在处于平坦状态的柔性基板上沉积和图案化薄膜并且接着在该基板与成形基板相结合时对薄膜退火，该柔性基板可以符合期望的曲率。此外，薄膜可以获得退火处理的优点(例如，增加的强度和导电率以及提高的光学特性)而不会产生不期望的基板翘曲或者变形。
图1例示了根据各个实施例的示例性触摸屏的叠层(包括具有由基板上沉积的薄膜层形成的驱动和感测电极的触摸传感器面板)。触摸表面(例如，电容式感测表面)通常包含若干材料层。例如，电容式感测表面可以包括防护/盖面(cosmetic)屏板(例如，覆盖玻璃104或者其它电介质材料)，一个或更多个电极层和基板108。例如，防护屏板(覆盖玻璃104)是能够由用户触摸以执行诸如显示屏上的控制操作、手势或者光标移动等功能的电容式感测表面的一部分。防护屏板可以覆盖(一个或更多个)电极层，并且(一个或更多个)电极层可以通过在基板108上沉积薄膜109而形成在基板108上。基板可以是例如玻璃、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酰胺、聚碳酸酯或者任何塑料或柔性基板。
本申请所述的电容式感测表面可以涉及轨迹板、触摸鼠标、触摸屏或者任何其它触摸感测表面。出于示例的目的，参照并入在触摸屏中的触摸传感器来描述各个实施例。然而，注意到，可以针对装备有一个或更多个触摸传感器的各种其它设备来实现本申请所述的处理。
例如，在触摸传感器并入在触摸屏中的情况下，用来形成驱动和感测电极的薄膜材料可以是基本上透明的导电材料，诸如氧化铟锡(ITO)或者氧化锡锑(ATO)。然而，薄膜109可以是任何其它的透明或者不透明导电材料，例如银墨、铜、SiO2等。可以将薄膜109层叠到基板108；然而，在经由薄膜109施加ITO或者任何其它层之外，可以使用溅射工艺、光刻蚀刻或者任何其它沉积技术来沉积ITO。
薄膜109可以包括具有由导电材料构成的驱动和感测电极矩阵的一个或更多个电极层。可以通过驱动电极传输驱动信号，导致了位于驱动电极和感测电极的交叉点(触摸像素)处的驱动和感测电极之间的信号(互)电容。感测电子设备可以适于检测当手指或者其它物体经过或者接触触摸表面时每个感测电极上的电容改变。驱动和感测电极之间的电容可以在给定行保持为直流(DC)电压电平时作为杂散电容出现并且在给定行由交流(AC)信号激励时作为互信号电容(mutualsignal capacitance)Csig出现。通过测量被触摸的触摸像素处出现的信号电荷的改变(其与Csig有关)，可以检测手指或者其它物体在触摸传感器面板上或者附近的出现。通过感测电子设备来识别所产生的信号电容的改变，以指示手指或者其它物体在已知像素上接触(或者接近于)触摸表面。尽管本申请关于互电容来描述了实施例，但可以使用例如其它触摸感测机制，诸如自电容。
感测电子设备可以包括专用集成电路，该专用集成电路可以被构造成检测每个电极处的电容改变并且基于每个感测电极处电容随时间的改变而计算手指移动的位置。ASIC还可以被构造成将该信息报告给计算设备内的其它逻辑块，诸如主处理器。
可以通过压敏粘合剂(PSA)110将上述类型的基板108(具有形成图案化的驱动电极和感测电极的薄膜109)粘合到覆盖玻璃(或者其它材料，诸如塑料)104。可选地，可以在基板108的底部形成未图案化的ITO层(未示出)以用作屏蔽物。接着可以在未图案化的ITO112上沉积减反射(AR)膜114。LCD模块116接着可以放置在基板108之下，可选地通过气隙118隔开以易于修理。当然，在不脱离本公开的保护范围的前提下可以使用图1所示的材料层或者完全不同的层的各种组合。例如，作为气隙118的替代，可以包括粘合剂层或者AR膜层114。同样，根据各个实施例，可以在基板108下面(单侧ITO)或者在基板108两侧(双侧ITO)形成和图案化薄膜109。
取决于设计偏好，触摸传感器面板可以采用各种形状和/或曲率。例如，触摸传感器面板可以具有沿着X或Y轴或者沿着两个轴的凸或凹曲率，或者可以是完全球面的。图2A示出了示例性的叠层，包括(出于简明)基板108、薄膜109和覆盖玻璃104，其中覆盖玻璃是曲面。因此，触摸传感器可以具有相对于用户凸起的视觉效果。由于在图2A的凸面设计中基板保持平坦，所以与覆盖玻璃104也是平坦(如图1所示)的情况相比，触摸传感器面板的整体厚度可能更大。而且，由于例如接触覆盖玻璃104的用户手指与驱动和感测电极之间的较大距离(即，覆盖玻璃104和薄膜109之间的较大距离)，在薄膜109形成的感测电极处感测的电容可能降低。如上所述，根据各个实施例，可以在基板108上面或者下面(单侧ITO)或者在基板108两侧(双侧ITO)形成和图案化薄膜109。
图2B例示了根据本申请所述的一个实施例的等壁厚触摸传感器面板。换言之，因为将基板108弯曲成与覆盖玻璃104基本相同的度数，所以触摸传感器面板的厚度“y”保持恒定。使用图2B所示的等壁厚设计，因为覆盖玻璃104和薄膜109之间的距离与例如图1中完全平坦的叠层的距离相比没有改变，所以触摸传感器面板的整体厚度可以小于图2A所示的设计，而触摸灵敏度可以保持为高。然而，其因而需要形成具有曲面基板108的触摸传感器。如上所述，根据各个实施例，可以在基板108上面或者下面(单侧ITO)或者在基板108两侧(双侧ITO)形成和图案化薄膜109。
图3例示了根据本申请所述的一个实施例的形成具有曲面基板108的触摸传感器的示例性处理。参照图3，在处理300，可以将薄膜109沉积(例如，层叠)到基板108。可以图案化薄膜109来形成驱动和感测电极的触摸传感器图案。根据一个实施例，薄膜109的处理可以出现在基板108处于平坦状态并且置于(或者附接到)刚性承载板301时。可以在低温(即，低于150℃)进行操作300的所有薄膜109处理以避免基板108的变形。替代地，操作305显示了卷对卷(roll-to-roll)处理，其中可以在基板108保持平坦时并且在低温下类似地进行薄膜109处理。
处理可以从操作300或者305继续进行到操作310，其中可以从刚性承载板301移除(例如，剥落)基板108，并且基板108可以与成形基板312接合或者在成形基板312上支撑。成形基板312可以是能够经受高温而不变形的任何材料。成形基板312可以包括用于使基板108成形的任意数目的预定曲率。基板108可以通过临时层叠与成形基板312接合，或者可以仅仅被置于成形基板312上。
处理从操作310继续进行到操作320，其中可以针对薄膜109(例如，ITO)进行退火或者类似处理。在某些实施例中，退火可以指的是向薄膜109提供热处理、导致其特性改变的处理，尽管可以使用高热量之外的处理，诸如化学处理。然而，可以执行其它类似退火的处理，诸如高压或者UV曝光处理。在薄膜109为ITO的情况下，退火可以基本上使ITO结晶，提供强度和增加的导电率。而且，当形成要并入在显示设备中的触摸传感器时，例如退火可以提供提高的光学特性(例如，透明度)，从而在显示设备中薄膜109是不可见的。
在退火处理期间，基板108可以因为高热量而弯曲，从而其可以符合成形基板312的曲率。例如，重力可以提供足够的力来将柔性基板108压向成形基板312，从而基板108可以符合成形基板312的预定曲率。作为操作315中所示的替代方式，可以使用具有相对于第一成形基板312的曲率而言的一个或更多个互补曲率的第二成形基板313来提供进一步的挤压，迫使基板108符合成形基板312和313二者的互补曲率。
处理从操作320继续进行到操作330，其中从成形基板312移除(例如，剥落)基板108。在操作340，可以切割和分离包含薄膜109的曲面基板108。在该示例性处理中，在三个曲面基板108上形成三个触摸传感器。然而，应当注意到，通过切割和分离处理可以形成任意数目的曲面基板。
通过在处于平坦状态的基板108上沉积和图案化薄膜109，并且接着在基板108与成形基板312(根据一个实施例，以及313)接合时对薄膜109退火，可以将基板108弯曲成期望的曲率。此外，薄膜109可以获得退火处理的优点(例如，增加的强度和导电率以及提高的光学特性)而不会使基板108产生不期望的翘曲或者变形。
图4A例示了包括触摸屏设备430的示例性移动电话436，触摸屏设备430包括由根据一个公开的实施例的曲面基板形成的触摸传感器。
图4B例示了可以包括触摸屏设备430和轨迹板设备450的示例性数字媒体播放器440。触摸屏设备430和/或轨迹板设备450包括由根据一个公开的实施例的曲面基板形成的触摸传感器。
图4C例示了可以包括显示器430和轨迹板450的示例性个人计算机444，轨迹板450包括由根据一个公开的实施例的曲面基板形成的触摸传感器。
图5例示了根据一个实施例的包括触摸表面524的示例性计算系统500(其可以使用触摸控制器506)。图4A、4B或者4C中所述实施例中的任何一个都可以由类似的计算系统500来实现。触摸控制器506可以是可以包括一个或更多个处理器子系统502的ASIC，处理器子系统502可以包括例如一个或更多个主(本地)处理器，例如ARM968处理器或者具有类似功能和能力的其它处理器。然而，在其它实施例中，可以通过专用逻辑块(例如，状态机)来替代实现某些处理器功能。处理器子系统502例如还可以包括诸如随机访问存储器(RAM)或者其它类型的存储器或储存器的外围设备(未示出)、看门狗定时器等。触摸控制器506还可以包括例如接收信号(例如，来自触摸表面524的感测电极(例如，一列或更多列电极)的触摸感测信号503以及来自诸如传感器511的其它传感器的其它信号等)的接收部件507。当然，可以实现任何触摸感测机制，例如诸如互电容或者自电容。可以使用电荷泵515来生成发送部件的电源电压，其可以控制驱动电极(例如，一行或更多行电极)。尽管图5显示电荷泵515与发送部件514相分离，但电荷泵可以是发送部件的一部分。
触摸控制器506还可以包括例如诸如多级矢量解调引擎509的解调部件、面板扫描逻辑块510和包括例如发送部件514的驱动系统。面板扫描逻辑块510可以访问RAM 512，自主地从感测通道读取数据并且提供感测通道的控制。此外，面板扫描逻辑块510可以控制发送部件514来生成可以被选择性地施加给触摸表面524的驱动电极的各种频率和相位上的激励信号516。
触摸控制器506可以适于检测当手指或者其它物体经过或者接触触摸表面时每个触摸像素处的互电容改变。触摸控制器506可以被构造成基于每个触摸像素处的互电容改变来计算手指移动的位置。触摸控制器506还可以被构造成将该信息报告给例如触摸控制器506内的其它逻辑块或者主处理器528。在非电容式的实施例中，触摸控制器可以根据触摸感测技术调整以发送或者接收例如光波或者声波通信。
尽管以上描述了各个实施例，但应当理解，它们是以仅仅示例的方式而非限制的方式而被提出。同样，各个附图可以描述本公开的示例性结构或者其它构造，以辅助理解本公开可包含的特征和功能。本公开不限于所示的示例性结构或构造，而是可以使用多种替代结构和构造来实现。此外，尽管以上根据各个示例性实施例和实现描述了本公开，但应当理解，在一个或更多个单个实施例中描述的各种特征和功能并未将它们的应用限制在与它们一同进行描述的特定实施例中。替代地，可以单独地或以某种组合将它们应用到本公开的一个或更多个其它实施例中，而不管是否描述了这样的实施例，也不管这样的特征是否被提供为所述实施例的一部分。因此，本公开的宽度和保护范围不应当限于以上所述的任何示例性实施例。
本申请所述的实施例涉及形成曲面触摸表面的方法。该方法包含：在柔性基板处于平坦状态时在所述柔性基板上沉积和图案化导电薄膜以形成至少一个触摸传感器图案；在具有预定曲率的至少一个曲面成形基板上支撑处于所述平坦状态的所述柔性基板；以及对所述导电薄膜进行退火处理，其中所述退火处理导致所述柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的所述预定曲率。
在上述方法中，所述至少一个曲面成形基板可以包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与所述第一预定曲率互补的第二预定曲率的第二成形基板。
上述方法可以进一步包含：迫使所述第一和第二成形基板压在一起以促进所述柔性基板符合所述第一和第二预定曲率。
上述方法可以进一步包含：从所述至少一个曲面成形基板分离符合所述预定曲率的所述柔性基板。
在上述方法中，所述柔性基板可以由聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酰胺和聚碳酸酯中的至少一种形成。
在上述方法中，所述柔性基板可以是玻璃基板。
在上述方法中，形成所述触摸传感器图案的所述薄膜可以是氧化铟锡(ITO)、氧化锡锑(ATO)、银墨、氧化铟锌(IZO)、银纳米线、碳纳米管(CNT)和铜中的至少一种。
在上述方法中，所述触摸传感器可以并入在触摸传感器面板中。
在上述方法中，所述触摸传感器面板可以并入在模块中，所述模块选自由计算系统、显示设备和触摸鼠标设备所组成的组中。
本申请所述的实施例涉及一种方法。该方法包含：在柔性基板处于平坦状态并且由刚性承载板支撑时在所述柔性基板上沉积图案化的导电薄膜来形成一个或更多个触摸传感器图案；从所述刚性承载板移除所述柔性基板并且在具有预定曲率的至少一个曲面成形基板上支撑处于所述平坦状态的所述柔性基板；以及对所述导电薄膜进行热处理，其中热量导致所述柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的所述预定曲率。
在上述方法中，所述至少一个曲面成形基板可以包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与所述第一预定曲率互补的第二预定曲率的第二成形基板。
上述方法可以进一步包含：将所述第一和第二成形基板压在一起以迫使所述柔性基板符合所述第一和第二预定曲率。
在上述方法中，所述柔性基板可以由聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酰胺和聚碳酸酯中的至少一种形成。
在上述方法中，所述柔性基板可以是玻璃基板。
在上述方法中，形成所述触摸传感器图案的所述薄膜可以包括氧化铟锡(ITO)、氧化锡锑(ATO)、银墨和铜中的至少一种。
在上述方法中，所述曲面触摸表面可以并入在触摸传感器面板中。
在上述方法中，所述触摸传感器面板可以并入在模块中，所述模块选自由计算系统、显示设备和触摸鼠标设备所组成的组中。
本申请所述的实施例涉及形成曲面触摸表面的系统。该系统包含：柔性基板，被构造成在所述柔性基板处于平坦状态时其上具有沉积和图案化的薄膜以形成触摸传感器图案；以及至少一个曲面成形基板，具有预定曲率，被构造成使所述柔性基板成形，其中对所述导电薄膜的退火导致所述柔性基板弯曲，从而所述柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的所述预定曲率。
在上述系统中，所述至少一个曲面成形基板可以包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与所述第一预定曲率互补的第二预定曲率的第二成形基板。
在上述系统中，所述第一和第二成形基板被构造成挤压在一起以促进所述柔性基板符合所述第一和第二预定曲率。

Claims (20)

1.一种为触摸传感器形成曲面触摸表面的方法，包含：
在柔性基板处于平坦状态时在所述柔性基板上沉积和图案化导电薄膜以形成至少一个触摸传感器图案；
在具有预定曲率的至少一个曲面成形基板上支撑处于所述平坦状态的所述柔性基板；以及
对所述导电薄膜进行退火处理，其中所述退火处理导致所述柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的所述预定曲率。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述至少一个曲面成形基板包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与所述第一预定曲率互补的第二预定曲率的第二成形基板。
3.如权利要求2所述的方法，进一步包含：
迫使所述第一和第二成形基板压在一起以促进所述柔性基板符合所述第一和第二预定曲率。
4.如权利要求1所述的方法，进一步包含：
从所述至少一个曲面成形基板分离符合所述预定曲率的所述柔性基板。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述柔性基板由聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酰胺和聚碳酸酯中的至少一种形成。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述柔性基板是玻璃基板。
7.如权利要求1所述的方法，其中形成所述触摸传感器图案的所述薄膜是氧化铟锡(ITO)、氧化锡锑(ATO)、银墨、氧化铟锌(IZO)、银纳米线、碳纳米管(CNT)和铜中的至少一种。
8.如权利要求1所述的方法，其中所述触摸传感器并入在触摸传感器面板中。
9.如权利要求8所述的方法，其中所述触摸传感器面板并入在模块中，所述模块选自由计算系统、显示设备和触摸鼠标设备所组成的组中。
10.一种为触摸传感器形成曲面触摸表面的方法，包含：
在柔性基板处于平坦状态并且由刚性承载板支撑时在所述柔性基板上沉积图案化的导电薄膜来形成一个或更多个触摸传感器图案；
从所述刚性承载板移除所述柔性基板并且在具有预定曲率的至少一个曲面成形基板上支撑处于所述平坦状态的所述柔性基板；以及
对所述导电薄膜进行热处理，其中热量导致所述柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的所述预定曲率。
11.如权利要求10所述的方法，其中所述至少一个曲面成形基板包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与所述第一预定曲率互补的第二预定曲率的第二成形基板。
12.如权利要求11所述的方法，进一步包含：
将所述第一和第二成形基板压在一起以迫使所述柔性基板符合所述第一和第二预定曲率。
13.如权利要求10所述的方法，其中所述柔性基板由聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚酰胺和聚碳酸酯中的至少一种形成。
14.如权利要求10所述的方法，其中所述柔性基板是玻璃基板。
15.如权利要求10所述的方法，其中形成所述触摸传感器图案的所述薄膜包括氧化铟锡(ITO)、氧化锡锑(ATO)、银墨和铜中的至少一种。
16.如权利要求10所述的方法，其中所述触摸传感器并入在触摸传感器面板中。
17.如权利要求16所述的方法，其中所述触摸传感器面板并入在模块中，所述模块选自由计算系统、显示设备和触摸鼠标设备所组成的组中。
18.一种为触摸传感器形成曲面触摸表面的系统，包含：
柔性基板，被构造成在所述柔性基板处于平坦状态时其上具有沉积和图案化的导电薄膜以形成触摸传感器图案；以及
至少一个曲面成形基板，具有预定曲率，被构造成使所述柔性基板成形，其中
对所述导电薄膜的退火导致所述柔性基板弯曲，从而所述柔性基板符合所述至少一个曲面成形基板的所述预定曲率。
19.如权利要求18所述的系统，其中所述至少一个曲面成形基板包括具有第一预定曲率的第一成形基板和具有与所述第一预定曲率互补的第二预定曲率的第二成形基板。
20.如权利要求19所述的系统，其中所述第一和第二成形基板被构造成挤压在一起以促进所述柔性基板符合所述第一和第二预定曲率。
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